JPH03177352A - Production of ceramics green sheet - Google Patents

Production of ceramics green sheet

Info

Publication number
JPH03177352A
JPH03177352A JP1314604A JP31460489A JPH03177352A JP H03177352 A JPH03177352 A JP H03177352A JP 1314604 A JP1314604 A JP 1314604A JP 31460489 A JP31460489 A JP 31460489A JP H03177352 A JPH03177352 A JP H03177352A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
metallic
green sheet
alumina
metal
sol
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP1314604A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hiroyuki Tamagawa
玉川 浩之
Akishi Ueno
晃史 上野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
AISERO KAGAKU KK
Aicello Chemical Co Ltd
Original Assignee
AISERO KAGAKU KK
Aicello Chemical Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by AISERO KAGAKU KK, Aicello Chemical Co Ltd filed Critical AISERO KAGAKU KK
Priority to JP1314604A priority Critical patent/JPH03177352A/en
Publication of JPH03177352A publication Critical patent/JPH03177352A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
  • Producing Shaped Articles From Materials (AREA)

Abstract

PURPOSE:To obtain the subject ceramics green sheet excellent in surface smoothness and nonporousness and capable of burning at low temperatures by blending powdery inorganic substances with a sol or a gel prepared from metallic compounds for formation of a slurry and molding the resultant slurry. CONSTITUTION:One or more powdery inorganic substances are blended with a sol or a gel prepared using one or more metallic compounds selected from metallic alkoxides, metallic carboxylates, metallic nitrates, metallic oxychlorides and metallic chlorides and a binder is added thereto, as necessary, to form a slurry followed by molding of the resultant slurry. As the above-mentioned powdery inorganic substances, e.g. alumina, silica, mullite, titanium, titania, zinc oxide, iron oxide, zirconia, etc., can be used. As the binder, both the organic and inorganic substances can be used.

Description

【発明の詳細な説明】 皮粟上曵創且公立 本発明は、セラもツタスゲリーンシートの製造法に関し
、更に詳しくは表面平滑性、無孔性に優れ、かつ低温焼
成が可能なセラミックスグリーンシートの製造法に関す
る。
[Detailed Description of the Invention] The present invention relates to a method for producing a ceramic green sheet, and more specifically to a ceramic green sheet that has excellent surface smoothness and non-porosity and can be fired at low temperatures. Concerning sheet manufacturing method.

本発明の方法で得られるセラミックスグリーンシートは
、電子部品用基板、センサー基板、光学材料、機能性セ
ラミックス材料等に応用できる。
The ceramic green sheet obtained by the method of the present invention can be applied to electronic component substrates, sensor substrates, optical materials, functional ceramic materials, etc.

挟歪迫宜量 現在市販“されているセラミックスグリーンシートの大
部分は、原料となる無機粉末を製造した後、粉砕、混合
、仮焼を繰り返し行い、分級等の操作を行って微粉末を
得、これに有機物質のバインダー及び焼結助剤、解膠剤
、可塑剤等の添加剤を加えスラリーとし、これをシート
状に成形している。
Most of the ceramic green sheets currently on the market are made by manufacturing inorganic powder as a raw material, then repeatedly crushing, mixing, and calcining, and performing operations such as classification to obtain fine powder. To this, an organic binder and additives such as a sintering aid, a deflocculant, and a plasticizer are added to form a slurry, which is then shaped into a sheet.

こうして製造されたグリーンシートは、粒子を槽底する
物質のタンマン温度(絶対温度で表される融点の3分の
2の温度)以上で焼成することによって、粒子同士が融
着し焼結体であるセラミックスシートが得られる。ただ
し、タンマン温度ぎりぎりで焼結できるのは、粒子が極
めて微小な場合に限られ、通常の粉砕によって得られる
粒子径が数ミクロンあるいはサブミクロンオーダーの粒
子では、さらに高温で焼成しないと焼結体を得ることは
できない−0例えば、融点が2323にのアルミすの場
合、タンマン温度は1553にであるが、−M的には2
000〜2100にで焼成されている。このような高温
で焼成するためには、極めて耐熱性の高い焼成炉が必要
であるばかりではなく、焼成に必要なエネルギーコスト
も非常に大きいという問題点があった。
The green sheet produced in this way is made into a sintered body by firing the particles at a temperature higher than the Tamman temperature (two-thirds of the melting point expressed in absolute temperature) of the substance at the bottom of the tank, so that the particles fuse together and become a sintered body. A certain ceramic sheet is obtained. However, sintering at the Tamman temperature is only possible when the particles are extremely small, and if the particle size obtained by normal grinding is several microns or submicron order, the sintered body must be sintered at an even higher temperature. -0 For example, in the case of aluminum whose melting point is 2323, the Tamman temperature is 1553, but in terms of -M it is 2.
It is fired at a temperature of 000 to 2100. Firing at such high temperatures not only requires a firing furnace with extremely high heat resistance, but also poses the problem that the energy cost required for firing is extremely high.

