JPH03229139A - 欠陥検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、被検査対象物（例えば、生糸や熱転写リボン
等）の節、ピンホール、傷、異物などの欠陥を光、変位
、磁気などの物理量の変化によって検出する欠陥検査装
置に関する。

（従来の技術） 従来、被検査対象物のピンホール、傷、異物などの欠陥
を光、変位、磁気などの物理量の変化によって検出する
欠陥検査装置として、Ｒ２被検査対象物に対して走査さ
れ、前記欠陥を前記物理量の変化によって検知し、該物
理量に対応する電気信号を出力する検知手段と、該検知
手段から与えられる電気信号の大きさを前記欠陥の大き
さの許容値に対応する設定値と比較し、前記電気信号の
大きさが該設定値を越える否かにより欠陥の有無を判定
する判定手段とを備えるものである。

従来の欠陥検査装置は、熱転写リボン、ガラスなどの物
体における表面または内部に存在する欠陥の検出に用い
られ、該欠陥を検知するための物理量には光量が用いら
れている。

（発明が解決しようとする課題） しかし、従来の欠陥検査装！では、狭い領域だけであれ
ば許容される軽微な欠陥が広い領域にわたって存在して
いるとき、検知手段からの電気信号の大きさが設定値を
越えないことにより、その設定値以下である欠陥は検出
されず、物体には欠陥がないと判定される。その結果、
瞬時値は設定値を越えないが、広い領域にわたって存在
する欠陥に起因する不具合が物体の使用中などに発生す
ることがあり、物体の信頼性を低下させる恐れがある。

このような信頼性の低下を避けるために、狭い領域につ
いて定められた許容値以下の欠陥を検出するための設定
値を低くすることが考えられるが、設定値の低下に伴い
欠陥の検出精度が向上されるから、小さな多数の欠陥が
検出され、それぞれの欠陥が不具合を発生させる程度に
重大であるかどうかを判断することが困難になる。

本発明の目的は、検出される欠陥から不具合を招く欠陥
だけを選択することができる欠陥検査装置を捷洪するこ
とにある。

（課題を解決するための手段） 本発明の欠陥検査装置は、被検査対象物に対して走査さ
れ、該被検査対象物のピンホール、傷、異物などの欠陥
を光、変位、磁気などの物理量の変化によって検知し、
該物理量に対応する電気信号を出力する検知手段と、該
検知手段から閾値以上の電気信号が与えられるときに該
閾値以上の電気信号の継続時間に比例するパルス列を発
生するパルス発生手段と、該パルス発生手段からのパル
ス列のパルス数を計数し、該パルス数に対応する第１の
計数信号を出力する第１の計数手段と、該第１の計数手
段からの第１の計数信号が示す値と前記被検査対象物の
走査速度に対応する値との積の値を算出し、核種の値に
対応する第１の数値信号を出力する第１の演算手段とを
備える。

前記検知手段から閾値以上め電気信号か手えられるとき
に該閾値以上の電気信号の大きさに比例する周波数のパ
ルス列を発生する電気信号−周波数変換手段と、該電気
信号−周波数変換手段からのパルス列の数を計数し、該
パルス数に対応する第２の計数信号を出力する第２の計
数手段と、前記第１の計数手段からの第１の計数信号お
よび前記第２の計数手段からの第２の計数信号に基づき
該第２の計数信号が示す値と前記第１の計数信号が示す
値との比の値を算出し、核化の値に対応する第２の数値
信号を出力する第２の演算手段とを備えることが好まし
い。

前記第１の演算手段からの第１の数値信号が示す値を第
１の設定値と比較し、該第１の数値信号が前記第１の設
定値によって定められる条件に合致するか否かの判定を
し、該判定の結果に対応する第１の判定信号を出力する
第１の判定手段と、前記第２の演算手段からの第２の数
値信号が示す値を第２の設定値と比較し、該第２の数値
信号が前記第２の設定値によって定められる条件に合致
するか否かの判定をし、該判定の結果に対応する第２の
判定信号を出力する第２の判定手段とを備えることが好
ましい。

