JPH03221287A - Method and device for laser beam machining - Google Patents

Method and device for laser beam machining

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JPH03221287A
JPH03221287A JP2018570A JP1857090A JPH03221287A JP H03221287 A JPH03221287 A JP H03221287A JP 2018570 A JP2018570 A JP 2018570A JP 1857090 A JP1857090 A JP 1857090A JP H03221287 A JPH03221287 A JP H03221287A
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Hidehiko Karasaki
秀彦 唐崎
Akio Tanaka
田中 昭男
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Abstract

PURPOSE:To reduce the whole time of a cutting process by setting a laser beam irradiating mode to a single mode to pierce a hole in a piercing process time and changing the irradiating mode into a multi-mode to cut a work piece after the piercing process is completed. CONSTITUTION:The laser beam 1 generated in a laser beam oscillator is introduced as far as a material to be machined. The surface of the material to be machined is irradiated with the laser beam 1 to be cut-off. The cutting process is composed of a piercing process and a cutting-off process. In the piercing process time, the irradiating mode of the laser beam 1 is changed to a single mode with a mode changing plate 2 to pierce the hole. After the piercing process, the irradiating mode is changed by the mode changing plate 2 to the multi-mode to perform cutting-off. In this way, the productivity can be improved.

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、レーザ光を用いて被加工物の切断を行なうレ
ーザ加工方法およびレーザ加工装置に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Field of the Invention The present invention relates to a laser processing method and a laser processing apparatus for cutting a workpiece using laser light.

従来の技術 レーザ光を被加工物に照射して切断加工を行なう場合、
まず第1段階として穴を被加工物の規定の位置にあけ、
次いでその穴のあいた部分から切断を切断パターンにし
たがって始める。このときの穴あけ段階をピアッシング
と称し、切断図形パターンにもよるが、切断加工工程の
全時間の約半分を占めることも珍しくない。特に、板厚
が厚くなると、切断工程に対するピアッシング時間の割
合が増加し、ピアッシング時間は切断加工工程の時間の
大部分を支配するようになる。したがって、ビアッシン
グ時間を短縮することは、切断加工工程の時間を短縮す
ることに大きく寄与し、切断加工の効率を向上させるこ
とになる。
Conventional technology: When cutting a workpiece by irradiating it with laser light,
First, the first step is to drill a hole in the specified position of the workpiece.
Cutting then begins at the perforated area according to the cutting pattern. The hole-making step at this time is called piercing, and although it depends on the cutting pattern, it is not uncommon for it to occupy about half of the total time of the cutting process. In particular, as the plate thickness increases, the ratio of piercing time to cutting process increases, and piercing time comes to dominate most of the cutting process time. Therefore, shortening the viasing time greatly contributes to shortening the time of the cutting process and improves the efficiency of the cutting process.

発明がAM決しようとする課題 しかしながら、従来のレーザ加工方法およびレーザ加工
装置においては、板厚が厚くなった場合のピアッシング
時間の短縮に対する有効な手段を持ち合わせていなかっ
た。また、板厚が厚くなると広い切断輻が要求されるた
め、レーザ光のスポット径が大きくなるように焦点位置
を意識的に被加工物の表面からずらして穴あけ加工工程
を行なうので、熱エネルギ密度が減少してピアッシング
時間が長くなるという問題があった。
Problems to be Solved by the Invention However, conventional laser processing methods and laser processing apparatuses do not have effective means for shortening the piercing time when the plate thickness becomes thick. In addition, as the thickness of the plate increases, a wider cutting radius is required, so the focal position of the laser beam is intentionally shifted from the surface of the workpiece to increase the spot diameter of the laser beam. There was a problem in that the piercing time decreased and the piercing time took longer.

本発明は、このような従来の問題を解決するものであり
、ピアッシング時間を有効に短縮することのできる優れ
たレーザ加工方法およびレーザ加工装置を提供すること
を目的とする。
The present invention solves such conventional problems, and aims to provide an excellent laser processing method and laser processing apparatus that can effectively shorten piercing time.

課題を解決するための手段 本発明は、前記目的を達成するために、切断加工工程を
穴あけ過程と切断過程とに分け、穴あけ過程ではレーザ
光の照射モードをシングルモードにして穴あけ加工を行
ない、穴あけ過程終了後にはレーザ光の照射モードをマ
ルチモードに切り換えて切断加工を行なうように構成し
たものである。
Means for Solving the Problems In order to achieve the above object, the present invention divides the cutting process into a drilling process and a cutting process, and in the drilling process, performs the drilling process by setting the laser beam irradiation mode to a single mode, After the drilling process is completed, the laser beam irradiation mode is switched to multimode to perform cutting.

