JPH03124458A - Printing head - Google Patents

Printing head

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JPH03124458A
JPH03124458A JP26324989A JP26324989A JPH03124458A JP H03124458 A JPH03124458 A JP H03124458A JP 26324989 A JP26324989 A JP 26324989A JP 26324989 A JP26324989 A JP 26324989A JP H03124458 A JPH03124458 A JP H03124458A
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JP
Japan
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film substrate
lead
layer
metal
metallic
Prior art date
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Pending
Application number
JP26324989A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yoshihiro Kawamura
義裕 河村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Casio Computer Co Ltd
Original Assignee
Casio Computer Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Casio Computer Co Ltd filed Critical Casio Computer Co Ltd
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Publication of JPH03124458A publication Critical patent/JPH03124458A/en
Pending legal-status Critical Current

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    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00Printed circuits
    • H05K1/02Details
    • H05K1/09Use of materials for the conductive, e.g. metallic pattern
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/40Forming printed elements for providing electric connections to or between printed circuits
    • H05K3/4038Through-connections; Vertical interconnect access [VIA] connections

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  • Electronic Switches (AREA)

Abstract

PURPOSE:To form a metallic lead on a film substrate with a sufficient bonding strength to realize a fine pitch by a method wherein metallic layers are plated on the top and rear surfaces of the heat-resistant film substrate having needle holes passing through vertically at predetermined positions, the metallic layers are patterned into a predetermined form, and the top and rear surface of the film substrate are electrically connected with each other at the position of the needle holes. CONSTITUTION:A film substrate 1 made of a heat resistant resin having flexibility, such as polyimide, is formed into a thin and long rectangle. On the right hand side of the film substrate 1, a plurality of needle holes 9 pass through vertically. A metallic lead 2 is formed by laminating a metallic thin film layer 10, a copper plated layer 11, a nickel plated layer 12, and a gold plated layer 13. The metallic leads 2 are directly provided on the top and rear surface of the film substrate 1 and inside the needle holes 9. The metallic lead 2 on the top surface of the film substrate 1 serves as a wiring lead 14, the metallic lead 2 on the rear surface serves as a connection lead 15 connected to an external circuit. These upper and lower leads 14, 15 are connected to each other through the lead of the needle holes 9.

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] この発明は印字ヘッドに関する。[Detailed description of the invention] [Industrial application field] This invention relates to printheads.

「従来の技術」 従来、プリンタ等に用いられる印字ヘッドとして、感熱
タイプのサーマル印字ヘッドが知られている。この種の
印字ヘッドは、薄膜形成技術によりセラミック基板上に
絶縁層を介して多数の発熱抵抗層および電極をパターニ
ングして並列形成し、これらを酸化防止層および耐摩耗
層で覆った構造となっている。この印字ヘッドで印字を
行なうためには、印字ヘッドをフレキシブルコネクタ7
でドライブユニットに接続し、このドライブユニットで
印字ヘッドの発熱抵抗層を選択的に発熱させる必要があ
る。
"Prior Art" Conventionally, heat-sensitive type thermal print heads are known as print heads used in printers and the like. This type of print head has a structure in which a large number of heating resistance layers and electrodes are patterned and formed in parallel on a ceramic substrate via an insulating layer using thin film formation technology, and these are covered with an oxidation-preventing layer and an abrasion-resistant layer. ing. To print with this print head, connect the print head to the flexible connector 7.
It is necessary to connect the print head to a drive unit and use this drive unit to selectively generate heat in the heat generating resistor layer of the print head.

しかし、上述した印字ヘッドでは、素材が高価であり、
しかも製作に高い精度が要求されるため、生産性が悪く
、当然高価なものになるという問題がある。また、この
印字ヘッドはフレキシプルコネクタ等でドライブユニッ
トに接続しなければならないが、印字ヘッドの電極が微
細ピッチで極めて多数並列されているものであるから、
その接続作業が非能率的であるという問題もある。
However, the print head described above uses expensive materials;
Moreover, since high precision is required for manufacturing, there are problems in that productivity is low and the product is naturally expensive. In addition, this print head must be connected to the drive unit using a flexible connector, but since the print head has an extremely large number of electrodes arranged in parallel at a fine pitch,
Another problem is that the connection work is inefficient.

