JPH03155480A

JPH03155480A - 部分真空電子ビーム溶接装置

Info

Publication number: JPH03155480A
Application number: JP2222585A
Authority: JP
Inventors: Takeshi Wada; 武和田; Tatsuo Yonezawa; 米沢　立雄; Noboru Umehara; 昇梅原; Toshio Nemoto; 根本　寿夫; Toshio Namatame; 寿男生田目
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1989-08-28
Filing date: 1990-08-27
Publication date: 1991-07-03
Anticipated expiration: 2012-06-11
Also published as: JP2619559B2; US5170028A

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は部分真空電子ビーム溶接装置、及びその方法、
並びに真空排気装置に係り、特に、核融合装置のポロイ
ダルコイルの如く、複数の導電体を溶接接合して環状の
電気導体を形成するに好適な部分真空電子ビーム溶接装
置、及びその方法、並びに真空排気装置に関する。

〔従来の技術〕

核融合装置のポロイダルコイルは、核融合装置の真空容
器の外に配置され、真空容器中にプラズマを閉じ込める
ための磁場を発生する電気導体であり１例えば直径が１
０ｍの環状体で、偏平に曲げられた略数十Ｉ厚さ、数百
１幅の銅板から構成されており、板幅方向に溶接される
ものである。

従って、このポロイダルコイルは、大形ではあるが溶接
線は比較的短く、この短い溶接線に沿って溶接を何度も
繰り返し行い形成されるものである。

この溶接は、通常バイパルスＴＩＧ溶接法を用いて行わ
れているが、その溶接部の強度が母材の鋼材よりも低下
したり、あるいは溶接部の電気抵抗が増加する傾向にあ
った。

上記溶接部の強度低下、および電規抵抗増加は。

電子ビーム溶接法を用いることにより解決できることは
知られていた。ところが、直径１０ｍに及ぶ核融合装置
用ポロイダルコイルを収容しながら溶接するような電子
ビーム溶接装置は開発されていない。

一方、部分真空電子ビーム溶接装置の従来技術の１つは
、三菱重工技報ＶｏＱ、１９．Ｎα４゜１９８２−７．
第２〜７頁に開示されている。

その装置は、第１２図に示すように、直線溶接長を４ｍ
とする大型構造物用の部分真空電子ビーム溶接装置であ
る。該装置は、第１２図に示す如く、被溶接材１の溶接
線を挾んで、上下に上チャンバ２６、及び下チャンバ２
４が配置されている。

上チャンバ２６には電子ビームを通過させるためのスリ
ット３１が被溶接材１の溶接線に沿って設けられている
。上チャンバ２６の上面には、内部を真空に保持しなが
ら移動でき、かつ、電子銃を備えた真空トレーラ２７が
搭載されており、この真空トレーラ２７は、移動中にス
リット３１に真空シール用ベルト２９の敷設と巻き上げ
を行う装置を備えている。

〔発明が解決しようとする課題〕

上述した従来の部分真空電子ビーム溶接装置は、前述し
たように大型構造物の溶接に用いることを目的としてい
るので、この装置を核融合装置用のポロイダルコイルの
ような、いわば短尺の溶接に適用する場合には、不具合
が生じてくる。例えば、この装置では、溶接中スリット
３１に真空シール用ベルト２９を、真空を破壊しないよ
うにして敷設、巻き上げする必要があり、真空トレーラ
２７は高度の信頼性が必要となる。また、被溶接材１の
端部には、真空を確保するため、その端部に接して耳板
２５が、置かれているが、この耳板２５と被溶接材１の
端部との間にシール部材３０を設置する必要がある。と
ころが、従来の装置で溶接するシール部材３０を焼損す
る恐れがあり、これをさけるために端部の溶接ができな
いという問題がある。

更に、電子ビームの溶接線と直角方向の動きは、スリッ
ト３１の幅内に限定される。そのため、被溶接材１は、
この装置に対して正確におかれなければならず、位置決
めに手間を要する。従って、沢山の短い溶接線を持つ被
溶接材１に従来の装置を適用するのは適当でない。

