JPH03100740U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH03100740U JPH03100740U JP825490U JP825490U JPH03100740U JP H03100740 U JPH03100740 U JP H03100740U JP 825490 U JP825490 U JP 825490U JP 825490 U JP825490 U JP 825490U JP H03100740 U JPH03100740 U JP H03100740U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sensor
- wind speed
- unit
- clean room
- clean
- Prior art date
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- Granted
Links
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 claims 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000011045 prefiltration Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Ventilation (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
Description
第１図は本考案のクリーンルームのクリーンユ
ニツトの１実施例を示す一部切欠いた側面図、第
２図はセンサーユニツトの縦断側面図、第３図は
同上平面図、第４図は同上正面図、第５図はクリ
ーンユニツトの正面図、第６図は同上平面図であ
る。 １……ハウジングケース、１ａ……上半部、１
ａ……下半部、２……モーター、３……送風機、
３ａ……吹出口、３ｂ……吸込口、４……プレフ
イルター、５……ダンパ、６……風拡散板、７…
…フイルター、８……ブレーカー、９……センサ
ーユニツト、１０……取付け板、１１……フード
、１２……風速センサー、１３……温度センサー
、１４……コネクタ、１５……コード。
ニツトの１実施例を示す一部切欠いた側面図、第
２図はセンサーユニツトの縦断側面図、第３図は
同上平面図、第４図は同上正面図、第５図はクリ
ーンユニツトの正面図、第６図は同上平面図であ
る。 １……ハウジングケース、１ａ……上半部、１
ａ……下半部、２……モーター、３……送風機、
３ａ……吹出口、３ｂ……吸込口、４……プレフ
イルター、５……ダンパ、６……風拡散板、７…
…フイルター、８……ブレーカー、９……センサ
ーユニツト、１０……取付け板、１１……フード
、１２……風速センサー、１３……温度センサー
、１４……コネクタ、１５……コード。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 送風機の異常検出用のセンサーとして風速
センサーを機体内風路に設けたことを特徴とする
クリーンルームのクリーンユニツト。 (2) 風速センサーは室内空調機の制御用温度セ
ンサーを一体的に組込みセンサーユニツトとする
請求項第１項記載のクリーンルームのクリーユニ
ツト。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990008254U JP2529381Y2 (ja) | 1990-01-31 | 1990-01-31 | クリーンルームのクリーンユニット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990008254U JP2529381Y2 (ja) | 1990-01-31 | 1990-01-31 | クリーンルームのクリーンユニット |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03100740U true JPH03100740U (ja) | 1991-10-21 |
| JP2529381Y2 JP2529381Y2 (ja) | 1997-03-19 |
Family
ID=31511887
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1990008254U Expired - Lifetime JP2529381Y2 (ja) | 1990-01-31 | 1990-01-31 | クリーンルームのクリーンユニット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2529381Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014005952A (ja) * | 2012-06-21 | 2014-01-16 | Mitsubishi Electric Corp | 環境監視装置及びこれを備えた冷凍サイクル装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5742316U (ja) * | 1980-08-22 | 1982-03-08 | ||
| JPS63287U (ja) * | 1986-06-19 | 1988-01-05 |
-
1990
- 1990-01-31 JP JP1990008254U patent/JP2529381Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5742316U (ja) * | 1980-08-22 | 1982-03-08 | ||
| JPS63287U (ja) * | 1986-06-19 | 1988-01-05 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014005952A (ja) * | 2012-06-21 | 2014-01-16 | Mitsubishi Electric Corp | 環境監視装置及びこれを備えた冷凍サイクル装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2529381Y2 (ja) | 1997-03-19 |