このようなことから、最近では、ベース部材としてフィ
ルム基板を用い、このフィルム基板にICチップ等のチ
ップ部品をも搭載することが検討されている。すなわち
、この種の印字ヘッドは、フィルム基板上に接着剤を用
いて金属箔を接着し、この金属箔をフォトリングラフィ
法により所定形状にパターニングして金属リードを並列
形成し、この金属リードの断線部分に発熱抵抗層を設け
たうえ、金属リードに直接ICチップ等のドライブチッ
プを接合するものである。
For this reason, recently, consideration has been given to using a film substrate as a base member and mounting chip components such as IC chips on this film substrate. In other words, in this type of print head, a metal foil is bonded onto a film substrate using an adhesive, and this metal foil is patterned into a predetermined shape using a photolithography method to form metal leads in parallel. In addition to providing a heating resistor layer at the disconnected portion, a drive chip such as an IC chip is directly bonded to the metal lead.

[発明が解決しようとする課題] しかしながら、フィルム基板を用いた印字ヘッドでは、
金属リードがファインピッチ化すると金属箔を接着する
接着剤の接着力が不足する。特に、接着剤はICチップ
等のチップ部品をポンディングする際に加熱されると接
着力が弱まるため、金属リードが位はズレを起し、ピッ
チの不均一、短絡等の問題が生じる。また、接着剤は一
般に絶縁抵抗が小さいため、ファインピッチ化すると金
属リード間の電気抵抗が不足し、動作上に問題が生じる
[Problems to be solved by the invention] However, in a print head using a film substrate,
When the pitch of metal leads becomes finer, the adhesive strength of the adhesive that bonds the metal foil becomes insufficient. In particular, when adhesives are heated when bonding chip components such as IC chips, their adhesive strength weakens, causing the metal leads to become misaligned, resulting in problems such as uneven pitch and short circuits. Furthermore, since adhesives generally have low insulation resistance, when the pitch is made finer, the electrical resistance between the metal leads becomes insufficient, causing problems in operation.

この発明は上記の実情に鑑みてなされたもので、接着剤
を用いずに、フィルム基板に金属リードを充分な接合強
度で形成でき、金属リードのファインピッチ化を可能と
し、かつICチップ等のチップ部品を良好にポンディン
グすることのできる印字ヘッドを提供することを目的と
するものである。
This invention was made in view of the above-mentioned circumstances, and enables metal leads to be formed on a film substrate with sufficient bonding strength without using adhesives, enables fine-pitch metal leads, and makes it possible to form metal leads on a film substrate without using an adhesive. The object of the present invention is to provide a print head that can bond chip parts well.

[課題を解決するための手段コ この発明は上述した目的を達成するために、所定箇所に
針孔が表裏に貫通して形成された耐熱性を有するフィル
ム基板の表裏面にメッキを施して金属層を形成し、この
金属層を所定形状にパターニングすることにより、前記
フィルム基板の表裏面に前記針孔の箇所で表裏が導通し
、かつ所定箇所を断線する間隙部が設けられた金属リー
ドを並列形成し、この各金属リードの間隙部に発熱抵抗
層を被着し、この発熱抵抗層を絶縁保護膜で覆って保護
したうえ、発熱抵抗層を選択的に駆動して発熱させるI
Cチップを前記金属リードに直接接合したものである。
[Means for Solving the Problems] In order to achieve the above-mentioned object, this invention is made by plating the front and back surfaces of a heat-resistant film substrate, which has needle holes penetrating the front and back sides at predetermined locations. By forming a layer and patterning this metal layer into a predetermined shape, a metal lead is formed on the front and back surfaces of the film substrate, the front and back sides are electrically conductive at the location of the needle hole, and a gap is provided for disconnection at a predetermined location. A heat generating resistor layer is formed in parallel with each other, a heat generating resistor layer is applied to the gap between each metal lead, the heat generating resistor layer is covered and protected with an insulating protective film, and the heat generating resistor layer is selectively driven to generate heat.
The C chip is directly bonded to the metal lead.

[作 用] このような印字ヘッドによれば、金属リードはフィルム
基板にメッキにより被着された金属層よりなるので、ベ
ース部材としてフィルム基板を用いても、金属リードを
フィルム基板に充分な接着強度で形成できる。このため
、金属リードのファインピッチ化が可能となり、ICチ
ップをポンディングする際の加熱によって金属リードが
位置ズレし難く、ピッチの不均一、短絡等を防ぐことが
できる。しかも、接着剤を用いないので、従来のような
接着剤による電気抵抗の不足によって生じる動作上の問
題等をも解消することができる。
[Function] According to such a print head, since the metal lead is made of a metal layer adhered to the film substrate by plating, even if the film substrate is used as the base member, the metal lead cannot be sufficiently bonded to the film substrate. Can be formed with strength. Therefore, it is possible to form the metal leads at a finer pitch, and the metal leads are less likely to be misaligned due to heating during bonding of the IC chip, thereby preventing non-uniform pitches, short circuits, etc. Moreover, since no adhesive is used, it is possible to solve operational problems caused by the lack of electrical resistance caused by conventional adhesives.