本発明は上述の点に鑑みなされたもので、その目的とす
るところは、部分的な真空が確実で容易に確保でき、し
かも被溶接材の端部まで溶接が可能で、かつ、種々の寸
法の被溶接材に容易に対応できる部分真空電子ビーム溶
接装置、及び方法、電子銃の真空度が容易に確保できる
真空排気装置を提供すると共に、溶接部の強度が十分高
く、かつ、電気抵抗の十分小さい電気導体を提供するに
ある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明は、上記目的を達成するため被溶接材の溶接部へ
電子ビーム照射する電子銃と、該電子銃が設置され、そ
の設置側とは反対側に開口を有している第１チャンバと
、該第１チャンバの開口に対面する開口部を有し、該開
口部の所定位置に、前記電子銃からの電子ビームが照射
されて溶接される被溶接材の溶接部を収納したり、ある
いは、被溶接材を調整当板で支持している第２チャンバ
と、前記電子銃が設置されている第１チャンバのカバー
を摺動させ、該電子銃を前記被溶接材の溶接線方向に移
動させる駆動装置と、前記電子銃。

第１チャンバ、および第２チャンバ内を真空にひく真空
ポンプと、前記第１チャンバと第２チャンバの合わせ面
、第１チャンバの電子銃が設置されているカバーの摺動
面、および第２チャンバと被溶接材の接触部をそれぞれ
シールするシール材を備えている部分真空電子ビーム溶
接装置。

被溶接材の溶接部へ電子ビームを照射する電子銃と、該
電子銃が設置され、その設置側とは反対側に開口を有し
ている第１チャンバと、該第１チャンバの開口に対面す
る開口部を有している第２チャンバと、前記第１チャン
バと第２チャンバの間に設置され、前記被溶接材の溶接
部を収容する空間を形成するライナと、前記電子銃が設
置されている第１チャンバのカバーを摺動させ、該電子
銃を前記溶接材の溶接線方向に移動させる駆動装置と、
前記電子銃、第１チャンバ、および第２チャンバを真空
にひく真空ポンプと、前記第１チャンバの電子銃が設置
されているカバーの摺動面、前記ライナと第１、及び第
２チャンバとのそれぞれ合わせ面、及び前記ライナと被
溶接材との接触部をそれぞれシールするシール材とを備
えている部分真空電子ビーム溶接装置。

被溶接材の溶接部へ電子ビームを照射する電子銃を真空
に引く第１の真空ポンプと、前記電子銃が設置されてい
る側とは反対側に開口を有している第１チャンバ、及び
該第１チャンバの開口に対面する開口部を有し、該開口
部の所定位置に、前記電子銃からの電子ビームが照射さ
れて溶接される被溶接材の溶接部を収納したり、被溶接
材を調整当板で支持している第２のチャンバ内を真空に
引く第２の真空ポンプとを備え、前記第１の真空ポンプ
の排気系統を前記第１チャンバに接続した部分真空電子
ビーム溶接装置の真空排気装置、被溶接材の溶接部へ電
子ビームを照射する電子銃を真空に引く第１の真空ポン
プと、前記電子銃が設置されている側とは反対側に開口
を有している第１チャンバ内、及び該第１チャンバの開
口に対面する開口部を有し、第１チャンバとの間に設置
されているライナで前記被溶接材の溶接部を収容する空
間を形成している第２チャンバ内を真空に引く第２の真
空ポンプとを備え、前記第１の真空ポンプの系統を前記
第１チャンバに接続した部分真空電子ビーム溶接装置の
真空排気装置、電子銃が設置されている側とは反対側に
開口を有している第１チャンバと、該第１チャンバの開
口に対面する開口部の所定位置に被溶接材の接合される
べき溶接部を収納している第２チャンバとを組合せ。