作用 本発明は、前記構成により次のような作用を有する。す
なわち、穴あけ過程時には、被加工物の表面にスポット
径の小さなシングルモードのレーザ光を照射するので、
レーザ光の1パルスで穴をあけられる深さが深くなり、
穴あけ過程の時間が短縮される。また、切断過程時には
、スポット径の大きなマルチモードのレーザ光で切断加
工を行なうので、被加工物の切断に必要な切断輻が得ら
れる。これ(=より、ピアッシング時間すなわち穴あけ
過程の時間を有効に短縮することができ、切断加工工程
全体の時間を短縮することができる。
Effects The present invention has the following effects due to the above structure. In other words, during the drilling process, a single mode laser beam with a small spot diameter is irradiated onto the surface of the workpiece.
The depth that can be drilled with one pulse of laser light increases,
The time for the drilling process is reduced. Further, during the cutting process, since the cutting process is performed using a multi-mode laser beam with a large spot diameter, the cutting radius necessary for cutting the workpiece can be obtained. Due to this, the piercing time, that is, the time for the drilling process can be effectively shortened, and the time for the entire cutting process can be shortened.

実施例 以下、本発明の一実施例を図面を参照して説明する。第
1図は本発明の一実施例を示し、第1図(a)は穴あけ
過程時のレーザ光の照射モードを示し、第1図(b)は
切断過程時のレーザ光の照射モードを示している。第1
図(a)において、レーザ光1はモード切換絞り板2に
よりそのスポット径りをdに絞られ、その強度分布は光
軸3上に一つのピークがあるシングルモードになりいる
。また第1図(b)においては、レーザ光1はモード切
換絞り板2による絞り作用を受けることなく、スポット
径りのままで出射され、その強度分布は光軸3の両側に
二つのピークを有するマルチモードになっている。この
ようにレーザ光lのスポット径りを穴あけ過程時(a)
と切断過程時(b)とで異ならせることにより、レーザ
光を用いた切断加工工程全体の時間を短縮することがで
きる。
EXAMPLE Hereinafter, an example of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 shows an embodiment of the present invention, FIG. 1(a) shows the laser light irradiation mode during the drilling process, and FIG. 1(b) shows the laser light irradiation mode during the cutting process. ing. 1st
In Figure (a), a laser beam 1 is focused to have a spot diameter d by a mode switching aperture plate 2, and its intensity distribution becomes a single mode with one peak on the optical axis 3. In addition, in FIG. 1(b), the laser beam 1 is emitted with the spot diameter unchanged without being subjected to the aperture effect by the mode switching aperture plate 2, and its intensity distribution has two peaks on both sides of the optical axis 3. It has multi-mode. In this way, the spot diameter of the laser beam l is adjusted during the drilling process (a)
By making the time and the time of the cutting process different (b), it is possible to shorten the overall time of the cutting process using a laser beam.

次に前記実施例の作用について説明する。前述したよう
に、板厚が厚くなると切断工程に対するピアッシング時
間の割合が増加し、ピアツシング時間は切断加工工程の
時間の大部分を支配する上うになる。また板厚が厚くな
ると、広い切断幅が要求される。
Next, the operation of the above embodiment will be explained. As mentioned above, as the plate thickness increases, the ratio of piercing time to cutting process increases, and piercing time comes to dominate most of the cutting process time. Furthermore, as the plate thickness increases, a wider cutting width is required.

第2図はSPCの場合の切断に必要な切断輻と板厚との
関係を示している。切断輻は材質による熱伝導係数と板
厚およびアシストガスによる溶融した材料の易動度によ
って決定される。アシストガスの条件は、材料の酸化反
応速度から制限を受けるため、切断幅は材質と板厚とを
指定すればほぼ一義的に決定される。
FIG. 2 shows the relationship between the cutting radius and plate thickness required for SPC cutting. The cutting radius is determined by the thermal conductivity coefficient of the material, the plate thickness, and the mobility of the molten material due to the assist gas. Since the assist gas conditions are limited by the oxidation reaction rate of the material, the cutting width is almost uniquely determined by specifying the material and plate thickness.

