JPH03166778A - 水中音響変換器用圧電素子 - Google Patents
水中音響変換器用圧電素子Info
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- JPH03166778A JPH03166778A JP1306967A JP30696789A JPH03166778A JP H03166778 A JPH03166778 A JP H03166778A JP 1306967 A JP1306967 A JP 1306967A JP 30696789 A JP30696789 A JP 30696789A JP H03166778 A JPH03166778 A JP H03166778A
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Landscapes
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、合成ゴム等の有機基材に圧電磁器粉末を配合
してなる圧電複合材料を用いて形成され、水中に音波ま
たは超音波を送出したり、また逆に水中を伝播する音波
または超音波を受波する水中音響変換器に用いられる圧
電素子に関する。
してなる圧電複合材料を用いて形成され、水中に音波ま
たは超音波を送出したり、また逆に水中を伝播する音波
または超音波を受波する水中音響変換器に用いられる圧
電素子に関する。
［従来技術］
？タン酸鉛（ＰｂＴｉＯ．）等の異方性のある圧電磁器
の粉末はベロブスカイト構造をもつ強誘電体材料であり
、このため種々の圧電材料や焦電材料として広く使用さ
れているが、特に最近では水中での圧電定数ｄ ｈ （
ｄａｓ＋２ｄ■）及びｇｈ（＝ｄｈ／ｔ．ｌが大きいこ
とからハイドロフオンなどの水中音響変換器用圧電材料
として注目されている． このような水中音響変換器用圧電材料としては、音波又
は超音波を効率よく水中へ放射したり受波し得るように
水との音響整合性がよく、かつ水中深く浸漬してもその
水圧に充分耐え得る強度を有するように低密度，可撓性
に富んだ圧電材料が要求される． そしてかかる要望に応えるものとして、チタン酸鉛等の
粒子を作成し、これを合成ゴムなどの有機基材中に混合
した複合材料が提案されている。
の粉末はベロブスカイト構造をもつ強誘電体材料であり
、このため種々の圧電材料や焦電材料として広く使用さ
れているが、特に最近では水中での圧電定数ｄ ｈ （
ｄａｓ＋２ｄ■）及びｇｈ（＝ｄｈ／ｔ．ｌが大きいこ
とからハイドロフオンなどの水中音響変換器用圧電材料
として注目されている． このような水中音響変換器用圧電材料としては、音波又
は超音波を効率よく水中へ放射したり受波し得るように
水との音響整合性がよく、かつ水中深く浸漬してもその
水圧に充分耐え得る強度を有するように低密度，可撓性
に富んだ圧電材料が要求される． そしてかかる要望に応えるものとして、チタン酸鉛等の
粒子を作成し、これを合成ゴムなどの有機基材中に混合
した複合材料が提案されている。
【発明が解決しようとする課題］
圧電定数ｄｈ，ｇｈを高くするためには、有機基材中に
おける異方性のある圧電磁器、例えばｐｂ？ｉｅｓ，
ＢｉＦｅＯａ，ＢｉｓＴｉＮｂ■０１５（混合層状複合
ビスマス酸化物），チタン酸鉛・ビスマスフエライト固
溶体等の粉末の体積割合を増加させれば良いことは一般
的に知られている。
おける異方性のある圧電磁器、例えばｐｂ？ｉｅｓ，
ＢｉＦｅＯａ，ＢｉｓＴｉＮｂ■０１５（混合層状複合
ビスマス酸化物），チタン酸鉛・ビスマスフエライト固
溶体等の粉末の体積割合を増加させれば良いことは一般
的に知られている。
ここで圧電定数ｄｈはｄ ｈ ＝ｄ ｓｓ＋ ２ ｄ
ｓ＋の関係があり、圧電定数ｄａ＋は負の値をとるから
、上述の圧電定数ｄｈの上昇は圧電定数ｄｓｓの向上に
起因するものである．ところで、圧電定数ｄ。を高める
と通常圧電定数ｄ■の絶対値も高くなる．そしてこのよ
うに圧電定数ｄ ３ Ｈの絶対値が高くなると、圧電定
数ｄゎの向上を阻害するだけでなく、圧電変換器に付与
