JPH0312510A - 水平アーム直交座標測定機用ウエイ軸受装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （クロス・リファレンス） 本出願は１９８９年２月３日に出願された出願番号０７
／３０５．５９８の一部継続出願である。

（産業上の利用分野） 本発明は測定テーブルの」一方で水平に延在する軸に戟
１されたプローブを有する形式の直交座標測定機に関す
る。この測定機において、プローブは３つの１σ交軸に
沿って移動可能であり、各軸の移動緻に対応する電気的
信号を発生させることによって測定を行うことができる
。

（従来技術） プローブ・アームは（Ｚ）軸に沿って移動可能に載置さ
れ、（ＹＺ）キャリッジから水平に延在している。ＹＺ
キャリッジはまたＸキャリッジに設置された固定支柱に
移動可能に支持されることによって垂直軸すなわちＹ軸
に沿って上下方向に移動可能である。ＸキャリッジはＹ
、Ｚ軸のそれぞれに直交する水平（Ｘ）軸に沿って移動
可能に支持される。

水平プローブ・アームが内外に移動すると、プローブは
支柱の一方の側面または他の側面に突出しアームをねじ
るので、公知の軸受装置では不均衡な逆負荷が生じる。

妥当なコストで測定機を製造しても、これらの各栖成要
素は正確に案内されれば、移動に摩擦は生じないし、ま
た種々のウェイの平行条件のずれら避けることができる
、という点が重要である。

公知の軸受装置はこれらの要求を完全に満たしていない
。

（発明の概要） 本発明はｘ−ｉｒヤリッジ、ＹＺキャリッジおよびプロ
ーブ・アームのそれぞれに対して特殊な軸受装置を提供
することを特徴とする水平アーム直交ｒＭｆ！ｌｌ測定
機から成る。Ｘキャリッジ軸受装置は前後［１対空気軸
受から成り、後部対は近接して離間され、その結果、３
点支持に近くなり、Ｘ軸前後ウェイが平行状態かられず
かに逸脱するのを最小に抑えることができる。各空気軸
受は下部ウェイ表面に対して上向きに対面する対応予圧
軸受によって予圧される。

縦方向に延在する固定中心レールはＸ軸に沿って延在す
る対向垂直表面を有し１片側は一対のＸ軸案内空気軸受
に保合し、他の開は一対の予圧Ｘ軸案内空気軸受に係合
し、そしてそれらは全てＸキャリ・ツジに載置されてい
る。

支柱はいずれかの側から延在している翼上の垂直に延在
する対平行ウェイ表面と、平行案内表面を有して突設さ
れる中間案内リプを有する。上下離間対負荷および予圧
空気軸受は翼および案内リブ・ウェイ表面に係合し、単
一対負荷および予圧空気軸受は池の翼ウェイ表面に係合
する。近接離ｆｍＮウェイ表面のそれぞれは近接平行度
を得るのに加工が比較的容易であり、リブは十分な支持
力を墜えるに必要な大径の空気軸受を支持できる幅を有
することができるや プローブ　アームは断面が正方形で、ダイアモンド状の
一連の水平ウェイ表面を得るように配置されたく形のプ
ローブ軸からなり、水平離間対空気軸受は左右：１−す
に隣接するこれらのウェイに係合している。このプロー
ブ軸の軸受装置は、プローブ軸の形状１１法は比較的単
純なままで、負荷の反転を防ぎ、そのプローブ釉がＸＹ
キャリッジの内外に移動する時、それの回転あるいはｉ
ｓ揺れをなくす。

（実施例） 以下の説明において、発明性を明確にする為に特殊な用
語が用いられ、また特殊な実施例が記述されるが、それ
らは本発明を限定するものではなく、添附される請求の
範囲内において多くの方式および変形例が可能である。

第１図は水平アーム式直交座標測定機１０を示し、その
構成要素は１９８９年４月３日に同時係属出願された米
国出願番号第０７／３３１，７２７号に詳述されるカバ
ー装置によって密閉される。

この装置はプリーツ・カーテン１３によってカバーされ
る間隙を限定する直立支柱カバー１１を含む、そして、
プローブ・アーム・アセンブリ１６は前部と後部をそれ
ぞれベローズ１５と硬質カバー１９で密閉される。

この直交座Ｉｌｌ定機１０は、Ｘ＠キャリッジ第１図に
図示せず）に取付けられ第１水平直交軸（ここではＸ軸
と呼ぶ）に沿って移動可能な垂直支柱アセンブリ１４が
支持されるＴ形基盤１２を有する。また、その垂直支柱
アセンブリ１４はプローブ・チップ１８が取付けられる
水平アーム・アセンブリ１６を移動可能に支持し、その
水平アーム・アセンブリは支柱アセンブリ１４上を第２
直交軸（ここではＹ軸と呼ぶ）に沿って垂直に移動可能
なＹＺキャリッジ１７に保持される。プローブ・アーム
・アセンブリ１６はアーム１６の長軸に平行な第３の直
交軸すなわちＺ軸に沿ってＹ２キャリッジ上を水平に移
動可能である。そして、Ｘ、Ｙ、Ｚじくのそれぞれは公
知のように互いに直交している。

