JPH03148011A - パルス列変換回路 - Google Patents

パルス列変換回路

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JPH03148011A
JPH03148011A JP1286397A JP28639789A JPH03148011A JP H03148011 A JPH03148011 A JP H03148011A JP 1286397 A JP1286397 A JP 1286397A JP 28639789 A JP28639789 A JP 28639789A JP H03148011 A JPH03148011 A JP H03148011A
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    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/244Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains

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  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、例えばレーザ干渉測長機に使用して好適なパ
ルス列変換回路に関する。
〔発明の概要〕
本発明は、例えばレーザ干渉測長機に使用して好適なパ
ルス列変換回路に関し、1個のパルスが人力される毎に
任意の基準単位置に相当する数値を加算又は減算し、こ
の加算結果の桁上り出力又はこの減算結果の桁下り出力
を用いて出力パルス列を生成することにより、入力パル
ス列の間隔が端数を有する物理量に対応する場合であっ
てもリアルタイムに間隔が端数が除かれた物理量に対応
する出力パルス列を生成できる様にしたものである。
〔従来の技術〕
一般に、所定のセンサより出力されるパルスを用いて物
理量を求めるには、そのパルスの積算係数値と1パルス
に対応する基準単位置(長さ/パルス、時間/パルス、
重量/パルスなど)との積を計算することが行なわれる
例えばレーザ干渉測長機の場合には、使用するレーザ光
線の波長をλとすると、センサ部分からは変位量がλ/
2変化する毎に1個のパルスが出力される。そして、例
えばその波長λを0.7034μmと仮定して、そのセ
ンサ部分から出力されるパルスの積算係数値をNとする
と、最終的に得られる測定値■は V=NXλ/2 =NxO,3517(μm)  ・−(1)で表わされ
る。即ち、測定値■はその積算係数値Nにλ/2を乗す
ることによって求められる。
変位量が一定速度Wで増加する場合を考えると、時間t
に対して実際の変位量は第4図の破線(18)の如く変
化する。一方、演算プロセッサが式(1)の演算を1口
実行するのに要する演算時間をΔTとすると、例えば第
4図の時点り。で点P0に対応する積算係数値Nをラッ
チしてから時間ΔT経過後に測定値■が求められる。し
かし、時間ΔT経過後には変位量はε+(−wΔT)だ
け増加しているため、時間tに対する測定値■の値は実
線(19)の如く変化する。従って、オフセント分を無
視すると測定値■には最大でε、の誤差が生じる。
〔発明が解決しようとする課題〕
従来例において測定値■の誤差ε、を小さくするには、
式(])の演算時間ΔTを小さくすればよいが、そのた
めには大規模で高価な高速の演算プロセッサを使用しな
ければならず、レーザ干渉測長機に手軽に組込むことは
できない不都合がある。
更に、高速の演算プロセッサを使用しても、その波長λ
の有効桁数や積算係数値Nの値が大きくなった場合には
演算時間の短縮には限界があると共に、特にNC工作機
械のフィードバック要素に使用する場合の如くリアルタ
イム性を要求される用途には使用できない不都合がある
また、式(1)の演算によって得られる測定値■は例え
ば5.2755μmの如く端数(0,2755μm)を
有するが、一般に必要とされる測定値■の精度は1パル
スに対応する物理量以上程度でありその端数の重要性は
少ない。従って、間隔がλ/2即ち0.3517μmに
対応するパルスが入力されたときでも、一般には分解能
1μm程度で(端数が除かれた形式で)その測定値Vが
求められればよい。更に、そのように端数が除かれた形
式でその測定値■を求めるには、端数が除かれた物理量