[実施例] 以下、図面を参照して、この発明の一実施例を説明する
[Example] Hereinafter, an example of the present invention will be described with reference to the drawings.

第1図は印字へ一/ トを示す、この印字ヘッドは例え
ばファクシミリ簿のプリンタに用いられてライン印字が
可能なものであり1図示しないが全体は細長い長方形状
をなしている。この印字ヘッドはフィルム基板lに多数
の金属リード2および発熱抵抗層3を設けるとともに、
複数の駆動用チップ4および制御用チップ5を搭載し、
発熱抵抗層3を絶縁保護膜6で覆ったうえ、これらを支
持体7 、hに接着剤8により接着した構造となってい
る。
FIG. 1 shows a printing head. This print head is used, for example, in a facsimile book printer and is capable of line printing. Although not shown, the print head has an elongated rectangular shape as a whole. This print head is provided with a large number of metal leads 2 and a heating resistor layer 3 on a film substrate l, and
Equipped with a plurality of drive chips 4 and control chips 5,
The heating resistor layer 3 is covered with an insulating protective film 6, and these are bonded to supports 7 and h with an adhesive 8.

フィルム基板lはポリイミド、ビスマレイミドトリアジ
ン等のI’TFta性を有する耐熱性樹脂よりなるもの
で、長方形状に細長く形成され、その右側の所定箇所に
複数の針孔9(第1図では2つのみを示すが実際には多
数ある)が上下に貫通して形成されている。この針孔9
は先端が鋭利な金属針を用いて直径0.1膳層程IMの
テーパ状に形成されている。
The film substrate l is made of a heat-resistant resin having I'TFta properties such as polyimide or bismaleimide triazine, and is formed into a long and thin rectangular shape, with a plurality of needle holes 9 (two in Fig. 1) at predetermined locations on the right side. (only shown here, but there are actually many) are formed to pass through the top and bottom. This needle hole 9
is formed into a tapered shape with a diameter of about 0.1 mm using a metal needle with a sharp tip.

金属リード2は金属薄膜層lO1銅メッキ層11、ニッ
ケルメッキ層12、金メッキ層13を積層したものであ
り、接着剤等を用いずに直接フィルム基板lの上下面お
よび針孔9内に設けられている。この金属リード2はフ
ィルム基板1の上面側が後述する配線リード14とされ
、下面側が外部回路に接続される接続リード15とされ
、これら上下の各リード14.15が針孔9の箇所で相
互に接続されている。この場合、上面側の配線リード1
4はフィルム基板lの長手方向に沿って所定間隔(例え
ば、0.1mm程度の間隔)で多数並列形成されている
。しかも、この配線リード14はフィルム基板lの幅方
向における左側の所定箇所に間隙部16がそれぞれ形成
され、この間隙部16により断線されている。これによ
り、各配線リード14は間隙部16の左側で一体的に接
続された共通電極17とされ、中間がそれぞれ信号電極
18とされ、右側が接続電極19とされている1信号電
極18は複数本(第5図(A)では7木しか示さないが
実際は極めて多数)を1組として各右端が後述する複数
の駆動用チップ4をそれぞれ囲むように配列形成されて
いる。なお、接続電極19はフィルム基板lの右端側に
設けられ、各駆動用チップ4と後述する制御用チップ5
とを接続するためのものである。
The metal lead 2 is made by laminating a metal thin film layer 1O1, a copper plating layer 11, a nickel plating layer 12, and a gold plating layer 13, and is installed directly on the upper and lower surfaces of the film substrate 1 and in the needle hole 9 without using an adhesive or the like. ing. The upper surface side of the metal lead 2 of the film substrate 1 is used as a wiring lead 14 (described later), and the lower surface side is used as a connection lead 15 connected to an external circuit. It is connected. In this case, the wiring lead 1 on the top side
4 are formed in large numbers in parallel at predetermined intervals (for example, intervals of about 0.1 mm) along the longitudinal direction of the film substrate l. Moreover, each of the wiring leads 14 has a gap 16 formed at a predetermined location on the left side in the width direction of the film substrate l, and is disconnected by the gap 16. As a result, each wiring lead 14 is made into a common electrode 17 integrally connected on the left side of the gap 16, the middle part is made into a signal electrode 18, and the right part is made into a connection electrode 19.One signal electrode 18 has a plurality of A set of books (only 7 trees are shown in FIG. 5A, but in reality there are quite a large number of them) are arranged in such a way that the right end of each book surrounds a plurality of drive chips 4, which will be described later. Note that the connection electrode 19 is provided on the right end side of the film substrate l, and is connected to each drive chip 4 and a control chip 5 to be described later.
It is for connecting with.