基盤１２はまた回転テーブル２０を支持し、その回転テ
ーブル２０の上に被測定物（図示せず）が設置され、プ
ローブ・ピン１８を測定ポイントに移動することによっ
て検査を可能とする。

この水平直交座標測定機はすでに公知であり、本発明に
関連がなければ、ここで詳細には説明しないが、その水
平直交座標測定機は基盤１２上のＸ軸キャリッジ、支柱
アセンブリ１４上のＹＺキャリッジ１７およびＹＺキャ
リッジ１７上のプローブ・アーム・アセンブリ１６に対
してそれぞれ軸受装置を有する。

第２図は、好ましくは空気圧遮断器２３に支持される花
こう巻装平板から成る基盤１２を有するＸ軸ウェイ装置
の詳細を示す、一対の離間直立ウェイ部材２４．２６が
ボルトおよび接着材（図示せず）によって脱着可能に基
盤１２に載置され、各部材はＸ軸に沿って互いに平行に
延在する。ウェイ部材２４．２６はそれぞれ上端が内側
に傾斜し、対向する張出し部２、３０を有する。その張
出し部２、３０の上面は精度の高い上側水平ウェイ表面
を有し、またその下面は上面ウェイ表面３２．３４の直
下に下面水平ウェイ３６．３８を有する。

Ｘ軸キャリッジ４０は載置板４１によって取付けられＸ
軸に沿って直線移動が可能な支柱アセンブリを支持する
。キャリッジ４０は傾斜ウェイ部材２４．２６間に設置
される。そのＸ軸キャリッジ４０は、上側水平ウェイ３
２．３４のそれぞれを覆う外方に延在するウィング・フ
ランジから成る一体化第１部分を有する加工アルミ鋳造
材から成る。

傾斜カバー板３５は各ウェイ部材２４．２６に取付けら
れ、移動可能なダスト・ベルト３７およびｆＩａ部キャ
ップ３９とともに内部空１１１３３を完全に密関する。

２対の支持空気軸受、後部４６ａ、ｂおよび前部４８ａ
、ｂがフランジ４２．４４とウェイ３２．３４ｒｌに介
在され、その対の各軸受はＸ軸キャリッジ４０上におい
てＸ軸方向に離間して設置される。

Ｘ軸キャリッジ４０はＸ軸キャリッジ４０の底部からウ
ェイ部材２、３０間に延在する後部軸受支持ブラケット
５０および左右前部支持ブラケット５２．５４から成る
第２部分を有し、各ブラｋｒｔ）５０．５３．５４は下
面水平ウェイ３６．３８の下方で、外側に向かって延在
する端部５６．５、５４をそれぞれ有する。そして、そ
れ（らの間に２対の予圧空気軸受、後部６６ａ、ｂおよ
び前部６４ａ％ｂが介在され、各村の軸受けＸ軸方向に
沿って離間され、対応する支持空気軸受４６ａ、ｂおよ
び４８ａ、ｂの下位で略芯合せされている。

Ｘ軸キャリッジ４０はまた基盤１２の表面に取付けられ
た案内レール７０にまたがる一対の横方向＃ｌ１ｒＷ１
案内軸受から成る一体化第３部分を有する。

案内レール７０は好ましくは花こう岩で構成され、レー
ルの幅を狭くし、アルミニウム製Ｘ軸キ〈ヤリッジ４０
との熱膨脹差の影響を最小にする。

＃ｌ製変換器グレーチング桁７１は案内レール７゜の頂
部にそれらの相対的熱膨張を許容する方法、例えば、ピ
ン・スロット接続によって取付けられる。

案内レール７０の片側はＸ軸に平行で垂直に延在する案
内表面７２．７４を有する。２対の案内軸受７６ａ、ｂ
および７８ａ、ｂは各案内軸受脚６７．６８と各案内表
面７２．７４閾に介在される。

案内軸受対７６ａ、ｂおよび７８ａ、ｂはいずれらＸ軸
方向において離間して設置される。

花こう獅子ｌ１ｉ２２はそれに接続される花こう岩スペ
ーサ・ブロック２５の下方に延在し、回転ワーク・テー
ブル２０を支持する。

Ｘ軸キャリッジ駆動装置は、ブラケット５０．５２．５
４問および脚６７ａ、ｂと６８ａ、１〕閏の中心空間に
位置し、Ｘ軸方向に延在する桁・歯付きベルト・アセン
ブリを有する。そのＸ軸キャリッジ駆動装置は１９８９
年３月７日に同時係属出願された米国出願番号第０７／
３２０，１８９号に開示されている。

モータ出力相り変換器信号リード用の各ワイヤはケーブ
ル８１″ｃｔＩＩＩ成され、平板２２の上方がつウェイ
部材２４のの内側の空間においてループを形成し、キャ
リッジ４０と共に前後方向に容易に移動できるように取
付けられる。

