JPH03206916A - 回転角変位検出器 - Google Patents

回転角変位検出器

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JPH03206916A
JPH03206916A JP110590A JP110590A JPH03206916A JP H03206916 A JPH03206916 A JP H03206916A JP 110590 A JP110590 A JP 110590A JP 110590 A JP110590 A JP 110590A JP H03206916 A JPH03206916 A JP H03206916A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、回転角変位、例えば回転軸の回転角度を検
出する回転角変位検出器に関する。
〔従来の技術] 従来の技術による回転軸の回転角度を検出する回転角変
位検出器には、周知のものとして回転角度や変位の絶対
位置を検出するアブソリュート方式のエンコーダがある
又、特公昭56−17605号公報に記載のような検出
軸に光電式検出器を取付けている形式のものちある。
〔発明が解決しようとする課題] 上記の光電式アブソリュートエンコーダでは、スリット
円板のコードを読み取るために、分解能を向上させるに
従って多数の投光素子及び受光素子を必要とし、信号の
処理回路及び出力信号線が増加するという問題がある。
又、検出軸に光電式検出器を取付けている形式は、光電
式検出器から引出された出力信号線が検出軸の回転によ
り捩じれて破損してしまい、多数回転の場合には不適切
である。
〔課題を解決するための手段〕
この発明による回転角変位検出器は、被検測回転をする
検出軸に取付けられ、所定半径上に位置する光透過孔が
開口された零点回転板、零点回転板に対向して零点回転
板と同一の軸線回りに所定回転速度で回転駆動され、零
点回転板の光透過孔に対向し得るように前記所定半径上
に位置する光透過孔が開口された基準回転板、基準回転
板の光透過孔の回転域と零点回転板の光透過孔の回転域
とを挟んで互に対向して設けられた前記所定半径の発光
面を形成する光照射手段及び前記所定半径の受光面を形
成する受光手段、基準回転板の光透過孔位相検出手段、
並びに受光手段検出位相と基準回転板の光透過孔位相と
の位相差検出演算手段から構威されている。
基準回転板の光透過孔位相検出手段及び受光手段検出位
相と基準回転板の光透過孔位相との位相差検出演算手段
の具体例としては,基準回転板に零点回転板の光透過孔
に対向し得るように前記所定半径上に位置する光透過孔
(第1光透過孔)の他に同位相の別半径上に位置する別
の光透過孔(第2光透過孔)が開口され、更に別の半径
の円周上に所定ピッチで多パルススリットが列設開口さ
れており、基準回転板の第2光透過孔の回転域において
基準回転板を挟んで第1発光体及び第1受光体が設けら
れ、基準回転板の多パルススリットと固定された同ピン
チの部分多スリットとを挟んで互に対向して第2発光体
及び第2受光体が設けられ、前記受光手段の出力信号と
第1受光体の出力信号とから零点回転板の光透過孔位相
と基準回転板の光透過孔位相との位相差を検出する手段
と前記位相差に相当する第2受光体の出力信号を計数す
る計数器が設けられている。
更に、別型の回転角変位検出器は、被検測回転をする検
出軸に取付けられ、所定半径上に位置する光透過孔及び
別の半径の円周上に所定ピッチで多パルススリットが列
設開口された零点回転板、零点回転板に対向して零点回
転板と同一の軸線回りに所定回転速度で回転駆動され、
零点回転板の光透過孔に対向し得るように前記所定半径
上に位置する第1光透過孔及び同位相の別半径上に位置
する第2光透過孔が開口され、零点回転板の多パルスス
リットと同一半径の円周上に同一ピッチで第1多パルス
スリットが列設開口され、更に別の半径の円周上に前記
の第1多パルススリットと同一ピッチで第2多パルスス
リットが列設開口された基準回転板、基準回転板の第1
光透過孔の回転域と零点回転板の光透過孔の回転域とを
挟んで互に対向して設けられた前記所定半径の発光面を
形成する光照射手段及び前記所定半径の受光面を形成す
る受光手段、基準回転板の第2光透過孔の回転域におい