発熱抵抗層3はカーボンインク等の導電性インクよりな
り、印刷やロールコート等により配線リード14の各間
隙部16に金属リード2の厚さよりも厚く設けられ、か
つ信号電極18と共通電極17とに若干型なり1両電極
18.17を電気的に接続して設けられている。したが
って、この発熱抵抗層3は駆動用チップ4から各信号電
極18に駆動信号が与えられと、電流が流れてジュール
熱により発熱する。
The heating resistor layer 3 is made of conductive ink such as carbon ink, and is provided thicker than the thickness of the metal lead 2 in each gap 16 of the wiring lead 14 by printing or roll coating. The two electrodes 18 and 17 are electrically connected to each other in a slightly shaped manner. Therefore, when a drive signal is applied to each signal electrode 18 from the drive chip 4, a current flows through the heat generating resistor layer 3 and heat is generated due to Joule heat.

駆動用チップ4は配線リード14の各信号電極18に選
択的に駆動信号を出力するものであり。
The driving chip 4 selectively outputs a driving signal to each signal electrode 18 of the wiring lead 14.

ICチップよりなり、各信号電極18の右端側に囲まれ
たフィルム基板l上に設けられ、金ワイヤ20により各
信号電極18および接続電極19にポンディングされた
うえ、封止樹脂21によって封止されている。
It consists of an IC chip, is provided on a film substrate l surrounded by the right end side of each signal electrode 18, is bonded to each signal electrode 18 and connection electrode 19 with a gold wire 20, and is sealed with a sealing resin 21. has been done.

制御用チップ5は外部からの印字指令に基づいて各駆動
用チップ4を制御するものであり、ICチップまたはL
SIチップ等よりなり、配線り一ド14の接続電極19
に各リード端子22が半田付は等により接合されている
The control chip 5 controls each drive chip 4 based on a printing command from the outside, and is an IC chip or L
The connection electrode 19 of the wiring board 14 is made of an SI chip or the like.
Each lead terminal 22 is joined by soldering or the like.

絶縁保護膜6はポリイミド等の耐摩耗性および耐酸化性
を有する耐熱樹脂よりなるもので、駆動用チップ4より
も左側に位置する発熱抵抗層3および配線リード14を
覆って設けられている。なお、この絶縁保護膜6は液状
樹脂を被着して乾燥させるか、ドライフィルムを被着し
て形成される。
The insulating protective film 6 is made of a heat-resistant resin having wear resistance and oxidation resistance, such as polyimide, and is provided to cover the heating resistor layer 3 and the wiring leads 14 located on the left side of the driving chip 4. The insulating protective film 6 is formed by applying a liquid resin and drying it, or by applying a dry film.

支持体7は耐熱性樹脂または可撓性を有する金属板等よ
りなるが、いずれのものでも、ある程度変形可能なもの
を用いる。これは、印字ヘッドが長尺であるため、プラ
テン等に対する各発熱抵抗層3の部分の当りをよくする
ためである。
The support body 7 is made of a heat-resistant resin, a flexible metal plate, or the like, and any of these materials should be able to be deformed to some extent. This is to improve the contact of each heating resistor layer 3 with the platen etc. since the print head is long.

次に、第1図〜第5図を参照して、上述した印字ヘッド
を製作する場合について説明する。この場合、第2図は
印字ヘッドの製造手順を示し、第3図〜第5図は発熱抵
抗層3を形成する工程を示す。
Next, with reference to FIGS. 1 to 5, the case of manufacturing the above-mentioned print head will be described. In this case, FIG. 2 shows the manufacturing procedure of the print head, and FIGS. 3 to 5 show the steps of forming the heating resistor layer 3.

まず、ポリイミド等のフィルム基板lに先端が鋭利な金
属針でテーパ状の針孔9を上下面に貫通させて形成する
。そして、このフィルム基板1の上下面に銅等の金属薄
膜層lOを蒸着またはスパッタリングにより被膜する。
First, a tapered needle hole 9 is formed in a film substrate l made of polyimide or the like by penetrating the upper and lower surfaces thereof with a metal needle having a sharp tip. Then, a metal thin film layer 10 of copper or the like is coated on the upper and lower surfaces of the film substrate 1 by vapor deposition or sputtering.