（作用） 検査時、前記検知手段は被検査対象物に対して主査され
る。前記検知手段が前記欠陥に起因する物理量の変化を
検知するとき、前記検知手段から前記物理量に対応する
電気信号が出力され、該電気信号はパルス発生手段に与
えられる。

前記電気信号の大きさが閾値以上であるとき、該電気信
号の継続時間は前記パルス発生手段によって前記継続時
間に比例するパルス列に変換されることにより、該パル
ス列のパルス数は走査方向における欠陥領域の長さを決
定するための時間に対応するから、前記第１の演算手段
によって算出される積の値の欠陥の走査方向の長さを示
す値に対応する。その結果、前記第１の演算手段から出
力される第１の数値信号に基づき、欠陥の走査方向の長
さを算出することができる。

前記電気信号−周波数変換手段が前記検知手段からの閾
値以上の電気信号をその大きさに比例する周波数のパル
ス列に変換することにより、該パルス列のパルス数は、
前記継続時間と、前記検知手段が検知する物理量によっ
て規定される欠陥の量との積に対応するから、前記第２
の計数手段から出力される第２の計数信号が示す値と前
記第１の計数手段から出力される第１の計数信号が示す
値との比の値は前記検知手段が検知する物理量によって
規定される欠陥の量に対応する。その結果、前記第２の
演算手段から出力される第２の数値信号に基づき前記欠
陥の量を算出することができる。

前記第１の判定手段には、不具合を招く恐れがある欠陥
長さに対する下限値、許容される欠陥長さに対する上限
値などに基づき第１の設定値が予め設定されている。前
記第１の判定手段は、前記第１の数値信号が示す値を前
記第１の設定値と比較することによって、前記第１の数
値信号が前記第１の設定値によって定められる条件に合
致するか否かを判定することにより、該判定の結果に対
応する第１の判定信号は検出された欠陥の長さ寸法が許
容される値であるか否かを示すから、検出された欠陥の
長さ寸法に基づき該欠陥か不具合を招く欠陥であるか否
かを容易に判定することができる。

前記第２の判定手段には、第１の判定手段と同様に、不
具合を招く恐れがある前記欠陥の量に対する下限値、許
容される前記欠陥の量に対する上限値などに基づき第２
の設定値が予め設定されている。前記第２の判定手段か
ら出力される第２の判定信号は検出された欠陥の量が許
容値であるか否かを示すから、検出された欠陥の量に基
づき該欠陥が不具合を招く欠陥であるか否かを容易に判
定することができる。

（実権例） 第１図は本発明の欠陥検査装置の一実施例を示すブロッ
ク図、第２図は第１図の欠陥検査装置の検知手段と被検
査対象物との位置関係を示す図である。

欠陥検査装置は、第１図および第２図に示すように、被
検査対象物に対して走査され、被検査対象物めピンホー
ル、傷、貢物などの欠陥を光、変位、磁気などの物理ｌ
め変化によって検知し、該物理量に対応する電気信号を
出力する検知手段１０を備える。

本実施例においては、第２図に示すように、被検査対象
物は、感熱プリンタに用いられる熱転写リボン１２であ
る。熱転写リボン１２は、透明なプラスチックフィルム
からなるベースシート１４と、その一方の面に形成され
ているインク層１６とを有する。

検知手段１０は熱転写リボン１２のインク層１６の傷な
どを光量の変化によって検知する。検知手段１０は、熱
転写リボン１２のインク層１６側に配置されている投光
器１８を有する。投光器１８は、例えば半導レーザであ
る。熱転写リボン１２は走査機構（図示せず）によって
第２図の矢印の示す方向に走査され、投光器１８から照
射される光は熱転写リボン１２に対して垂直に入射する
。投光器１８から照射される光の光軸上には、受光器２
０が位置する。受光器２０（例えば、ホトトランジスタ
）は、熱転写リボン１２のベースシート１４側に配置さ
れている。受光器２０は熱転写リボン１２の透光度に応
じて投光器１８が出射した光を受け、入射光の光Ｉに対
応する電気信号を出力する。前記電気信号は電圧信号で
ある。