しかも、このような高温で焼成しても、なお粒子同士の
融着は完全ではなく、焼結体には多くの細孔や不均一な
部分を残し、そのため強度笠の物性もその物質固有の物
性より著しく低いものしか得られない。また、表面の平
滑性も悪く、例えば、こうしたセラミックスシートに導
体や抵抗体の回路をスクリーン印刷等により形成し、電
子部品基板等を作成しようとした場合、回路の幅や厚み
が不均一となり、電気抵抗の一定なものが得られないと
いう問題点があった。
Moreover, even when fired at such high temperatures, the particles are still not completely fused together, leaving many pores and uneven areas in the sintered body, and the physical properties of the strength hat are also dependent on the material. Only properties that are significantly lower than physical properties can be obtained. In addition, the surface smoothness is poor, and if, for example, a conductor or resistor circuit is formed on such a ceramic sheet by screen printing to create an electronic component board, the width and thickness of the circuit will be uneven. There was a problem in that it was not possible to obtain a constant electric resistance.

このような問題を解決するため、主成分の無機物質の粉
末に、より融点の低い物質やガラス質の粉末を混合した
、低温焼成セラミックスシートが市販されている。これ
は1273に前後で焼成可能であり、焼成コストは大き
く低減することができるが、粉末同士の混合であること
には違いなく、そのため従来法に比べ無孔性や表面平滑
性が向上することはない。また、焼成温度を下げるため
に添加される物質は限定されるため、はとんどの場合、
本来主成分の持っている性能が低下することは避けられ
ない。
In order to solve these problems, low-temperature fired ceramic sheets are commercially available, which are made by mixing a substance with a lower melting point or glassy powder with an inorganic substance powder as a main component. This method can be fired around 1273, and the firing cost can be greatly reduced, but it is definitely a mixture of powders, and as a result, non-porosity and surface smoothness are improved compared to conventional methods. There isn't. In addition, since the substances added to lower the firing temperature are limited, in most cases,
It is inevitable that the performance originally possessed by the main component will deteriorate.

が” しよ゛と る 本発明は、従来のセラミックスグリーンシートの上記問
題を解決し、表面平滑性、無孔性に優れ、しかも、低温
焼成が可能なセラミックスグリーンシートを提供するこ
とを課題とするものである。
An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems of conventional ceramic green sheets, and to provide a ceramic green sheet that has excellent surface smoothness and non-porosity, and can be fired at low temperatures. It is something to do.

るための 本発明者らは、上記課題を達成すべく鋭意検討した結果
、無機物質の一種または二種以上の粉末と金属アルコキ
シド、金属カルボキシレート、金属硝酸塩、金属オキシ
塩化物及び金属塩化物からなる群から選択される金属化
合物の一種または二種以上から調製したゾルまたはゲル
を混合し、必要に応じてバインダーを加えてスラリーと
し、これより底形することにより、目的とするセラミッ
クスグリーンシートが得られることを見いだし、本発明
を完成するに至った。
As a result of intensive studies to achieve the above-mentioned problems, the present inventors have found that a powder of one or more inorganic substances and metal alkoxides, metal carboxylates, metal nitrates, metal oxychlorides, and metal chlorides can be used. By mixing a sol or gel prepared from one or more metal compounds selected from the group consisting of two or more metal compounds, adding a binder as necessary to form a slurry, and shaping the slurry, the desired ceramic green sheet can be obtained. The present inventors have discovered that the present invention can be obtained, and have completed the present invention.

