JPH029533A - 放電加工機の誘電体用ラビリンス式濾過器及びこれを用いた濾過装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野コ 本発明は、放電加工機（Ｅｒｏｄｉ・ｒａｎｌａｇｏ）
誘電体中の球形金属粒子用ラビリンス式濾過器及び少く
とも１個の上記ラビリンス式濾過器を有する濾過装置に
関する。

周知のように、放電加工機の誘電体から、放電加工工程
で摩滅滓として発生する大きさ工ないし２０μｍの球形
金属粒子の形の不純物を絶えず除去しなければならない
。公知の濾過器は強制濾過方式で構成されており、粒子
はその直径より小さな開口の部分で止められている。こ
うしてかなり急速に金属粒子層が形成され、遂には濾過
器を詰まらせてしまう。それ故、従来公知のこの棟の濾
過器、例えばケイソウ土濾過器又は布式濾過器カートリ
ッジは寿命が比較的短く、定期的に交換又は保守しなけ
ればならない。濾過器の定期的交換又は再生は再使用不
能な廃物の大量の発生をもたらし、費用がかさみ、濾過
器の交換の九め手作業による定期的な処置を必要とし、
このため例えば週末を挾んだ無監視の全自動長期間運転
が不可能である。

［発明が解決しようとする課題］ 本発明の課題は、放電加工機から発生した微小球形金属
粒子用濾過器を寿命が長く、容易に清掃でき、再使用可
能で１）、手作業を必要とせず、かつ、全自動で長時間
運転できるようにすることにある。

［ｌ！題を解決するための手段、作用１発明の効果］ラ
ビリンスを形成する粒体をゆるく充填した少くとも１個
の濾過コラムと、濾過コラムの入口側に接続された供給
ポンプと、ラビリンス濾過部を通る誘電体の流速が少く
とも２ｍ／ｍｉｎであるように、濾過コラムの入口面積
、通過高さ及び供給ポンプの能力を選定したことを特徴
とするラビリンス式フィルタによって上記の課題を解決
することができることが判明した。

前述の強制濾過と違って、ラビリンス式濾過器は顕微鏡
的に小さな球形金属粒子が流れに原因する静止帯又は負
圧帯で、元来粒子工夛大きな間隙に捕捉されるという効
果に基づくものである。

細かい目の格子が粒子の流通を妨げ、こうして強制濾過
が行われる慣用の濾過器と違って、ラビリンス式濾過器
においては規則的に流れが通る各ラビリンス濾過部にあ
る多数の、アトランダムの静止帯が金属粒子の無作為沈
積のために利用される。

上記のラビリンス濾過部は、金属粒子と結合しない、低
摩な粒状又は球状材料から成る濾材で構成するのが望ま
しい。流通する液体に対する流れ抵抗がなるべく小さい
ように、粒体の表面はなるべくきれいであることが好ま
しい。粒体の出口側の半表面になるべく多数の異なる圧
力と流速を局部的に形成するために、粒体の形状と大き
さは様様でなければならない。

上述の理由からラビリンス式濾過器は濾過器を通る誘電
体の成る流速から初めて効果を発揮し、その場合濾過作
用は強制濾過の場合のように格子に拘留された金属粒子
が濾床を構成することによってではなく、主として濾過
器の全高にわたりて金属粒子が上述の静止帯をふさぐこ
とによって生じる。このようＫしてラビリンス式濾過器
はその全高にわたって利用される。再生のために最小限
の逆洗流が必要である。ラビリンス濾過部の粒体をその
位置から僅かに動かすだけでも、沈積した粒子が直ちに
再び遊離する。従って、逆向きの濾過作用が生じること
を防止するために、ラビリンス濾過部をノルス式Ｋ又は
激しく変動する圧力で逆洗すればよい。

前述のように、放電加工工程で削り取られた粒子は、そ
の発生の直後には沈下処理に適していない。粒子はすこ
ぶる長時間の間浮遊し続けるから、沈下過程の持続時間
が実用上長すぎるのである。

ところが意外なことに、金属粒子はラビリンス式濾過器
では集塊を形成し、この集塊は短時間で洗浄液から沈下
することが判明した。従って、沈下した沈殿層の上の、
実用上十分に純粋な液を、次の逆洗の前に再び逆洗タン
クに導くことができる。こうして、再生のために逆洗回
路が開かれて使用される。