第３図によって、後部ブラケット５０は底部５６の幅を
相対的に広くし、後部予圧空気軸受６６ａ、ｂを支持し
ていることがわかる。その後部予圧空気軸受６６ａ、ｂ
は後部支持空気軸受４６ａ、ｂと共に、前部予圧軸受６
４ａ、ｂおよび前部支持軸受４８ａ、ｂと比較して、近
接に離間して設置される。この結果、ウェイ３２．３４
．３６．３８上のキャリッジ４０は３点支持に近くなり
、それらの間の正確な平行度を必要としなくなる。

各空気軸受は従来市販されている直交座標測定機で使用
されている形式のものである。その空気軸受はグラフア
イＩ〜製ポーラス軸受パッド１０２を有し、プラミング
接Ｉｊ！（図示せず）によって圧縮空気の供給される内
部空間を有する軸受キャップ１０４に支持される。そし
て、空気はボラース軸受バッド１０２を介して流出し、
空気膜を生成し、そのポーラス軸受バッド１０２は公知
のように軸受を支持する。キャップ１０４は締付はバー
１１０によって固定される可変位置ピン１０８の円すい
シートで保持されるボール１０６に支持される。これに
よって、軸受キャップ１０４とバッド１０２がわずかに
傾斜してもウェイ表面のわずかの変動を調整する。

ケーブル保持ブラケット１１２は左前部予圧軸受ブラケ
ット５２の左端と取付けられるケーブルのｌ端８１がル
ープを形成する後部軸受支持ブラケット５０の左端に取
付けられる。

グレーチング変換器載置ブラケット１１４は読取りヘッ
ド１１６を左後部案内軸受脚６７ａの適当な位置に固定
し、グレーチング桁７１に取付けられたグレーチングを
走査する。

キャリッジ駆動装置は第３図に示すようにキャリッジの
左端に、駆動モータを有するモータ・１−り駆動パッケ
ージ１１８を備えている。プーリ装置（図示せず）を介
して１方向に駆動モータを回転すると、Ｘ軸キャリッジ
４０がＸ軸に沿って延在する桁・歯付きベルト・アセン
ブリ８０の歯付きベルト８９に沿って１方向に直進する
。これは前述の同時係属出願された米国特許出願に詳述
されている。

第４図にｆ＆部索案内空気軸受７６ａｂの支持の詳細が
示される。自動調芯ボール１０６は予圧ピン１４８の１
端において台１５０に固定されるスプリング・ワッシャ
１４８によって支持されるシー）１４４に保持され、対
向案内空気軸受７８ａ、ｂに予圧を付加する。こうして
、レール７０およびＸキャリッジ４０における熱膨張に
よる軸受７６ａ、ｂおよび７８ａ、ｂ間の間隙の変動は
取除かれ、軸受７６ａ、ｂおよび７８ａ、ｂの焼付きあ
るいは過剰なゆるみが抑制される。

第５図はＸキャリッジ軸受の平面を線区で示したもので
ある。予圧案内空気軸受７６ａ、ｂは案内レールの後側
に設置され、一方案内軸受７８ａ、ｂは回転テーブル２
０に近い前側に設置される。

広幅離間支持空気軸受４８ａ、ｂはＸ軸キャリッジ４０
の前側に設置され、一方近接離間支持空気軸受４６ａ、
ｂは後側に設置される。

前部対支持空気軸受４８ａ、ｂおよび対応予圧空気軸受
６４ａ、ｂｌＡＸ軸に沿って広幅に離間して設置され、
Ｘ軸の１方向におけるＸキャリッジ４０の加速によって
生じる動的チッピング負荷を効果的に抑制する。

後部対支持空気軸受４６ａ、ｂおよび対応予圧空気軸受
６６ａ、ｂは近接に離間して設置され、その結果、３点
支持に近くなり、ウェイ３２−３８における不正確さの
影響を最少にする。同時にこれらの近接離間軸受４６ａ
、ｂおよび６６ａ、ｂは前後部チッピング動的負荷を吸
収し、プローブ・アーム・アセンブリ１６の移動によっ
て支柱アセンブリ１４をＸレール３４．３８の前端の近
くで回転させようとし、その結果、動的負荷は前部、後
部空気軸受間で効果的に分担される。

支柱アセンブリ１４に含まれる支柱部材１６０が第５区
に示される。その支柱部材１６０はその基部に固定され
る取付は板４１によってＸキャリッジに固定される。そ
の支柱部材１６０は前側および後側において、正確に仕
上げられた横方向離間ウェイ表面１６、１７０を有する
ウェイ突起部１６６．１６４から成る前部から後部に延
在する翼を有する。

第３ウェイ突起部１７２から成るリプはＸ軸方向におい
て前、後部突起部１６６．１６４と交差するように延在
し、仕上げられた離間ウェイ表面１７４を有する。好ま
しくは、Ｙ軸グレーチング１７６は突起１６６のウェイ
表面１７０の中間にある結合面に固定される。