される径方向の振動はノイズの原因となるが、この径方
向振動に対する応答出力が増大して該ノイズが大きくな
り受波特性が低下する． 本発明は、圧電定数ｄｈが高く、しかも圧電定数ｄ３＋
の絶対値の低い特性の優れた、水中音響変換器に用いる
圧電素子の提供を目的とするものである． ［課題を解決するための手段］ 本発明は、有機基材中に圧電磁器粉末を体積割合で６５
％以上含有し、相対密度（理論密度ρｅ１に対する実測
密度ρ．．．１の百分率）が９３．００〜９７． ００
％となるように気孔を形成した圧電複合材料を、圧力を
厚み方向に印加して平板状に加硫成形した後、該圧力の
印加方向に分極し、その表裏面に電極を配設して構成し
たことを特徴とする水中音響変換器用圧電素子である． 【作用］ 圧電複合材料において、その実測密度ρ，．．．と、各
構成成分から割り出した理論密度ρＣａ＋ とは相違す
る．これは圧電複合材料中に気孔が介在するためである
と考えられ，従って相対密度により気孔の含有量を特定
することができる．そこで相対密度が９３． ００〜９
７． ００％である圧電複合材料を用いる．この相対密
度により特定される気孔を内在した圧電複合材料にあっ
ては、後述の各試験により示される様に、これを平板状
に加圧すると，その加圧方向では各磁器粉末は密に充填
され、径方向では前記圧電複合材料中に含有された気孔
が径方向へ分散して疎の状態となる．換言すれば厚み方
向では各粉末は密に連続するが径方向では前記厚み方向
の連続粉末相互に空気層が介在するという状態となる．
このため、厚み方向の振動に対しては変換効率が良好と
なり，圧電定数ｄ ｓｓの値が向上する．一方径方向で
は各空気層が緩衝層となって、該径方向振動が緩和され
、このため圧電定数ｄ．の絶対値が小さくなる。
ｓ＋の関係があり、圧電定数ｄａ＋は負の値をとるから
、上述の圧電定数ｄｈの上昇は圧電定数ｄｓｓの向上に
起因するものである．ところで、圧電定数ｄ。を高める
と通常圧電定数ｄ■の絶対値も高くなる．そしてこのよ
うに圧電定数ｄ ３ Ｈの絶対値が高くなると、圧電定
数ｄゎの向上を阻害するだけでなく、圧電変換器に付与
される径方向の振動はノイズの原因となるが、この径方
向振動に対する応答出力が増大して該ノイズが大きくな
り受波特性が低下する． 本発明は、圧電定数ｄｈが高く、しかも圧電定数ｄ３＋
の絶対値の低い特性の優れた、水中音響変換器に用いる
圧電素子の提供を目的とするものである． ［課題を解決するための手段］ 本発明は、有機基材中に圧電磁器粉末を体積割合で６５
％以上含有し、相対密度（理論密度ρｅ１に対する実測
密度ρ．．．１の百分率）が９３．００〜９７． ００
％となるように気孔を形成した圧電複合材料を、圧力を
厚み方向に印加して平板状に加硫成形した後、該圧力の
印加方向に分極し、その表裏面に電極を配設して構成し
たことを特徴とする水中音響変換器用圧電素子である． 【作用］ 圧電複合材料において、その実測密度ρ，．．．と、各
構成成分から割り出した理論密度ρＣａ＋ とは相違す
る．これは圧電複合材料中に気孔が介在するためである
と考えられ，従って相対密度により気孔の含有量を特定
することができる．そこで相対密度が９３． ００〜９
７． ００％である圧電複合材料を用いる．この相対密
度により特定される気孔を内在した圧電複合材料にあっ
ては、後述の各試験により示される様に、これを平板状
に加圧すると，その加圧方向では各磁器粉末は密に充填
され、径方向では前記圧電複合材料中に含有された気孔
が径方向へ分散して疎の状態となる．換言すれば厚み方
向では各粉末は密に連続するが径方向では前記厚み方向
の連続粉末相互に空気層が介在するという状態となる．
このため、厚み方向の振動に対しては変換効率が良好と
なり，圧電定数ｄ ｓｓの値が向上する．一方径方向で
は各空気層が緩衝層となって、該径方向振動が緩和され
、このため圧電定数ｄ．の絶対値が小さくなる。
そしてかかる構成からなる圧電素子はその表裏面に電極
を形成して水中音響変換器に用いられ得る。
を形成して水中音響変換器に用いられ得る。
［実施例］
〈相対密度の調製〉
有機基材中の圧電磁器粉末の量を増大した場合にあって
