JPH03139181A - 振動検出方法及び振動波モータ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は振動波モータに関し、詳しくは不用振動の検出
方法及び不用振動を抑制することができる振動制御回路
に関するものである。

［従来の技術］ 進行性振動波を利用した振動波モータの原理的概要は代
表的には下記により説明される。

全周長がある長さλの整数倍であるような弾性材料製の
リング状の振動体の片面に、周方向に配列された二群の
各複数個の圧電素子を固着したものをステータとする。

これらの圧電素子は各群内ではλ／２のピッチにて且つ
交互に逆の伸縮極性となるように配列されており、また
両群間には周方向に関してλ／４の奇数倍の空間的なず
れがあるように配置されている。圧電素子の両群には夫
々電極膜を施し、いずれかの−群（以下Ａ相と称す）の
みに交流電圧な印加すれば、上記振動体は、該群の各圧
電素子の中央点及びそこからλ／２おきの点が腹の位置
、また核層の位置間の中央点が節の位置であるような曲
げ振動の定在波（波長λ）が振動体の全周に亘って発生
する。また他の一群（以下Ｂ相と称す）のみに交流電圧
を印加すれば同様に定在波が生ずる。ただしその膵及び
節の位置はＡ相による定在波に対してλ／４ずれたもの
となる。

これに対しＡ、Ｂ相に、周波数が同じで且つ互いに９０
”の時間的位相差を有する交流電圧を同時に印加すると
、両者の定在波の合成の結果、振動体には周方向に振動
する曲げ振動の進行波（波長λ）が発生し、このとき、
厚みを有する上記振動体の多面状の各点は一種の楕円運
動をする。よって、振動体の各多面に、ロータとして例
えばリング状の移動体を加圧接触させておけば、この移
動体は振動体から上記楕円運動に伴って周方向の摩擦を
受は回転駆動される。

なおこの振動波モータにおいては、一般に、上記Ａ、Ｂ
相の圧電素子群の他に、振動体に振動検出用の圧電素子
（以下Ｓ相と称す）を設け、例えばこのＳ相からの出力
と、Ａ、Ｂ相の圧電素子群への駆動印加電圧との位相差
を一定にする条件を満たす周波数で駆動することで、振
動体の振動状態を一定に保ちモータ出力を安定させる駆
動方法がとられている。

第１８図はこのような従来の振動波モータの駆動制御回
路の一例、第１９図はリング状振動体に設けた駆動相で
あるＡ、Ｂ相、及び振動検出用であるＳ相の配置並びに
分極パターンを夫々示している。

これらの図において、３１は振動波モータのリング状に
形成された振動体で、その片面側にＳ相圧電素子３１−
１、Ａ相圧電素子群３１−２、Ｂ相圧電素子群３１−３
が例えば接着剤で接着されると共に、これらの圧電素子
の共通電極をなすＣ相電極Ｃが同様に接着されている。

Ａ相圧電素子群３１−２及びＢ相圧電素子群３１−３は
、夫々発振器３３．９０°移相器３４、増幅器３５．３
６、及びＳ相圧電素子３１−１からの位相差又は振幅情
報等に基づき振動状態を検出する振動検出回路３２とか
らなる駆動回路により駆動制御されるようになっており
、発信器３３からの交流信号は一方の増幅器３５に直接
入力し、また他方の増幅器３６には９０°移相器３４を
介して時間的位相差が９０°ずれて入力されて、夫々Ａ
相圧電素子群３１−２及びＢ相圧電素子群３１−３を駆
動するようになっており、その際Ｓ相圧電素子３１−１
により振動体３１上に形成されている進行性振動波の位
相を検出しながら正規の波数でモータを駆動するように
、振動検出回路３２により発振器３３を制御する。

発振器３３によりＡ相圧電素子群３１−２及びＢ相圧電
素子群３１−３に印加する交流信号の周波・数は振動体
３１の固有振動数により決められ、また振動体３１上に
形成される進行性振動波の波数は、振動体３１に設けら
れる例えばＡ相圧電素子群３１−２における分極方向が
異なる隣接した圧電素子の間隔と振動体３１の周長によ
って決められ、第１９図の場合は８波の進行波が形成さ
れるようになっている。

