JPH0315832A - 高調波発生装置 - Google Patents
高調波発生装置Info
- Publication number
- JPH0315832A JPH0315832A JP15152589A JP15152589A JPH0315832A JP H0315832 A JPH0315832 A JP H0315832A JP 15152589 A JP15152589 A JP 15152589A JP 15152589 A JP15152589 A JP 15152589A JP H0315832 A JPH0315832 A JP H0315832A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- nonlinear crystal
- wavelength
- optical fiber
- crystal body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims abstract description 32
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 claims abstract description 30
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 7
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 abstract description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 11
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 229910052743 krypton Inorganic materials 0.000 description 1
- DNNSSWSSYDEUBZ-UHFFFAOYSA-N krypton atom Chemical compound [Kr] DNNSSWSSYDEUBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
（産業上の利用分野）
本発明はＹＡＧレーザの発振波長を、非線形結見に透過
することにより高調波を発生させる高調波発生装置に関
する。
することにより高調波を発生させる高調波発生装置に関
する。
（従来の技術）
波長が３００ｎｍ以下の紫外（以下ＵＶと記す）レーザ
光を加工に用いる場合、上記レーザ光を照射する部分を
ロボットのアーム先端に設けるような構成が望まれる。
光を加工に用いる場合、上記レーザ光を照射する部分を
ロボットのアーム先端に設けるような構成が望まれる。
このような場合に使用される第４高調波発生装置は第４
図に示されるようになっている。ＹＡＧレーザ発振装ｉ
ｔｌによって発振されたレーザ光は波長が１．０６μｍ
（以下ωと記す）であり、この波長λを第１の非線形結
晶体２に透過することで、５３２ｎｍ （以下２ωと記
す）の波長の第２高調波（Ｓｅｃｏｎｄ Ｈａｒｍｏｎ
ｉｃ Ｇｅｎｅｒａｔ１ｏｎ）が発生され、ω＋２ωの
合成光に変換される。この合成先の先路上に波長ωのみ
を反射する第１のダイクロイックミラ−３が設けられて
おり、２ωの波長のみが取出される。この２ωの波長先
はさらに第２の非線形結晶体４を透過することで２６６
ｎｍの波４ｉ（以下４ωと記す）の第４高調波（ Ｆｏ
ｕｒｔｈＨａｒｍｏｎｉｃ ＧｅｎｅｒａＬＩｏｎ）を
発生し、２ （ＪＪ ＋ ４ ωの合成光に変換される
。この合成光２ω＋４ωは第２のダイクロイックミラ−
５により２ωの波長が反射され、４ωの波長のみが透過
される。
図に示されるようになっている。ＹＡＧレーザ発振装ｉ
ｔｌによって発振されたレーザ光は波長が１．０６μｍ
（以下ωと記す）であり、この波長λを第１の非線形結
晶体２に透過することで、５３２ｎｍ （以下２ωと記
す）の波長の第２高調波（Ｓｅｃｏｎｄ Ｈａｒｍｏｎ
ｉｃ Ｇｅｎｅｒａｔ１ｏｎ）が発生され、ω＋２ωの
合成光に変換される。この合成先の先路上に波長ωのみ
を反射する第１のダイクロイックミラ−３が設けられて
おり、２ωの波長のみが取出される。この２ωの波長先
はさらに第２の非線形結晶体４を透過することで２６６
ｎｍの波４ｉ（以下４ωと記す）の第４高調波（ Ｆｏ
ｕｒｔｈＨａｒｍｏｎｉｃ ＧｅｎｅｒａＬＩｏｎ）を
発生し、２ （ＪＪ ＋ ４ ωの合成光に変換される