第６ずによって、支柱部材１６０は頂部から底部に傾斜
し、Ｘ軸に沿う加速によって生じる曲げに対する強度を
大きくしている。ＹＺキャリッジ１７は各ウェイ１７０
ａ、ｂに係合する対向空気軸受１７８ａ、ｂおよび１８
０ａ、ｂの２つの垂直離間対を保持する。

空気軸受１８２ａ、ｂおよび１８４ａ、ｂの対向する垂
直離間対はウェイ突起部１７２のウェイ表面１７４ａ、
ｂに係合する。

プローブ・アーム・アセンブリ１６は回転してダイアモ
ンド形状を示す正方形断面のプローブ軸１８６を有する
。そのプローブ軸１８６は上部空気軸受の前後離間対１
８８ａ、ｂと１９０ａ、ｂおよび下部空気軸受の前ｆ＆
離間対１９２ａ、ｂと１９４ａ、ｂに支持され、各村の
１つのみ第６図に示される。空気軸受１８８ａ、ｂ　；
　１９０ａ、ｂ；　１９２ａ、ｂ；　１９４ａ、ｂはＹ
Ｚキャリッジ１７によって支持されプローブ軸１８６を
支持し、ダイアモンド形状のプローブ軸１８６の正確に
仕上げられた各ウェイ表面１９６．１９、２００および
２０２に係合する。

第７図によって、付加的な対向空気軸受の単一対は後部
ウェイ突起部１６４の各ウェイ表面１６８ａ、ｂに係合
する。

空気軸受対１８２ａ、ｂ　（および、１８４ａ、ｂ、こ
れは第７図に示されていない）はウェイ突起部１７２の
対向表面１７４ａ、ｂにそれぞれ係合し、空気軸受対１
７８ａ、ｂ　（および１８０ａ、ｂ、これは第７図に示
されていない）はウェイ突起部】６６の対向表面１７０
ａ、ｂに係合する。

ＹＺキャリッジ１７の垂直面における移動の案内に対し
て空気軸受１８２ａ、ｂに分離ウェイ突起部１７２を用
いると、従来と同様の方法で単に前後突起部１６６．１
６４の端面に係合させるだけであり、大径の軸受を用い
ることができる。さらに、近接平行度を得る対向ウェイ
表面の加工が容易であり、製造原優を削減できる。突起
部１７２の位置は支柱部材１６０の前側に隣接し、ウェ
イ表面１７４ａ、ｂの不正確さによるグレーチング１７
６と読取りヘッド１６０間の誤差を最少にする。

第８図において、空気軸受対１９０ａ、ｂおよび１９４
ａ、ｂはプローブ軸１８６の右コーナ２０５に隣接し、
空気軸受対１８８ａ、ｂおよび１９２ａ、ｂはプローブ
軸１８６の左コーナ２０６に隣接している。その結果得
られる垂直軸に対する対称性によってプローブ軸１８６
が２軸に沿って内外に移動する時化じる不均衡なねじれ
力を抑制する。これはプローブ軸１８６が回転せずにダ
イアモンド形状を示す時に生じる。

空気軸受の位置がプローブ軸１８６のコーナに近接する
ことはプローブ軸１８６の回転を効果的に抑制するの（
こ必要である。同時に、４５度ウェイ表面１９６−２０
２を与えることは４５度表面を加工するよりもプローブ
表面１８６を回転させることで容易に得られ、その結果
通合は正方形ｌ！７ｉｉ１！ｔのプローブ軸１８６が用
いられる。

光学的グレーチング２０８は好ましくは下部表面２００
に固定され、カバーが用いられなくてもダストの集積を
最少にし、ｉｑｉリヘッド２１０はＹＺキャリッジ１７
に固定される。

駆動１１ｑ１２１６はＹＺキャリッジ１７におけるプロ
ーブ・アーム・アセンブリ１６の移動を可能にする。

第７図において、空気軸受１８８ａ、ｂ；　１９０ａ、
ｂ（および対１９２ａ、ｂ；１９４ａ、ｂ、これは第７
図に示されていない）は長方形の形状であり、従って、
第８図に示されるように、回転止めビンが設けられ、Ｙ
Ｚキャリッジ１７においてビン２１４によって回転が抑
制される。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による水平アーム直交座標測定機の透視
図である。 第２図は第１図に示される測定機の１＆盤についての横
断面図である。 第３図はＸキャリッジおよび付属構成要素の部分背面図
であり、Ｘ軸ウェイと案内レールの一部が仮想線で示さ
れる。 第４図はＸ軸キャリッジ・アセンブリに含まれる予圧案
内空気軸受の拡大部分図である。 第５図はＸキャリッジおよび支持軸受の平面図であり、
支柱と取付は板を含み、Ｘ軸ウェイお上び案内レールは
仮想線で示される。 第６図は、軸受の配置を説明するための支柱、ＹＺキャ
リッジおよびプローブ・アームの正面図である。 第７図は、種々の関連する軸受の配置を説明するＹＺキ
ャリッジ、支柱およびプローブ・アームの正面図である
。 第８図は、プローブ・アームＺ軸移動を案内する空気軸
受の配置を説明するためのプローブ軸およびＹＺキャリ
ッジ隣後部の端面図である。 １０・・・直交座標測定機 １１・・・支柱カバー １２・・・基盤 １３・・・プリーツ・カーテン １４・・・垂直支柱アセンブリ １５・・・ベローズ １６・・・水平支柱アセンブリ １７・・・ＹＺキャリッジ １８・・・プローブ・チップ ２０・・・回転テーブル ＦＩＧ−３ ＦＩＧ−４ ＦＩＧ−６