［発明が解決しようとしている課題］ 上記構成において、振動波モータが設計通りの進行性振
動波の波数で駆動している場合は、その振動波モータが
有している性能を充分引き畠すことができるが、例えば
振動波モータの振動体と移動体間の摩擦力により自励振
動が発生して、設計値通りでない進行性振動波の振動（
波数も異なる）がカロわった場合には、振動検出相であ
るＳ相の出力として第２０図（Ｃ）に示すような信号が
得られる。そしてこれに基づいて駆動制御を行なうと、
本来必要な第２０図（ａ）に示される信号との間にずれ
を生じ、ひいては回転ムラの増加や急激な回転数及びト
ルクの低下や異音発生を招くといった問題がある。

そこでこのような回転ムラや異音発生等の問題を解決で
きる手段として、振動体の振動状態を検出する振動検出
相（Ｓ相）と共に振動抑圧用の第３の駆動相を振動体に
設け、振動検出相から検出した信号を増幅手段を介して
該第３の駆動相に入力するようにした構成の振動波モー
タを本出願人は提案し、既に特願平１−８８６９８号と
して出願している。これはフィルターを用いることで駆
動周波数の信号を減衰させて不用振動を抑制させるため
の信号を得るようにした方式のものである。

ところで、通常駆動周波数の信号に対し上記のような抑
制したい波動の信号は１０〜３１ｄＢはど小さく、また
増幅器の電源の効率等を考えれば駆動周波数の信号は４
０ｄＢ程度減衰させることが好ましいのであるが、上記
提案のように、通常のアナログ的なフィルターでたかだ
か数倍程度の周波数の差によって数十ｄＢもの減衰量を
得ようとするとどうしても高次のフィルターが必要とな
り、さらにまたフィルターでの周波数−位相特性の変化
も急激となり、振動波モータの共振周波数の温度や負荷
による変動に対応しきれないという問題がある。

第２１図はこのようなアナログフィルターの周波数特性
の一例を示しており、このフィルターはカットオフ周波
数をｆｃ＝　１５　ｋＨｚとし、駆動周波数を３０ｋＨ
ｚとして、３０ｋＨｚにおける減衰量が４０ｄＢ以上に
なるように８次のフィルターとした場合として例示して
いる。

［課題を解決するための手段及び作用］本発明は上記問
題を解決して、駆動周波数成分に関して充分な減衰を与
える手段を振動体及び制御回路によって簡単に構成させ
、これによって電源の利用効率を高め、低い電源電圧で
も不用な波の振動を充分に抑圧できる回路構成をもった
振動波モータを提供することを目的としてなされたもの
である。

このような目的を実現する本発明の振動検出方法は、電
気−機械エネルギー変換素子からなる第１及び第２の駆
動相に駆動制御回路がら交流電圧を駆動信号として印加
し、これによって該駆動相が設けられた振動体に波長λ
の進行性振動波を生じさせて、該振動体に加圧接触され
た部材をこの進行性振動波により相対移動させる振動波
モータであって、かつ上記進行性振動波以外の波長の振
動を抑制する手段を有する振動波モータにおいて、振動
体の複数位置から検出した検出振動信号を合成して、振
動体駆動のための振動成分を減衰さ斌た不用振動を表わ
す信号を取り出すようにしたことを特徴とする。

本発明はまた、上記方法によって得られた不用振動を示
す信号を利用して不用振動を抑制することができる振動
波モータを特徴とするものであり、具体的には、進行性
振動波の成分を減衰させて不用振動を表わした振動成分
の信号を得るために上記振動体の複数位置に設けた複数
の振動検出相と、これら複数の振動検出相から検出した
信号の合成により不用振動を表わす振動成分の信号を得
る信号処理手段と、この信号処理手段の信号に基づいて
上記振動体に設けた第３の駆動相を駆動させる駆動制御
手段゛とを有する構成をなすことをその振動波モータの
特徴とする。

上記構成において、複数の振動検出相から検出した信号
を合成して不用振動を表わす信号を得るための信号処理
手段としては、例えば加算器あるいは減算器を代表的に
例示することができる。