受光器２０からの電気１８号は、パルス発生手段２２お
よび電気信号−周波数変換手段２４に与えられる。パル
ス発生手段２２は、前記電気信号が入力され、該入力電
気信号の電圧値を予め設定されている閾値ａと比較し、
該比較結果に対応する動作制御信号を出力する比較部２
６含有する。前記入力電気信号の電圧値が閾値８以上で
あるとき、前記動作制御信号は動作開始を指示する信号
であり、前記入力電気信号の電圧値が閾値ａより小さい
とき、前記動作制御信号は動作停止を指示する信号であ
る。

比較部２６からの動作制御信号はゲート回路２８および
電気−周波数変換手段２４に与えられる。ゲート回路２
８は、クロック信号発生器３０から発振されているクロ
ック信号を取り込み、前記動作制御信号に基づき前記ク
ロック信号の出力を制御する。前記動作制御信号が動作
開始を指示する信号であるとき、ゲート回路２８からク
ロック信号が出力され、前記動作制御信号が動作停止を
指示する信号であるとき、ゲート回路２８からのクロッ
ク信号の出力は停止される。

ゲート回路２８から出力されるクロック信号は第１の計
数手段３０に与えられる。第１の計数手段３０は前記ク
ロック信号のパルス数を計数し、該パルス数に対応する
第１の計数信号を出力する。

第１の計数手段３０から出力される第１の計数信号は第
１の演算手段３２に与えられる。第１の演算手段３２は
、前記第１の計数信号が示す値と前記走査速度の大きさ
との積の値を算出し、該積値に対応する第１の数値信号
を出力する。

これに対し、電気信号−周波数変換手段２４には、検知
手段１０からの電気信号および比較部２６からの動作１
１Ｊａｌ信号が与えられる。電気信号−周波数変換手段
２４は前記動作制御信号に基づき動作を開始し、また動
作を停止する。前記動作制御信号が動作兜始を指示する
信号であるとき、電気信号−周波数変換手段２４は発振
を開始し、前記電気信号の閾値８以上の電圧値に比例す
る周波数のパルス列を発生する。前記動作信号が動作停
止を指示する信号であるとき、電気信号−周波数変換手
段２４は発振を停止する。

電気信号−周波数変換手段２４からのパルス列は第２の
計数手段３４に与えられる。第２の計数手段３４は、前
記パルス列のパルス数を計数し、該パルス数に対応する
第２の計数信号を出力する。

第２の計数手段３４から出力される第２の計数信号およ
び第１の計数手段３０から出力される第１の計数信号は
第２の演算手段３６に与えられる。

第２の演算手段３６は前記第２の計数信号が示す値と前
記第１の計数信号が示す値との比の値を算出し、該比値
に対応する第２の数値信号を出力する。

第１の演算手段３２からの第１の数値信号は、第１の判
定手段４０に与えられる。第１の判定手段４０は、前記
第１の数値信号が示す値を第１の設定値と比叙し、該第
１の数値信号が前記第１の設定値によって定められる条
件に合致するか否かの判定をし、該判定の結果に対応す
る第１の判定信号を出力する。これに対し、第２の演算
手段３６からの第２の数値信号は、第２の判定手段４２
に与えられる。第２の判定手段４２は、前記第２の数値
信号が示す値を第２の設定値と比較し、該第２の数値信
号が前記第２の設定値によって定められる条件に合致す
るか否かの判定をし、該判定の結果に対応する第２の判
定信号を出力する。