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、第１水平方向平行離間ウェイ表面（３２−３４）を
   含む、水平軸に沿って延在するウェイ表面（３２−３８
   、７２、７４）を有する基盤（１２）とＸキャリッジ（
   ４０）および前記Ｘキャリッジ（４０）を前記ウェイ（
   ３２−３８）に沿って移動可能に支持案内する前記Ｘキ
   ャリッジ（４０）に載置される複数のＸキャリッジ支持
   軸受（４６ａ、ｂ；４８ａ、ｂ；６６ａ、ｂ；６４ａ、
   ｂ；７６ａ、ｂ；７８ａ、ｂ）から成るＸキャリッジ軸
   受手段を有する直交座標測定機の組合わせであって、 垂直支柱アセンブリ（１４）が前記Ｘキャリッジ（４０
   ）に設置され、そこから垂直に延在し前記Ｘ軸に沿って
   移動可能な支柱部材（１６０）を有し、 プローブ・アセンブリ（１６）が被測定物に接するプロ
   ーブ先端（１８）、前記Ｘ軸に直交して前記支柱アセン
   ブリ（１４）から水平に延在するく形プローブ軸（１８
   ６）と、前記プローブ軸１８６）の長手方向に沿って形
   成され水平Ｚ軸に沿って延在するウェイ表面（１９６−
   ２０２）および前記プローブ軸（１８６）を前記プロー
   ブ軸ウェイ表面（１９６−２０２）に沿って移動可能に
   支持案内する前記ＹＺキャリッジに載置される複数のプ
   ローブ支持軸受（１８８ａ、ｂ；１９０ａ、ｂ；１９２
   ａ、ｂ；１９４ａ、ｂ）から成るプローブ軸受手段を有
   し、 前記支柱部材（１６０）がＹ軸に沿って延在するウェイ
   表面（１６０ａ、ｂ；１７０ａ、ｂ；１７４ａ、ｂ）と
   、ＹＺキャリッジ（１７）および前記キャリッジ（１７
   ）を前記支柱部材ウェイ表面（１６８ａ、ｂ；１７０ａ
   、ｂ；１７４ａ、ｂ）に沿って移動可能に支持案内する
   前記ＹＺキャリッジ（１７）に載置される複数のプロー
   ブ支持軸受（２０４ａ、ｂ；１８０ａ、ｂ；１８４ａ、
   ｂ；１８２ａ、ｂ；１７８ａ、ｂ）から成るＹＺキャリ
   ッジ軸受手段を有し、 被測定物支持テーブル（２０）が前記Ｘ軸ウェイ表面（
   ３２−３８）の片側に設置され、前記測定機（１０）の
   前部に延在する前記プローブ・アセンブリ（１６）のチ
   ップ（１８）によっ前記測定機の前部を限定するような
   直交座標測定機において、 前記Ｘキャリッジ支持軸受が、前記Ｘ軸の前側に設置さ
   れる前記水平方向平行ウェイ表面（３４）の１つに載置
   される１対の離間前部空気軸受（４８ａ、ｂ）と前記Ｘ
   軸の前側に前記前部対の間隔よりも狭い間隔で設置され
   る相対的近接後部空気軸受（４６ａ、ｂ）によって構成
   されることを特徴とする直交座標測定機。 ２、前記Ｘ軸ウェイ表面がさらに前記第１対離間ウェイ
   表面（３２、３４）の下位に設置される第２対離間水平
   ウェイ表面（３６、３８）を有し、前記Ｘキャリッジ軸
   受がさらに各前記前部および後部支持空気軸受（４８ａ
   、ｂ；４６ａ、ｂ）の下位にＸ軸に対して上向きに対面
   する対応予圧軸受（６６ａ、ｂ；６４ａ、ｂ）を有する
   ことを特徴とする請求項１記載の直交座標測定機。 ３、前記Ｘ軸ウェイ表面がさらに前記第１および第２対
   水平ウェイ表面（３２−３８）の中間に設置され、前記
   Ｘ軸に沿って延在する１対の垂直ウェイ表面（７２、７
   ４）を有することを特徴とする請求項２記載の直交座標
   測定機。 ４、前記支柱部材（１６０）がその前後側面に垂直に延
   在する対向ウェイ突起部（１６６、１６４）を有し、ウ
   ェイ表面（１７０ａ、ｂ；１６８ａ、ｂ）が各前後ウェ
   イ突起部（１６６、１６４）の対向する側面に形成され
   、前記ＹＺキャリッジ軸受が各ウェイ表面（１７０ａ、
   ｂ；１６８ａ、ｂ）に対する各前記前後突起部（１６６
   、１６４）に沿って位置される第１対対面空気軸受（１
   ７８ａ、ｂ；１８０ａ、ｂ；２０４ａ、ｂ）を有し、中