本発明に用いる無機物質の粉末は特に制限はないが、−
II的には、一種または二種以上の金属酸化物が使用さ
れる。また、従来法では焼結温度や焼結体の無孔性及び
表面平滑性等に重要な影響を及ぼす粒子径については、
本発明では特に制限はなく、サブ旦クロンから数十ミク
ロン程度のものまで自由に選択し使用できる。無機物質
の粉末については、現在、電子部品用基板、センサー基
板等によく使用されているアルミナをはしめシリカ、ム
ライト、チタン、チタニア、酸化亜鉛、酸化鉄、ジルコ
ニア等が使用できる。
The inorganic substance powder used in the present invention is not particularly limited, but -
Second, one or more metal oxides are used. In addition, in the conventional method, the particle size, which has an important effect on the sintering temperature, the non-porosity of the sintered body, the surface smoothness, etc.
In the present invention, there is no particular limitation, and the thickness can be freely selected and used from sub-micron to several tens of microns. As for inorganic substance powders, alumina-coated silica, mullite, titanium, titania, zinc oxide, iron oxide, zirconia, etc., which are currently commonly used for electronic component substrates, sensor substrates, etc., can be used.

また、本発明に用いるゾルまたはゲルは、セラミックス
の前駆体である金属化合物の微粒子が、分散媒中に分散
したコロイド状物となったものを意味する。これは、非
晶質の無g9.酸化物をその融点よりはるかに低い温度
で調製する方法として知られている、いわゆるブルーゲ
ル法あるいはアルコキシド法と称せられる公知の方法を
適用して調製することができる。具体的には、金属とア
ルコルとを反応させて台底される金属アルコキシド、あ
るいは金属カルボキシレート、金属硝酸塩、金属オキシ
塩化物、金属塩化物等の金属化合物を分散媒中で加水分
解することによって得ることができる。
Furthermore, the sol or gel used in the present invention refers to a colloid in which fine particles of a metal compound, which is a precursor of ceramics, are dispersed in a dispersion medium. This is an amorphous non-g9. It can be prepared by applying a known method known as the so-called Bluegel method or the alkoxide method, which is a method for preparing oxides at a temperature far lower than their melting point. Specifically, metal alkoxides formed by reacting metals with alcohols, or metal compounds such as metal carboxylates, metal nitrates, metal oxychlorides, and metal chlorides, are hydrolyzed in a dispersion medium. Obtainable.