上述の逆洗過程と濾過過程を自動的に進行させるために
、多数の被制御弁が必要であり、それが一方では故障に
よって操作の安全性を脅やがし。

他方では装置を複雑かつ高価なものにすることになる。

その場合、特に、弁が時のたつにつれて誘電体中の金属
粒子によって詰まる恐れがある。特に、金属粒子が磁化
し九弁部材に沈着する場合がそうである。そこで、穿孔
され九多数枚の板を積層し九板重積体中央弁を構成し、
これらの板の内の１枚を少なくとも３つの位置の間を移
動可能な制御板とし、これらの３つの位置の内筒１の位
置で濾過ユニッＩｆ＋ｉ列に接続し、第２の位置で濾過
ユニットの一方を逆洗し他方の濾過ユニットに濾過操作
全継続させ、第３の位置では第２の位置と逆に前記他方
の濾過ユニットヲ逆洗し前記一方の濾過ユニットに濾過
操作を継続させる九めの連絡路全中央弁に設ける。こう
して、中央弁の３つの位置によりすべての必要な連絡路
が強制的に形成される。

［実施例］ 次に本発明の実施例を詳述する。

第１図にはまずラビリンス式濾過器の濾過コラムと冷却
装置が示されている。

前述のように、基本的には入口面３０は発生する金属粒
子を拘留するために利用することができず、流れに原因
する、濾材の下流の「静止帯」が金属粒子が球形である
ために金属粒子の拘留を可能にすることから出発する。

従りて、濾過器は入口面積に比して大きな通過高さを有
する。通過抵抗が他の濾過器に比して比較的小さいから
、とりわけ、自由に決められる空間高さで総高が決まる
。

特に、第６図に示すように、２個の濾過ユニットＡ及び
Ｂを直列に接続することにより全尚さを減少することが
できる。これらのユニットのそれぞれはおおむね第１図
に従って構成されている。

両ユニツトＡ、Ｂは第１図に示す共通の冷却装置を具備
する。この図では、一方のユニットＡしか見えず、他方
はこのユニットに隠れている。

濾過ユニットはそれぞれ圧力容器２１を有し、その中に
濾材Ｋがゆるく充填されている。

なお、圧力容器２ノは完全には充填されてはいない。上
に残る空間は、逆洗の時に充填物の体積が膨張して、個
別の濾材が相互の接触から離脱し、逆洗液の中で自由に
運動させられることに役立つ。

圧力容器２Ｉの本体に、ねじ締め７ランノにより、上部
集合室２２と下部集合室Ｚ３が取付けられ、これらの集
合室に入口接続部ＥＡと出口接続部ＡＡが設けられる。

放電加工容器（Ｅｒｄｌｅｒｂｅｈａｅｌｔａｒ）から
濾過ポンプＦＰ（第２図、第６図を参照）によって送給
される被濾過誘電体が、上に配置された入口接続部ＫＡ
を経て供給される。濾過ポンプの能力、入口面積及びラ
ビリンス式濾過器の通過高さは、濾過器を通る誘電体の
流速が約２ｍ／ｒｎｌｎ、好ましくは３ｒｒ＋／ｍｌｎ
の限界値を超えるように相互に調整した。２ｍ／ｍｉｎ
未満の流速では、顕微鏡的寸法の金属粒子を捕捉する負
圧帯又は静止帯が必要とされる程度には現れず、濾過作
用が到底保証されない。

本実施例では管径が２１１ｍでおる。これは３、５　ｄ
ｍ２０入口面積に相当する。濾過ユニット当りのラビリ
ンス高さは約１４００鴎、従って直列にして使用して合
計的２８００ｍｇ＋である。ケイ砂の濾材の粒度は０．
３乃至０．７露である。自由流れ断面は上述の入口面積
の約７％である。使用中に濾過ポンプによって２６乃至
３２　ｔ／ｍｉｎの体積が送給される。従って、通常の
使用時に２８　ｔ／ｍｉｎの平均値でラビリンス内の流
速は約１１　ｍ／ｍｉｎでおる。それ故在来の沙濾過器
より遥かに高い。

これらの値で、濾材の流入側と反対の側に流れに原因す
る負圧帯をそれぞれ発生させ、ここ（Ｃ顕微鏡的寸法の
金属粒子が集積するような、ラビリンスを通る誘電体の
流速が得られる。