本実施例においては、第１の判定手段４０は、３つの比
較器４４，４６．４８と、判定回路５０からなる。各比
較器４４．４６．４８には、設定値す、ｃ、ｄがそれぞ
れ設定されている。各設定値す、ｃ、ｄは不具合を招く
恐れがある欠陥長さの下限値、許容される欠陥長さの上
限値に基づき決定され、また次の（１）式の関係を満足
する。

ｂ＞ｃ＞ｄ　　　　　　　　　（１） 各比較器４４．４６．４８には、それぞれ前記第１の数
値信号が与えられ、該第１の数値信号が示す数値ρは各
設定値す、ｃ、ｄと比較される。

次いで、比較３４４，４６．４８のそれぞれから比４２
詰宋に対応するパルス信号が出力される。

比較器４４，４６．４８のそれぞれから出力されるパル
ス信号は判定回路５０に与えられ、判定回路５０は各パ
ルス信号に基づき第１ｆ′）判定信号を出力する。

前記第１の数値信号が示す数値ρがｐ＞ｂの関係を満足
するとき、前記第１の判定信号は検出された欠陥が重欠
陥であることを示し、数値Ｐがｂ＞Ｐ＞ｃの関係を満足
するとき、前記第１の判定信号は重欠陥であることを示
し、数値ｐがｃ＞ｐ〉ｄの関係を満足するとき、前記第
１の判定信号は重欠陥であることを示し、数値ｐがｐ＜
ｃｉの関係を満足するとき、前記第１の判定信号は無欠
陥であることを示す。

第２の判定手段４２は、第１の判定手段４０と同様に、
３つの比較器５２，５４．５６および判定回路５８から
なる。各比較器５２．５４．５６には不具合を招く恐れ
がある欠陥深さめ下眼値、許容される欠陥深さの上限値
に基づき設定値Ｃ１ｆ、ｇかそれぞれ設定されている。

各設定値ｅ。

ｆ、ｇは次の（２）式の関係を満足する。

ｅ）ｆ＞ｇ　　　　　　　　　（２） 各比較器５２，５４．５６には、それぞれ前記第２の数
値信号が与えられ、該第２の数値信号が示す数値ｑは各
設定値ｅ、ｆ、　ｇと比較される０次いで、比較器５２
．５４．５６のそれぞれから比較結果に対応するパルス
信号が出力され、該パルス信号は判定回路５８に与えら
れる０判定回路５８は各パルス信号に基づき第２の判定
信号を出力する。前記第２の判定信号は、前記第１の判
定信号と同様に、前記数値ｑと各設定値ｅ、ｆ、ｇとの
関係によって重欠陥、重欠陥、重欠陥、無欠陥のいずれ
か１つを示す。

第１の判定手段４０からの第１の判定信号および第２の
判定手１−１４２からの第２の判定信号は判定表示部６
０に与えられ、判定表示部６０は前記第１の判定信号に
基づき欠陥長さに対する判定内容を表示し、かつ、前記
第２の判定信号に基づき欠陥深さに対する判定内容を表
示する。また、判定表示部６０には、前記第１の数値信
号および前記第２の数値信号が与えられ、判定表示部６
０は前記第１の数値信号に基づき欠陥の長さ寸法を表示
し、かつ、前記第２め数値信号に基づき欠陥の深さ寸法
を表示する。

検査時、第２図に示すように、検知手段１０の投光器１
８は光を熱転写リボン１２に照射し、熱転写リボン１２
は前記走査機構によって第２図の矢印の示す方向に一定
の速度Ｖで走査される。投光器１８からの光は熱転写リ
ボン１２を透過し、該透過光は受光器２０に到達する。