て基準回転板を挟んで互に対向して設けられた第1発光
体及び第1受光体、基準回転板の第2多パルススリット
と同ピッチの固定された部分多スリットとを挟んで互に
対向して設けられた第2発光体及び第2受光体、基準回
転板の第1多パルススリットと零点回転板の多パルスス
リットとを挟んで互に対向して設けられた第3発光体及
び第3受光体、前記受光手段の出カ信号と第1受光体の
出力信号との位相検出差手段、第2受光体の出力信号と
第3受光体の出力信号との位相差検出手段、第2受光体
の出力信号周波数倍増器、並びに受光手段の出力信号と
第1受光体の出力信号との位相差に相当する第2受光体
の出力信号を計数し、且つ第2受光体出カ信号と第3受
光体出力信号との位相差に相当する第2受光素子の出カ
信号周波数倍増器の出カ信号を計数する計数器がら構成
されている。
そうして、上記の変型の回転角変位検出器に第3受光体
の出力信号の周波数を検出し、基準値と差に応じた出力
値信号を出力する比較検出手段から成る角速度検出手段
を具備させて回転角変位検出器を角速度検出器として機
能させることもできる。
回転角変位検出器における光照射手段及び受光手段の具
体例としては、光照射手段が基準回転板又は零点回転板
の光透過孔の回転域に対向するように前記所定半径の円
筒体端面状先端面を形成し、発光体に対向した基部を形
成するガラスファイバ束より成る発光側光案内体であり
、受光手段が基準回転板又は零点回転板の光透過孔の回
転域に対向するように前記所定半径の円筒体端面状先端
面を形成し、受光素子に対向した基部を形成するガラス
ファイバ束上り成る受光側光案内体である。
〔作  用〕
基準回転円板は、所定の一定回転速度で回転駆動される
。被検出回転体が結合された零点円板は被検出回転体と
一体結に回転する。
光照射手段からの光線は、回転中の基準回転円板の第1
光透過孔又は零点回転板の光透過孔の回転域に常時に照
射される。回転する零点円板の光透過孔の位置が基準回
転円板の第1光透過孔に一致したときは、いつでも受光
手段から出力信号・検出信号が出力される。又、第1発
光体からの光線は、回転通過する基準回転円板の第2光
透過孔を通して第1受光体に断続的に受光され、基準回
転円板の回転周期と同一周期の出力信号、即ち基準零点
信号を出力する。
固定した部分多パルススリットと回転する多パルススリ
ットを透過した第2発光体からの光線は、部分多パルス
スリットと回転する多パルススリットとで生じるモアレ
縞により第2受光体に対し透遮を繰返し、第2受光素子
は,基準回転板の回転周期に同期した一定周波数の出力
信号・パルス信号を出力する。
基準零点信号と検出信号とから零点回転板の光透過孔位
相と基準回転板の光透過孔位相との位相差が演算検出さ
れ、計数器においてその位相差に相当する第2受光体か
らのパルス信号が計数され、その値により零点回転板の
光透過孔位相と基準回転板の光透過孔位相との位相差の
値が求められる。
そうして、既知の基準回転板の回転角と上記の位相差の
値とから零点回転板の回転角、即ち被検測回転をする検
出軸の回転角が演算検出される。
更に、別型の回転角変位検出器においては、第2受光体
が基準回転板の回転周期に同期した一定周波数の出力信
号・パルス信号を出力する上記の作用に加えて、第35
I!光体からの光線は、回転する基準回転円板の第3多
パルススリットと変位後の停止した零点円板の多パルス
スリットとで生じるモアレ縞により第3受光体に対し透
遮を繰返し、第3受光体は、基準回転板の回転周期に同
期した一定周波数のパルス信号と同一周波数のパルス信
号を出力する。
そうして、零点円板の停止位置における多パルススリッ
トのピッチ内の位相差に応じて両方のパルス信号の間の
位相差が生じる。
他方、第2受光体からのパルス信号は出力信号周波数倍
増器で周波数が任意倍数倍増される。前記のパルス信号
の位相差に応じた倍増周波数のパルス数に基づいて多パ
ルススリットのピッチ内の端数の位相差が演算検出され
、先の検出軸の回転角に加算されて、一層正確な検出軸
の回転角が演算検出される。
検出軸の回転角速度の測定の場合は、基準回転板が一定
速度で回転しているのに対し、検出軸、即ち零点回転板
が停止していると、第2受光体のパルス信号と同一周波
数のパルス信号が第3受光体から出力され、検出軸が基