放電加工（ｇｒｏｄｉａｒｓｎ　）で発生する加工熱と
ポンプによって誘電体の温度が上昇するので、誘電体の
冷却を必要とする。第１図に示すように、冷却と濾過を
組合わせて行なうことが好ましい。通風機３３及び上側
に開放し濾過器の下側３分の１を取囲む冷却水容器３８
、これを助けて各濾過ユニットの圧力容器をなるべく上
まで十分に取囲みなるべく大きな表面に水を受けて蒸発
させる不織繊維３９、圧力容器の外側の上から３分の１
の高さまで取り付けられた冷却フィン３１及び圧力容器
を囲繞するハウソング３６内を圧力容器の外面に沿って
導かれる冷却空気によって冷却される。

放電加工工程（Ｅｒｏａｌｏｎｓｐｒｏｚｓｔｓ　）と
冷却によって空気に水分が多く含まれることになるため
、空気除湿装置３４が必要になる。空気除湿装置は濾過
系統に統合してもよい。望ましくない空気湿度がそれに
よって減少され、得た水は管路４０を経て回路へ再び送
られる。管路４０は放電加工装置（Ｅｒｏｄｉｅｒａｎ
ｌａｇｅ　）の誘電体タンクへの連絡路である。空気の
除湿は通風機３３の空気流の中にある冷却装置ないしは
復水器３４により行なわれる。

ここで、空気の水分が水に戻る。濾過器のもう一つの構
造上の特徴は抑止部材２５（第８図）にある。抑止部材
２５も上部集合室に取付けられ、逆洗過程で粒体が洗い
出されることを防止する。抑止部材がなければ、濾材に
は逆洗の時に上部集合室へ洗い出されることになる。抑
止部材は、通路を備えたコア５２の上に巻回されたコイ
ルばね５０から成る。なおコイルの相互間隔は粒体の大
きさより小さい。コア５２の上に個別のばね部材５１を
緊設した抑止部材の第２の実施態様を第９図に示す。

最後に、第１０図は抑止部材２５の第３の実施態様を示
す。その場合、まず、管５３に雄ねじを設ける。雄ねじ
は後で巻回されるはね５４に係合する。液体が流入又は
流出する時に通過する適当な空胴５９をばね５４の内側
に形成するために。

次に管５３をプレスして十字形にする。同じくばね５４
Ｖｃ適合する雌ねじを備えた閉鎖キャップ５５が濾過器
内罠配設され、軸方向開口を通る流れを阻止する。それ
故、液体は、抑止部材として使用されるばねを貫いて半
径方向に流れなければならない。その場合、コイルの間
隔が抑止効果を決定する。

複数の上記の抑止部材２５が、濾過器の上下を密閉する
支持板５６に配置される。このために支持板５６にも、
ばね５４に一致するねじ穴が設けられている。保持部材
２５は止ナツト５７によりてこのねじ穴に固定される。

コイルの横断面は円形であることが好ましい。

管５３上のねじ山を選定することによって、個々のコイ
ルの間隔が適正に定められる。ばねのコイルを通る比較
的長くかつ校正された通過距離を得るために、コイルの
横断面が長方形であってもよい。

抑止部材を種々異なる深さにねじ込むことによって、抑
止部材の有効長さ５８をそれぞれの必要条件に適応させ
ることができる。

逆洗により濾過器を定期的に清掃するためＫ。

装置の使用を中断しないで済むように、濾過器ニア）Ａ
、Ｂのそれぞれを別個忙逆洗することができる。そして
、逆洗されていない他方の濾過ユニットは濾過を続ける
。通常の使用の場合は、濾過ユニットＡ、Ｂが直列で操
作される。３つの使用位置ですべての連絡を行う中心弁
１を介して濾過ユニットが連結されることを第６図に詳
しく示す。

中央弁１は第１の位置で、誘電体が通常の使用時Ｋまず
第１の濾過ユニり）Ａを、次にこの濾過ユニットに対し
て直列に接続された第２の濾過ユニッ）Ｂを、それぞれ
上から下へ貫流するようにする。第２の濾過ユニットの
出口ＡＢから流出する浄化された誘電体は、次に浄液夕
／りＳＴへ送られる。誘電体はそこから絶えず加工機械
へ再び送給される。このようにして誘電体の閉じた回路
が成立する。本装置においては、濾過ユニットを清掃す
る時もこの回路が中断されない。濾過ユニットを定期的
に清掃するために、２つの濾過ユニットの内のそれぞれ
一方のユニットが逆洗されるが、他方のユニットは回路
に留まる。また間隔を置いて接続されかつ切断される逆
洗？ングＲＰによって逆洗タンクＥから当該の濾過ユニ
ットへ送られ、これをノルス状に即ち激しく変動する圧
力と共に下から上へ貫流する誘電体によりても逆洗が行
われる。濾過ラビリンスを構成する粒体がそれによって
逆洗液の中で自由に運動させら几、金属粒子に対する上
述の静止帝が解消される。このため金属粒子は逆洗液に
よって洗い出されるのである。