このように、板厚が厚くなると穴あけ過程の占める割合
が多くなるだけでなく、広い切断幅が要求されるため、
従来においては穴あけ過程時のレーザ光のスポット径を
大きくすることが多い。
In this way, as the plate thickness increases, not only does the drilling process take up a larger proportion of the board, but a wider cutting width is required.
Conventionally, the spot diameter of the laser beam during the drilling process is often increased.

しかしながら、第3図に示すように、レーザ光のスポッ
ト径が大きくなると、それたけレーザ光の1パルス当た
りであけられる穴の深さが浅くなるので、スポット径を
大きくして穴あけ加工を行なうと、それだけピアッシン
グ時間が長くかかることになる。したがって前記実施例
のように、穴あけ過程時にはスポット径の小さなシング
ルモードで穴あけ加工を行ない、穴あけ加工終了後には
、レーザ光の照射モードをマルチモードに切り換えて大
きなスポット径で切断加工を行なうことにより、第4図
に示すように、例えば4.5mm厚の鉄板(SPC)に
15mmの円穴をあける場合、従来のレーザ光を用いた
方法に比較して切断加工時間が約20%以上短縮するこ
とができる。この傾向は、板厚が厚くなるほど顕著にな
り、例えば9mm厚の鉄板(SPC)では、約50%以
上の切断加工工程の時間が短縮される。
However, as shown in Figure 3, as the spot diameter of the laser beam increases, the depth of the hole that can be drilled per pulse of the laser beam becomes shallower. , the piercing time will take longer. Therefore, as in the above embodiment, during the drilling process, drilling is performed in a single mode with a small spot diameter, and after the drilling process is completed, the laser beam irradiation mode is switched to multimode and cutting is performed with a large spot diameter. As shown in Figure 4, for example, when drilling a 15 mm circular hole in a 4.5 mm thick steel plate (SPC), the cutting time is reduced by approximately 20% or more compared to the conventional method using laser light. be able to. This tendency becomes more pronounced as the plate thickness increases; for example, in the case of a 9 mm thick steel plate (SPC), the cutting process time is reduced by about 50% or more.

第5図は、前記実施例におけるレーザ光の照射モードの
切り換えタイミングの一例を示している。本例では、穴
あけ過程終了後にレーザ光の照射モードを切り換えてい
る。
FIG. 5 shows an example of the switching timing of the laser beam irradiation mode in the embodiment. In this example, the laser beam irradiation mode is switched after the drilling process is completed.

このレーザ光の照射モードの切り換えタイミングは、被
加工物の材質および板厚によって決定される。したがっ
て、被加工物の材質および板厚の情報があれば、切り換
えタイミングを一義的に決定することができる。
The switching timing of this laser beam irradiation mode is determined by the material and thickness of the workpiece. Therefore, if there is information on the material and thickness of the workpiece, the switching timing can be uniquely determined.

第6図は、このようなタイミングを発生させるためのデ
ータベースを備え、レーザ光の照射モードの切り換えを
自動的に行なうための手段を備えたレーザ加工装置の一
例を示している。第6図において、11はレーザ光、1
2は集光レンズ、13は被加工物、14はレーザ発振器
、15はレーザ発振器14からのレーザ光11の照射モ
ードを切り換えるための絞り板を備えたモード切換器、
16はレーザ光11を集光レンズ12へ導くためのビー
ムベンダー 17は集光レンズ12を保持してレーザ光
11を被加工物13へ向けて照射するためのビームノズ
ル軸、18は被加工物13を保持してX−Y方向へ移動
させるためのテーブル、19はテーブル18を駆動する
ためのサーボモータ、20はサーボモータ19およびモ
ード切換器15を制御する数値制御装置、21は被加工
物13の材質および板厚の情報に基づいてモード切換器
15における絞り板切推量を決定するためのモード切換
データベース、22は数値制御装置20およびモード切
換データベース21を制御するためのCA D/CA 
Mシステムである。
FIG. 6 shows an example of a laser processing apparatus equipped with a database for generating such timing and means for automatically switching the laser beam irradiation mode. In FIG. 6, 11 is a laser beam, 1
2 is a condensing lens; 13 is a workpiece; 14 is a laser oscillator; 15 is a mode switcher equipped with an aperture plate for switching the irradiation mode of the laser beam 11 from the laser oscillator 14;
16 is a beam bender for guiding the laser beam 11 to the condensing lens 12; 17 is a beam nozzle axis for holding the condensing lens 12 and directing the laser beam 11 toward the workpiece 13; 18 is the workpiece 13, a servo motor for driving the table 18; 20, a numerical control device for controlling the servo motor 19 and the mode switch 15; 21, a workpiece 13 is a mode switching database for determining the aperture plate cutting amount in the mode switching device 15 based on information on the material and plate thickness; 22 is a CA D/CA for controlling the numerical controller 20 and the mode switching database 21;
This is the M system.