(例えば1μm)に間隔が対応するパルス列を形成して
、このパルス列を計数すればよい。しかしながら、式(
1)の演算を行なう方式では、そのように端数が除かれ
た物理量に間隔が対応するパルス列を形成することは一
般的にコストが高くなる。
本発明は斯かる点に鑑み、人力パルス列の間隔が端数を
有する物理量に対応する場合であっても、リアルタイム
に端数が除かれた物理量に間隔が対応する出力パルス列
を生成できる様にすることを目的とする。
〔課題を解決するための手段〕
本発明によるパルス列変換回路は例えば第1図に示す如
く、(入力パルス列PT、の)1個のパルスが入力され
る毎に任意の基準単位置に相当する数値(As At 
At Ao)を加算又は減算し、この加算結果の桁上り
出力CB又はこの減算結果の桁下り出力CBを用いて出
力パルス列PT、を生成する様にしたものである。
〔作用〕
斯かる本発明によれば、その基準単位置が端数を有する
物理量(例えば0.3517μ111)に対応する場合
には、入力パルス列PT、の間隔も端数を有する物理量
に対応することになる。そして、その人力パルス列PT
、の1個のパルスが入力される毎に、例えばその基準単
位置に相当する数値(A sAt At Ao)を累積
的に加算して、桁上り出力CBがハイレベル“1”にな
ったときに出力パルス列PT、とじて1個のパルスを生
成することにより、出力パルス列PT、の間隔は端数が
除かれた物理量(例えば1μm)に対応する如くなる。
そして、この出力パルス列PT+の生成はリアルタイム
に実行される。
また、その出力パルス列PT、を積算係数することによ
り端数が除かれた形式でリアルタイムに積算された物理
量が求められる。
〔実施例〕
以下、本発明によるパルス列変換回路の一実施例につき
第1図〜第3図を参照して説明しよう。
本例は例えばレーザ干渉測長機の如く入力パルス列PT
oの間隔に対応する物理量(基準単位置)が、出力パル
ス列P T +の間隔に対応する物理量(測定分解能)
より小さい場合に本発明を適用したものであり、具体的
には、その入力パルス列PTOの間隔は0.3517μ
mに対応し、その出力パルス列PT、の間隔は略1μm
に対応するものとする。
第1図は本例のパルス列変換回路を示し、この第1図に
おいて、(1)及び(2)は夫々入力端子であり、入力
端子(1)には図示省略したセンサ部より間隔が0.3
517μmに対応する入力パルス列PT、が供給され、
入力端子(2)にはそのセンサ部より方向性入力DRが
供給される。方向性人力DRは変位量がttu+oする
ときにハイレベル“′ビとなり、変位量が減少するとき
にローレベル“0”となる。また、(3)はアンド回路
を示し、その入力パルス列PT。
をそのアンド回路(3)の一方の入力端子に供給する。
(4)は10進4桁のラッチ回路、(5)は10進4桁
の任意の数値Aを設定できる設定回路を示し、この設定
回路(5)で設定された数値Aの10’〜10″の位の
数値(例えば2進化lO進法(BCD)で表示されてい
る)を夫々A0〜A、で表わし、ラッチ回路(4)の出
力端子に保持されている数値Bの106〜103の位の
数値(例えばBCDで表示されている)を夫々B0〜B
3で表わし、ラッチ回路(4)のクロック端子CKに入
力パルス列PT、を供給する。また、(6A)〜(6D
)は夫々2人力の10進1桁の加減算器を示し、加減算
器(6^)の2つの入力ポートに夫々数値A0及びBo
を供給し、以下同様に加減算器(6B) 、 (6C)
 、 (6D)の2つの入力ポートに夫々1対の数値A
1及びBIIA2及びB2+A3及びB3を供給し、加
減算器(6A)の桁上げ7桁下げ入力端子にローレベル
“0”を供給し、加減算器(6A)〜(6C)の桁上げ
7桁下げ出力端子C/Bを夫々加減算器(6B)〜(6
D)の桁上げ7桁下げ入力端子に接続し、加減算器(6
D)の桁上げ7桁下げ出力端子C/Bに生じる桁上げ7
桁下げ信号CBをアンド回路(3)の他方の入力端子に
供給する如くなす。
また、加減算器(6A)〜(6D)の加算/減算端子A
/Sに夫々方向性人力DRを供給する。これら加減算器
(6八)〜(6D)は夫々その方向性人力DRがハイレ
ベル“′1”であるときには2つの入力数を加算し、そ
の方向性人力DRがローレベル°゛0゛であるときには
一方の入力数Bl(i−0〜3)から他方の入力数A、
を減算する如くなす。これらの加減算器(6^)〜(6
D)によって算術演算ユニット(7)が構成される。そ