受光器２０はそれに到達する透過光の光量に対応する電
圧値を有する電気信号を出力する。

熱転写リボン１２のインク層１６に形成されている欠陥
が投光器１８の光軸上に位置し、ないとき、受光器２０
に到達する光量はインク層１６の厚さによって決定され
ることにより、受光器２０に到達する光量は熱転写リボ
ン１２の走査の有無に関係なくほぼ一定であるから、受
光器２０から出力される電気信号の電圧値はほぼ一定に
なり、該−定の電圧値を有する電気信号はインク１１６
の厚さが一定であることを示す。その結果、前記電気信
号の電圧値よりやや大きい値を閾値ａとして設定するこ
とによって、インク層１６に欠陥が無い熱転写リボン１
２に対する電気信号を無視することができ、前記閾値８
以上の電気信号に対する処理を簡単することができる。

熱転写リボン１２のインク層１６には、複数の傷、例え
ば、投光器１８の走査方向に長く伸びている浅い偏部６
２および投光器１８の走査方向に短くかつ深い偏部６４
がある。

偏部６２が投光器１８と受光器２０との間の光路上を走
査されるとき、受光器２０の受光量は熱転写リボン１２
の欠陥１１部分に対する受光器２０の受光量より大きく
なるから、受光器２０がら出力される電気信号の電圧値
は正常時の電圧値より大きくなる。

受光器２０からの電気信号の電圧値が前記闇値ａを超え
ると、比較部２６は動作開始を指示する！！ＪｉｆＰ−
制御信号を出力し、該動作制ｇＩＪ信号はゲート回路２
８および電気信号−周波数変換手段２４に与えられる。

ゲート回路２８は前記動作制御信号に基づきクロ・ツク
１こ号発生８３０のクロック信号を第１の計数手段３０
に出力し続け、第１の計数手段３０は前記クロック信号
のパルス数の計数を開始する。

これに対し、電気信号−周波数変換手段２４は前記動作
制御信号に基づき発振を開始し、前記電気信号の電圧値
に比例する周波数のノくルス列を発生し続ける。前記パ
ルス列は第２／）計数手段３４に与えられ、第２の計数
手段３４は前記ノ＜ルス列のパルス数の計数を開始する
。

偏部６２が投光器１８と受光器２０との間の光路を通過
すると同時に、受光器２０からの電気信号の電圧値が前
記闇値ａより小さくなり、比較部２６は動作停止を指示
する動作制御信号を出力する。ゲート回路２８は、前記
動作制御信号に基つき前記クロック信号の第１の計数手
段３０への出力を停止し、第１の計数手段３０は前記ク
ロ・／り信号のパルス数の計数を完了する。同様に、電
気信号−周波数変換手段２４は発振を停止し５、第２の
計算手段３４は前記パルス列のパルス数の計数を完了す
る。

第１の計数手段３０は前記計数されたパルス数に対応す
る第１の計数信号を第１の演算部３２および第２の演算
部３６へ出力される。第１の演算部３２は前記走査ｌ！
構からの走査速度に対応する値と前記第１の計数信号が
示す値との積の値を算出し、核種の値に対応する第１の
数値信号を出力する。前記第１の計数信号が示す値は前
記電気信号の電圧値が閾値ａを超えてからその電圧値が
閾値ａより小さくなるまでの時間Ｔに対応することによ
り、前記第１の数値信号が示す値は偏部６２の走査方向
への長さ寸法に対応するから、偏部６２の走査方向への
長さ寸法が算出される。

これに対し、第２の演算部３６には第２の計数手段３４
から前記計数されたパルス数に対応する第２の計数信号
が前記第１の計数信号と共に与えられる。第２の演算部
３６は、前記第２の計数信号が示す値と前記第１の計数
信号か示す値と力比の値を算出し、核化の値に対応する
第２の数値信号を出力する。前記第２の計数信号か示す
１よ時間Ｔと偏部６２の平均深さ寸法との積る二対、応
することにより、前記第２の数値信号か示す値ｑは偏部
６２の平均深さ寸法に対応するから、偏部６２の平均深
さ寸法が算出される。