   間ウェイ突起部（１７２）が前部ウェイ突起部（１６６
   ）に隣接する前記支柱部材（１６０）の横側面に沿って
   垂直に延在し、前記横方向ウェイ突起部（１７２）が前
   後ウェイ表面を有し、そして前記ＹＺキャリッジ軸受が
   前記横方向突起部（１７２）上の各ウェイ表面（１７４
   ａ、ｂ）に対して位置される１対の対面空気軸受（１８
   ２ａ、ｂ；１８４ａ、ｂ）を有することを特徴とする請
   求項１記載の直交座標測定機。 ５、さらに前記第１対から垂直方向に離間され、かつ前
   部ウェイ突起部（１６６）の前記ウェイ表面に対して位
   置される対面第２対空気軸受と、前記第１対から垂直方
   向に離間され、かつ前記横方向ウェイ突起部（１７２）
   の前記ウェイ表面に対して位置される対面第２対空気軸
   受を有することを特徴と擦る請求項４記載の直交座標測
   定機。 ６、前記プローブ軸（１８６）は断面が正方形であり、
   前記正方形断面の各コーナから成る左右アペックス（２
   ０５、２０６）を有するダイアモンド状断面を示すよう
   に配置され、前記ウェイ表面（１９６−２０２）が前記
   正方形断面の側面から成り、そして前記プローブ支持軸
   受（１８８ａ、ｂ；１９０ａ、ｂ；１９２ａ、ｂ）が前
   記ダイアモンド形状の各左右アペックス（２０５、２０
   ６）に隣接する空気軸受から成ることを特徴とする請求
   項１記載の直交座標測定機。 ７、前記プローブ軸支持軸受（１８８ａ、ｂ；１９０ａ
   、ｂ；１９２ａ、ｂ：１９４ａ、ｂ）が前記プローブ軸
   （１８６）の長さ方向に沿って離間される４組から成り
   、各組が左右ダイアモンド上アペックス（２０５、２０
   ６）の片側に隣接する対空気軸受群（１８８ａ、１９０
   ａ、１９２ａ、１９４ａ、１８８ｂ、１９０ｂ、１９２
   ｂ、１９４ｂ）から成ることを特徴とする請求項７記載
   の直交座標測定機。 ８、第１対水平方向平行離間ウェイ（３２−３８）を含
   む、水平軸に沿って延在するウェイ表面（３２−３８、
   ７２、７８）を有する基盤（１２）と、Ｘキャリッジ（
   ４０）および前記ウェイ（３２−３８、７２、７８）に
   沿って移動可能に前記Ｘキャリッジ（４０）を支持案内
   するＸキャリッジ軸受手段を有し、前記Ｘキャリッジ（
   ４０）に載置される複数のＸキャリッジ支持軸受（４６
   ａ、ｂ；４８ａ、ｂ：６６ａ、ｂ；６４ａ、ｂ７６ａ、
   ｂ；７８ａ、ｂ）から成るＸキャリッジ軸受手段を有す
   る直交座標測定機であって、 垂直支柱アセンブリ（１４）が、前記Ｘキャリッジ（４
   ０）に設置されて垂直に延在し前記Ｘ軸に沿って移動可
   能な支柱部材（１６０）を有し、プローブ・アセンブリ
   （１６）が、被測定物に接触するプローブ・チップ（１
   ８）と、前記Ｘ軸と直交し、前記支柱アセンブリ（１４
   ）から水平に延在するく形プローブ軸（１８６）および
   前記プローブ軸（１８６）の長さ方向に沿って形成され
   、水平Ｚ軸に沿って延在されるウェイ表面（１９６−２
   ０２）と前記プローブ軸（１８６）を前記プローブ軸ウ
   ェイ表面（１９６−２０２）に沿って移動可能に支持案
   内する前記ＹＺキャリッジに載置される複数のプローブ
   支持軸受（１８８ａ、ｂ；１９０ａ、ｂ；１９２ａ、ｂ
   ；１９４ａ、ｂ）から成るプローブ軸受を有し、 前記支柱部材（１６０）が、垂直Ｙ軸に沿って延在する
   ウェイ表面（１６８ａ、ｂ；１７０ａ、ｂ；１７４ａ、
   ｂ）と、ＹＺキャリッジ（１７）および前記ＹＺキャリ
   ッジ（１７）を前記支柱部材ウェイ表面（１６８ａ、ｂ
   ；１７０ａ、ｂ；１７４ａ、ｂ）に沿って移動可能に支
   持案内する前記ＹＺキャリッジ（１７）に載置される複
   数のＹＺキャリッジ支持軸受（２０４ａ、ｂ；１８２ａ
   、ｂ；１８０ａ、ｂ；１８４ａ、ｂ：１７８ａ、ｂ）か
   ら成るＹＺキャリッジ軸受手段を有し、被測定物支持テ