本発明において、使用可能な金属アルコキシドは、アル
ミニウムトリメトキシド、アルごニウムトリエトキシド
、アルミニウムイソプロポキシド、アルミニウムトリブ
トキシド、テトラエトキシシリケイト、テトライソプロ
ポキシシリケイト、テトラブトキシシリケイト、テトラ
エトキシチタニウム、テトライソプロポキシチタニウム
、テトラブトキノチタニウム、テトラメトキシジルコニ
ウム、テトラエトキシジルコニウム、テトライソブロポ
キンジルコニウム、テトラブトキシジルコニウム、トリ
エトキシ鉄、トリイソプロポキシ鉄、トリプトキシ鉄、
ジェトキシバリウム、ジイソプロポキシバリウム、ジブ
トキシバリウム、ジェトキシ銅、ジイソプロポキシ銅、
ジブトキシ銅、ジェトキシニッケル、ジイソプロポキシ
ニッケル、ジブトキシニッケル、ジェトキシコバルト、
ジイソプロポキシコバルト、ジブトキシコバルト、ジェ
トキシ亜鉛、ジイソプロポキシ亜鉛、ジブトキシ亜鉛、
ジェトキシストロンチウム、ジイソプロポキシストロン
チウム、ジブトキシストロンチウム、トリエトキシイン
ジウム、トリイソプロポキシインジウム、トリブトキシ
インジウム、ペンタエトキシニオブ、ペンタイソプロポ
キシニオブ、ペンタブトキシニオブ、トリエトキシイツ
トリウム、トリイソプロポキシイツトリウム、トリプト
キシイツトリウム等がある。また、金属カルボキシレー
トは、酢酸鉛、ステアリン酸イツトリウム、蓚酸バリウ
ム、金属硝酸塩は、硝酸アルミニウム、硝酸ニッケル、
硝酸イツトリウム、金属オキシ塩化物は、オキシ塩化ア
ルミニウム、オキシ塩化ジルコニウム、金属塩化物は、
塩化アルミニウム、四塩化チタン等が使用できる。この
他にも二種類の金属からなる金属アルコキシドも用いる
こともできる。
In the present invention, metal alkoxides that can be used include aluminum trimethoxide, argonium triethoxide, aluminum isopropoxide, aluminum tributoxide, tetraethoxysilicate, tetraisopropoxysilicate, tetrabutoxysilicate, tetraethoxytitanium, and tetraethoxysilicate. Isopropoxy titanium, tetrabutoquinotitanium, tetramethoxyzirconium, tetraethoxyzirconium, tetraisopropoquine zirconium, tetrabutoxyzirconium, triethoxyiron, triisopropoxyiron, tryptoxyiron,
Jetoxy barium, diisopropoxy barium, dibutoxy barium, jetoxy copper, diisopropoxy copper,
Dibutoxy copper, jetoxy nickel, diisopropoxy nickel, dibutoxy nickel, jetoxy cobalt,
Diisopropoxycobalt, dibutoxycobalt, jetoxyzinc, diisopropoxyzinc, dibutoxyzinc,
Jetoxystrontium, diisopropoxystrontium, dibutoxystrontium, triethoxyindium, triisopropoxyindium, tributoxyindium, pentaethoxyniobium, pentaisopropoxyniobium, pentabutoxyniobium, triethoxyyttrium, triisopropoxyyttrium, Examples include trypoxyythtrium. In addition, metal carboxylates include lead acetate, yttrium stearate, barium oxalate, and metal nitrates include aluminum nitrate, nickel nitrate,
Yttrium nitrate, metal oxychloride, aluminum oxychloride, zirconium oxychloride, metal chloride,
Aluminum chloride, titanium tetrachloride, etc. can be used. In addition to this, a metal alkoxide consisting of two types of metals can also be used.

また、上記無機物質の粉末と同一の金属のゾルまたはゲ
ルを使用した場合には、焼成復極めて高純度のセラミッ
クスとなるグリーンシートを得ることができる。
Furthermore, when a sol or gel of the same metal as the inorganic substance powder is used, it is possible to obtain a green sheet that becomes a highly pure ceramic after firing.

無N吻質の粉末と金属化合物のゾルまたはゲルとを7昆
合するには、金属化合物のゾルまたはゲルを調製した後
、それに無機物質の粉末を添加攪拌するか、あるいは、
金属化合物のゾルまたはゲルを調製する際、あらかじめ
分散媒中に無機物質の粉末を混合しておいてもよい。ま
た、あらかじめ無機物質の粉末と金属化合物とを混合し
、これからゾルまたはゲルを形成してもよい(本発明で
は、この様な混合を無機物質の粉末と金属化合物から調
製したゾルまたはゲルとの混合という)。無機物質の粉
末と金属化合物のゾルまたはゲルとの混合比に特に制限
はないが、焼成後の比で50 : 50〜95:5とす
るのが適当である。無機物質の粉末が50%より少ない
場合は、乾燥工程の収縮が大きいため、クラックが生じ
やす(なり好ましくなく、一方ゾルまたはゲルが5%よ
り少ない場合、無機物質の粉末間の細孔が完全には埋め
られず、緻密性が悪くなり好ましくない。
To combine the N-free powder and the sol or gel of the metal compound, after preparing the sol or gel of the metal compound, add and stir the inorganic substance powder, or,
When preparing a sol or gel of a metal compound, powder of an inorganic substance may be mixed in advance in a dispersion medium. Alternatively, an inorganic substance powder and a metal compound may be mixed in advance to form a sol or gel. mixed). Although there is no particular restriction on the mixing ratio of the inorganic substance powder and the metal compound sol or gel, it is appropriate that the ratio after firing is 50:50 to 95:5. If the amount of inorganic material powder is less than 50%, cracks are likely to occur due to large shrinkage during the drying process (which is undesirable), while if the amount of sol or gel is less than 5%, the pores between the inorganic material powders are completely closed. This is not desirable because it cannot be filled in and the density deteriorates.