また複数の振動検出相は、振動体を駆動させている進行
性振動波の波の成分を減衰するために該進行性振動波の
波長の１／２波長の整数倍の間隔をもって振動体上に設
けることがＰＺＴ面積の有効利用及び振動波モータの性
能の面から見て好ましい。

［実施例］ 以下本発明を図面に示す実施例に基づいて詳細に説明す
る。

実施例１ 第１図（ａ）は本発明よりなる振動波モータの振動体に
形成された圧電素子群（電気−機械エネルギー変換素子
）の分極パターンを一例的に示した図であり、第２図は
これの駆動に用いられる駆動制御回路の構成を示した図
である。

本実施例の振動波モータ１は、リング状の振゛動体１ａ
にＡ相圧電素子群１−２（第１図中のＡ〜Ａ、）及びＢ
相圧電素子群１−３（第１図中のＢ〜Ｂ、）を第１図に
示すパターンに設けて、８波の進行性振動波を形成させ
ると共に、振動検出相であるＳ相圧電素子１−１からの
検出信号に基づき発振器３を駆動制御して、上記Ａ相圧
電素子群１−２及びＢ相圧電素子群１−３を、夫々増幅
器５、及び９０°移相器４、増幅器６を介して駆動する
ようにしており、これらの構成自体は従来例として示し
た上記第１５図の構成と同じである。

本実施例の特徴は上記構成に加えて、振動体１ａのＳ相
圧電素子１−１（以下Ｓ１相という）に対して、リング
上の振動体の回転対称位置（つまり（ん、／２）Ｘ８だ
け離れた位置；ん、は８波の場合の波長を示す）に、第
２のＳ相圧電素子１−４（以下Ｓ２相という）を配置し
、これらＳ、相Ｉ　Ｓ２相からの出力の差の信号を減算
回路７で作ることを一つの特徴とし、またこの差の信号
を増幅器８で増幅して、振動体上に設けた不用振動抑制
用の駆動相り、１−５（上述第３の駆動相；以下り、相
という）に入力させるように構成したところにある。

この構成の作用を以下例示的に説明すると、今、振動波
モータ上に８波の駆動周波数の振動（説明上約３０　ｋ
Ｈｚの振動であるとする）の他に、何らかの原因により
５波の振動（説明上約１０ｋｔ（ｚの振動であるとする
）が発生した場合のある瞬間の振動波モータ上の各の振
動の様子を第３図に示す。ここで第３図（ａ）は振動体
駆動による８波の振動の様子、第３図（ｂ）は自然発生
した５波の振動の様子を夫々個別に示し、この図では理
解を容易化するために、Ｓ、相にて８波と５波の波の振
動のピークが一致しているものとして示した。

そして第３図（ｃ）は実際に振動体上に観測される振動
の様子を示しており、これは第３図（ａ）　、　（ｂ）
との関係ではこれら多波の線形和として表現される。

ここで上記二つの振動検出相Ｓ１相、Ｓ２相の位置関係
が第１図で示したように設定されている場合には、これ
らの８１相、Ｓａ相の位置的位相差　φ６は であり、Ｓ、用土の８波の波と８２相上の８彼の波は同
相である。

これに対し５波の波の位相差　Δφ、はであるから、Ｓ
１相上の５波の波と８２相上の５波の波は逆相となる。

ここで第１図では、図示の如くＳ、相と８２相の分極方
向が同方向であるから、第２図の減算回路７でｓＩ相出
力とＳ２相出力の差の信号を作ると、この差の信号上で
は上記駆動信号の８波の信号は相互に減衰する関係とな
って存在しないことになり、不用振動である５波の振動
成分のみが取り出されたことになる。そして増幅器８へ
の入力は上記のとおり駆動信号が取り除かれている分だ
け小さい信号となり、低い電源電圧でも大きな増幅度を
得ることができる。

増幅された信号は、本実施例では不用振動抑制用として
振動体上に設けられた第１図に図示の第３の駆動相り、
（又はＤ２相、あるいはこれらの両相）に入力すること
で、振動体に自然発生した５波の振動を抑制できること
になる。