   ーブル（２０）が前記Ｘ軸ウェイ表面（３２−３８）の
   片側に設置され、前記プローブ・アセンブリ（１６）の
   チップ（１８）によって前記測定機（１０）の前部を限
   定するするような直交座標測定機において、前記支柱部
   材（１６０）がその前後側面に垂直に延在する対向ウェ
   イ突起部（１６６、１６４）を有し、各前後ウェイ突起
   部（１６６、１６４）の対向側面にウェイ表面が形成さ
   れ、前記ＹＺキャリッジ軸受が各ウェイ表面（１７０ａ
   、ｂ；６８ａ、ｂ）に対して各前記前後突起部（１６６
   、１６４）に沿って位置される第１対対面空気軸受（１
   ７８ａ、ｂ；１８０、ｂ；２０４ａ、ｂ）を有し、中間
   ウェイ部材（１７２）が前部ウェイ突起部（１６６）に
   隣接する前記支柱部材（１６０）の横側面に沿って垂直
   に延在し、前記横方向ウェイ突起部（１７２）が前後ウ
   ェイ表面（１７４ａ、ｂ）を有し、そして前記ＹＺキャ
   リッジ軸受が、前期横方向突起部（１７２）上の各ウェ
   イ表面１７４ａ、ｂ）に対して位置される一対の対面空
   気軸受（１８２、１８４）を有することを特徴とする直
   交座標測定機。 ９、さらに前記第１対から垂直に離間され、かつ前記前
   部ウェイ突起部（１６６）の前記ウェイ表面に対して位
   置される第２対対面空気軸受と前記第１対から離間され
   、かつ前記横方向ウェイ突起部（１７２）の前記ウェイ
   表面（１７４ａ、ｂ）に対して位置される第２対対面空
   気軸受を有することを特徴とする請求項８記載の直交座
   標測定機。 １０、第１対水平方向平行離間ウェイ（３２−３８）を
   含む水平軸に沿つて延在するウェイ表面（３２−３８、
   ７２、７４）を有する基盤（１２）、Ｘキャリッジ（４
   ０）および前記Ｘキャリッジ（４０）を前記ウェイ（３
   ２−３８）に沿って移動可能に支持案内する前記Ｘキャ
   リッジに載置される複数のＸキャリッジ支持軸受（４６
   ａ、ｂ；４８ａ、ｂ；６６ａ、ｂ；６４ａ、ｂ；７６ａ
   、ｂ；７８ａ、ｂ）から成るＸキャリッジ軸受手段を有
   する直交座標測定機の組合わせであって、垂直支柱アセ
   ンブリ（１４）が、前記Ｘキャリッジ（４０）に設置さ
   れ垂直に延在し前記Ｘ軸に沿って移動可能な支柱部材を
   有し、 プローブ・アセンブリ（１６）が被測定物と接触するプ
   ローブ・チップ（１８）、前記Ｘ軸と直交し前記支柱ア
   センブリ（１４）から水平に延在するく形プローブ軸（
   １８６）と、前記プローブ軸（１８６）の長さ方向に沿
   って形成され水平Ｚ軸に沿って延在するウェイ表面（１
   ９６−２０２）および前記プローブ軸（１８６）を前記
   プローブ軸ウェイ表面（１９６−２０２）に沿つて移動
   可能に支持案内する前記ＹＺキャリッジに載置される複
   数のプローブ支持軸受（１８８ａ、ｂ；１９０ａ、ｂ；
   １９２ａ、ｂ；１９４ａ、ｂ）から成るプローブ軸受手
   段を有し、 前記支柱部材（１６０）が垂直Ｙ軸に沿って延在するウ
   ェイ表面（１６８ａ、ｂ；１７０ａ、ｂ；１７４ａ、ｂ
   ）と、ＹＺキャリッジ（１７）および前記キャリッジ（
   １７）を前記支柱部材ウェイ表面（１６８ａ、ｂ；１７
   ０ａ、ｂ；１７４ａ、ｂ）に沿って移動可能に支持案内
   する前記ＹＺキャリッジ（１７）に載置される複数のＹ
   Ｚキャリッジ支持軸受（２０４ａ、ｂ；１８０ａ、ｂ；
   １８４ａ、ｂ；１８２ａ、ｂ；１７８ａ、ｂ）から成る
   ＹＺキャリッジ軸受手段を有し、 被測定物支持テーブル（２０）が前記Ｘ軸ウェイ表面（
   ３２−３８）の片側に設置され、前記測定機（１０）の
   前部に延在する前記プローブ・アセンブリ（１６）のチ
   ップ（１８）によって限定されるような直交座標測定機
   において、 前記プローブ軸（１８６）が正方形の断面であり、前記
   正方形断面のコーナによって定められる左右アペックス