準回転板と(軸線方向同側からみて)同一方向に回転し
ていると、比較的低周波数のパルス信号SII+が第3
受光体から出力され、これに反して、検出軸が基準回転
板と(軸線方向同側からみて)反対方向に回転している
と、比較的高周波数のパルス信号が第3受光体から出力
される。従って、このパルス信号を基準値と比較してそ
の差に応じた出力値信号に基づいて検出軸の回転方向及
び回転角速度が得られるのである。
〔実 施 例〕
この発明の実施例を図面に従って説明する。
第1図に示された第1実施例において、基準回転軸1の
先端には、基準回転円板2が、後端にはモータ3が夫々
取付けられている。基準回転軸1と同袖線関係に回転自
在に設けられた検出軸4に先端には、基準回転円板2に
対向した基準回転円板2より小径の零点円板5が取付け
られている。
零点円板5の所定円周上に半径方向の単一のスリット6
が開孔され、基準回転円板2には、零点円板5のスリッ
ト6と対向し得るように同一半径上にスリット6と同様
の単一の第1スリット7が開口されている。更に、零点
円板5に重ならない基準回転円板2の外周側区域におい
ては、第1スリット7と同一半径線上に単一の第2スリ
ット8が開口され、第2スリット8より外側には、円周
方向の微少ピッチをもって全周に亘る多パルススリット
9が開口されている。
基準回転円板2の第1スリット7の回転域に対向する円
筒体端面状の先端面を形成するガラスファイバ束より成
るリング状光案内体10が設けられ、又、零点円板5の
スリソト6に対しても、リング状光案内体10と同様の
リング状光案内体1lが設けられている。両リング状光
案内体10, IIは、第1図に示すようにガラスファ
イバ東が基準回転軸・検出軸貫通部を回避して管状基端
部10a, Ilaを形成するように束ねられている。
リング状光案内体lOの管状基端部10aに対向して発
光ダイオードl2が、リング状光案内体Itの管状基端
部11aに対向して受光素子13が夫々設けられている
零点円板5と反対側において、基準回転円板2の第2ス
リット8に対向し得る位置に第2スリット8と同形同寸
法のスリットl4が開口された固定スリット板15が設
けられ、同じく基準回転円板2の多パルススリット9に
対向し得る位置に多パルススリット9と同形同寸法の数
パルス分のパルススリット16が開口された固定スリッ
ト板17が設けられている。基準回転円板2の一定速度
の回転時には、多パルススリット9とパルススリット1
6とによりモアレ縞が発生するようになっている。
基準回転円板2と反対側において2固定スリソト板l5
に対向して発光ダイオードl8が、固定スリット板I6
に対向して発光ダイオード19が夫々設けられている。
基準回転円板2を間にして、発光ダイオードl8の光軸
線上に受光素子20が、発光ダイオードl9の光軸線上
に受光素子2lが夫々設けられている。
第4図に示すように、信号処理装置において、受光素子
13,20.21は、その検出信号を入カするように夫
々の波形整形回路30,31.32に接続され,波形整
形回路30. 31は、S−Rフリップフロップ回路3
3に接続され、更に波形整形回路32はゲート回路34
の一方の端子に、S−Rフリップフロップ回路33はゲ
ート回路34の他方の端子に夫々接続されている.そう
して、ゲート回路34の出力端子は、角度カウンタ35
に接続され、S−Rフリップフロップ回路33は、イン
バータ36を介して角度カウンタ35に接続されている
。角度カウンタ35には、表示器37が具備されている
第2図及び第3図に示された第2実施例は、基本的には
第1実施例と同じであり、同一部材は第1実施例と同一
符号を付記する。
第2実施例においては、零点円板5には、所定円周上に
半径方向のスリット6が開孔され、更にスリット6より
外側(大径側)に円周方向に基準回転円板2の多パルス
スリット9と同数(同一角ピッチ)の全周に亘る多パル
ススリット22がが開口されている。
基準回転円板2には、零点円板5のスリット6と対向し
得るように同一半径上にスリット6と同様の第1スリッ
ト7が開口されていると共に、多パルススリット22と
対向し得るように同一半径上に多パルススリット22と
同数同ピッチの多パルススリット23が開口されている
更に、零点円板5に重ならない基準回転円板2の外周側