これら各間をシール部材で気密にした後、電子銃に接続
されている第１の真空ポンプにより該電子銃内の真空度
を上げると共に、第２の真空ポンプにより前記第１チャ
ンバと第２チャンバの真空度を上げて被溶接部の溶接部
を部分真空にし、前記電子銃から電子ビームを該溶接部
に照射して被溶接材を電子ビーム溶接する部分真空電子
ビーム溶接方法、及び圧延銅板を曲げ加工した複数の部
片と、圧延銅板を機械切削した複数の部片とを組合せて
ほぼ環状に形成され、前記各部片の接合部は請求項１，
２、又は５記載の部分真空電子ビーム溶接装置を用いて
溶接接合されて形成されている電気導体としたものであ
る。

〔作用〕

本発明の部分真空電子ビーム溶接装置によれば、第２チ
ャンバの所定位置に被溶接材の接合されるべき溶接部を
配置して、あるいは調整当板で支持して第１チャンバと
組み合わせ、第２チャンバ。

第１チャンバ、被溶接部材等の間に設けたシール部材に
より気密にした後、第１真空ポンプにより電子銃の真空
度を上げるとともに、第２真空ポンプにより第１チャン
バと第２チャンバの真空度を上げて被溶接材の溶接部を
部分真空にし、電子銃から電子ビームを照射し、そして
、電子銃を設置した第１チャンバの電子銃設置側を、駆
動装置により被溶接材の溶接線に沿って移動させながら
、被溶接材を電子ビーム溶接することができる。

又、調整当板を用いる場合には、被溶接材の断面形状に
合わせた溝を有する調整当板を用い、それを第２チャン
バの案内溝に挿入するので、被溶接材の位置決めが容易
である。さらに被溶接材、調整当板、および第２チャン
バの開口部の各表面が、−平面になるように調整当板、
および第２チャンバの案内溝の寸法を決めておく、被溶
接材の断面寸法が変わっても常に被溶接材と電子銃との
距離が一定となり、溶接作業が簡単となる。

もうひとつの部分真空電子ビーム溶接装置では、被溶接
材の厚さに合わせてライナを用いているので、被溶接材
の幅を変化に対しては、このライナを第１チャンバと第
２チャンバの間でずらせて調節することにより、対応で
きる。

また、耳板を用いれば、電子ビームは被溶接材の溶接部
の両端の耳板から耳板まで移動するので、溶接線は完全
に溶接されることになる。

一方、電子銃用の第１真空ポンプの排気系統を第１チャ
ンバに接続することにより、電子銃における真空度を容
易にあげることができる。

このようにすることにより、被溶接材の溶接部は熱影響
が少なく強度低下がない、かつ不純物の混入がなく電気
抵抗の増加のない電気電体、例えば品質の優れた核融合
装置用のポロイダルコイルを得ることができる。

〔実施例〕

以下、図示した実施例に基づいて本発明の詳細な説明す
る。

まず、第１３図（Ａ）を用いて、本発明の部分真空電子
ビーム溶接装置により溶接される被溶接材である核融合
装置のポロイダルコイルを説明する。第１３図（Ａ）に
示す如く、ポロイダルコイル５０は、圧延銅板を曲げ加
工した導体部片５０ａ。

５０ｃ、５０ｅ、５０ｆ、及び５０ｇと、圧延銅板を機
械切削した導体部片５０ｂ、及び５０ｄとから構成され
、各導体部片５０ａ〜５０ｇは環状に組立てられる。そ
して、各導体部片の接合部は、第１３図（Ｂ）に示す様
に、本発明の部分真空電子ビーム溶接装置１００により
溶接される。ちなみにポロイダルコイルは、−例として
概略板厚３０＋＋ｎ、板幅１００ｍ＋で、板幅方向に弯
曲した直径Ｉｏｎの環状体である。

第１図に本発明の部分真空電子ビーム溶接装置の一実施
例に示す。該図に示す部分真空電子ビーム溶接装置は、
ポロイダルコイル５０の溶接部を収納し、上方に開口す
る第２チャンバとしての下チャンバ２と、その上に設置
され下方に開口する第１チャンバとしての上チャンバ５
、上チャンバ５の天井部に相当し電子銃６が設置されて
いるカバー７、カバー７の駆動装置１２の他、真空ポン
プ、シール部材等から概略構成されている。

