JPH03130354U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図〜第５図は本考案の第１実施例を示して
おり、第１図は研磨装置の正面図、第２図は同じ
く側面図、第３図は同じく平面図、第４図は研磨
装置の構成を概略的に示した模式図、第５図は上
部構造を外して示した研磨装置の平面図、第６図
および第７図は第２実施例を示しており、第６図
は研磨装置の構成を概略的に示した模式図、第７
図は与張送り部の平面図である。 １０……研磨装置、２０……ベースフレーム、
２２……継手、２３……クランク軸、２４……連
結ロツド、Ｍ１……振動駆動用のモータ、３０…
…研磨ヘツド部、３１……本体ブロツク、３２…
…接触ローラ、３３，３４……案内ローラ、４０
……供給部、４１……供給側リール、４３……ブ
レーキ、５０……繰込部、５１……巻取側リール
、５３……摩擦カツプリング、６０……与張送り
部、６１……送り駆動ローラ、６５……加圧補助
ローラ、Ｍ２……送り用モータ、６７ａ，６７ｂ
……引張バネ、Ｆ……研磨フイルム。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 １ 研磨フイルムを研磨ヘツド部に巻き掛け、該
   研磨ヘツド部を振動させながら研磨フイルムにワ
   ークを接触させて研磨するようにした研磨装置に
   おける研磨フイルムの供給装置において、 引張力を与えながら研磨フイルムを保持する供
   給部と、 前記研磨ヘツド部を経た研磨フイルムを引き込
   む繰込部と、 前記研磨ヘツド部と繰込部との間に配設され、
   送り駆動ローラと該送り駆動ローラに当接する加
   圧補助ローラとより成り、研磨フイルムを送り駆
   動ローラと該送り駆動ローラとに巻き掛かかつた
   うえ間を通るようＳ字状に巻き掛かる与張送り部
   とを備えたことを特徴とする研磨装置における研
   磨フイルムの供給装置。 ２ 供給部は制御力を加えながら回転可能な供給
   リールを有し、繰込部はスリツプ可能に回転駆動
   される巻取リールを有する請求項１記載の研磨装
   置における研磨フイルムの供給装置。