して、加減算器(6A)〜(60)の出力ポートに現わ
れるBCD表示された数値を夫々Z0〜Z3とすると、
これらの数値Z0〜Z3によって10進4桁の積算係数
値Zが構成される。その数値Zの10°〜103の位の
数値Z、〜Z、を夫々ラッチ回路(4)の10°〜10
’の位の入力ポートに供給する。そして、設定回路(5
)により設定されている数値A、ラッチ回路(4)にお
いて保持されている数値B及び算術演算ユニット(7)
より出力される積算係数値Zとの間には次の関係がある
Z=B+A (方向性入力DR=“°1°゛)・・・・
(2)Z=B−A (方向性入力DR−“°0°゛)・
・・・(3)この場合、A及びBは10進4桁の数値で
あるから、式(2)においては104の位への桁上りが
生しることがあり、式(3)においては104の位から
の桁下りが生じることがある。これら桁上り又は桁下り
が生じると桁上げ7桁下げ信号CBがハイレベル°′1
1になる。
また、アンド回路(3)の出力信号である出力パルス列
PT、を出力端子(8)に供給し、方向性人力DRを出
力端子(9)に供給する。これら出力端子(8)及び(
9)は例えばリアルタイム性の要求されるNC工作機械
の制御回路に接続することができるが、本例ではこれら
出力端子(8)及び(9)をカウンタ(10)に接続す
る。このカウンタ(10)は方向性人力DRのレベルの
高低に対応して出力パルス列PT、をアップカウント又
はダウンカウントすることにより積算係数値としての測
定値Vを得て、この測定値■を表示器に表示する如くな
す。
本例の動作を第2図を参照して説明するに、本例の入力
パルス列PT、の間隔mは0.3517μm(基準単位
置)に対応するため、設定回路(5)にて設定する数値
Aは“’3517”とする。また、方向性入力DR及び
入力パルス列PT、は夫々第2図A及びBの如き特性で
あるとして、初期状態ではラッチ回路(4)で保持され
ている数値BはOであるとする。
この場合、算術演算ユニット(7)より出力される積算
係数値Zの初期値(11)は”3517°゛であり、方
向性入力DRがハイレベル゛1”′の期間に入力パルス
列PT、が立上る毎にラッチ回路(4)にて係数値Zが
ラッチされるため、その係数値Zの値には順次”351
7”が加算される。そして、係数値Zの値が”7034
”から“’0551”へ変化するときには桁上げが生じ
て桁上げ7桁下げ出力CBがハイレベルパ1”になるた
め(第2図C)、出力パルス列PT、も入力パルス列P
T、に同期してハイレベル゛′1”になる(第2図D)
。同様に、係数値Zに104の位への桁上げ出力が生じ
る毎に出力パルス列PT、がハイレベル“1°゛になる
。本例の係数値Zの桁上げ出力は変位量の1μmに対応
するため、出力パルス列PTIの間隔Mも1μ−に対応
する。
次に、第2図Aに示す如く、方向性人力DRが時点1.
でローレベル“0゛に変化すると、算術演算ユニット(
7)の積算係数値ZがB十AからBAに変化するため、
その係数値Zは°“1102”から中間値(12)に変
化する(第2図E)。この中間値(12)は“1102
”′から2パルス手前の“”4068”である。この後
に入力パルス列Proが立上る毎にその係数値Zがラッ
チ回路(4)にラッチされるため、その係数値Zからは
順次“3517”が減算される。
そして、その係数値Zに桁下げ出力が生じると桁上げ7
桁下げ出力信号CBがハイレベル“1パになるため、出
力パルス列PT、が入力パルス列PT、に同期してハイ
レベル“1”になる。
更に、方向性入力DRが時点t2でハイレベル“1°°
に変化すると、算術演算ユニット(7)は再び加減算器
として動作する如くなるため、係数値Zは“6483’
“から値が“’3517”の中間値(]3)に変化する
。このように方向性入力DRのレベルが変化すると係数
値Zの値ば“3517“′の2倍だけ変化するが、方向
性入力DRがローレベル“′0”に変化する場合とハイ
レベル“1°゛に変化する場合とで夫々変化の極性が異
なるため、係数値Zの誤差が累積的に増加していくこと
ばない。
本例では入力パルス列PT0の間隔nは0.3517μ
m1 に対応するため、入力パルス列PT、に同期して実際の
変位置X(単位μm)は第2図Fに示す如く変化する。
一方、第2図への方向性入力DR及び第2図りの出力パ
ルス列P T +に対応して測定値■(単位pse)は
第2図Gに示す如く変化する。第2図より明らかな如く