なお上記したＳ１相、Ｓ！相の位置と、ＤＩ相、Ｄ２相
の位置の関係は、 （但し、ＸはＳ相とＤ相の中心間隔、ａは整数、ん、は
５波の波長（え、＝β１５）を示す） またり、相、Ｄ、相の使用しない電極を利用してＧＮＤ
相とかＣ相を設けても良い。あるいは振動体を直接ＧＮ
Ｄ相に接続することにより行なうこともできる。

第４図は、上記実施例において使用した減算回路７の構
成の一例を図示して示したもので有る。

以上の本実施例の説明は、不用振動を５波の場合を例と
して行なってりるが、これは不用振動が７波の場合であ
っても同様に説明される。

実施例２ 本実施例は、不用振動が７波である場合に、より優れた
振動抑制を可能とする分極パターンをもった振動波モー
タを示したものである。

すなわち上記実施例１における振動波モータにおいては
、その分極パターンを示した第１図の図示から分かるよ
うに、不用振動を抑制するために振動体の上に設けられ
た第３の駆動相であるＤ１相（又はＤ２相）は７波の半
波長よりも周方向（すなわち進行性振動波の進行方向）
に関する長さが長い構成となっている。このため、この
ような構成に由来して振動抑制に対する効果は必ずしも
十分でないという面がある。

そこで本実施例では、抑制しようとする不用振動が７波
である場合に適した第３の駆動相り、相（又はＤ２相）
を設けた分極パターンをもつ振動波モータを設けた例を
示すものであり、これは第５図によって示される。

すなわちＤ１相（及びＤ２相）の両側に共通電極Ｃを設
けることで、不用振動の半波長に近似した周方向の長さ
をもつようにＤ相を設けて、不用振動の抑制効果を向上
させたところにある。

なお第１図、第５図の例では上記Ｓｌ相。

Ｓ３相の分極方向を同相に設けているが、これとは異な
り、Ｓ、相、Ｓｔ相の分極方向を逆ｊこ設けることも当
然可能である。第７図はこのようなＳ１相、Ｓ２相を逆
相に設けた場合の制御回路の構成を示している。すなわ
ちこの例の回路は、検出した振動の信号を合成すること
で駆動信号を減衰させる信号処理回路として加算回路（
第３図の例では減算回路）を使用した構成を示している
。

実施例３ 先に示した実施例１．２は、振動体を振動させる駆動信
号の周波数と、抑制しようとする不用振動の信号の周波
数が、偶数と奇数の関係にある場合について説明してい
る。しかし実際にはこれらの信号の周波数がいずれも偶
数（あるいはいずれも奇数）である場合、あるいは抑制
しようとする不用振動の信号が複数の波である場合も考
えられる。

本実施例はこのような場合に対処するための実施例を説
明するためのものであり、本例においては、第８図の分
極パターンで示されるように、Ｓ１相＋Ｓ２相の間にＤ
相を設けた振動体が用いられ、これによって振動体上に
発生している７、６．及び４波の不用振動を抑制する例
として説明される。なお本例における振動体の駆動信号
は８波である。

ここで多波の振幅最大位置がＤ相の中心に一致した瞬間
の振動の様子を第９図に示し、第９図（ａ）は駆動信号
の８波の振動の様子を示し、第９図（ｂ）は７波の振動
、第９図（Ｃ）は６波の振動、更に第９図（ｄ）は４波
の振動の様子を夫々示している。

上記第８図で示される構成においては、Ｄ相の中心と８
１相、Ｓ２相の中心の位置的位相差は、共にん１．／４
に設定されている（Ｓ、相。

Ｓ２相の位置的位相差はしたがってん、／２である）の
で、Ｓ１相の出力と８２相の出力の和の信号を作ると、
多波の信号ｖｎはＤ組上の波を基準とすれば、次ぎのよ
うになる。

同様にして ＝　２　ｃｏｓ（ω、ｔ）　　ｃｏｓ（−一π）６ ＝　２０Ｏ８（（Ｌ）　４ｔ）　　番ｃｏｓ（−−ｚ　
）（但しω。はｎ波の周波数、λ。はｎ波の波長を示し
ている） この結果によれば、第８図の分極パターンをもつ振動体
において、Ｓ１相、Ｓ２相の出力の和の信号を作ること
で、この和の信号からは、駆動波の振動である８波の信
号は完全に除去され、この駆動はよりも低次のすべての
波の信号はＳＩ相、Ｓｓ相の間にあるＤ相の波の位相と
一致することになる。なおこれはここでは説明していな
い他の波である場合、例えば５波あるいは３波の振動波
についても同様である。