。この合成光２ω＋４ωは第２のダイクロイックミラ−
５により２ωの波長が反射され、４ωの波長のみが透過
される。
実際に加工に使用されるＵＶレーザ光は上紀４ωの波長
であり、高反射ミラー６に反射されることにより加工物
に照射されるようになっている。
であり、高反射ミラー６に反射されることにより加工物
に照射されるようになっている。
このような高調波発生装置は、加工に使用する際に、４
ωのＵＶレーザ光を伝送する手段が高反射ミラー６およ
び図示しない複数の高反射ミラーによって行われるもの
である。
ωのＵＶレーザ光を伝送する手段が高反射ミラー６およ
び図示しない複数の高反射ミラーによって行われるもの
である。
上記４ωのＵＶレーザ光は光ファイバーを使用すると紫
外吸収による損失が大きく伝送効率が著しく低く実用化
できないという欠点があった。つまり、現在までに開発
されている光ファイバーの丈用上の伝送可能な波長は最
適なものを選択しても３８０〜７５０ｎｍの範囲までで
あり、上記４ω（２６６ｎｍ）の波長では伝送不可能で
あった。
外吸収による損失が大きく伝送効率が著しく低く実用化
できないという欠点があった。つまり、現在までに開発
されている光ファイバーの丈用上の伝送可能な波長は最
適なものを選択しても３８０〜７５０ｎｍの範囲までで
あり、上記４ω（２６６ｎｍ）の波長では伝送不可能で
あった。
このため、Ｕｖレーザ光の伝送部のフレキシビリティー
を高めることが困難であった。
を高めることが困難であった。
（発明が解決しようとするｘ題＞
高調波発生装置にはＹＡＧレーザ光を２つの非線形結晶
に透過することでｍ２高調波および第４高調波を含むＵ
Ｖレーザ光に変換するものがあるが、このようなＵＶレ
ーザ光は光ファイバーの伝送効率が極めて低く複数の高
反射ミラーによる伝送しか適用できなかった。
に透過することでｍ２高調波および第４高調波を含むＵ
Ｖレーザ光に変換するものがあるが、このようなＵＶレ
ーザ光は光ファイバーの伝送効率が極めて低く複数の高
反射ミラーによる伝送しか適用できなかった。
本発明は上記課題に着目してなされたものであり、工作
ａｌＭやロボットのアーム先端等に容易にＵＶレーザ光
の射出部を設けることができるフレキシビリティの高い
高調波発生装置を提供することを目的とする。
ａｌＭやロボットのアーム先端等に容易にＵＶレーザ光
の射出部を設けることができるフレキシビリティの高い
高調波発生装置を提供することを目的とする。
（課題を解決するための手段）
（１）本発明は３８０ｎｍ以上７５０ｎｍ以下の波長光
を伝送する光ファイバーの出力端近傍に非線形結晶を設
けた高調波発生装置にある。
を伝送する光ファイバーの出力端近傍に非線形結晶を設
けた高調波発生装置にある。
（２）本発明は３８０ｎｍ以上７５０ｎｍ以下の波長光
を伝送する光ファイバーを設け、この光ファイバーの出
力端近傍に非線形結晶体を設け、この非線形結晶体で変
換された光成分を上記非線形結晶体光紬外に反射し変換
されなかった光成分を透過するミラー体を設けた高調波
発生装置にある。
を伝送する光ファイバーを設け、この光ファイバーの出
力端近傍に非線形結晶体を設け、この非線形結晶体で変
換された光成分を上記非線形結晶体光紬外に反射し変換
されなかった光成分を透過するミラー体を設けた高調波
発生装置にある。
（作 用）
（１）光ファイバーで３８０ｎｍ以上７５０ｎｍ以ドの
波長の光を伝送し、この光ファイバーの先端に設けられ
た非線形結晶体に光を透過することで高調波を発生させ
、フレキシビリティの高いレーザ光の伝送と、可動部に
おける高調波の照射が容易にできる。
波長の光を伝送し、この光ファイバーの先端に設けられ
た非線形結晶体に光を透過することで高調波を発生させ
、フレキシビリティの高いレーザ光の伝送と、可動部に
おける高調波の照射が容易にできる。
（２）光ファイバーで３８０ｎｍ以上７５０ｎｍ以下の
波長の光を伝送し、この光ファイバーの先端に設けられ
た非線形結晶体に光を透過することで高調波を発生させ
、透過光がミラー体に入射すると、高調波に変換された
光成分は入射時の光紬外に反射し、変換されなかった光
成分は透過し、より単一性の高い高調波を出力できる。
波長の光を伝送し、この光ファイバーの先端に設けられ
た非線形結晶体に光を透過することで高調波を発生させ
、透過光がミラー体に入射すると、高調波に変換された
光成分は入射時の光紬外に反射し、変換されなかった光
成分は透過し、より単一性の高い高調波を出力できる。
（実施例）
本発明における一実施例を第１図乃至第３図を参照して