区域におけるスリットは、第1実施例と同様である。
基準回転円板2の多パルススリット23及び零点円板5
の多パルススリット22を間にして、基準回転円板2側
の発光ダイオード24と零点円板5側の受光素子25と
が対向して設けられている。
他の発光ダイオード12, 18. 19及び受光素子
13,20.21については、第1実施例と同様である
第4図に示すように、信号処理装置において第1実施例
の回路に加えて、受光素子2lの波形整形回路32は、
S−Rフリップフロップ回路38及びマルチプライヤ3
9に接続され、受光素子25は,その検出信号を入力す
るように波形整形回路40に接続され、波形整形回路4
0は、受光素子21の波形整形回路32と共にS−Rク
リップフロップ回路38に接続されると共に、高速F−
V変換回路4lに接続されている.更にマルチプライヤ
39はゲート回路42の一方の端子に、S−Rフリップ
フロップ回路38はゲート回路42の他方の端子に夫々
接続されている。
そうして、ゲート回路42の出力端子は、端数カウンタ
43に接続され、又、S−Rフリップフロップ回路38
は、インバータ44を介して端数カウンタ43に接続さ
れている。端数カウンタ43には、表示器45が具備さ
れている。
上記の両実施例において、発光ダイオート12及び受光
素子l3の代りに、環状発光ダイオート及び環状受光素
子を用いれば、リング状光案内体10.11を省略する
ことができる。即ち、円筒体端面リング状光案内体10
. 11の円筒体端面に相当する形状・位置環状発光ダ
イオード及び環状受光素子材を用いることは、その作用
と共に容易に理解できよう。
又、互に対向する発光ダイ才一ト+2. 18, 19
. 24と受光素子13,20.21.25とは、基準
回転円板2と零点円板5とに関し、図示とは反対側に設
けてもよいことも容易に理解できよう。
上記の図示の回転角変位検出器の操作・作用について説
明する。
第1実施例において、モータ3により基準回転軸1、即
ち基準回転円板2は、所定の一定回転速度で回転駆動さ
れる。検出軸4は、被検出回転体Mが結合されて回転し
、零点円板5は被検出回転体Mと一体的に回転する。
発光ダイオード12からの光線は、リング状光案内体1
0を介して、回転中の基準回転円板2の第1スリット7
から常時、零点円板5に向って照射される。又、発光ダ
イオードl8からの光線は、固定スリット板15のスリ
ット14を介して、発光ダイオード19からの光線は、
固定スリット板l7のパルススリットl6を介して、夫
々回転中の基準回転円板2に向って照射される。
そうして、回転する基準回転円板2の第2スリット7の
位置が固定スリソト板l5のスリット14に一致する毎
に、即ち基準回転円板2の1回転毎に1回、受光素子2
0が光線を受光し、モータ3の回転周期と同一周期の出
力信号、即ち基準零点信号Zsを出力する。又、回転す
る零点円板5のスリット6の位置が基準回転円板2の第
1スリット7に一致したときは、いつでもリング状光案
内体11を介して受光素子13から出力信号・検出信号
Zmが出力される。
パルススリット16を透過した発光ダイオードl9から
の光線は、固定しているパルススリットl6と回転する
多パルススリット9とで生じるモアレ縞により受光素子
21に対し透遮を繰返し、受光素子2lは、モータ3の
回転周期に同期した一定周波数の出力信号・パルス信号
Scを出力する。
基準零点信号Zs、検出信号Zm及びパルス信号Scは
、夫々の波形整形回路30, 31. 32に入力され
て、波形整形がされた上、基準零点信号Zsと検出信号
Zmと(第5図参照)は、S−Rフリップフロップ回路
33に入力される。S−Rフリップフロップ回路33か
らは、基準零点信号Zsと検出信号Zmとの時間差に応
じた出力信号・時間差信号Ql(第5図参照)が出力さ
れ、ゲート回路34の一方の入力端子に入力される。他
方、波形整形回路32からのパルス信号Sc(第5図参
照)は、ゲート回路34の別の入力端子に入力される。
その結果、ゲート回路34からは、時間差信号Qlの高
レベル期間中の検出パルス信号Sc(第5図参照)がカ
ウンタ35に対し出力され、カウンタ35において、そ
の検出パルス信号Scが計数され、計数値が表示器37
に表示される。その計数値により検出軸4の回転角変位