濾過残滓を含む逆洗液はそれぞれ沈下タンクＣへ送られ
、改めて詳しく説明するが、タンクＣの底部４６Ｖｃ金
属粒子が沈積する。その上にある逆洗液は次に弁ｖノを
介して再び逆洗タンクＥへ送られ、一方、金属粒子から
成る沈殿物は弁ｖ２を経て乾燥タンクＤに到達する。中
央弁Ｉは、第６図で明らかなように、これらの機能のた
めに必要な、濾過ユニツトＡ及びＢの区域のすべての連
絡を行う。

第７図で明らかなように、中央弁１は穿孔された複数個
の板６ないしＩ４から成る板′Ｘ積体として構成される
。その内の１枚の板は制御板１０として形成され、３つ
の位置の間で移動することができる。その場合各位置が
前述の使用状態の１つに対応する。これらの３つの位置
が第７図に並列して示されている。板重積体は上から下
へ次のように構成される。接続板１４があって、接続部
ＣＣ，ＦＰ、ＥＢ、ＳＴ、ＲＰを担持する。その下洗第
１の連絡路板１３があり、格子状配列の穴を備えた密封
板１２がこれに続く。同様の密封板ＩＩが、その間にあ
る制御板１０の他方の側に配設される。下側密封板１１
に続いて第２の連絡路板９、蓮断板８．第３の連絡路板
７及び接続部８人、ＡＡ、ＡＢを備えた下側接続板６が
ある。

各連絡路板はそれぞれ必ず穴あき板によって取囲まれ、
この穴おき板が接続管の直径によって定められる通路を
形成する。

２個の濾過ユニットＡ、Ｂが直列に操作される使用位置
を第７図（Ａｌに示す。その場合弁は明らかに直線状に
貫流している。誘電体は接続部ＦＰで濾過ポンプから弁
に入り、濾過ユニツトＡの入口に連通する出口ＥＡで再
び退出する。誘電体は次にこの濾過ユニツトＡを通過す
る。その出口は弁板重積体の接続部ＡＡ＆’Ｃ接続され
る。誘電体は接続部ＡＡから接続部ｇＢＫ到達し、そこ
から第２の濾過ユニツトＢへ送られる。誘電体はその出
口から弁の接続部＾Ｂ及びＳＴを経て浄液タンクに到達
する。２つの逆洗位置が第７図の（Ｂｌ及び（Ｃ１に示
されてお！７．（Ｂ１０図は濾過ユニツトＡの逆洗、＜
Ｃ＞の図は濾過ユニットＢの逆洗を示す。それぞれの表
示は第６図と比較して直ちに明らかであるから、ここで
は詳しく説明しない。

使用状態で種々の弁通路の間の密封が保証されている。

密封板１ノ及び１２は移動可能であるが、これには密封
を保証しなければならない。第４図に示すように、密封
板１１．１２の各式の制御板１０の側はシールリング４
１によって取囲まれる。

シールリング４１は制御板１０の当該の穴又は制御板１
０の穴がおいていない面と相互作用する。

シールリング４１はプラスチックから成り、制御板１０
の小さな凹凸に順応する。シールリンゲイｚＶｉ弾性リ
ング４２によって密封板に押付けられる。

第５図（Ａ）　、　（Ｂ）に密封板構造の他の実施例を
示す。

密封板１１．１２は個々のシールリングの代わりに、す
べての穴に共通のシールディスク４３全有する。シール
ディスク４３も弾性リング４２によって制御板１０に押
付けられ、すべりパツキンを形成する。

使用時に弁の密封を得ると共に制御板ＪＯＫ対して小さ
な摺動力ｔ−Ｓ証し、シールリング４１又はシールディ
スク４３の摩耗を回避する几めに。

板重積体は板金所定の力で相互に押付けることを可能に
する締め具によって組み付けられる。板重積体の略図を
示す第３図にこの締め具を示す。板重積体は板６及び１
５とねじ１７によって組み立てられる。各板はこのねじ
１７に移動自在に支承される。ばね２９が常時予圧を与
え、この予圧が弁の個別の通路の外側及び通路間の密封
を保証する。

中央弁１は、すこぶる簡単かつ安価に製造される、適当
に穴あけした低圧ポリエチＶノ板で構成される。制御板
１０はモータ駆動装置２により調心５３を介して３つの
位置に設定することができる（第３図）。