説明する。図中におけるＹＡＧレーザ発振装ｗｔ８はレ
ーザロッド９と、この周面に対向して励起光を発光する
クリプトンランプ１０と、上記レーザロッド９の端部に
対峙された高反射ミラー１１および出力ミラー１２とを
鍮えており、上記出力ミラー１２から波長ωが１．０．
６μｍのレーザ光を出力する。
説明する。図中におけるＹＡＧレーザ発振装ｗｔ８はレ
ーザロッド９と、この周面に対向して励起光を発光する
クリプトンランプ１０と、上記レーザロッド９の端部に
対峙された高反射ミラー１１および出力ミラー１２とを
鍮えており、上記出力ミラー１２から波長ωが１．０．
６μｍのレーザ光を出力する。
この出力光ωの光路中に例えば
β−ＢａＢ２０４からなる第１の非綿形結晶体１３が設
けられている。この第１の非線形結晶体１３は上記出力
光に対して位相整合のとれた状態に形成および配置され
ており、透過中に波長が２ωに変換される。上記第１の
非線形結晶体１３を透過することでω＋２ωの合威光に
変換される。
けられている。この第１の非線形結晶体１３は上記出力
光に対して位相整合のとれた状態に形成および配置され
ており、透過中に波長が２ωに変換される。上記第１の
非線形結晶体１３を透過することでω＋２ωの合威光に
変換される。
この合或光ω＋２ωの光路上にはωの波長のみを高い効
率で反射する第１のミラー体１４が位置され、このミラ
ー体１４は２ωの波長を高い効率で透過するようなコー
ティングが施されている。
率で反射する第１のミラー体１４が位置され、このミラ
ー体１４は２ωの波長を高い効率で透過するようなコー
ティングが施されている。
この２ωの波長光の光路上には集光レンズ１５が配設さ
れ、この集光レンズ１５によって集光された２ωのレー
ザ光は後述する光ファイバー１６に入射される。
れ、この集光レンズ１５によって集光された２ωのレー
ザ光は後述する光ファイバー１６に入射される。
この光ファイバー１６は所定長さをもっており、３８０
〜７５０ｎｍの波長を高い効率で伝送できるようになっ
ている。この光ファイバー１６の出力端部には出力光の
光軸方向に沿って長い矩形箱状に形成されたフレーム１
７が結合されている。
〜７５０ｎｍの波長を高い効率で伝送できるようになっ
ている。この光ファイバー１６の出力端部には出力光の
光軸方向に沿って長い矩形箱状に形成されたフレーム１
７が結合されている。
このフレーム１７の一側面にはレーザ出力ボート１８が
開口されている。さらに、上記光フィバー１６の出力端
には出射されるレーザ光に対して位相整合がとれた状態
に第２の非線形結晶体１９が位置され周而が上記フレー
ム７の内周面に結合されている。この、第２の非線形結
晶体１９は例えばβ−ＢａＢ２０４からなり人射された
レーザ光の２倍波を発生するものであり、波長が２６６
ｎｍ （以下４ωと記す）の第４高Ａ波（ＰｏｕｒＬｈ
Ｈａｒｍｏｎｉｃ Ｇｅｎｅｒａｔｅｒ）を発生する
。つまり２ω＋４ωの合成光を発生する。
開口されている。さらに、上記光フィバー１６の出力端
には出射されるレーザ光に対して位相整合がとれた状態
に第２の非線形結晶体１９が位置され周而が上記フレー
ム７の内周面に結合されている。この、第２の非線形結
晶体１９は例えばβ−ＢａＢ２０４からなり人射された
レーザ光の２倍波を発生するものであり、波長が２６６
ｎｍ （以下４ωと記す）の第４高Ａ波（ＰｏｕｒＬｈ
Ｈａｒｍｏｎｉｃ Ｇｅｎｅｒａｔｅｒ）を発生する
。つまり２ω＋４ωの合成光を発生する。
さらに、上記フレーム１７内には第２の非線形結晶体１
つに対峙して出力先を上記レーザ出力ポ一ト１８へ向け
て反射するミラー体２ｏが固定されている。このミラー
体２０は４ωの波長を高い効率で反射し、且つ２ωの波
長を高い効率で透過するようなコーティングが施されて
いる。
つに対峙して出力先を上記レーザ出力ポ一ト１８へ向け
て反射するミラー体２ｏが固定されている。このミラー
体２０は４ωの波長を高い効率で反射し、且つ２ωの波
長を高い効率で透過するようなコーティングが施されて
いる。
そして、４ωの波長光はレーザ出力ポート１８から出力
され、２ωの波長先は上記フレーム７の内壁面に吸収さ
れるようになっている。
され、２ωの波長先は上記フレーム７の内壁面に吸収さ
れるようになっている。
上述のように構成されることで、光ファイバー１６で伝
送される２ωは先ファイバー１６の伝送可能波長３８０
〜７５０ｎｍの範囲内なので効率の高い伝送が可能であ
る。そして、先ファイバー１６の出射端側に設けられた
第２の非線形結晶体１つにより４ω（２２６ｎｍ）が発
生されるので、４ωが損失を受ける要因を最少限に押え