次に、前記レーザ加工装置の動作について説明する。レ
ーザ発振器14から発せられたパルス状のレーザ光11
は、照射モード切換器15により照射モードを制御され
て被加工物13の表面をスポット状に照射する。被加工
物13は、照射されたレーザ光11の熱エネルギにより
加熱溶融されて穴をあけられる。被加工物13の表面に
焦点を合わされたレーザ光11は、その焦点位置で最も
エネルギ密度が高く、そのエネルギはレーザ光11のス
ポット径の2乗に比例する。被加工物13に穴があけら
れると、切断図形パターンにしたがってテーブル18が
移動し、切断が行われる。
Next, the operation of the laser processing apparatus will be explained. Pulsed laser light 11 emitted from a laser oscillator 14
The irradiation mode is controlled by the irradiation mode switch 15, and the surface of the workpiece 13 is irradiated in a spot shape. The workpiece 13 is heated and melted by the thermal energy of the irradiated laser beam 11 to form a hole. The laser beam 11 focused on the surface of the workpiece 13 has the highest energy density at its focal position, and the energy is proportional to the square of the spot diameter of the laser beam 11. When a hole is made in the workpiece 13, the table 18 moves according to the cutting pattern to perform cutting.

この制御は、CAD/CAMシステム22内に格納され
た切1!Jr図形パターンに基づき、数値制御装置20
を介してサーボモータ19を駆動することにより行なわ
れる。また、穴あけ過程時と切断過程時とのレーザ光1
1の照射モードの切り換えは、モード切換データベース
21内に格納された被加工物13の材質および板厚情報
に基づき、数値制御装置20を介してモード切換器15
を駆動することにより行なわれる。このようにして、従
来よりも少なくとも20%以上切断加工工程の時間が短
縮されたレーザ加工が行なわれる。
This control is controlled by the OFF1! stored within the CAD/CAM system 22. Based on the Jr figure pattern, the numerical control device 20
This is done by driving the servo motor 19 via the servo motor 19. In addition, the laser beam 1 during the drilling process and the cutting process
The switching of the first irradiation mode is performed by the mode switching device 15 via the numerical control device 20 based on the material and plate thickness information of the workpiece 13 stored in the mode switching database 21.
This is done by driving the . In this way, laser processing is performed in which the cutting process time is reduced by at least 20% compared to the conventional method.

前記実施例におけるモード切換データベース21は、C
AD/CAMシステム22のようなレーザ加工装置に付
属するプログラム入力支援装置内に備えることも可能で
ある。モード切換データベースをこのようなプログラム
入力支援装置内に備えた場合は、従来のレーザ加工装置
を使用した場合でも、レーザ切断加工工程の時間短縮と
いう本発明の利益を享受することができる。
The mode switching database 21 in the embodiment is C
It is also possible to provide it in a program input support device attached to a laser processing device such as the AD/CAM system 22. When the mode switching database is provided in such a program input support device, the advantage of the present invention of shortening the time of the laser cutting process can be enjoyed even when a conventional laser processing device is used.