したがって第１０図に示した振動制御回路を用いて振動
制御を行なうことで、駆動振動以外のすべての不用振動
を抑制することが可能となる。なお第１０図において示
している移相回路は、この例の分極パターンの８１相、
Ｓ２相と、Ｄ相の位置関係から不用振動抑制のために９
０°移相してＤ相を駆動させるためのものであり、例え
ば積分回路により構成することができる。

実施例４ 第１１図は更に他の実施例を示したものであり、この図
で示される実施例は、上記実施例３の第８図で説明した
振動体の変形例を示すものであって、具体的にはＳ、相
１ｓ２相とＤ相と共通電極Ｃを組み合わせることで振動
体の上に設けたＤ相の面積を太き（取った例を示してい
る。

すなわちこの第１１図では、駆動の周波数の８波（波長
λ、）に対し、２つのＳＩ相ｔ８２相の間隔を駆動の波
長（＝ん、）とし、またＤ相はＳ１相、Ｓ２相の中間に
位置し、Ｄ相の周方向長さは駆動周波数８よりもｌだけ
低い次数である７波の波長（＝λ７）の半分とした例と
して構成されている。このような構成により、目的とす
る波長の不用振動の抑制効果が一層向上するという効果
がある。

また抑制したい波が７波以外の低次の波であれば、Ｄ相
の周方向長さを目的とする抑制したい波の波長の半分に
近付けてやることが適当であり、本例の構成によってこ
れが容易に実現できる。

この第１１図における不用振動の抑制の作用について説
明すると、この第１１図の構成においては、Ｓ１相、Ｓ
２相の間隔が波長ん、と−致していてしかも分極が同方
向であるから、Ｓ１相の出力と８２相の出力の出力の差
を作ることで駆動信号の成分を減衰させることができる
。

多波の関係は以下の通りである。

＝　２ｓｉｎ（ｃ＋、＋ｓｔ）　　ｊｓｉｎ（−ｚ）＝
　０同様にして 、　　６ ＝　２５ｉｎ（ωａｔ）　　拳５ｚｎ（−ｘ　）、　　
４ ＝　　２　５ｉｎ（ω　４ｔ）　　　噛　５ｚｎ（−π
　）つまり、駆動信号の波の波長λ８分だけ離れて配置
された２つのＳ相（Ｓ、相、Ｓｔ相）の差の信号を作る
ことで、２つのＳ相の中央の波と９０’だけ位相のずれ
た波となり、しかも駆動信号の波に関しては大きさを０
とできる。したがってこの場合には、制御回路中に第１
０図で説明した９０°移相器を設ける必要がなく、第２
図に示した駆動制御回路を用いて２つのＳ相の出力を減
算した後、増幅して、Ｄ相に入力することにより、不用
振動を抑制することができるため、回路構成が簡単にな
るという効果がある。

また第１１図において、駆動に使っていない電極（第１
１図中のＣ電極）の一部（あるいは全部）を第１．第２
及び第３の駆動相の電極として利用することもでき、更
に本発明の振動波モータにおける不用振動の抑制効果向
上するという効果もある。

この場合の具体的な振動体の分極パターンは例えば第１
２図で示されろ。

また抑制したい振動の波数が、駆動信号の振動の波数に
近い場合には、上述した駆動相であるＡ相、Ｂ相（また
は両方）を第３の駆動相として利用することも可能であ
る。この場合の振動体の分極パターンの例を第１３図に
示し、またこの場合に用いられる制御回路の構成を第１
４図に示した。すなわち本例においては、加算回路９に
よって駆動信号の波の成分を減衰し、不用振動を表わし
た信号を取り出して、これを移相器で所定量移相した後
、駆動相であるＡ相の駆動信号に加算回路１１で重畳し
て、これによってＡ相を駆動させることにより不用振動
の抑制を図るようにしている。