て効率の高い高調波発生を行なうことができる。
送される２ωは先ファイバー１６の伝送可能波長３８０
〜７５０ｎｍの範囲内なので効率の高い伝送が可能であ
る。そして、先ファイバー１６の出射端側に設けられた
第２の非線形結晶体１つにより４ω（２２６ｎｍ）が発
生されるので、４ωが損失を受ける要因を最少限に押え
て効率の高い高調波発生を行なうことができる。
そして、レーザ光の伝送手段として光ファイバー１６を
用いることにより第３図中に示されるように市販型のロ
ボット２１のアーム２２等に容易に取付けることが可能
となる。
用いることにより第３図中に示されるように市販型のロ
ボット２１のアーム２２等に容易に取付けることが可能
となる。
ここで、上記ＹＡＧレーザ発振装ｉ１８から光路に沿っ
て配設された集光レンズ１５までの構造はレーザユニッ
トボックス２３内に収容されており、集光レンズ１５に
対峙して光ファイバー１６の入力端が固定されている。
て配設された集光レンズ１５までの構造はレーザユニッ
トボックス２３内に収容されており、集光レンズ１５に
対峙して光ファイバー１６の入力端が固定されている。
そして、上記アーム２２の中途部に光ファイバー１６の
中途部が接続され、アーム２２の先端部に上記フレーム
ｌ７が固着されており、このフレーム１７のレーザ出力
ポート１８が下方に向けられている。このように構威さ
れることで、従来構造においては市販のロボット２１に
より第４高調波４ωを照射する加工ができなかったが、
これを可能にできる。
中途部が接続され、アーム２２の先端部に上記フレーム
ｌ７が固着されており、このフレーム１７のレーザ出力
ポート１８が下方に向けられている。このように構威さ
れることで、従来構造においては市販のロボット２１に
より第４高調波４ωを照射する加工ができなかったが、
これを可能にできる。
なお、本発明は上記一実施例に限定されるものではムい
。例えば、第１および第２の非線形結晶体１３．１９は
双方がβ−ＢａＢｚ０４であるが、これに限定されずＫ
ＴＰ （ＫＴ ｉ ＯＰＯ４ ）．ＫＤ” Ｐ （ＫＨ
２ ＰＯ４ ）やＣＤ”Ａ（ＣＳ Ｈ２ Ａｓ ０４
）等でもよく何等限定を受けるものではない。
。例えば、第１および第２の非線形結晶体１３．１９は
双方がβ−ＢａＢｚ０４であるが、これに限定されずＫ
ＴＰ （ＫＴ ｉ ＯＰＯ４ ）．ＫＤ” Ｐ （ＫＨ
２ ＰＯ４ ）やＣＤ”Ａ（ＣＳ Ｈ２ Ａｓ ０４
）等でもよく何等限定を受けるものではない。
（１）光ファイバーの出力端近傍に非線形結晶体を設け
ることで、高いフレキシビリティでロボットのアーム等
に取付けることができる。また、上記非線形結晶体を透
過することにより上記光ファイバーを伝送してきた光を
高調波に変換するので、伝送中の光は光ファイバーを効
率よく伝送できる波長ｉｉａとし、加工部の照射光はこ
れに適した高調波に変換されるので、従来のミラー反射
による伝送構造と比較して簡単な伝送構造とすることが
できる。
ることで、高いフレキシビリティでロボットのアーム等
に取付けることができる。また、上記非線形結晶体を透
過することにより上記光ファイバーを伝送してきた光を
高調波に変換するので、伝送中の光は光ファイバーを効
率よく伝送できる波長ｉｉａとし、加工部の照射光はこ
れに適した高調波に変換されるので、従来のミラー反射
による伝送構造と比較して簡単な伝送構造とすることが
できる。
（２）光ファイバーの出力端近傍に非線形結晶体を設け
ることで、高いフレキシビリティでロボットのアーム等
に取付けることができる。また、非線形結晶体を透過し
た光をミラー体に入射させることで、高調波に変換され
た光成分を入射時の光紬外に反射し、変換されなかった
光成分を透過し、より単一性の高い高調波を出力できる
。
ることで、高いフレキシビリティでロボットのアーム等
に取付けることができる。また、非線形結晶体を透過し
た光をミラー体に入射させることで、高調波に変換され
た光成分を入射時の光紬外に反射し、変換されなかった
光成分を透過し、より単一性の高い高調波を出力できる
。
第１図乃至第３図は本発明における一実施例であり、第
１図は高調波発生装置の側断面図、第２図はＹＡＧレー
ザ発振装置が設けられた一部断面を有する高調波発生装
置の側面図、第３図は市販型ロボットのアームに高調波
発生装置を設けた状態の一例を示す斜視図、第４図は従
来におけるＹＡＧレーザの第４高調波を発生する高調波
発生装置である。 １６・・・光ファイバー １７・・・フレーム、１つ・
・・第２の非線形結晶体（非線形結晶体）、２０・・・