を読み取り得る。
そうして、S−Rフリップフロンプ回路33からの出力
信号は、インバータ36を介して反転され、反転信号が
時間差をもつてに入力され、カウンタ35おける計数は
、時間差信号Qlが低レベルになる度にリセットされる
第2実施例においては、受光素子21がモータ3の回転
周期に同期した一定周波数の出力信号・パルス信号Sc
を出力する第1実施例の場合に加えて、発光ダイオード
24からの光線は、回転する基準回転円板2の多パルス
スリット23と変位後の停止した零点円板5の多パルス
スリット22とで生じるモアレ縞により受光素子25に
対し透遮を繰返し、受光素子25は、モータ3の回転周
期に同期した一定周波数、即ちパルス信号Scと同一周
波数の出力信号・パルス信号Sn+を出力する。
そうして、零点円板5の停止位置によりパルス信号Sc
とパルス信号Smとの間の位相差φが変化する。
この位相差φがあるパルス信号Scとパルス信号Smと
がS−Rフリップフロップ回路38に入力される結果、
S−Rフリソププロップ回路38から位相差φに応じた
出力信号・位相差信号Q2(第6図参照)が出力され、
ゲート回路42の一方の入力端子に入力される。他方、
波形整形回路32からのパルス信号Scは、マルチプラ
イヤ39でその周波数が任意倍数,例えば10倍に倍増
された上(第6図参照)、ゲート回路42の別の入力端
子に入力される。
その結果、ゲート回路42からは、上記の位相差に応じ
たスリットのピッチの1/10単位の位相差計数信号が
カウンタ43に対し出力され、カウンタ43において、
その位相差計数信号(第6図参照)が計数され、計数値
が表示される。その計数値によりスリットの1ピッチ以
下の検出軸4の回転角変位分を読み取り得る。
そうして、S−Rフリップフロップ回路38からの出力
信号は、インバータ44を介して反転され、反転信号が
時間差をもってに入力され、カウンタ43おける計数は
、時間差信号Q2が低レベルになる度にリセットされる
検出軸4の角速度の測定について述べる。
モータ3により基準回転軸1、即ち基準回転円板2が一
定速度で回転しているのに対し、検出軸4が停止してい
ると,パルス信号Scと同一周波数のパルス信号Smが
受光素子25から出力される。
検出軸4が基準回転軸1と(軸線方向同側からみて)同
一方向に回転していると、比較的低周波数のパルス信号
Smが受光素子25から出力される。
これに反して、検出軸4が基準回転軸1と(軸線方向同
側からみて)反対方向に回転していると、比較的高周波
数のパルス信号Smが受光素子25から出力される。
このパルス信号Smが波形整形回路40を介して高速F
−V変換回路4lに入力され、F−V変換回路4lから
検出軸4の回転方向と角速度とに応じた電圧出力が得ら
れる。その出力電圧を検測することにより検出軸4の回
転方向及び回転角速度が得られるのである。
〔発明の効果) この発明の角変位検出器は、光電式アブソリュ一トエン
フーダとして投光素子及び受光素子が少なくてもよく、
従って、信号処理回路及び出力信号線も少なく、エンコ
ーダの分解能を上げてもそれらの数が増加することがな
い。
更に、検出軸には、検出ヘッド等が取付けられていない
ので、検出軸の多数回転ち出力信号線等による阻害され
ない。
そうして、停止時を含む検出軸の回転角速度を容易に検
出し得る。
【図面の簡単な説明】
第1図は、この発明の第1実施例における角変位検出器
の斜視図、 第2図は、この発明の第2実施例における角変位検出器
の概略正面図、 の断面図、 第3図は、この発明の第2実施例における角変位検出器
の基準回転円板及び零点円板の正面図、第4図は、この
発明の実施例における信号処理装置のブロック図、 第5図は、この発明の第1実施例における角変位検出器
の信号処理説明図、 第6図は、この発明の第2実施例における角変位検出器
の信号処理説明図、 第7図は、この発明の第2実施例における角変位検出器
の回転速度検出信号処理説明図である。 1二基準回転軸 2:基準回転円板 3:モータ4:検
出軸   5:零点円板   6:スリット7:第1ス
リット   8:第2スリット9,22.23+多パル
ススリット +0,11:リング状光案内体 +2. 18, 19, 24:発光ダイオード13,
20,21,25:受光素子 14:スリット15. 