、大きな平均粒径のものによって該粉末を構成したもの
は、その密度の上昇と共に各粒子が密接しあって，その
間に比較的大容積の間隙を生じる。このため有機基材と
、圧電磁器粉末との混合過程で、材料中に混入した空気
が該間隙中に閉じ込められて大きな気孔を生じ易い．一
方、小さな粒径のものあっては、圧電磁器粉末の表面積
が著しく増大するから，圧電磁器粉末と有機基材との粒
界に形成された小さな気孔が空気層となって増大するこ
とが考えられる． すなわち，両者の間隙の形成メカニズムは夫々異なると
しても、粒径が過大であっても過小であってもその配合
量が増大することにより気孔含有量が増加することが予
想されるのである．そこでかかる知見に基づき、大粒径
のものと，小粒径のものとを所定の割合で混合すれば、
大粒径のものの間に小粒径のものが介在することにより
、粒子間に密閉状の間隙が生じることがないため粒子間
に有機基材が均一状に混入され、また粒子の単位重量あ
たりの表面積も減少して、粒界に生じる気孔の発生を抑
制することができると考えた． 従って、相対密度の調製は大粒径と小粒径のものの混合
比を換えることにより達成できることとなる． そこで平均粒径７．３μｍ及び３１．８μｍのチタン？
鉛粒子群（ ＰＴ）を用意し、夫々単独のものと、両者
をｌ：５，ｌ：２，１：１，２：ｌ及び５：１の割合で
配合したものを、クロロブレンゴムと混合し、その配合
比がチタン酸鉛粒子の体積割合を５０％，５５％，６０
％， ６２．５％，６５％，７０％， ７２．５％，７
５％， ７７．５％とする５０種類の混合試料を作成し
て、相対密度（理論密度ρ。１に対する実測密度ρ■■
の百分率）を測定した．第１図はこの結果をプロットし
たものである．この結果から体積割合が高いものはその
粒子の配合比を変えることにより相対密度を変化させる
ことができることが理解される． 〈試験条件〉 上述のように相対密度を変化させるために、平均粒径７
．３μｍ及び３１．８μｍのチタン酸鉛粒子群（ＰＴ）
の配合比を変え、かつクロロブレンゴムに対する粒子の
体積割合を変化させた圧電複合材料を多数用意し、これ
に加硫剤を加え、混線後、乎面方向に１００〜１５０Ｋ
ｇ／ａｍ” （７；）圧力を印加しながら８０問各（厚
み０．５一一）の平板状に加硫成形し、さらに銀ゴム電
極付け，分極の各工程を順次行ない、こうして形成され
た圧電素子１ａ，Ｉｂを第２図の様にφ３０の円板に切
り出し、二枚を中心が陽極に，外側面が負極になるよう
に貼り合せ、各電極にケーブル２ａ，２ｂを各極に接続
し、さらにこれをダンピング材３に貼り付けて、ポリウ
レタン樹脂４でモールドして圧電ゴムからなる水中音響
変換器を構成した．そして各特性を測定した．この結果
、次表及びこれをプロットした第３図の関係を得ること
ができた． 尚、表中本願の発明の範囲内の試料には＊記号を付して
示す． 以下余白 上記の表にあって圧電定数ｄ．は圧電定数ｄｈ＝ｄ ａ
ｓ ＋ ２ ｄ ３ ＋の関係から圧電定数ｄｈ，ｄｓ
ｓによって計算により求めた。ここで圧電定数ｄ３３は
高く、負の値である圧電定数ｄ ｓ＋の絶対値は低いこ
とが望ましい．そこで圧電定数比ｄ ｓｒ／ ｄ ｓｓ
を求めて、これと相対密度との関係を第３図でプロット
した． この値によって示されるように、相対密度が９７．００
％を越えると、圧電定数比ｄ ｓ＋／ ｄ ｓａは−０
．１以下となり、一方９７． ００％以下となると急激
にその絶対値が零に近付き、ノイズが少なくしかも出力
が高くなり、受波特性の改善が見られた．この理由は，
適性量の気孔を内在した圧電複合材料を用いて，これを
平板状に加圧すると、その加圧方向では各磁器粉末は密
に充填され，径方向では前記圧電複合材料中に含有され
た気孔が径方向へ分散して疎の状態となり、このため径
方向では各空気層が緩衝層となって、該径方向振動が緩
和されることによるものと考えることができる．尚、９
３． ００％未満となると気孔過剰となり，こ？ため安
定した分極処理を施すことができなくなったり、圧電定
数ｄ ｓｓが低下する．従って相対密度の有効範囲は９