前記第１の数値信号は第１の判定手段４０および判定表
示部６０に与えられ、前記第２の数値信号は第２の判定
手段４２および判定表示部６０４こ与えられる。

前記第１の数値信号が示す値Ｐは各比較器４４４６．４
８でそれぞれに設定されて０る設定＠ｂ。

ｃ、ｄと比較される。前記第１の数値信号の値Ｐが設定
値ａより大きいとき、各比較器４４，４６゜４８は前記
値ρがそれぞれの設定値より大き髪１ことに対応するパ
ルス信号をそれぞれ出力する０判定回路５０は各パルス
信号に基づき重欠陥に対応する第１の判定信号を判定表
示＃６０へ出力する。

前記第２の数値信号が示す値ｑは各比較器５２゜５４．
５６でそれぞれに設定されている設定値ｅ。

ｆ、ｇと比較される５前記値ｑか次の〈３）式で示す範
囲にあるとき、 ｆ＞ｑ＞ｇ　　　　　　　　　＜３＞ 比較ｒ：Ｉ５２，５４は前記値ｑが設定値より小さいこ
とに対応するパルス信号をそれぞれ出力し、比較器５６
は前記値ｑが設定値ｇより大きいことに対応するパルス
信号を出力する０判定回路５８は各パルス信号に基づき
軽欠陥に対応する第２の判定信号を判定表示部６０へ出
力する。

判定表示部６０は、前記第１の判定信号および前記第１
の数値信号に基づき偏部６２の長さに対する判定結果を
重欠陥と表示し、偏部６２の長さ寸法を表示する。同時
に、判定表示部６０は、前記第２の判定信号および前記
第２の数値信号に基づき偏部６２の深さに対する判定結
果を軽欠陥と表示し、偏部６２の平均深さ寸法を表示す
る。その結果、偏部６２が不具合を招く恐れがある欠陥
であると判定され、偏部６２に起因する不具合を未然に
防止することができ、また、偏部６２に対オる判定が渦
部６２の長さ寸法および平均深さ寸法の２つの条件に基
づき行なわれ、該判定結果に対する信頼・注か向上され
る。

次いて゛、検知手段１０ｆｆｉ深さ寸法が大きくかつ主
査方向の長さ寸法が小さい渦部６４を検知するとき、渦
部６２の検知時と同様に、渦部６４の長さ寸法およびそ
の平均深さ寸法が算出される。渦部６４の長さ寸法に対
応する第１の数値信号の値ｐか次の（４）式に示す範囲
であるから、ｐ　＜　ｄ（４） 渦部６４の長さに対する判定結果は無欠陥となる。

これに対し、渦部６４に対応する第２の数値信号の値ｑ
が次の（５）式に示す範囲であるからｑ＞ｅ　　　　　
　　　　　　　（５）渦部６４の深さに対する判定結果
は重欠陥となる。

その結果、渦部６４は不具合を招く恐れがある欠陥であ
ると判定され、傷６４に対する判定を誤る恐れかなくな
る。

なお、本実施例では、被検査対象物が熱転写リボンであ
るか、本発明の欠陥検査装置を検知手段を選択すること
によって欠陥を規定する光、変位磁気などの物理量が変
化する対象物に適用することかできる。

例えば、被検査対象物が生糸であり、該生糸の節を検出
するとき、生糸の節の矯寸法は該生糸の規格太さに対応
する幅寸法より大きいことにより、検知手段からの電気
信号の大きさはそれが節を検知するごとに小さくなるか
ら、生糸の規格太さに対応する幅寸法より小さい闇値ａ
を設定し、該閾値以下の電気信号に対して上述した方法
と同様な方法で処理を行なうことによって、前記生糸の
節の大きさを規定する長さ寸法および平均幅寸法を算出
することができる。その結果、節に関する生糸の品質の
格付をすることができる。