上述のようにして調製したスラリーは、必要に応じてバ
インダーを加え、例えばドクターブレード法によりこれ
を担体上に塗布し、温風乾燥したのち担体より剥離し、
目的とするセラミック・スゲリーンシートを製造するこ
とができる。
The slurry prepared as described above is coated on a carrier by, for example, a doctor blade method, with a binder added thereto if necessary, dried with warm air, and then peeled off from the carrier.
The desired ceramic sugerene sheet can be manufactured.

バインダーには、有機物質も無機物質も使用できる。無
機物質のバインダーには、カオリナイト、モンモリナイ
ト、パイロフィライト等を使用することができる。また
有機物質のバインダーとしては、ポリビニールアルコー
ル、メチルセルロース、ポリビニールブチラール等の含
水有機溶媒に可溶性の高分子物質を使用することができ
る。バインダーを加えることにより、底形したグリーン
シートはその可撓性が向上し、成形後にロール状に巻き
取ることも可能となり、また、切断や型抜き等の二次加
工が容易になる。
Both organic and inorganic materials can be used as binders. Kaolinite, montmorinite, pyrophyllite, etc. can be used as the inorganic binder. Further, as the organic binder, a polymeric substance soluble in a water-containing organic solvent such as polyvinyl alcohol, methyl cellulose, polyvinyl butyral, etc. can be used. Adding a binder improves the flexibility of the bottom-shaped green sheet, making it possible to wind it up into a roll after forming, and facilitating secondary processing such as cutting and die-cutting.

こうして製造されたセラミックスゲリーンシトは、ゾル
−ゲル法で製造したものと同様に1273に以下で焼成
可能であり、従来法のグリーンシートに比べ大幅に焼成
温度を低下することによって焼成コストを低減すること
ができる。また、ゾルまたはゲルより生成した成分が無
機物質の粉末間に充填されるため、従来法では避けられ
なかった細孔がなく緻密であり、表面平滑性も極めて良
好なセラミックスシートを得ることができる。
Ceramic gel sheets produced in this way can be fired at temperatures as low as 1273°C or less, similar to those produced by the sol-gel method, reducing firing costs by significantly lowering the firing temperature compared to conventional green sheets. can do. In addition, since the components generated from the sol or gel are filled between the inorganic powders, it is possible to obtain a ceramic sheet that is dense without the pores that were unavoidable with conventional methods and has an extremely smooth surface. .

以下に実施例を示して本発明及びその効果を具体的に説
明する。
EXAMPLES The present invention and its effects will be specifically explained below with reference to Examples.

実施例1 (アルごナグリーンシートの製造)市販のア
ルミナ粉末(平均粒子径10Gクロン)15gとアルミ
ナゾルの原料となるアルミニウムイソプロポキシド60
gを混合し、水220gとエタノール70gを分散媒と
して加え、加熱攪拌を行った。このときの加熱温度は、
90°Cとし、水とアルミニウムイソプロポキシドの組
成比(モル比)は、40:1として行った。数時間加熱
攪拌した後、解膠剤として硝酸を少量加え、再び加熱攪
拌を約1時間続けると、粘性を示すようにった。これは
、アルミニウムイソプロポキシドの加水分解によりアル
ミナゾルが生成したことを示すものである。この事実に
ついては、前もってアルミニウムイソプロポキシドだけ
で上記の手法に従って行った結果、アルミナゾルが生成
されることを確認した。
Example 1 (Manufacture of Algona Green Sheet) 15 g of commercially available alumina powder (average particle size: 10 Gron) and 60 g of aluminum isopropoxide, which is the raw material for alumina sol.
220 g of water and 70 g of ethanol were added as a dispersion medium, and the mixture was heated and stirred. The heating temperature at this time is
The temperature was 90°C, and the composition ratio (molar ratio) of water and aluminum isopropoxide was 40:1. After heating and stirring for several hours, a small amount of nitric acid was added as a deflocculant, and when heating and stirring were continued for about 1 hour again, the mixture became viscous. This indicates that alumina sol was produced by hydrolysis of aluminum isopropoxide. Regarding this fact, it was previously confirmed that an alumina sol was produced as a result of performing the above method using only aluminum isopropoxide.

