JPH03116831A - 洗浄装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は１例えば半導体用ウェハや磁気ディスクなどの
表面を洗浄するに好適な洗浄装置に関する。

〔従来の技術〕

この種の洗浄装置としては、特開昭６３−２６６８３６
号公報に記載されたものが知られている。この装置は高
圧ＣＯｚガスや液体Ｃｏｔ、または多量に水蒸気を含ん
だ高圧気体を大気中に噴出させ、この噴出ジェット流が
超音速となって温度が下がることにより、前記ＣＯ２ま
たは水蒸気が相変化して固体粒子となることを利用し、
前記ジェット噴出口を被洗浄物に向けて配設して、この
固体粒子を被洗浄物に衝突させて表面を洗浄するように
したものである。

〔発明が解決しようとする課題〕

上記従来技術では、固体粒子はその慣性力によってのみ
被洗浄物に衝突する。しかしながらこの固体粒子は直径
数μｍ乃至数１０μｍ程度の微粒であるため、大気中に
噴出後空気抵抗の作用を大きく受ける。このため生成し
た固体粒子のうち被洗浄物に衝突する粒子の割合はごく
僅かであり、大半の粒子は気流に乗って被洗浄物に衝突
せずに流れ去ってしまう。このことを防ぐためにジェッ
ト噴出口を被洗浄物に近付けて、粒子の衝突確率を上げ
ることができるで、この場合は洗浄される面積が小さく
なり、被洗浄物の表面全体を洗浄するためには時間がか
かったり、洗浄むらが発生しやすいという問題があった
。

本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり。

洗浄効率を向上し、洗浄むらの発生を低減することので
きる洗浄装置を提供することを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

上記目的を達成するために１本発明は、気体または液体
を噴出させ、この気体または液体を噴出時に相変化によ
り固体粒子化させ、この固体粒子を被洗浄物に衝突させ
て表面を洗浄する洗浄装置において、前記気体または液
体の噴出部位近傍に前記固体粒子を荷電させる荷電手段
を設けたものである。

〔作用〕

上記の構成によると、気体または液体が噴出口からジェ
ット流として噴出するとき、超音速となるためジェット
中の温度が低下し、上記の気体または液体が相変化を生
じて固体粒子が形成される。

このとき噴出口の近傍に荷電手段を設けておくことによ
り、コロナ放電が生じてこの部分の気体がイオン化され
る。このイオンと前記固体粒子とが衝突することにより
固体粒子は荷電する。

一方、噴出口に対向して設けられた被洗浄物と荷電手段
との間には、荷電された固体粒子が被洗浄物に引き付け
られる方向の電場が生じるため、この電気力によって被
洗浄物に積極的に衝突させることが可能となる。この結
果、洗浄効果が向とし洗浄むらが減少する。

〔実施例〕

以上、本発明の一実施例を図面を参照して説明する。

第１図に本発明の一実施例を示す。被洗浄物１を洗浄す
る気体または液体（以下洗浄媒体と称する）はボンベ２
に貯蔵されている。ボンベ２はパイプ３を介してノズル
（噴出部）４に接続されており、パイプ３にはノズル４
から吐出する洗浄媒体の吐出量を調整するためのバルブ
５，６が設けられている。

一方、ノズル４に別に設けられた入ロアにはパイプ８を
介してキャリアガスが貯蔵されたボンベ９が接続されて
おり、パイプ８にはキャリアガスの流入量を調整するた
めのバルブ１０．１１が設けられている。

また、ノズル４の先端には不導体で形成された支持部材
１２を介して、荷電手段である高電圧針１３が設けられ
ており、高電圧針１３は電線１４を介して高電圧電源１
・５に接続されている。

次に本実施例の作用を説明する。ボンベ２に貯蔵された
洗浄媒体はバルブ５，６を開くことによりノズル４の先
端から噴出する。噴出された洗浄媒体は大気中で固体粒
子１６となり、高電圧針１３によりコロナ放電の影響を
受けて荷電粒子となり、高電圧針１３と被洗浄物１との
間に生じる電場の影響を受けながら、被洗浄物１の表面
に衝突して洗浄を行なう。このときボンベ９から供給さ
れるキャリアガスは、ジェット噴流中の固体粒子１６温
度を適正に制御する。

被洗浄物１が電気的に導体のときは、アースに接続して
被洗浄物１の電圧を○Ｖとする。また不導体の場合はア
ースがとれないので、ノズル４からキャリアガスのみを
噴出させ、コロナ放電によって生じたキャリアガスのイ
オンを被洗浄物１の表面に吹き当てて、表面を電気的に
中和させる。

このとき高電圧電源１５から発生する高電圧を周期的に
正、負に変化させることにより、正負両方のイオンが表
面に吹き当てられるようにしている。

なお、高電圧電源の電圧は約１０ＫＶ、洗浄媒体として
はＣＯ２ガス、キャリアガスとしてはＮ２ガスを用いる
場合が多いが、これらに限定されない。

本実施例によれば、洗浄媒体が荷電固体粒子１６として
被洗浄物１に積極的に衝突させられるので、洗浄効率が
向上し、例えば洗浄時間が従来の１７５以下となる。ま
た洗浄むらの発生も著し以上説明したように、本発明に
よれば、気体または液体の洗浄媒体を固体粒子として、
積極的に被洗浄物に衝突させるようにしたので、洗浄効
率を向上し洗浄むらの発生を低減することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の概略構成を示す正面図であ
る。 １・・・被洗浄物、 １３・・・高電圧針 （荷電手段） 冨 図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、気体または液体を噴出させ、この気体または液体を
   噴出時に相変化により固体粒子化させ、この固体粒子を
   被洗浄物に衝突させて表面を痢浄する洗浄装置において
   、前記気体または液体の噴出部位近傍に前記固体粒子を
   荷電させる荷電手段を設けたことを特徴とする洗浄装置
   。