JPH03127206U - - Google Patents
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- JPH03127206U JPH03127206U JP3540790U JP3540790U JPH03127206U JP H03127206 U JPH03127206 U JP H03127206U JP 3540790 U JP3540790 U JP 3540790U JP 3540790 U JP3540790 U JP 3540790U JP H03127206 U JPH03127206 U JP H03127206U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- coherent
- different wavelengths
- light emitting
- emitting sources
- Prior art date
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- Pending
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- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 claims description 6
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
第１図は本考案の第１実施例に係る基本構成図
、第２図は本考案の第２実施例に係る基本構成図
、第３図はスペツクルパターンの発生状況を説明
する図である。 １……波長λ１のコヒーレント発光源、２……
波長λ２のコヒーレント発光源、３……複数のコ
ヒーレント光を同軸上に結合する為の光学系、４
……スペツクルパターンの明暗信号検出器、５…
…測定対象物、６……演算処理器、７……その一
部に光通過部を設けたミラー。
、第２図は本考案の第２実施例に係る基本構成図
、第３図はスペツクルパターンの発生状況を説明
する図である。 １……波長λ１のコヒーレント発光源、２……
波長λ２のコヒーレント発光源、３……複数のコ
ヒーレント光を同軸上に結合する為の光学系、４
……スペツクルパターンの明暗信号検出器、５…
…測定対象物、６……演算処理器、７……その一
部に光通過部を設けたミラー。
Claims (1)
- それぞれ波長の異なつたコヒーレント光を出力
する複数個の発光源と、該複数個の発光源から出
力された波長の異なる複数個のコヒーレント光を
同軸上に結合して被測定表面上に照射する光学系
と、上記コヒーレント光によつて照射された上記
被測定表面からの反射光に生ずるスペツクルパタ
ーンの明暗信号を検出する明暗信号検出器と、該
明暗信号検出器の測定値からスペツクルパターン
の平均粒径を算出する演算処理器とを具えたこと
を特徴とする非接触変位測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3540790U JPH03127206U (ja) | 1990-04-03 | 1990-04-03 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3540790U JPH03127206U (ja) | 1990-04-03 | 1990-04-03 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03127206U true JPH03127206U (ja) | 1991-12-20 |
Family
ID=31540740
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3540790U Pending JPH03127206U (ja) | 1990-04-03 | 1990-04-03 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03127206U (ja) |
-
1990
- 1990-04-03 JP JP3540790U patent/JPH03127206U/ja active Pending
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