発明の効果 以上の説明から明らかなように、本発明のレーザ加工方
法およびレーザ加工装置によれば、切断加工工程を穴あ
け過程と切[r過程とに分け、穴あけ過程ではレーザ光
の照射モードをシングルモードにして小さなスポット径
で穴あけ加工を行ない、穴あけ過程終了後にはレーザ光
の照射モードをマルチモードに切り換えて、被加工物の
切断に必要な切断幅に応じたスポット径で切断加工を行
なうようにしたものであり、穴あけ過程時の時間を有効
に短縮できることにより、切断加工工程全体の時間を著
しく短縮することができ、もって生産性を飛躍的に向上
させることができるという効果を有する。
Effects of the Invention As is clear from the above explanation, according to the laser processing method and laser processing apparatus of the present invention, the cutting process is divided into a drilling process and a cutting process, and the laser beam irradiation mode is changed in the drilling process. Drilling is performed with a small spot diameter in single mode, and after the drilling process is completed, the laser beam irradiation mode is switched to multimode and cutting is performed with a spot diameter that corresponds to the cutting width required to cut the workpiece. Since the time during the drilling process can be effectively shortened, the time for the entire cutting process can be significantly shortened, thereby dramatically improving productivity.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図(a)、(b)は本発明のレーザ加工方法の一実
施例における穴あけ過程時および切断過程時のレーザ光
のスポット径と強度分布との関係を示す説明図、第2図
はレーザ加工方法における被加工物の板厚と要求される
切断幅との関係を示すグラフ、@3図はレーザ加工方法
におけるレーザ光のスポット径とレーザ光1パルスで穴
のあく深さとの関係を示すグラフ、第4図は被加工物の
板厚と本発明の時間時間短縮率(従来比)との関係を示
すグラフ、第5図は本発明の一実施例における穴あけ過
程と切断過程のタイミングを示すタイミングチャート、
第6図は本発明のレーザ加工装置の一実施例におけるシ
ステム構成を示すill路ブロック図である。 1・・・レーザ光、2・・・モード切換絞り板、3・・
・光ψ#、11・・・レーザ光、12・・・集光レンズ
、13・・・被加工物、14・・・レーザ発振器、15
・・・モード切換器、16・・・ビームベンダー 17
・・・ビームノズル軸、18・・・テーブル、19・・
・サーボモータ、20・・・数値制御装置、21・・・
モード切換データベース、 22・・・CAD/CAMシステム、 1 ・・ス ポット径。
FIGS. 1(a) and 1(b) are explanatory diagrams showing the relationship between the laser beam spot diameter and the intensity distribution during the drilling process and cutting process in an embodiment of the laser processing method of the present invention, and FIG. A graph showing the relationship between the thickness of the workpiece and the required cutting width in the laser processing method, Figure @3 shows the relationship between the spot diameter of the laser beam and the depth of the hole drilled with one pulse of laser light in the laser processing method. FIG. 4 is a graph showing the relationship between the thickness of the workpiece and the time reduction rate of the present invention (compared to conventional technology), and FIG. 5 is the timing of the drilling process and cutting process in one embodiment of the present invention. Timing chart showing
FIG. 6 is an illumination block diagram showing the system configuration of an embodiment of the laser processing apparatus of the present invention. 1...Laser beam, 2...Mode switching aperture plate, 3...
・Light ψ#, 11... Laser light, 12... Condensing lens, 13... Workpiece, 14... Laser oscillator, 15
...Mode switch, 16...Beam bender 17
...Beam nozzle axis, 18...Table, 19...
・Servo motor, 20... Numerical control device, 21...
Mode switching database, 22... CAD/CAM system, 1... Spot diameter.

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)レーザ発振器で発生したレーザ光を被加工物まで
誘導し、前記被加工物の表面にレーザ光を照射すること
により切断する切断加工工程を有し、前記切断加工工程
が穴あけ過程と切断過程からなり、穴あけ過程時にはレ
ーザ光の照射モードをシングルモードにして穴あけ加工
を行ない、穴あけ過程終了後には照射モードをマルチモ
ードに切り換えて切断加工を行なうレーザ加工方法。
(1) It has a cutting process in which a laser beam generated by a laser oscillator is guided to a workpiece and the surface of the workpiece is cut by irradiating the laser beam, and the cutting process is a drilling process and a cutting process. A laser processing method that consists of several steps: during the drilling process, the laser beam irradiation mode is set to single mode to perform drilling, and after the drilling process is completed, the irradiation mode is switched to multimode to perform cutting.
(2)レーザ発振器で発生したレーザ光を被加工物まで
誘導して前記被加工物の表面にレーザ光を照射する手段
と、前記レーザ光の照射モードを切断加工工程における
穴あけ過程時にはシングルモードで穴あけ加工を行ない
、穴あけ過程終了後にはマルチモードで切断加工を行な
うように切り換える手段とを備えたレーザ加工装置。
(2) A means for guiding a laser beam generated by a laser oscillator to a workpiece and irradiating the surface of the workpiece with the laser beam, and changing the irradiation mode of the laser beam to a single mode during the drilling process in the cutting process. A laser processing device is provided with a means for performing hole-drilling and switching to perform cutting in a multi-mode after the hole-drilling process is completed.
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