ポロイダルコイル５ｏは１位置決め当板としての調整当
板３に設けられた溝を嵌入して支持されており、この調
整当板３は下チャンバ２に設けられた案内溝２ａに挿入
されている。この調整当板３は、第２図に示すように形
状をしている。即ち。

フロント部３ａと、この上部から垂直方向に下チャンバ
の上面の幅と同じたけ突き出た一対の突出部３ｂと、こ
の間に形成された溝３ｃとからなっている。

一方、ポロイダルコイル５０の上面、調整当板３の上面
、及び下チャンバ２の上面２ｂが一平面内に位置するよ
うに下チャンバ２の案内溝２ａ、調整当板３の寸法を決
めておく。下チャンバ２と上チャンバ５を気密にするた
めに、下チャンバ２の上面２ｂとポロイダルコイル５０
の上面、および調整当板３の上面により形成される平面
と上チャンバ５の下面５ａの間にシール部材４を配設す
る。このシール部材４は、上、下チャンバ２，５を真空
に引いた時に、真空による引込みを防止するための剛性
を考え、また、下チャンバ２と調整当板３、ポロイダル
コイル５０と調整当板３の間の間隙を考慮し、その間隙
以上の厚みと十分な幅をもたせるようにしである。

電子銃６は、上チャンバ５の一部を形成しているカバー
７上に設置されている。カバー７はシール部材８，９、
カバー１０を介して上チャンバ５の上面５ｂに接触し、
上チャンバ５に対し前後、左右に移動可能で、下チャン
バ２、および上チャンバ５の真空が保持できる構造にな
っている。

１１は電子ビームでポロイダルコイル５ｏの接合部を溶
接するため電子銃６より照射される９カバー１０の上に
設置された駆動装置１２は、スクリュー１３を回転させ
ることにより、電子銃６が設置されているカバー７をポ
ロイダルコイル５０の溶接線に沿って左右に移動させる
ことができる。

図面には、図示されないが、カバー１０は同様な駆動機
構で前後にも移動できる。

第１の真空ポンプ１４は電子銃６に取りつけられ、電子
銃６内の、真空排気を行い高真空を確保するためのもの
であり、パイプ１５を介して、上チャンバ５のカバー７
に取りつけられており、ｆｌ電子銃６内真空引きをした
第１の真空ポンプ１４を高真空中の上チャンバ５内に排
気できる機構になっている。従って、電子銃６内の真空
は、上チャンバ５内よりさらに高真空が得られる。

第２の真空ポンプ１６は、上下のチャンバ５゜２を高真
空にするためのもので、下流に設置された低真空を確保
するための真空ポンプ１７．１８の低真空側へ排気され
る。

これにより、電子銃６内はＩ　Ｘ　１０−３Ｔｏｒｒ、
上。

下チャンバ２，５内はＩ　Ｘ　１０−”Ｔｏｒｒとなり
、電子ビーム溶接に必要な真空度が容易に確保できる。

第３図に下チャンバ２内にポロイダルコイル５０をセッ
トした状況を示す、ポロイダルコイル５０は、その上面
が下チャンバ２の上面と同一平面になるように配設され
、そして、下チャンバ２とポロイダルコイル５０の間隙
には、調整当板３がその上面が前記平面と同一面になる
ようにホルダ１９により取付けられている。ポロイダル
コイル５０の溶接線の各端部には耳板２０がとりつけら
れており、溶接欠陥が発生し易い溶接の始点、終点を耳
板２０の中に留めるので、溶接線端部まで完全な溶接を
可能としている。なお、耳板２０は最終的に除去される
。

第４図は第３図の■部詳細図である。シール部材２１は
、下チャンバ２の外壁とそれに接する調整当板３の間に
設置され、下チャンバ２の真空を確保するものである。

２２、及び２３はゴム粘土２２．２３で、それぞれポロ
イダルコイル５０と調整当板３の間隙、調整当板３と下
チャンバ２の間隙をうめ、真空を確保するためのもので
ある。

第５図は第４図の■−■矢視図、第６図は第４図のＶｌ
−ＶＩ矢視図、第７図は第４図の■−■断面図、第８図
は第４図の■−■断面図であって、それらの図はシール
部材２１．ゴム粘土２２．２３によるシールの状況を示
す。