この蒸着またはスパッタリングはフィルム基板lの上下
面から行なわれ、針孔9の内面にも同時に金属薄膜層l
oを被着する。この後、金属薄膜層10上に電解メッキ
により銅メッキ層11を形成する。これにより、フィル
ム基板lの上下面に金属薄膜層10および銅メッキ層1
1よりなる金属層が直接形成される。この場合、金属薄
膜層lOは銅メッキ層11の下地層となるものであり、
接着剤を用いずにフィルム基板lの上下面に充分な接合
強度をもって形成される。なお、この金属薄膜層10は
銅メッキ層11と同じ銅が望ましいが、これに限られな
い、また、銅メッキ層11は金属薄膜層10によりフィ
ルム基板1に対して充分な接合強度で形成される。この
場合、銅メッキ層11は金属薄膜層10と同じ金属材料
であれば特に接合強度は高いが、異なる金属材料であっ
ても差し支えない。
This vapor deposition or sputtering is performed from the upper and lower surfaces of the film substrate l, and the metal thin film layer l is also applied to the inner surface of the needle hole 9 at the same time.
Deposit o. Thereafter, a copper plating layer 11 is formed on the metal thin film layer 10 by electrolytic plating. As a result, the metal thin film layer 10 and the copper plating layer 1 are formed on the upper and lower surfaces of the film substrate l.
A metal layer consisting of 1 is directly formed. In this case, the metal thin film layer lO serves as a base layer for the copper plating layer 11,
It is formed with sufficient bonding strength on the upper and lower surfaces of the film substrate 1 without using an adhesive. Note that this metal thin film layer 10 is preferably made of the same copper as the copper plating layer 11, but is not limited to this, and the copper plating layer 11 is formed with sufficient bonding strength to the film substrate 1 by the metal thin film layer 10. Ru. In this case, the bonding strength is particularly high if the copper plating layer 11 is made of the same metal material as the metal thin film layer 10, but it may be made of a different metal material.

そして、フォトリングラフィ法により銅メッキ層11お
よび金属薄膜層10をエツチングして不要な部分を除去
し、銅メッキ層11および金属薄膜層10を金属リード
2と同じ形状にパターン形成する。すなわち、銅メッキ
層11および金属薄膜層10は、フィルム基板lの1−
面側が配線り一ド14と対応し、下面側が接続リード1
5と対応して残る。この場合、配線リード14と対応す
る銅メッキ層11および金属薄膜層10は、左側の所定
箇所に間隙部16が形成され、これ以外の部分が左側の
共通電極17、中間の信号電極18、右側の接続電極1
9とにそれぞれ対応して残る。
Then, the copper plating layer 11 and the metal thin film layer 10 are etched by photolithography to remove unnecessary portions, and the copper plating layer 11 and the metal thin film layer 10 are patterned in the same shape as the metal lead 2. That is, the copper plating layer 11 and the metal thin film layer 10 are
The surface side corresponds to the wiring lead 14, and the bottom side corresponds to the connection lead 1.
It remains in correspondence with 5. In this case, the copper plating layer 11 and the metal thin film layer 10 corresponding to the wiring lead 14 have a gap 16 formed at a predetermined location on the left side, and the other parts are the common electrode 17 on the left side, the signal electrode 18 in the middle, and the signal electrode 18 on the right side. connection electrode 1
9 and 9 remain corresponding to each other.

このようにパターン形成された金属薄膜層lOおよび銅
メッキ層11は、フィルム基板lに対する接合強度が充
分であるから、耐熱性がよく、しかも接11剤のような
電気抵抗の不足による動作上の聞届をも解消できる。
The metal thin film layer 1O and the copper plating layer 11 patterned in this way have sufficient bonding strength to the film substrate 1, so they have good heat resistance, and they are also resistant to operational problems due to lack of electrical resistance like adhesives. You can also cancel your hearing.