この第１４図中に示した移相器の移相量は、抑制したい
振動モードを７波とすると、Ａ相の中心（Ａ、相の中心
）までの周方向の距離ｄは駆動波の波長λ、を用いて これを７波の位相θで表現すると となる。移相後はθ′＝２ａπ±１／２π（ａは整数、
符号は分極方向及び抑制したい振動の進行方向によって
決定される）であることが望ましい。

θ゛　＝θ＋八〇へ　　　　より したがって移相量はこれに基づいて設定すればよい。

実施例５ 本実施例はＳ相を３つ以上設けた場合の例を示すもので
あり、第１５図〜第１７図に基づいてこの場合の実施例
を説明する。

第１５図においては、振動波モータの駆動振動波数を８
とし、駆動用のＡ相圧電素子群Ａ１〜Ａ４及びＳ１〜Ｓ
４が空間的にλ６／４だけ離れて配置され、振動検出相
であるＳ１〜Ｓ。

相は互いに１２０”離れた３カ所に配置されている。

ここで不用な振動として例えば６波の振動を考えるとす
ると、各８１〜Ｓ、相の出力電圧の和の成分は（Ｓ、相
中心を基準として）ここで８λ８＝Ｌ（ただしＬは周方
向長さ）であるから Ｖｓ＝ｃｏｓ（ωａｔ）　　＋ｃｏｓ　　ωａｔ　　ｌ
ｓ／３−π）＋　ｃｏｓ　　ω、ｔ＋　１６／３・　π
）＝ｃｏｓ（ωａｔ）　　＋　ｃｏｓ　　ωａｔ　　°
ｃｏｓ（１６／３φπ）＋ｓｉｎ　　ωａｔ　　−５ｉ
ｎ（１６／３・　７Ｋ）＋　ｃｏｓ　　ω８ｔ　・ｃｏ
ｓ（１６／３・　π）−ｓｉｎ　　ωａｔ）−ｓｉｎ（
１６／３４　ｘ　）＝　　（１＋２ｃｏｓ（１６／３・
ｘ　　）　　・ｃｏｓ（ωａｔ）となる。

ところが、ｃｏｓ（１６／３・π）＝−１／２であるか
ら、したがって　■８＝０　となる。

６波については、 ここで　Ｌ＝６λ６であるから Ｖ　ｓ　　＝＝　Ｃ０８（ＣＬＩ　ａｔ）　　＋　ｃｏ
ｓ（ωａｔ　−４ｍ　）＋ｃｏｓ（ω６ｔ＋４π） ＝　３　ｃｏｓ（ωａｔ） となり、６波については３倍に増幅された信号が得られ
る。

この場合の振動制御回路は、第１０図の加算回路を３人
力型に置き換えた第１６図の回路ブロックとして構成す
ることができる。

また第１５図のように５ｌ−８３相を配置した場合は、
６波以外にも３の倍数である３波及び９波及びその倍数
の波についても先に示した６波の同様の結果が得られる
ことは明らかである。また例えば３波を不用振動の対象
とするのであれば、第１５図を変形した第１７図のよう
にＤ相の周方向長さを該当する対象不用振動の波長の１
７２に近づけることが一層効率が向上する。