第９図は下チャンバ２．ポロイダルコイル５０、および
調整当板３の各上面で形成される平面上に、板状のシー
ル部材４をセットした状況を示す。

第１０図は、第９図のＸ−Ｘ断面図である。下チャンバ
２は案内溝２ａを有しており、ポロイダルコイル５０の
断面形状にあまり影響されずに、下チャンバ２ヘセツト
可能である。

下チャンバ２とポロイダルコイル５０の空隙は、調整当
板３の寸法を調整することにより容易に対応できる。

上述したように、本実施例の装置によれば、ポロイダル
コイル５０の断面形状が多少変っても、調整当板３の変
更により柔軟に対応できて、電子ビーム溶接が行える。

第１１図（Ａ）に本発明の第２の実施例を示す。

この第２の実施例の部分真空電子ビーム溶接装置は、第
１図に示す第１の実施例の装置と基本的な構成は同じで
ある。したがって、ここでは第２の実施例が第１の実施
例と異なる点についてのみ説明する。

第２の実施例の部分真空電子ビーム溶接装置は。

第１１図（Ａ）に示すように、上チャンバ５と下チャン
バ２の間にシール部材４，４３を介して調整ライナ４１
，４２を設け、かくして上チャンバ５、下チャンバ２、
及び左右に位置する調整ライナ４１，４２によって構成
される溝にポロイダルコイル５０を配置し、接合部を電
子ビーム溶接により接合するものである。

第１１図（Ｂ）に示すように、調整ライナ４１゜４２は
、各々一方に延びた延長部があり、その延長部が対向し
てポロイダルコイルが嵌スするスペースを形成している
。延長部間の空間は、部材の取付けのためである。

本実施例によれば、ポロイダルコイルと同一厚みの調整
ライナを出し入れすることにより、板幅の異なるポロイ
ダルコイルに対し容易に対応できる利点がある。

以上、本発明の実施例を穏々説明したが１本実施例の効
果をまとめると、２つのチャンバを組み合わせ、第１チ
ャンバには電子銃を設置し、他方の第２チャンバにはそ
の定位置に被溶接材を収容するので、被溶接材の位置決
め作業が容易となる。

被溶接材の断面形状に合わせた調整当板を用い、それを
第２チャンバの案内溝に挿入して被溶接材の位置決めす
る場合、特に被溶接材の表面、調整当板の表面、および
第２チャンバの合わせ面を同一平面にセットでき、チャ
ンバの真空シールが容易に確実にできるとともに、溶接
部表面と電子銃との距離が常に一定になるので、溶接作
業を簡単にすることができる。また、第１チャンバ、お
よび第２チャンバの合わせ面を平面とし、各平面間にラ
イナを用いて被溶接材を位置決めする場合には、被溶接
材の板幅が変っても、ライナをずらすだけで対応できる
メリットがある６被溶接材の溶接線の両端に耳板を取り
付ければ、溶接欠陥の発生し易い溶接の始点、終点を耳
板の中に留めることができるので、被溶接材を無欠陥で
溶接することができる。また、電子銃を真空にひく第１
真空ポンプの排気系統を第１チャンバに接続することに
より、電子銃の真空度を容易に確保できる、〔発明の効
果〕以上説明した本発明の部分真空電子ビーム溶接装置、及
びその方法、並びに真空排気装置によれば、部分的な真
空が確実で容易に確保でき、しかも、被溶接材の端部ま
で溶接が可能で、かつ、種種の寸法の被溶接材に容易に
対応でき、これにより得られる電気導体は、溶接部の強
度が十分高く。