３． ００〜９７． ００％とすることができる。
、大きな平均粒径のものによって該粉末を構成したもの
は、その密度の上昇と共に各粒子が密接しあって，その
間に比較的大容積の間隙を生じる。このため有機基材と
、圧電磁器粉末との混合過程で、材料中に混入した空気
が該間隙中に閉じ込められて大きな気孔を生じ易い．一
方、小さな粒径のものあっては、圧電磁器粉末の表面積
が著しく増大するから，圧電磁器粉末と有機基材との粒
界に形成された小さな気孔が空気層となって増大するこ
とが考えられる． すなわち，両者の間隙の形成メカニズムは夫々異なると
しても、粒径が過大であっても過小であってもその配合
量が増大することにより気孔含有量が増加することが予
想されるのである．そこでかかる知見に基づき、大粒径
のものと，小粒径のものとを所定の割合で混合すれば、
大粒径のものの間に小粒径のものが介在することにより
、粒子間に密閉状の間隙が生じることがないため粒子間
に有機基材が均一状に混入され、また粒子の単位重量あ
たりの表面積も減少して、粒界に生じる気孔の発生を抑
制することができると考えた． 従って、相対密度の調製は大粒径と小粒径のものの混合
比を換えることにより達成できることとなる． そこで平均粒径７．３μｍ及び３１．８μｍのチタン？
鉛粒子群（ ＰＴ）を用意し、夫々単独のものと、両者
をｌ：５，ｌ：２，１：１，２：ｌ及び５：１の割合で
配合したものを、クロロブレンゴムと混合し、その配合
比がチタン酸鉛粒子の体積割合を５０％，５５％，６０
％， ６２．５％，６５％，７０％， ７２．５％，７
５％， ７７．５％とする５０種類の混合試料を作成し
て、相対密度（理論密度ρ。１に対する実測密度ρ■■
の百分率）を測定した．第１図はこの結果をプロットし
たものである．この結果から体積割合が高いものはその
粒子の配合比を変えることにより相対密度を変化させる
ことができることが理解される． 〈試験条件〉 上述のように相対密度を変化させるために、平均粒径７
．３μｍ及び３１．８μｍのチタン酸鉛粒子群（ＰＴ）
の配合比を変え、かつクロロブレンゴムに対する粒子の
体積割合を変化させた圧電複合材料を多数用意し、これ
に加硫剤を加え、混線後、乎面方向に１００〜１５０Ｋ
ｇ／ａｍ” （７；）圧力を印加しながら８０問各（厚
み０．５一一）の平板状に加硫成形し、さらに銀ゴム電
極付け，分極の各工程を順次行ない、こうして形成され
た圧電素子１ａ，Ｉｂを第２図の様にφ３０の円板に切
り出し、二枚を中心が陽極に，外側面が負極になるよう
に貼り合せ、各電極にケーブル２ａ，２ｂを各極に接続
し、さらにこれをダンピング材３に貼り付けて、ポリウ
レタン樹脂４でモールドして圧電ゴムからなる水中音響
変換器を構成した．そして各特性を測定した．この結果
、次表及びこれをプロットした第３図の関係を得ること
ができた． 尚、表中本願の発明の範囲内の試料には＊記号を付して
示す． 以下余白 上記の表にあって圧電定数ｄ．は圧電定数ｄｈ＝ｄ ａ
ｓ ＋ ２ ｄ ３ ＋の関係から圧電定数ｄｈ，ｄｓ
ｓによって計算により求めた。ここで圧電定数ｄ３３は
高く、負の値である圧電定数ｄ ｓ＋の絶対値は低いこ
とが望ましい．そこで圧電定数比ｄ ｓｒ／ ｄ ｓｓ
を求めて、これと相対密度との関係を第３図でプロット
した． この値によって示されるように、相対密度が９７．００
％を越えると、圧電定数比ｄ ｓ＋／ ｄ ｓａは−０
．１以下となり、一方９７． ００％以下となると急激
にその絶対値が零に近付き、ノイズが少なくしかも出力
が高くなり、受波特性の改善が見られた．この理由は，
適性量の気孔を内在した圧電複合材料を用いて，これを
平板状に加圧すると、その加圧方向では各磁器粉末は密
に充填され，径方向では前記圧電複合材料中に含有され
た気孔が径方向へ分散して疎の状態となり、このため径
方向では各空気層が緩衝層となって、該径方向振動が緩
和されることによるものと考えることができる．尚、９
３． ００％未満となると気孔過剰となり，こ？ため安
定した分極処理を施すことができなくなったり、圧電定
数ｄ ｓｓが低下する．従って相対密度の有効範囲は９