この後、フィルム基板1のL下面の銅メッキ層ll上に
電解メッキによりニッケルメッキ層12を形成したうえ
、さらに金メッキ層13を形成する。これにより、フィ
ルム基板lの上下両面に金属リード2が形成される。こ
のときには、銅メッキ層11および金属薄膜層10が1
−述したように所定形状にパターン形成されているので
、ニッケルメッキ層12は銅メッキ層11のに面のみに
形成され、かつ金メッキ層11はニッケルメッキ層12
の上面のみに形成される。このため、ニッケルメッキ層
12および金メッキ層13をエンチング処理する必要が
ない、しかも、このような方杖を採用すれば、ニッケル
メッキ層12および金メッキ層13が不要な部分に設け
られないので、メッキ液が無駄にならず、経済的である
。なお、ニッケルメッキ層12は銅メッキ層11を保護
して耐食性を図り、金メッキ層13を乗りやすくする。
Thereafter, a nickel plating layer 12 is formed by electrolytic plating on the copper plating layer ll on the lower surface L of the film substrate 1, and a gold plating layer 13 is further formed. As a result, metal leads 2 are formed on both upper and lower surfaces of the film substrate l. At this time, the copper plating layer 11 and the metal thin film layer 10 are
- As described above, since the pattern is formed in a predetermined shape, the nickel plating layer 12 is formed only on the side of the copper plating layer 11, and the gold plating layer 11 is formed on the nickel plating layer 11.
Formed only on the top surface of. Therefore, it is not necessary to perform an etching process on the nickel plating layer 12 and the gold plating layer 13. Moreover, if such a method is adopted, the nickel plating layer 12 and the gold plating layer 13 are not provided on unnecessary parts, so the plating No liquid is wasted and it is economical. Note that the nickel plating layer 12 protects the copper plating layer 11 to provide corrosion resistance, and makes it easier for the gold plating layer 13 to be applied.

金メッキ層13は電気抵抗値を下げるためのものである
The gold plating layer 13 is for lowering the electrical resistance value.

次に、フィルム基板1の上面に配線リード14を覆って
フォトレジスト23をスピンコード、デイツプ法、ロー
ルコート等により塗布する。このフォトレジスト23は
紫外線硬化型導の感光性樹脂よりなり、その膜厚は1〜
40gm程度まで自由に形成でき、後述する発熱抵抗層
3の厚さに応じて任意に設定することができるものであ
る。なお、フォトレジスト23はネガ型、ポジ型のどち
らでもよいが、ここではネガ型を用いた場合について説
明する。
Next, a photoresist 23 is applied to the upper surface of the film substrate 1, covering the wiring leads 14, by a spin cord, dip method, roll coating, or the like. This photoresist 23 is made of an ultraviolet curing photosensitive resin, and its film thickness is 1 to 1.
The thickness can be freely formed up to about 40 gm, and can be arbitrarily set depending on the thickness of the heat generating resistor layer 3, which will be described later. Note that the photoresist 23 may be either a negative type or a positive type, but a case where a negative type is used will be described here.

この後、フォトレジスト23にフォトマスク(図示せず
)を介してフォトレジスト23に紫外線等の光を照射す
る。この場合には、フォトレジスト23がネガ型である
から、配線リード14の間隙部16と対応する部分のフ
ォトレジスト23には光が照射されず、それ以外の部分
のフォトレジスト23に光を照射して硬化させる。そし
て、フォトレジスト23を現像液で現像すると、第3図
(A)および(B)に示すように、配線リード14の間
隙部16と対応する部分のフォトレジスト23のみが硬
化してないので除去される。このフォトレジスト23が
除去された部分は、配線リード14の間隙部16よりも
若干大きく形成され、配線リード14の共通電極17と
信号電極18の各端部が若干露出する。
Thereafter, the photoresist 23 is irradiated with light such as ultraviolet rays through a photomask (not shown). In this case, since the photoresist 23 is of a negative type, the portion of the photoresist 23 corresponding to the gap 16 of the wiring lead 14 is not irradiated with light, but the photoresist 23 of the other portion is irradiated with light. and harden. When the photoresist 23 is developed with a developer, as shown in FIGS. 3A and 3B, only the portion of the photoresist 23 corresponding to the gap 16 of the wiring lead 14 is not hardened and is removed. be done. The portion where the photoresist 23 is removed is formed to be slightly larger than the gap 16 of the wiring lead 14, and the ends of the common electrode 17 and the signal electrode 18 of the wiring lead 14 are slightly exposed.

次に、第4図(A)および(B)に示すように、フォト
レジスト23が除去された部分に沿ってカーボンインク
等の導電性インク24を印刷する。このとき、導電性イ
ンク24は帯状に印刷するだけでよい、そのため、印刷
作業に高い精度が要求されず、容易に導電性インク24
を印刷することができる。
Next, as shown in FIGS. 4A and 4B, a conductive ink 24 such as carbon ink is printed along the portion where the photoresist 23 has been removed. At this time, the conductive ink 24 only needs to be printed in a strip shape, so high precision is not required in the printing work, and the conductive ink 24 can be easily printed.
can be printed.

