JPH031729U - - Google Patents

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JPH031729U
JPH031729U JP6154389U JP6154389U JPH031729U JP H031729 U JPH031729 U JP H031729U JP 6154389 U JP6154389 U JP 6154389U JP 6154389 U JP6154389 U JP 6154389U JP H031729 U JPH031729 U JP H031729U
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linear motor
xyθ
driven
opening
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  • Machine Tool Units (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の実施例を示す部分断面のある
平面図、第２図は側断面図、第３図はガイド管の
開口部の断面図、第４図は他の実施例を示すガイ
ド管の開口部の断面図である。なお、同一構成要
素には、同一符号を付してある。 １……Ｘテーブル、５，９……電機子、６……
Ｙテーブル、７……給電ケーブル、１０……回転
テーブル、１１……孔、１２……ロータ、１４…
…ガイド管、１５……孔、１６……ステータ、２
２……カバー、２３……ダクト、２４……口金で
ある。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 １ 真空チヤンバー内に設置される、リニアモー
    タにより駆動する微小ストロークのＸテーブルと
    、中央部に給電リード７を案内するコーナー部を
    丸く面取りした孔を設けたリニアモータにより駆
    動する微小ストロークＹテーブルと、アキシヤル
    ギヤツプモータで駆動する回転テーブルとよりな
    るＸＹΘテーブルにおいて、 回転テーブル駆動用アキシヤルギヤツプモータ
    のロータ軸芯に設けた孔内に、孔と空隙をもつて
    ＸＹテーブル駆動用リニアモータ給電用ケーブル
    を案内するガイド管を貫通させたことを特徴とす
    るＸＹΘテーブル。 ２ 前記ガイド管の開口部を丸く面取りした請求
    項１記載のＸＹΘテーブル。 ３ 前記ガイド管の開口部の先端部にラツパ状に
    折り返した口金をネジにより固定した請求項１記
    載のＸＹΘテーブル。
JP1989061543U 1989-05-26 1989-05-26 ＸＹθテーブル Expired - Fee Related JPH0744424Y2 (ja)

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Publication number Publication date
JPH0744424Y2 (ja) 1995-10-11

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