JPH0318729A - 受光装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ ［発明が解決しようとする課題コ 第一の受光部の外側に不感帯を介して配設される第二の
受光部は、第一の受光部と同じ面積を有することより、
極めて幅の狭い帯状であった。従って、第二の受光部を
所定通りの形状に形威するには、製造が煩雑であるとい
う問題があった。殊に、第二の受光部の内周と外周は、
互いに同心状態である必要がある。第２図に示すように
第二の受光部の内周と外周が互いに同心状態でない場合
には、受光装置の検出信号は第３図に示すように適切な
検出信号を得ることはできない。従って、受光部の形戊
は、設計の段階から極めて高い精度が要求される。

この発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであり、
設計段階を含む製造において、製造が簡便である受光装
置を提供するものである。

［課題を解決するための手段コ コノ発明は、第一の受光部に対して第二の受光部をｎ倍
の面積を有して形威し、且つ第二の受光部からの信号に
対して第一の受光部からの信号をｎ倍に増幅する構成の
受光装置である。

その詳細な構威は、第一の受光部と、環状であって、そ
の内周及び外周が第一の受光部の輪郭に沿って取囲んで
配設される帯状で環状の第二の受光部と、それら二つの
受光部が光を受けてそれぞれ信号を出力する際にそれら
の信号を増幅する増幅手段が備えられ、前記第一の受光
部の受光面積と第二の受光部の受光面積との比が１：ｎ
であって、且つ第一の受光部からの信号と第二の受光部
からの信号が前記増幅手段によって増幅される割合がｎ
：１であることを特徴とする受光装置そのものである。

［作用］ 第二の受光部は、任意の幅の帯状にすることができる。

又、第一の受光部からの信号を増幅して得られた値と、
第二の受光部からの信号を増幅して得られる値は、同じ
レベルである。

［実施例］ この発明を、第１図に示す実施例に基づき詳述する。し
かし、この実施例によってこの発明が限定されるもので
はない。

受光装置１は第１図に示すように、円形の受光部２と、
受光部２を取囲み、且つ受光部２と中心を共通にする真
円ドーナツ形状の受光部３と、これら二つの受光部２．
３の間に介在する不感帯４と、受光部２．３からの信号
を増幅する増幅手段５を備えている。増幅手段５は、受
光部２からの信号を増幅する増幅回路６と、受光部３か
らの信号を増幅する増幅回路７を備えて構威している。

受光部２の直径ｄ，は、０．８５ｍｍであり、受光部３
の内周の直径は２．４９ｍｍで且つ外周の直径は３，Ｏ
ｍｍである。つまり、受光部２の受光面積と受光部３の
受光面積との比は、１：３，８８である。又、受光部３
の帯状の幅ｄ２は、０　．　２５５ｍｍである。又、増
幅手段５において、増幅回路７の増幅する値に対して増
幅回路６の増幅する値は、３．８８倍になっている。

受光装置１は、上述したように構威されている。

よって、受光部２及び不感帯４の形状と大きさをそのま
まに形戊し、且つ受光部３の受光面積か従来通りに受光
部２と同じ受光面積であるためには、受光部３は内周の
直径が２．４９ｍｍであって且つ外周の直径が２．６３
ｍｍの帯状のドーナツ形でなければならない。この場合
、その帯状のドーナツ形の幅は、０．０７ｍｍとなる。

しかるに、受光部３の幅ｄ２は０．２５５ｍｍであって
、従来例における値に相当する０．０７ｍｍに対して、
０．１８５ｍｍだけ幅広であり、又３．６倍以上の幅を
有する。

従って、受光部３はその幅が広い分製造を簡便に済ます
ことができる。又、内周と外周とを互いに同心状態に位
置決めすることにおいても、幅ｄ２が広ければ広いほど
同心状態からのズレによる差動信号の偏りを吸収するこ
とができ、受光装置工は従来例に比べて受光部３の外周
と内周の位置合わせ精度の許容誤差を大きくとることが
できる。

更に、受光部２．３からはそれぞれの受光面積に比例し
て出力比が１＋３．８８の割合の信号を出力する。しか
し、増幅手段５において、受光部２からの信号は増幅回
路６によって受光部３からの信号は増幅回路７によって
、それぞれの増幅率が３．８８：１の割合で増幅される
。従って、受光部２．３からの信号を演算する演算部（
図示省略）には、受光部２．３側から同じレベルの信号
が送られて来ることになる。演算部は従来通りの演算を
おこなうだけでよく、何ら問題は生じない。

尚、受光装置１がどれだけ細かく被測定物の像を測定で
きるかは受光部３の被測定物の像との相対移動方向の距
離、つまり外周の直径によって決まるものであるが、受
光部３の受光面積の増加は前記外周の直径の二乗に比例
する。このことは、受光部３の外周の直径は受光部３の
受光面積に二分の一乗に比例することを意味し、受光部
３の受光面積の増加に対して受光部３の外周の直径が比
較的穏やかな増加であることがわかる。従って、受光装
置１において、受光部３の外周の直径の増加が測定の精
度に厳しく作用して問題となることは、全くと言ってよ
いほどない。

受光装置１では、受光部２が円形であって、受光部３が
真円状のドーナツ形で在るが、この他に例えば多角形と
、その多角形状で帯状の環状形との組合せ、楕円と楕円
状の環状形との組合せ等であってもよい。

受光装置１では受光部２と受光部３との受光面積の比は
１：３．８８であるが、その比は所望により適宜選択す
るのがよい。

［発明の効果コ この発明は一方側の受光部の受光面積と他方側の受光部
の受光面積との比を１：ｎとし、且つ一方側の受光部か
らの信号と他方側の受光部からの信号をそれぞれｎ：１
の割合で増幅するように構或したことにより、受光部の
製造がより簡便である受光装置である。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例を示す構成説明図、第２図
は従来例の受光部と不感帯との配置を示す説明図、第３
図は第２図で示した受光装置の出力信号の特性を示す出
力曲線の図である。 １・・・受光装置、 ２，３・・・受光部、　　　　４・・・不感帯、５・・
・増幅手段、　　　　　６．７・・・増幅回路。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、第一の受光部と、環状であって、その内周及び外周
   が第一の受光部の輪郭に沿って取囲んで配設される帯状
   で環状の第二の受光部と、それら二つの受光部が光を受
   けてそれぞれ信号を出力する際にそれらの信号を増幅す
   る増幅手段が備えられ、 前記第一の受光部の受光面積と第二の受光部の受光面積
   との比が１：ｎであって、且つ第一の受光部からの信号
   と第二の受光部からの信号が前記増幅手段によって増幅
   される割合がｎ：１であることを特徴とする受光装置。