上記のアルミナ粉末とアルミナゾルの混合物にポリビニ
ールアルコールを加え、ホモジナイザにより2〜3時間
攪拌し、アルミナグリーンシトの原液を調製した。この
原液は、チキソトロピ性を示すため担体上に流延すると
きに攪拌を行い粘度を調製して底形した。担体上に流延
した溶成はチキソトロピー性を示すため数分で流動性を
示さなくなる。これを常圧下で温風乾燥させアルミナグ
リーンシートを得た。乾燥時間には1時間要した。
Polyvinyl alcohol was added to the above mixture of alumina powder and alumina sol, and the mixture was stirred with a homogenizer for 2 to 3 hours to prepare a stock solution of alumina green sheet. Since this stock solution exhibits thixotropic properties, it was stirred to adjust the viscosity and form a bottom shape when it was cast onto a carrier. The melt cast onto a carrier exhibits thixotropic properties and loses fluidity within a few minutes. This was dried with warm air under normal pressure to obtain an alumina green sheet. Drying time required 1 hour.

このよう°にして得られたアルミナグリーンシトは、約
50ミクロンの膜厚を示した。また、このシートは非常
にフレキシブルであり色々な形状にすることができた。
The alumina green sheet thus obtained had a film thickness of about 50 microns. Also, this sheet is very flexible and can be made into various shapes.

上記グリーンシートを1273にで4時間焼成し、表面
粗さ0.25μmの表面平滑性に優れたアルミナフィル
ムを得た。
The green sheet was fired at 1273° C. for 4 hours to obtain an alumina film with a surface roughness of 0.25 μm and excellent surface smoothness.

このアルミナフィルムは、X線回折によりTとα−アル
ミナの両方であることを確認した。また、1473にで
4時間焼成したものについては、すべてα−アルミナで
あることを確認した。
This alumina film was confirmed to be both T and α-alumina by X-ray diffraction. Furthermore, it was confirmed that all of the samples fired at 1473 for 4 hours were α-alumina.

実施例2(アルミナグリーンシートの製造)アルミナ粉
末と硝酸アルミニウムを原料としてアルミナグリーンシ
ートの製造を行った。
Example 2 (Manufacture of alumina green sheet) An alumina green sheet was manufactured using alumina powder and aluminum nitrate as raw materials.

まずアルミナ粉末15gを水50gに分散させ、硝酸ア
ルミニウム水溶液と混合、攪拌した後、エタノール35
gを加え、加熱攪拌を行った。なお、アル逅すと硝酸ア
ルミニウムのモル比はl:2として行った。数時間攪拌
した後、解膠剤として硝酸を少量加え、再び加熱攪拌を
粘性を示すまで数時間行った。
First, 15 g of alumina powder was dispersed in 50 g of water, mixed with an aqueous aluminum nitrate solution, stirred, and then mixed with 35 g of ethanol.
g was added thereto, and the mixture was heated and stirred. The molar ratio of aluminum nitrate to aluminum was 1:2. After stirring for several hours, a small amount of nitric acid was added as a deflocculant, and the mixture was heated and stirred again for several hours until it became viscous.

上記混合物に、バインダーとしてポリビニールアルコー
ルを加え、その他の添加剤を加えてホモジナイザーによ
り2〜3時間攪拌し、アルミナグリーンシートの原液を
調製した。この原液を担体上に流延するとき、攪拌を行
い粘度を調節して底形し、常圧下で温風乾燥させアルミ
ナグリーンシートを得た。乾燥時間には1時間要した。
To the above mixture, polyvinyl alcohol was added as a binder, other additives were added, and the mixture was stirred with a homogenizer for 2 to 3 hours to prepare an alumina green sheet stock solution. When this stock solution was cast onto a carrier, it was stirred to adjust the viscosity, shaped into a bottom shape, and dried with warm air under normal pressure to obtain an alumina green sheet. Drying time required 1 hour.

乾燥後のグリーンシートを1473にで4時間焼成し、
表面粗さ0.3μ醜の表面平滑性のよいアルミナフィル
ムを得た。
After drying, the green sheet was fired at 1473 for 4 hours.
An alumina film with a surface roughness of 0.3μ and good surface smoothness was obtained.