この後、第5図(A)および(B)に示すように、フォ
トレジスト23を剥離液で剥離する。すると、フォトレ
ジスト23と共にその上面に付看した導電性インク24
も同時に除去される。これにより、配線リード14の間
隙部16のみに導電性インク24が残り、この導電性イ
ンク24を乾燥して硬化することにより、発熱抵抗層3
が形成される。この発熱抵抗層3はほぼフォトレジスト
23の厚さだけ配線リード14の上方へ突出して形成さ
れ、配線リード14の共通電極17および信号電極18
を接続する。
Thereafter, as shown in FIGS. 5(A) and 5(B), the photoresist 23 is removed using a removing solution. Then, the conductive ink 24 attached to the top surface of the photoresist 23
is also removed at the same time. As a result, the conductive ink 24 remains only in the gap 16 of the wiring lead 14, and by drying and hardening this conductive ink 24, the heating resistance layer 3
is formed. This heating resistance layer 3 is formed to protrude above the wiring lead 14 by approximately the thickness of the photoresist 23, and is formed to protrude above the wiring lead 14 from the common electrode 17 and the signal electrode 18 of the wiring lead 14.
Connect.

なお、この後は、駆動用チップ4より左側の配線リード
14および発熱抵抗層3を絶縁保護膜6で覆って保護す
る。しかる後、信号電極18の右端で囲まれた箇所に駆
動用チップ4を配置し、ワイヤポンディング装ごにより
駆動用チップ4の各パッド電極と各信号電極18および
接続電極19とを金ワイヤ20で接続するとともに、制
御用チップ5の各リード端子22を各接続電極19に半
田付は等で接合する。このとき、金属リード2はフィル
ム基板lに対し接着剤を用いずに充分な接着強度をもっ
て設けられているので、金ワイヤ20のポンディングお
よび制御用チップ5の半田付は等の際に、位置ズレを起
したり剥離したりすることがない、最後に、フィルム基
板lを支持体7に接着剤8で接着すれば、第1図に示す
印字ヘッドが得られる。
Note that after this, the wiring leads 14 and the heating resistor layer 3 on the left side of the driving chip 4 are covered with an insulating protective film 6 to protect them. After that, the driving chip 4 is placed in a place surrounded by the right end of the signal electrode 18, and each pad electrode of the driving chip 4 and each signal electrode 18 and connection electrode 19 are connected with a gold wire 20 using wire bonding equipment. At the same time, each lead terminal 22 of the control chip 5 is connected to each connection electrode 19 by soldering or the like. At this time, since the metal lead 2 is attached to the film substrate l with sufficient adhesive strength without using an adhesive, the positioning of the gold wire 20 and the soldering of the control chip 5 are not necessary. Finally, by adhering the film substrate 1 to the support 7 with adhesive 8 without causing any displacement or peeling, the print head shown in FIG. 1 is obtained.

次に、上述した印字ヘッドで感熱記録を行なう場合につ
いて説IJJする。この場合には、予め、記録紙および
感熱インクシートを挟んで印字ヘッドをプランテンに当
てかうのであるが、このときには支持体7がある程度変
形可能であるから、印字ヘッドの各発熱抵抗層3と対応
する部分を良好に当てかうことができる。そして、制御
用チップ5に印字指令が与えられると、制御用チップ5
により駆動用チップ4が制御されて配線リード14の各
信号電極18に選択的に駆動信号が出力され、これによ
り発熱抵抗層3に電流が流れてジュール熱により発熱抵
抗層3が選択的に発熱する。この熱は絶縁保護膜6を介
して感熱インクシートに伝わり、発熱した発熱抵抗層3
と対応する感熱インクシートのインクを溶融する。これ
により、感熱インクシートのインクが記録紙に転写され
、感熱記録が行なわれる。
Next, the case where thermal recording is performed using the above-described print head will be explained. In this case, the print head is placed on the plantain in advance with the recording paper and the thermal ink sheet sandwiched between them. Corresponding parts can be assigned well. When a print command is given to the control chip 5, the control chip 5
The driving chip 4 is controlled to selectively output a driving signal to each signal electrode 18 of the wiring lead 14, and as a result, a current flows through the heat generating resistor layer 3, and the heat generating resistor layer 3 selectively generates heat due to Joule heat. do. This heat is transferred to the heat-sensitive ink sheet via the insulating protective film 6, and the heat generating resistor layer 3 generates heat.
and melt the ink on the corresponding thermal ink sheet. As a result, the ink on the thermal ink sheet is transferred to the recording paper, and thermal recording is performed.

なお、この発明は上述した実施例に限られるものではな
い6例えば、メッキ層の下地層となる金属Vj膜層lO
は蒸着またはスパッタリング以外に、無電解メッキ等で
形成してもよい。
Note that the present invention is not limited to the above-mentioned embodiments.
may be formed by electroless plating or the like in addition to vapor deposition or sputtering.