、実際の変位量Xと測定値Vとの誤差が1 pm(即ち
測定値Vの分解能)に達することはない。また、方向性
入力DRのレベルが同じ期間である例えば時点(14)
と時点(]5)とにおいては、実際の変位量Xと測定値
Vとの誤差量は同じ値になる。
また、実際の変位量Xが第3図の破線(16)で示す如
く一定速度で増加する場合を考えると、測定値Vは第3
図の実線(17)で示す如く略1μ−間隔で階段状に増
加する。この場合、測定値Vはその実際の変位量Xに追
従してリアルタイムに変化すると共に、その測定値Vと
実際の変位量Xとの誤差の最大値ε2は略1μ−以下で
ある。
上述のように本例によれば、入力パルス列PT。
の間隔は0.3517μ−に対応しているが、得られる
2 出力パルス列PT、の間隔は端数が除かれた1μmにほ
ぼ正確に対応する。このように端数が除かれている場合
には、以後の処理が容易になる利益がある。更に、その
出力パルス列PT、は入力パルス列PT、に同期して逐
次的に又はリアルタイムに生成されている。従って、例
えばNC工作機械用のフィードバック要素として使用し
たような場合でも、応答性が良好であるためハンチング
等を引起こすことがない利益がある。また、本例の回路
は主に加減算器だけで構成できるため、回路構成が簡略
化されていると共に、極めて拡張性に富んでいる。
尚、上述実施例では設定回路(5)により設定される数
値Aは固定されているが、レーザ干渉測長機に使用した
場合にはレーザ光線の波長が室温や気圧によって変化す
るため、その波長の変化に応じてその設定される数値A
を変化させてもよい。このように数値Aを変化させるこ
とにより、リアルタイムで波長補正を行なうことができ
る。
また、レーザ干渉測長機のみならず、近時はホログラフ
イー技術の応用によってスケールピッチが0.5μ鋼程
度の光学スケールの製造が可能となっている。この光学
スケールの検出ヘッドから出力される係数パルスの間隔
は例えば0.5μm/4即ち0.125μmの変位量に
対応させることができる。
そして、例えばこの係数パルスを本例のパルス列変換回
路に供給し設定回路(5)にて“”125”を設定して
、加減算器(6C)を2進加減算器となし、この2進加
減算器の桁上げ7桁下げ出力をアンド回路(3)の他方
の入力端子に供給することにより、得られる出力パルス
列PT、の間隔を略0.2μmの変位量に対応させるこ
とができる。この場合、その光学スケールのスケールピ
ッチは部分的に変化していることが考えられるが、予め
そのスケールピッチを校正しておき部分的にその設定回
路(5)での設定値をその校正した値に置換えて行くこ
とにより、リアルタイムで設定値■の区間補正ができる
利益がある。
また、上述実施例は10進1桁の加減算器(6A)〜(
6D)を使用しているが、この他に2進の複数桁の加減
算器や60進の加減算器等を使用してもよい。
このように、算術演算ユニット(7)の進数及び桁数を
変更することにより、そのパルス列変換回路はどのよう
な系にも対応することができる。
このように本発明は上述実施例に限定されず、本発明の
要旨を逸脱しない範囲で種々の構成を採り得ることは勿
論である。
[発明の効果] 本発明によれば、入力パルス列の間隔が端数を有する物
理量に対応する場合であっても、端数が除かれた物理量
に間隔が対応する出力パルス列を簡単な回路構成でリア
ルタイムに生成できる利益がある。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明によるパルス列変換回路の一実施例を示
す構成図、第2図及び第3図は夫々第1図例の動作の説
明に供する線図、第4図は従来例の動作の説明に供する
線図である。 (3)はアンド回路、(4)はラッチ回路、(5)は設
定口5 6

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1個のパルスが入力される毎に任意の基準単位置に相当
    する数値を加算又は減算し、該加算結果の桁上り出力又
    は該減算結果の桁下り出力を用いて出力パルス列を生成
    する様にしたことを特徴とするパルス列変換回路。
JP1286397A 1989-11-02 1989-11-02 パルス列変換回路 Expired - Lifetime JP2617361B2 (ja)

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