なお第１５図及び第１７図のＣ相は一部又は全部なＧＮ
Ｄ相として用いてもよいことは上記の場合と同様である
。

［発明の効果］ 以上説明したように本発明の振動波モータは、設計値通
りでない振動の発生を抑えるためには不用である駆動周
波数の信号を大幅に減衰して、不用振動を表わす信号を
簡易な構成で取り出すことができ、しかもこれによって
振動体に発生している不用振動を抑制できるため、電源
の利用効率を高くできるという効果があり、低い電源電
圧でも充分な増幅度の確保ができる。また設計値通りで
ない振動の発生を強力に抑えることができるため、適正
な振動波モータの作動を与えることができ、回転ムラの
増加や急激な回転数及びトルクの低下、異音の発生が好
適に抑制されるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の振動波モータの実施例１における振動
体の分極パターンを示した図、第２図は同振動波モータ
の駆動制御回路の構成概要をブロック図で示した図、第
３図は同実施例１において振動体に発生している波のあ
る瞬間の様子を一例的に示した図、第４図は同実施例で
使用した減算回路の構成−例を示した図である。 第５図は本発明の他の実施例２の振動体の分極パターン
を示した図、第６図は同振動波モータの駆動制御回路の
構成概要をブロック図で示した図、第７図は同実施例で
使用した加算回路の構成−例を示した図である。 第８図は本発明の他の実施例３の振動体の分極パターン
を示した図、第９図は同実施例３において振動体に発生
している８、７．６及び４波のある瞬間の様子を一例的
に示した図、第１０図は同振動波モータの駆動制御回路
の構成概要をブロック図で示した図である。 第１１図〜第１３図は本発明の更に他の実施例の振動体
の分極パターンを示した図であり、第１４図は第１３図
の分極パターンを有する振動体を駆動させる駆動制御回
路の構成概要をブロック図で示した図である。 第１５図〜第１７図は本発明の実施例５を説明するため
の図であり、第１５図及び第１７図は同側の振動体の分
極パターンを示した図、第１６図はこのような分極パタ
ーンを有する振動体を駆動させる駆動回路の構成概要を
ブロック図で示した図である。 第１８図は従来の振動波モータの駆動回路の構成概要を
ブロック図で示した図、第１９図は同振動波モータの電
極パターンを示した図、第２０図は同従来例において振
動体に発生している波のある瞬間の様子を説明するため
の図、第２１図は同従来例におけるＳ相からの検出信号
をアナログフィルターで処理した場合の周波数特性を説
明するための図である。 １・・・振動波モータ １−１・・・ＳＩ相 １−２・・・駆動相 １−５・・・Ｄ相 ３・・・発振器 ４・・・９０°移相器 １−４・・・Ｓ２相 １−３・・・駆動相 ２・・・振動検出回路 ５．６．８・・・増幅器 ７・・・減算回路　　　　９・・・加算回路１０・・・
移相器 第 図 他４名 第 ２ 図 第 図 第 図 第 ６ 図 第 図 第 図 第 １０ 図 第 ２ 図 第 １ 図 第 ３ 図 第 １４ 図 第 ６ 図 第 ５ 図 、０４１ 第 ７ 図 第 １８ 第 ９ 図 図 利 第 １ 周波数！ｋＨｚ１ 図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、電気−機械エネルギー変換素子からなる第１及び第
   ２の駆動相に駆動制御回路から交流電圧を駆動信号とし
   て印加し、これによって該駆動相が設けられた振動体に
   波長λの進行性振動波を生じさせて、該振動体に加圧接
   触された部材をこの進行性振動波により相対移動させる
   振動波モータであって、かつ上記進行性振動波以外の波
   長の振動を抑制する手段を有する振動波モータにおいて
   、 上記振動体の複数位置から検出した検出振動信号を合成
   して、振動体駆動のための振動成分を減衰させた不用振
   動を表わす信号を取り出すことを特徴とする振動波モー
   タにおける振動検出方法。 ２、電気−機械エネルギー変換素子からなる第１及び第
   ２の駆動相に駆動制御回路から交流電圧を駆動信号とし
   て印加し、これによって該駆動相が設けられた振動体に
   波長λの進行性振動波を生じさせて、該振動体に加圧接
   触された部材をこの進行性振動波により相対移動させる
   振動波モータにおいて、 上記進行性振動波の成分は減衰して不用振動を表わす振
   動成分の信号を得るために上記振動体の複数位置に設け
   た複数の振動検出相と、これら複数の振動検出相から検
   出した信号の合成により上記不用振動を表わす振動成分
   の信号を得る信号処理手段と、この信号処理手段の信号
   に基づいて上記振動体に設けた第３の駆動相を駆動させ
   る駆動制御手段とを有することを特徴とする振動波モー
   タ。 ３、請求項２において、第３の駆動相が、上記複数の振
   動検出相の周方向長さの中央位置に配置されていること
   を特徴とする振動波モータ。 ４、請求項２又は３において、信号処理手段が加算器あ
   るいは減算器であることを特徴とする振動波モータ。