かつ、電気抵抗が十分小さいものとなり、核融合装置用
のポロイダルコイルの製作にあたっては、非常に有効で
ある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の部分真空電子ビーム溶接装置の第１の
実施例を示す断面図、第２図はそれに用いられる調整当
板の斜視図、第３図は下チャンバに被溶接材をセットし
た状況を示す斜視図、第４図は第３図の■部の詳細図、
第５図は第４図のＶ−Ｖ矢視図、第６図は第４図のＶｌ
−ＶＩ矢視図、第７図は第４図の■−■断面図、第８図
は第４図の■−■断面図、第９図は上、下チャンバと被
溶接材をシール部でシールしている状況材を示す斜視図
、第１０図は第９図のＸ−Ｘ断面図、第１１図（Ａ）は
本発明の部分真空電子ビーム溶接装置の第２の実施例に
示す断面図、第１１図（Ｂ）は、それに用いられるライ
ナの斜視図、第１２図は従来の部分真空電子ビーム溶接
装置を示す斜視図、第１３図（Ａ）は本発明の装置で溶
接接合される核融合装置用ポロイダルコイルの斜視図、
第１３図（Ｂ）は溶接接合状況を示す斜視図である。２・・・下チャンバ、３・・・調整当板、４，８，９゜
２１・・・シール部材、５・・・上チャンバ、６・・・
電子銃。７．１０・・・カバー、１１・・・電子ビーム、１２・
・・駆動モータ、１３・・・シャフト、１４，１６．１
７゜１８・・・真空ポンプ、ＩＳ・・・排気パイプ、１
９・・・ホルダ、２０・・・耳板、２２．２３・・・ゴ
ム粘土、５０・・・ポロイダルコイル、１００・・・部
分真空電子ビ−第３図第５図（Ｖ−Ｖ矢視）第図第ア図第図第１０図（Ｘ−Ｘ　　　＞第１３図（Ａ）第１３図（Ｂ）