このアルミナフィルムは、X線回折によりすべてα−ア
ルミナであることを確認した。
This alumina film was confirmed to be entirely α-alumina by X-ray diffraction.

実施例3(ムライトグリーンシートの製造)テトラエト
キシシリケイト20.4gを水7.2g、硝酸少量と混
合し、90’Cの温度雰囲気下で均一相になるまで撹拌
し、これと水270g中にアルミニウムイソプロポキシ
ド62.4gを分散させたものを混合して、再び90°
Cの温度雰囲気下で粘性が発生するまで撹拌した。
Example 3 (Production of mullite green sheet) 20.4 g of tetraethoxysilicate was mixed with 7.2 g of water and a small amount of nitric acid, stirred in an atmosphere at a temperature of 90'C until it became a homogeneous phase, and mixed with this and 270 g of water. Mix 62.4g of aluminum isopropoxide and heat at 90° again.
The mixture was stirred under a temperature atmosphere of C until viscosity was generated.

上記混合物に、ムライト粉末とバインダーとしてポリビ
ニールアルコールを加え、その他の添加剤を加えてホモ
ジナイザーにより2〜3時間攪拌し、ムライトグリーン
シートの原液を調製した。
Mullite powder and polyvinyl alcohol as a binder were added to the above mixture, and other additives were added and stirred for 2 to 3 hours using a homogenizer to prepare a stock solution of mullite green sheets.

この原液を担体上に流延するとき、撹拌を行い粘度を調
節して底形し、常圧下で温風乾燥させ、ムライトグリー
ンシートを得た。乾燥時間には1時間要した。
When this stock solution was cast onto a carrier, it was stirred to adjust the viscosity and shaped into a bottom shape, and then dried with warm air under normal pressure to obtain a mullite green sheet. Drying time required 1 hour.

上記グリーンシートを1273にで4時間焼成し、表面
粗さ0.3旦クロンの表面平滑性のよいムライトフィル
ムを得た。
The green sheet was fired at 1273° C. for 4 hours to obtain a mullite film with a surface roughness of 0.3 degrees Cron and a good surface smoothness.

このフィルムは、X線回折によりムライトであることを
確認した。
This film was confirmed to be mullite by X-ray diffraction.

比較例1(実施例1によるアルミナフィルムと、粉末法
により製造したアルミナフィルムとの表面粗さの比較) 粉末法によるアルミナフィルムの製造法を、以下に示す
Comparative Example 1 (Comparison of surface roughness between the alumina film according to Example 1 and the alumina film produced by the powder method) A method for producing an alumina film by the powder method is shown below.

まず、アルミナ粉末(平均粒子径10ξクロン)300
gと酸化マグネシウム3g、トリクロロエチレン120
gをボールミルで24時間混合し、ポリビニールブチラ
ール30gを加え、再び24時間混練してスラリーを得
、これをドクターブレード法により底形し、温風乾燥を
行ってアルミナグリーンシートを得た。乾燥時間には、
1時間要した。
First, alumina powder (average particle size 10ξcrons) 300
g, magnesium oxide 3g, trichlorethylene 120
30 g of polyvinyl butyral was added and kneaded again for 24 hours to obtain a slurry, which was bottom-shaped by the doctor blade method and dried with hot air to obtain an alumina green sheet. During drying time,
It took an hour.