駆動用チップ4および制御用チップ5は別チップではな
くlチップ化したものでもよく、またその接合はワイヤ
ポンディングや半田付けに限らず、フリップチップ方式
や、あるいはTAB(Tape Automated 
Bonding)方式等によって接合してもよい。特に
、TAB方式を採用すれば、ロールドツウロールによる
目動機での生産が可能となり、生産性が極めてよい。
The drive chip 4 and the control chip 5 may be integrated into one chip rather than separate chips, and their bonding is not limited to wire bonding or soldering, but may also be done by a flip chip method or by TAB (Tape Automated).
They may be joined by a bonding method or the like. In particular, if the TAB method is adopted, production using a roll-to-roll measuring machine becomes possible, and productivity is extremely high.

さらに、印字ヘッドは上述したような感熱式サーマルプ
リンタに限らず、バブル式インクシェドプリンタのバブ
ル発生用の印字ヘッドとして用いることができる。
Further, the print head is not limited to the above-mentioned heat-sensitive thermal printer, but can also be used as a print head for bubble generation in a bubble-type ink shed printer.

[発明の効果] 以上詳細に説明したように、この発明の印字ヘッドによ
れば、金属リードがフィルム基板にメッキにより被着さ
れた金属層よりなるので。
[Effects of the Invention] As described in detail above, according to the print head of the present invention, the metal lead is made of a metal layer deposited on the film substrate by plating.

ベース部材としてフィルム基板を用いても、金属リード
をフィルム基板に充分な接着強度で形成できる。このた
め、金属リードのファインピッチ化が可能となり、IC
チップをポンディングする際の加熱によって金属リード
が位置ズレし難く、ピッチの不均一、短絡等を防ぐこと
ができる。しかも、接着剤を用いないので、従来のよう
な接着剤による電気抵抗の不足によって生じる動作上の
問題等をも解消することができる。したがって、この印
字ヘッドによれば、各素材が安価で、高い製作技術が要
求されず、容易に製作できるので、大幅な生産性の向上
が図れる。
Even if a film substrate is used as the base member, metal leads can be formed on the film substrate with sufficient adhesive strength. This makes it possible to fine-pitch metal leads, making it possible to
The metal leads are less likely to be misaligned due to heating during chip bonding, and uneven pitches, short circuits, etc. can be prevented. Moreover, since no adhesive is used, it is possible to eliminate operational problems caused by insufficient electrical resistance caused by conventional adhesives. Therefore, according to this print head, each material is inexpensive, high manufacturing technology is not required, and the print head can be easily manufactured, so that productivity can be greatly improved.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図はこの発明の印字ヘッドの拡大断面図、第2図は
印字ヘッドの製造手順を示すブロック図、第3図〜第5
図は印字ヘッドの発熱抵抗層を形成する工程を示す図で
ある。 1・・・・・・フィルム基板、2・・・・・・金属リー
ド、3・・・・・・発熱抵抗層、4・・・・・・駆動用
チップ、6・・・・・・絶縁保護膜、9・・・・・・針
孔、16・・・・・・間隙部。 ■ 第 第 第 図
Fig. 1 is an enlarged sectional view of the print head of the present invention, Fig. 2 is a block diagram showing the manufacturing procedure of the print head, and Figs.
The figure shows a process of forming a heat generating resistor layer of a print head. 1...Film substrate, 2...Metal lead, 3...Heating resistance layer, 4...Drive chip, 6...Insulation Protective film, 9... needle hole, 16... gap part. ■ Fig.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 所定箇所に針孔が表裏に貫通して形成された耐熱性を有
するフィルム基板と、 このフィルム基板の表裏面にメッキにより被着された金
属層を所定形状にパターニングすることにより並列形成
され、かつ前記針孔の箇所で表裏が導通するとともに所
定箇所を断線する間隙部が設けられた複数の金属リード
と、 この各金属リードの間隙部に被着された発熱抵抗層と、 この発熱抵抗層を覆って保護する絶縁保護膜と、 前記金属リードに直接接合され、前記発熱抵抗層を選択
的に駆動して発熱させるICチップと、を具備してなる
印字ヘッド。
[Scope of Claims] A heat-resistant film substrate having needle holes penetrating the front and back surfaces at predetermined locations, and a metal layer deposited on the front and back surfaces of the film substrate by plating, which is patterned into a predetermined shape. a plurality of metal leads formed in parallel with each other, the front and back sides of which are electrically conductive at the needle holes, and provided with a gap section for disconnection at a predetermined point; and a heating resistor layer deposited in the gap section of each of the metal leads. A print head comprising: an insulating protective film that covers and protects the heat generating resistor layer; and an IC chip that is directly bonded to the metal lead and selectively drives the heat generating resistor layer to generate heat.
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