ミラー体。
１図は高調波発生装置の側断面図、第２図はＹＡＧレー
ザ発振装置が設けられた一部断面を有する高調波発生装
置の側面図、第３図は市販型ロボットのアームに高調波
発生装置を設けた状態の一例を示す斜視図、第４図は従
来におけるＹＡＧレーザの第４高調波を発生する高調波
発生装置である。 １６・・・光ファイバー １７・・・フレーム、１つ・
・・第２の非線形結晶体（非線形結晶体）、２０・・・
ミラー体。
Claims (2)
- （１）３８０ｎｍ以上７５０ｎｍ以下の波長の光を伝送
する光ファイバーと、この光ファイバーの出力端近傍に
設けられた非線形結晶体とを具備することを特徴とする
高調波発生装置。 - （２）３８０ｎｍ以上７５０ｎｍ以下の波長の光を伝送
する光ファイバーと、この光ファイバーの出力端近傍に
設けられた非線形結晶体と、この非線形結晶体で変換さ
れた光成分を上記非線形結晶体光軸外に反射し変換され
なかった光成分を透過するミラー体とを具備したことを
特徴とする高調波発生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15152589A JPH0315832A (ja) | 1989-06-14 | 1989-06-14 | 高調波発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15152589A JPH0315832A (ja) | 1989-06-14 | 1989-06-14 | 高調波発生装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0315832A true JPH0315832A (ja) | 1991-01-24 |
Family
ID=15520422
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15152589A Pending JPH0315832A (ja) | 1989-06-14 | 1989-06-14 | 高調波発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0315832A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04296731A (ja) * | 1991-03-27 | 1992-10-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 短波長レーザ光源 |
| US5841801A (en) * | 1995-12-13 | 1998-11-24 | Nec Corporation | Double wavelength laser |
| US6402488B2 (en) | 2000-01-31 | 2002-06-11 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Oil pump |
| US8070299B2 (en) | 2007-01-16 | 2011-12-06 | Seiko Epson Corporation | Light source apparatus and projector having a wavelength separator |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS51120774A (en) * | 1975-04-16 | 1976-10-22 | Toshiba Betsukuman Kk | Multi-wavelength analyzer |
| JPH01166774A (ja) * | 1987-12-24 | 1989-06-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レーザ内視鏡 |
| JPH01167812A (ja) * | 1987-12-24 | 1989-07-03 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光ファイバケーブル |
| JPH0258386A (ja) * | 1988-08-24 | 1990-02-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レーザ装置 |
-
1989