また、熱転写リボン１２を検知手段ｌＯに対して走査し
ているが、検知手段１０を熱転写リボン１２に対して走
査することができる。さらに、第１の判定手段には３つ
の比較器が設けられているか、被検査対象物の欠陥の種
類、検査精度に応じて比較器の数は任意に設定すること
ができ、同様に、第２カ判定手段の比ｆｉ器の数を任意
に、設定する。二とかできる。

（発明力効宋） 本発明によれは、前記第１の数値信号か検出される欠陥
の走査方向の長さ寸法に対応する、二とにより、該欠陥
の走査方向の長さ寸法が算出されるから、該欠陥の走査
方向の長さ寸法に基づき検出される欠陥か不具合を招く
欠陥であるか否かを判定することができ、被検査対象物
の信頼性を向上させることかできる。

前記検知手段からの電気信号をその大きさに比例する周
波数のパルス列に変換することにより、前記検知手段か
検知する物理量によって規定される欠陥の量が算出され
るから、該欠陥の量に基つき検出される欠陥が不具合を
招く欠陥であるか否かを判定することができる。その結
果、検出される欠陥に対する判定を前記欠陥の量および
前記欠陥の走査方向の長さ寸法の２つの条件から行うこ
とができ、判定結果の信頼性を向上させることができる
。

前記第１および第２め判定手段を備えることに１つ、検
出される欠陥に対する４Ｊｊ定を容易にする二とかて゛
きる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の欠陥検査装置の一実施例を示すブロッ
ク図、第２図は第１図の欠陥検査装置の検知手段と被検
査対象物との位置関係を示す図である。 １０・・・検知手段、１２・・・熱転写リボン、２２・
・・パルス発生手段、２４・・・電気信号−周波数変換
手段、３０・・・第１の計数手段、３２・・・第１の演
算手段、３４・・・第２の計数手段、３６・・・第２の
？ｉｉＸ手段、４０・・・第１の判定手段、４２・・・
第２の判定手段、６２．６４・・・渦部。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）被検査対象物に対して走査され、該被検査対象物
   のピンホール、傷、異物などの欠陥を光、変位、磁気な
   どの物理量の変化によつて検知し、該物理量に対応する
   電気信号を出力する検知手段と、該検知手段から閾値以
   上の電気信号が与えられるときに該閾値以上の電気信号
   の継続時間に比例するパルス列を発生するパルス発生手
   段と、該パルス発生手段からのパルス列のパルス数を計
   数し、該パルス数に対応する第１の計数信号を出力する
   第１の計数手段と、該第１の計数手段からの第１の計数
   信号が示す値と前記被検査対象物の走査速度に対応する
   値との積の値を算出し、該積の値に対応する第１の数値
   信号を出力する第１の演算手段とを備える欠陥検査装置
   。
2. （２）前記検知手段から閾値以上の電気信号が与えられ
   るときに該閾値以上の電気信号の大きさに比例する周波
   数のパルス列を発生する電気信号−周波数変換手段と、
   該電気信号−周波数変換手段からのパルス列の数を計数
   し、該パルス数に対応する第２の計数信号を出力する第
   ２の計数手段と、前記第１の計数手段からの第１の計数
   信号および前記第２の計数手段からの第２の計数信号に
   基づき該第２の計数信号が示す値と前記第１の計数信号
   が示す値との比の値を算出し、該比の値に対応する第２
   の数値信号を出力する第２の演算手段とを備える請求項
   １に記載の欠陥検査装置。
3. （３）前記第１の演算手段からの第１の数値信号が示す
   値を第１の設定値と比較し、該第１の数値信号が前記第
   １の設定値によって定められる条件に合致するか否かの
   判定をし、該判定の結果に対応する第１の判定信号を出
   力する第１の判定手段と、前記第２の演算手段からの第
   ２の数値信号が示す値を第２の設定値と比較し、該第２
   の数値信号が前記第２の設定値によって定められる条件
   に合致するか否かの判定をし、該判定の結果に対応する
   第２の判定信号を出力する第２の判定手段とを備える請
   求項２に記載の欠陥検査装置。