17:固定スリット板 16:パルススリット30,3
1,32,40:波形整形回路33.38:S−Rフリ
ップフロップ回路34,42:ゲート回路   35:
角度カウンタ36,44:インバータ   37,40
:表示器39:マルチフライヤ  4l:高速F−V変
換回路43:端数カウンタ

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)被検測回転をする検出軸に取付けられ、所定半径
    上に位置する光透過孔が開口された零点回転板、零点回
    転板に対向して零点回転板と同一の軸線回りに所定回転
    速度で回転駆動され、零点回転板の光透過孔に対向し得
    るように前記所定半径上に位置する光透過孔が開口され
    た基準回転板、基準回転板の光透過孔の回転域と零点回
    転板の光透過孔の回転域とを挟んで互に対向して設けら
    れた前記所定半径の発光面を形成する光照射手段及び前
    記所定半径の受光面を形成する受光手段、基準回転板の
    光透過孔位相検出手段、並びに受光手段検出位相と基準
    回転板の光透過孔位相との位相差検出演算手段から構成
    された回転角変位検出器
  2. (2)被検測回転をする検出軸に取付けられ、所定半径
    上に位置する光透過孔が開口された零点回転板、零点回
    転板に対向して零点回転板と同一の軸線回りに所定回転
    速度で回転駆動され、零点回転板の光透過孔に対向し得
    るように前記所定半径上に位置する第1光透過孔及び同
    位相の別半径上に位置する第2光透過孔が開口され、更
    に別の半径の円周上に所定ピッチで多パルススリットが
    列設開口された基準回転板、基準回転板の第1光透過孔
    の回転域と零点回転板の光透過孔の回転域とを挟んで互
    に対向して設けられた前記所定半径の発光面を形成する
    光照射手段及び前記所定半径の受光面を形成する受光手
    段、基準回転板の第2光透過孔の回転域において基準回
    転板を挟んで互に対向して設けられた第1発光体及び第
    1受光体、基準回転板の多パルススリット及び同ピッチ
    の固定された部分多スリットを挟んで互に対向して設け
    られた第2発光体及び第2受光体、前記受光手段の出力
    信号と第1受光体の出力信号とから受光手段検出位相と
    基準回転板の光透過孔位相との位相差を検出する手段、
    並びに前記位相差に相当する第2受光体の出力信号を計
    数する計数器から構成された回転角変位検出器
  3. (3)被検測回転をする検出軸に取付けられ、所定半径
    上に位置する光透過孔及び別の半径の円周上に所定ピッ
    チで多パルススリットが列設開口された零点回転板、零
    点回転板に対向して零点回転板と同一の軸線回りに所定
    回転速度で回転駆動され、零点回転板の光透過孔に対向
    し得るように前記所定半径上に位置する第1光透過孔及
    び同位相の別半径上に位置する第2光透過孔が開口され
    、零点回転板の多パルススリットと同一半径の円周上に
    同一ピッチで第1多パルススリットが列設開口され、更
    に別の半径の円周上に前記の第1多パルススリットと同
    一ピッチで第2多パルススリットが列設開口された基準
    回転板、基準回転板の第1光透過孔の回転域と零点回転
    板の光透過孔の回転域とを挟んで互に対向して設けられ
    た前記所定半径の発光面を形成する光照射手段及び前記
    所定半径の受光面を形成する受光手段、基準回転板の第
    2光透過孔の回転域において基準回転板を挟んで互に対
    向して設けられた第1発光体及び第1受光体、基準回転
    板の第2多パルススリットと同ピッチの固定された部分
    多スリットとを挟んで互に対向して設けられた第2発光
    体及び第2受光体、基準回転板の第1多パルススリット
    と零点回転板の多パルススリットとを挟んで互に対向し
    て設けられた第3発光体及び第3受光体、前記受光手段
    の出力信号と第1受光体の出力信号との位相検出差手段
    、第2受光体の出力信号と第3受光体の出力信号との位
    相差検出手段、第2受光体の出力信号周波数倍増器、並
    びに受光手段の出力信号と第1受光体の出力信号との位
    相差に相当する第2受光体の出力信号を計数し、且つ第
    2受光体出力信号と第3受光体出力信号との位相差に相
    当する第2受光素子の出力信号周波数倍増器の出力信号
    を計数する計数器から構成された回転角変位検出器
  4. (4)第3受光体の出力信号の周波数を検出し、基準値
    と差に応じた出力値信号を出力する比較検出手段から成
    る角速度検出手段を具備えた請求項(3)に記載の回転
    角変位検出器
  5. (5)光照射手段及び受光手段の少なくとも一方に関し
    て、光照射手段が基準回転板又は零点回転板の光透過孔
    の回転域に対向するように前記所定半径の円筒体端面状
    先端面を形成し、発光体に対向した基部を形成するガラ
    スファイバ束より成る発光側光案内体であり、受光手段
    が零点回転板又は基準回転板の光透過孔の回転域に対向
    するように前記所定半径の円筒体端面状先端面を形成し
    、受光素子に対向した基部を形成するガラスファイバ束
    より成る受光側光案内体である請求項(1)乃至(4)
    に記載の回転角変位検出器
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