３． ００〜９７． ００％とすることができる。
一方，有機基材中の圧電磁器粉末の混合量が体積割合で
６５％以下であると、各粒子が有機基材に囲まれて、粒
子間に気孔を所定の形態で形成することができない．こ
のため、相対密度が高くなる（気孔が減少する）と共に
，気孔自体の振る舞いが径方向における粒子相互の緩衝
作用を果たすという所要の役割を達成することができず
、圧電定数比ｄ ｘ＋／ ｄ ３３の絶対値が大きくな
り、しかも磁器粉末の量が少ないために圧電定数ｄｈの
値が小さくなる． 従って所期の効果を達成するためには有機基材中に圧電
磁器粉末を体積割合で６５％以上含有したものに限定さ
れる． この圧電定数ｄ■が零近くなると、圧電素子に付与され
る径方向の振動は、ノイズの原因となるがこの方向によ
る出力の発生が抑制され、受渡特性が向上することとな
る． またＰＺＴ磁器粉末を用いた従来の圧電複合材料は、チ
タン酸鉛粒子に比して圧電定数ｄｓｓが高いという良好
な特性を持っているが、反面において圧電定数ｄ ｓｒ
の絶対値も高く、その有用性を減殺されていた．ところ
が、上述の様に相対密度が９３．００〜９７．００％で
ある本発明のＰＺＴ系圧電素子は圧電定数ｄｓ＋を小さ
く，このためＰＺＴ系材料にあって、その有用性をさら
に引き出し得ることとなる． 尚、各実施例にあっては、チタン酸鉛粒子での試験値を
示したが、本発明は気孔の物理的振る舞いに依存するも
のであるから、上述のＰＺＴの他、種々の圧電磁器粉末
を用いたものにあっても同様の作用効果を奏し得るもの
である． また相対密度の調製手段は上述の二種の異なった粒径の
ものを混合するほかに、他の調製手段も採用され、一種
の粒径群からなる圧電磁器粉末を使用しても良い． ［発明の効果］ 本発明の圧電素子は相対密度を９３． ００〜９７．０
０％となるように気孔を形成した圧電複合材料を分極方
向と同じ方向に圧力を印加して平板状に形成したもので
あって、該面方向において有機基材中に分散される磁器
粉末間に気孔が形成され、その緩衝作用により面方向の
圧電定数ｄ ｓ＋が減少し，このため径方向振動による
ノイズの発生を除去でき、水中音響変換器の特性を向上
し得る等の優れた効果がある．
６５％以下であると、各粒子が有機基材に囲まれて、粒
子間に気孔を所定の形態で形成することができない．こ
のため、相対密度が高くなる（気孔が減少する）と共に
，気孔自体の振る舞いが径方向における粒子相互の緩衝
作用を果たすという所要の役割を達成することができず
、圧電定数比ｄ ｘ＋／ ｄ ３３の絶対値が大きくな
り、しかも磁器粉末の量が少ないために圧電定数ｄｈの
値が小さくなる． 従って所期の効果を達成するためには有機基材中に圧電
磁器粉末を体積割合で６５％以上含有したものに限定さ
れる． この圧電定数ｄ■が零近くなると、圧電素子に付与され
る径方向の振動は、ノイズの原因となるがこの方向によ
る出力の発生が抑制され、受渡特性が向上することとな
る． またＰＺＴ磁器粉末を用いた従来の圧電複合材料は、チ
タン酸鉛粒子に比して圧電定数ｄｓｓが高いという良好
な特性を持っているが、反面において圧電定数ｄ ｓｒ
の絶対値も高く、その有用性を減殺されていた．ところ
が、上述の様に相対密度が９３．００〜９７．００％で
ある本発明のＰＺＴ系圧電素子は圧電定数ｄｓ＋を小さ
く，このためＰＺＴ系材料にあって、その有用性をさら
に引き出し得ることとなる． 尚、各実施例にあっては、チタン酸鉛粒子での試験値を
示したが、本発明は気孔の物理的振る舞いに依存するも
のであるから、上述のＰＺＴの他、種々の圧電磁器粉末
を用いたものにあっても同様の作用効果を奏し得るもの
である． また相対密度の調製手段は上述の二種の異なった粒径の
ものを混合するほかに、他の調製手段も採用され、一種
の粒径群からなる圧電磁器粉末を使用しても良い． ［発明の効果］ 本発明の圧電素子は相対密度を９３． ００〜９７．０
０％となるように気孔を形成した圧電複合材料を分極方
向と同じ方向に圧力を印加して平板状に形成したもので
あって、該面方向において有機基材中に分散される磁器
粉末間に気孔が形成され、その緩衝作用により面方向の