- 1989-06-14 JP JP15152589A patent/JPH0315832A/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS51120774A (en) * | 1975-04-16 | 1976-10-22 | Toshiba Betsukuman Kk | Multi-wavelength analyzer |
| JPH01166774A (ja) * | 1987-12-24 | 1989-06-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レーザ内視鏡 |
| JPH01167812A (ja) * | 1987-12-24 | 1989-07-03 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光ファイバケーブル |
| JPH0258386A (ja) * | 1988-08-24 | 1990-02-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レーザ装置 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04296731A (ja) * | 1991-03-27 | 1992-10-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 短波長レーザ光源 |
| US5841801A (en) * | 1995-12-13 | 1998-11-24 | Nec Corporation | Double wavelength laser |
| US6402488B2 (en) | 2000-01-31 | 2002-06-11 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Oil pump |
| US8070299B2 (en) | 2007-01-16 | 2011-12-06 | Seiko Epson Corporation | Light source apparatus and projector having a wavelength separator |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3167844B2 (ja) | 固体レーザ装置 | |
| EP0331303A3 (en) | Second harmonic generation | |
| US5420876A (en) | Gadolinium vanadate laser | |
| JPH0315832A (ja) | 高調波発生装置 | |
| JPH09162470A (ja) | ２波長レーザ発振器 | |
| JP2001042369A (ja) | 波長変換ユニット | |
| JPH0371991A (ja) | レーザ加工方法 | |
| JPH02126242A (ja) | 光波長変換装置 | |
| JPH07328025A (ja) | 医用レーザ装置 | |
| JPH01274487A (ja) | 光波長変換装置 | |
| JP2751119B2 (ja) | 平行光作成装置 | |
| JPH05104266A (ja) | レーザ加工装置 | |
| JPH06350176A (ja) | レーザ光の高調波発生装置 | |
| JPH02195332A (ja) | 高調波発生装置 | |
| JPH0318833A (ja) | 高調波発生素子および高調波発生装置 | |
| KR960003866B1 (ko) | 제 2 고조파 발생장치(Second Harmonic Generator) | |
| JPH0389574A (ja) | 第２次高調波発生装置 | |
| JPH08103090A (ja) | エネルギー伝送装置 | |
| JP2000299520A (ja) | レーザ発振器 | |
| JP2899977B2 (ja) | 半導体レーザ血管吻合装置 | |
| JPS6435423A (en) | Light wavelength conversion module | |
| JPS58173261U (ja) | レ−ザ発生装置 | |
| JPS62288535A (ja) | 光ビ−ムの出力測定装置 | |
| JPH03251263A (ja) | 医療用レーザ装置 | |
| JPH04111484A (ja) | Ｎｄ：ＹＡＧレーザーの第４高調波発生方法 |