このアルミナグリーンシートを1973にで4時間焼成
し、厚さ200ξクロンのアルミナフィルムを得た。こ
のフィルムは、表面粗さ1.0ミクロン(第1図B)を
示た。これに対し、実施例1によるアルミナフィルムは
、表面粗さ0.25.クロン(第1図A)であり、表面
平滑性において非常に優れていることがわかった。
This alumina green sheet was fired in 1973 for 4 hours to obtain an alumina film with a thickness of 200ξcm. This film exhibited a surface roughness of 1.0 micron (Figure 1B). In contrast, the alumina film according to Example 1 had a surface roughness of 0.25. (FIG. 1A), and was found to have very excellent surface smoothness.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図Aは、実施例1で得たアルミナフィルムの表面粗
さの測定値を示す。第1図Bは、比較例1で得たアルミ
ナフィルムの表面粗さの測定値を示すものである。
FIG. 1A shows the measured values of the surface roughness of the alumina film obtained in Example 1. FIG. 1B shows the measured values of the surface roughness of the alumina film obtained in Comparative Example 1.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)無機物質の一種または二種以上の粉末と、金属ア
ルコキシド、金属カルボキシレート、金属硝酸塩、金属
オキシ塩化物及び金属塩化物からなる群から選択される
金属化合物の一種または二種以上から調製したゾルまた
はゲルとを混合し、必要に応じてバインダーを加えたス
ラリーとし、成形することを特徴とするセラミックスグ
リーンシートの製造法。
(1) Prepared from one or more powders of inorganic substances and one or more metal compounds selected from the group consisting of metal alkoxides, metal carboxylates, metal nitrates, metal oxychlorides, and metal chlorides. A method for producing a ceramic green sheet, which comprises mixing a sol or a gel, adding a binder as necessary to form a slurry, and forming the slurry.
JP1314604A 1989-12-04 1989-12-04 Production of ceramics green sheet Pending JPH03177352A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1314604A JPH03177352A (en) 1989-12-04 1989-12-04 Production of ceramics green sheet

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1314604A JPH03177352A (en) 1989-12-04 1989-12-04 Production of ceramics green sheet

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH03177352A true JPH03177352A (en) 1991-08-01

Family

ID=18055296

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1314604A Pending JPH03177352A (en) 1989-12-04 1989-12-04 Production of ceramics green sheet

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH03177352A (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20010025751A (en) * 2001-01-29 2001-04-06 전형탁 Photo-semiconductive composite ceramics coating tile and The manufacturing method
EP1132359A1 (en) * 2000-03-07 2001-09-12 "VLAAMSE INSTELLING VOOR TECHNOLOGISCH ONDERZOEK", afgekort "V.I.T.O." Sol-gel modified gel casting of ceramic powders

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02243556A (en) * 1989-03-16 1990-09-27 Mitsubishi Mining & Cement Co Ltd Production of calcined alumina sheet

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02243556A (en) * 1989-03-16 1990-09-27 Mitsubishi Mining & Cement Co Ltd Production of calcined alumina sheet

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1132359A1 (en) * 2000-03-07 2001-09-12 "VLAAMSE INSTELLING VOOR TECHNOLOGISCH ONDERZOEK", afgekort "V.I.T.O." Sol-gel modified gel casting of ceramic powders
KR20010025751A (en) * 2001-01-29 2001-04-06 전형탁 Photo-semiconductive composite ceramics coating tile and The manufacturing method

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4710227A (en) Dispersion process for ceramic green body
EP0413456B1 (en) Dimensionally-controlled ceramics
US3825653A (en) Process for preparing sinterable aluminum titanate powder
JPH05330824A (en) Barium titanate and its production
JP2959683B2 (en) Method for producing high-purity alumina fiber molded body
JPH0797269A (en) Production of low-temperature sintering ceramic
JP2947558B2 (en) Ceramic insulating material and method of manufacturing the same
JP2010116289A (en) Method for producing aluminum titanate ceramic
JPH0353255B2 (en)
JPH03177352A (en) Production of ceramics green sheet
JP4657822B2 (en) Manufacturing method of ceramic structure
Ebener et al. Reactions and phase transformation in SiO2-ZrO2 Sol-Gel coated alúmina powder
Becher et al. Ceramics sintered directly from sol-gels
JPS60239352A (en) Manufacture of ceramic sintered body
JPH05840A (en) Ceramic slurry and production of ceramic structural body by using this slurry
Purwasasmita et al. Effect of Li2Si2O5 addition on the sintering and microstructure of BaTiO3
JPH0712922B2 (en) Method of forming inorganic hydroxide precipitate
JP2616772B2 (en) Method for producing proton conductive ceramics
JP2595710B2 (en) Manufacturing method of alumina sintered sheet
JPS647034B2 (en)
JP2982447B2 (en) Method for manufacturing mullite ceramic substrate
RU2292320C1 (en) Method for preparing ceramic composition material powder
JP2548191B2 (en) Method for producing non-oxide ceramics
JP2607517B2 (en) Method for producing zirconia ceramics
JPS5926966A (en) Manufacture of ceramics green molded body