圧電定数ｄ ｓ＋が減少し，このため径方向振動による
ノイズの発生を除去でき、水中音響変換器の特性を向上
し得る等の優れた効果がある．
第１図は混合粒子の混合比と相対密度との関係を示すグ
ラフ、第２図は本発明の試料として用いる水中音響変換
器の構成を示す縦断側面図、第３図は相対密度と圧電定
数比ｄ ．．／ ｄ ｓａの関係を示すグラフである． 箆１ 品 ＦＴ （３１．８，ｃｚｍｌ ／ ＰＴ （７．３ｌＪ
ｍ）第 ２ 図
ラフ、第２図は本発明の試料として用いる水中音響変換
器の構成を示す縦断側面図、第３図は相対密度と圧電定
数比ｄ ．．／ ｄ ｓａの関係を示すグラフである． 箆１ 品 ＦＴ （３１．８，ｃｚｍｌ ／ ＰＴ （７．３ｌＪ
ｍ）第 ２ 図
Claims (1)
- 有機基材中に圧電磁器粉末を体積割合で６５％以上含
有し、相対密度（理論密度Ｐ＿ｃ＿ａ＿ｌに対する実測
密度Ｐ＿ｍ＿ｅ＿ａ＿ｓの百分率）が９３．００〜９７
．００％となるように気孔を形成した圧電複合材料を、
圧力を厚み方向に印加して平板状に加硫成形した後、該
圧力の印加方向に分極し、その表裏面に電極を配設して
構成したことを特徴とする水中音響変換器用圧電素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30696789A JP2981901B2 (ja) | 1989-11-27 | 1989-11-27 | 水中音響変換器用圧電素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30696789A JP2981901B2 (ja) | 1989-11-27 | 1989-11-27 | 水中音響変換器用圧電素子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03166778A true JPH03166778A (ja) | 1991-07-18 |
| JP2981901B2 JP2981901B2 (ja) | 1999-11-22 |
Family
ID=17963424
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30696789A Expired - Fee Related JP2981901B2 (ja) | 1989-11-27 | 1989-11-27 | 水中音響変換器用圧電素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2981901B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5545208B2 (ja) * | 2008-03-14 | 2014-07-09 | コニカミノルタ株式会社 | 有機圧電材料、それを用いた超音波振動子、その製造方法、超音波探触子及び超音波医用画像診断装置 |
| KR20220007153A (ko) | 2019-06-28 | 2022-01-18 | 후지필름 가부시키가이샤 | 고분자 복합 압전체 및 압전 필름 |
-
1989
- 1989-11-27 JP JP30696789A patent/JP2981901B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5545208B2 (ja) * | 2008-03-14 | 2014-07-09 | コニカミノルタ株式会社 | 有機圧電材料、それを用いた超音波振動子、その製造方法、超音波探触子及び超音波医用画像診断装置 |
| KR20220007153A (ko) | 2019-06-28 | 2022-01-18 | 후지필름 가부시키가이샤 | 고분자 복합 압전체 및 압전 필름 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2981901B2 (ja) | 1999-11-22 |
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