Claims

【特許請求の範囲】１、被溶接材の溶接部へ電子ビームを照射する電子銃と
、該電子銃が設置され、その設置側とは反対側に開口を
有している第１チャンバと、該第１チャンバの開口に対
面する開口部を有し、該開口部の所定位置に、前記電子
銃からの電子ビームが照射されて溶接される被溶接材の
溶接防を収納する第２チャンバと、前記電子銃が設置さ
れている第１チャンバのカバーを摺動させ、該電子銃を
前記被溶接材の溶接線方向に移動させる駆動装置と、前
記電子銃、第１チャンバ、および第２チャンバ内を真空
にひく真空ポンプと、前記第１チャンバと第２チャンバ
の合わせ面、第１チャンバの電子銃が設置されているカ
バーの摺動面、および第２チャンバと被溶接材の接触部
をそれぞれシールするシール材とを備えていることを特
徴とする部分真空電子ビーム溶接装置。２、被溶接材の溶接部へ電子ビームを照射する電子銃と
、該電子銃が設置され、その設置側とは反対側に開口を
有している第１チャンバと、該第１チャンバの開口に対
面する開口部を有し、該開口部の所定位置に、前記電子
銃からの電子ビームが照射されて溶接される被溶接材を
調整当板で支持している第２チャンバと、前記電子銃が
設置されている第１チャンバのカバーを摺動させ、該電
子銃を前記被溶接材の溶接線方向に移動させる駆動装置
と、前記電子銃、第１、及び第２チャンバ内を真空にひ
く真空ポンプと、前記第１チャンバと第２チャンバの合
せ面、第１チャンバの電子銃が設置されているカバーの
摺動面、及び第２チャンバと被溶接材の接触部をそれぞ
れシールするシール材とを備えていることを特徴とする
部分真空電子ビーム溶接装置。３、前記調整当板は、前記被溶接材の断面形状に合った
溝を有して前記第２チャンバの開口部に設けられた案内
溝に挿入されており、かつ、前記被溶接材、および案内
溝とのそれぞれのすき間はシールされていることを特徴
とする請求項２記載の部分真空電子ビーム溶接装置。４、前記被溶接材の電子ビームが照射される側の表面、
前記調整当板の表面、及び前記第２チャンバの開口部表
面を同一面に設定したことを特徴とする請求項２、又は
３記載の部分真空電子ビーム溶接装置。５、被溶接材の溶接部へ電子ビームを照射する電子銃と
、該電子銃が設置され、その設置側とは反対側に開口を
有している第１チャンバと、該第１チャンバの開口に対
面する開口部を有している第２チャンバと、前記第１チ
ャンバと第２チャンバの間に設置され、前記被溶接材の
溶接防を収容する空間を形成するライナと、前記電子銃
が設置されている第１チャンバのカバーを摺動させ、該
電子銃を前記被溶接材の溶接線方向に移動させる駆動装
置と、前記電子銃、第１チャンバ、および第２チャンバ
を真空にひく真空ポンプと、前記第１チャンバの電子銃
が設置されているカバーの摺動面、前記ライナと第１、
及び第２チャンバとのそれぞれ合わせ面、及び前記ライ
ナと被溶接材との接触部をそれぞれシールするシール材
とを備えていることを特徴とする部分真空電子ビーム溶
接装置。６、前記被溶接材の溶接線の両端に耳板を取り付けたこ
とを特徴とする請求項１、２又は５に記載の部分真空電
子ビーム溶接装置。７、被溶接材の溶接部へ電子ビームを照射する電子銃を
真空に引く第１の真空ポンプと、前記電子銃が設置され
ている側とは反対側に開口を有している第１チャンバ、
及び該第１チャンバの開口に対面する開口部を有し、該
開口部の所定位置に、前記電子銃からの電子ビームが照
射されて溶接される被溶接材の溶接部を収納する第２の
チャンバ内を真空に引く第２の真空ポンプとを備え、前
記第１の真空ポンプの排気系統を前記第１チャンバに接
続したことを特徴とする部分真空電子ビーム溶接装置の
真空排気装置。８、被溶接材の溶接部へ電子ビームを照射する電子銃を
真空に引く第１の真空ポンプと、前記電子銃が設置され
ている側とは反対側に開口を有している第１チャンバ、
及び該第１チャンバの開口に対面する開口部を有し、該
開口部の所定位置に、前記電子銃からの電子ビームが照
射されて溶接される被溶接材を調整当板で支持している
第２チャンバ内を真空に引く第２の真空ポンプとを備え
、前記第１の真空ポンプの排気系統を前記第１チャンバ
に接続したことを特徴とする部分真空電子ビーム溶接装
置の真空排気装置。９、被溶接材の溶接部へ電子ビームを照射する電子銃を
真空に引く第１の真空ポンプと、前記電子銃が設置され
ている側とは反対側に開口を有している第１チャンバ内
、及び該第１チャンバの開口に対面する開口部を有し、
第１チャンバとの間に設置されているライナで前記被溶
接材の溶接部を収容する空間を形成している第２チャン
バ内を真空に引く第２の真空ポンプとを備え、前記第１
の真空ポンプの系統を前記第１チャンバに接続したこと
を特徴とする部分真空電子ビーム溶接装置の真空排気装
置。１０、電子銃が設置されている側とは反対側に開口を有
している第１チャンバと、該第１チャンバの開口に対面
する開口部の所定位置に被溶接材の接合されるべき溶接
部を収納している第２チャンバとを組合せ、これら各間
をシール部材で気密にした後、電子銃に接続されている
第１の真空ポンプにより該電子銃内の真空度を上げると
共に、第２の真空ポンプにより前記第１チャンバと第２
チャンバの真空度を上げて被溶接部の溶接部を部分真空
にし、前記電子銃から電子ビームを該溶接部に照射して
被溶接材を電子ビーム溶接することを特徴とする部分真
空電子ビーム溶接方法。１１、前記電子銃が設置されている第１チャンバのカバ
ーを駆動装置により移動させ、これに伴つて前記電子銃
が被溶接材の溶接線に沿つて移動しながら電子ビームを
被溶接材の溶接部に照射することを特徴とする請求項１
０記載の部分真空電子ビーム溶接方法。１２、圧延銅板を曲げ加工した複数の部片と、圧延銅板
を機械切削した複数の部片とを組合せてほぼ環状に形成
され、前記各部片の接合部は請求項１、２、又は５記載
の部分真空電子ビーム溶接装置を用いて溶接接合されて
形成されていることを特徴とする電気導体。