   （２０５、２０６）を有するダイアモンド状断面を示す
   ように配置され、前記ウェイ表面（１９６−２０２）が
   前記正方形断面の側面から成りそして前記プローブ支持
   軸受（１８８ａ、ｂ；１９０ａ、ｂ；１９２ａ、ｂ；１
   ９４ａ、ｂ）が前記ダイアモンド形状の各左右アペック
   ス（２０５、２０６）に隣接して設置される空気軸受か
   ら成ることを特徴とする直交座標測定機。 １１、前記プローブ支持軸受（１８８ａ、ｂ；１９０ａ
   、ｂ；１９２ａ、ｂ；１９４ａ、ｂ）が前記プローブ軸
   （１８６）の長さ方向に沿って離間する４組から成り、
   各組が左右ダイアモンド形状アペックス（２０５、２０
   ６）のいずれかの側面に隣接する一対の空気軸受群（１
   ８８ａ、１９０ａ、１９２、ａ、１９４ａ、１８８ｂ、
   １９０ｂ、１９２ｂ、１９４ｂ）から成ることを特徴と
   する請求項１０記載の直交座標測定機。 １２、第１対水平方向平行離間ウェイ表面（３２−３８
   ）を含む水平軸に沿って延在するウェイ表面（３２−３
   ８、７２、７４）を有する基盤１２）と、Ｘキャリッジ
   （４０）および前記Ｘキャリッジ（４０）を前記ウェイ
   （３２−３８）に沿つて移動可能に支持案内する前記Ｘ
   キャリッジ（４０）に載置される複数のＸキャリッジ支
   持軸受（４６ａ、ｂ；４８ａ、ｂ；６４ａ、ｂ；７６ａ
   、ｂ；７８ａ、ｂ）から成るＸキャリッジ軸受手段を有
   する直交座標測定機の組合わせであつて、垂直支柱アセ
   ンブリ（１６）が、前記Ｘキャリッジ（４０）に設置さ
   れ垂直に延在し前記Ｘ軸に沿って移動可能な支柱部材を
   有し、 プローブ・アセンブリ（１６）が被測定物と接触するプ
   ローブ・チップ（１８）、前記Ｘ軸に直交して前記支柱
   アセンブリ（１４）から水平に延在するく形プローブ軸
   （１８６）と、前記プローブ軸（１８６）の長さ方向に
   沿って形成され、水平Ｚ軸に沿つて延在するウェイ表面
   （１９６−２０２）および前記プローブ軸（１８６）を
   前記プローブ軸ウェイ表面（１９６−２０２）に沿って
   移動可能に支持案内する前記ＹＺキャリッジに載置され
   る複数のプローブ支持軸受（１８８ａ、ｂ；１９０ａ、
   ｂ；１９２ａ、ｂ；１９４ａ、ｂ）から成るプローブ軸
   受手段を有し、 前記支柱部材（１６０）が垂直Ｙ軸に沿つて延在するウ
   ェイ表面（１６８ａ、ｂ；１７０ａ、ｂ；１７４ａ、ｂ
   ）と、ＹＺキャリッジ（１７）および前記ＹＺキャリッ
   ジ（１７）を前記支柱部材ウェイ表面（１６８ａ、ｂ；
   １７０ａ、ｂ；１７４ａ、ｂ）に沿って移動可能に支持
   案内する前記ＹＺキャリッジ（１７）に載置される複数
   のＹＺキャリッジ支持軸受（２０４ａ、ｂ；１８０ａ、
   ｂ；１８４ａ、ｂ；１８２ａ、ｂ；１７８ａ、ｂ）から
   成るＹＺキャリッジ軸受手段を有し、 被測定物支持テーブル（２０）が、Ｘ軸ウェイ表面（３
   ２−３８）の片側に設置され前記測定機（１０）の前部
   に延在する前記プローブ・アセンブリ（１６）のチップ
   （１８）によって前記測定機の前部を限定するような直
   交座標測定機において、 前記Ｘキャリッジ支持軸受が、前記Ｘ軸の前側に設置さ
   れる前記水平方向平行ウェイ表面の１つに載置される前
   部対離間空気軸受（４８ａ、ｂ）と前記Ｘ軸の後部に載
   置される後部対空気軸受４６ａ、ｂ）および前記第１対
   離間ウェイ表面（３２、３４）の下位に設置される第２
   対離間水平ウェイ表面（３６、３８）を有し、前記Ｘキ
   ャリッジ軸受がさらに前記前後支持空気軸受（４８ａ、
   ｂ；４６ａ、ｂ）の下位にＸ軸に対して上向きの対応予
   圧空気軸受（６６ａ、ｂ；６４ａ、ｂ）を有し、前記予
   圧空気軸受（６２ａ、ｂ；６４ａ、ｂ）が前記支持空気
   軸受（４６ａ、ｂ；４８ａ、ｂ）から内側にわずかずれ
   ていることを特徴とする直交座標測定機。