この駆動装置は、全装置の全操作を自動的に進行させる
中央制御装置に接続される。

入口室に圧力が発生する程に第１の濾過ユニット人が汚
れると、上述の２段式逆流操作が起動される。そこに配
設された圧力スイッチが前述の清掃グログラムを開始す
る。中央制御装置によって制御板１０の駆動装置と弁Ｖ
ｘ、偏心器３、当該のポンプがプログラムされ友順序で
操作される。

制御板１０の移動の間、濾過ポンプＦＰと逆洗ポンｆＲ
Ｐは連断されている。

上述の中央弁は、所定の接続状態が３つしかないという
利点を有する。従って、６弁が故障して液が誤って導か
れるようなことはない。制御がこうして大幅に簡素化さ
れる。接続ホースの数と長さを著しく減少さぜる０とが
できる。使用状態で流れが方向を変えずに弁を貫流する
。このことは汚れの沈Ｎを防止する。

前述の定期的逆流によって顕微鏡的寸法の金属粒子が逆
洗液と共に沈下タンクＣへ運ばれる（第２図及び第６図
を参照）、ラビリンス式濾過器でこの粒子は集塊に統合
されており、この集塊は沈下タンクで比較的急速に沈降
する。放電加工装置から直接来る金属粒子の場合はそう
でない。金属粒子が浮遊粒子を形成し、極めて長い時間
の仮も沈降されないからである。こうして本発明に基づ
くラビリンス式濾過器は、金属粒子を安定な集塊に代金
する効果があり、集塊は沈下タンクで比較的短時間で底
に集積する。前述のように、その上にある逆洗液は清澄
の後に逆洗タンクＥへ送ることができ、そこで次の逆先
のために利用される。

こう１−て逆先回路も閉じ友回路全形成し、放電加工に
おいて削り取られ、凝集した金属粒子が沈下タンクＣと
乾燥タンクＤで回路から排出される。

なお、乾燥りｙりＤでは沈下タンクの沈殿物が濾床に沈
積され、残液は濾床を通ってやはり逆洗タンクへωむ出
することができる。そこで濾床上で乾燥された放電加工
残滓はれんが状に固化され、金属屑利用に撮向けること
ができる。

最後に第２図に、工場で使用されるコンパクトな上記装
置ｌｉｔを示す。この装置に複数個の放砥加工機金接続
することができ、その際濾過ボン７’ＦＰが汚れ比誘電
体を放電加工容器から濾過装置へ。

そこから浄液タンクＳＴ（略図で示す）へ送り。

浄化さｎ九ｉｍ体が浄液タンクから再び放電加工容器へ
供給される。

【図面の簡単な説明】

第１図はラビリンス式濾過器の断面略図、第２図は２　
ｊｆｉの濾過ユニットと中央弁、逆洗液用沈下部を有す
る濾過装置全体の略図、第３図は中央弁の略図、第４図
は中央弁の第１実施例の制御板及び密封板の断面図、第
５図ＣＢ＋　、　（Ａ）は中央弁の密封板の第２実施例
の平面図と断面図、第６図は濾過装置の連絡路の略図、
第７図（４）、　（Ｂ）　、　（Ｃ）は中央弁の３つの
使用状態での板重槓体の分解図、第８図は抑止部材の平
面図と断面図、第９図は抑止部材の第２実施例の斜視図
、第１０図は抑止部材の第３実施例の縦断面図及び横断
面図全示す。 人、Ｂ・・・濾過ユニット（濾過コラム〕、Ｃ・・・沈
下タンク、Ｅ・・・逆洗タンク、Ｋ・・・粒体濾材、Ａ
Ａ。 ＡＢ・・・出口接続部、ＣＣ・・・逆洗出口、ＥＡ、Ｅ
Ｂ・・・入口接続部、ＦＰ・・・供給ポンプ、ＲＰ・・
・逆先ポンプ、１・°°弁、６〜１４・・・板、１０・
・・制御板、１１．１２・・・密封板、２１・・・圧力
容器、２５・・・抑止部材、３４・・・空気除湿装置（
冷却装置、復水器）、３６・・・ハウゾング、３８〜４
３・・・冷却装置（３８・・・冷却水容器、３９・・・
不織繊維、４０・・・管路、４１・・・ンールリング、
４２・・・弾性リング、４３・・・ンールディスク）、
５０・・・コイルＩｄね、５１・・・ばね部材。 図面の浄書（内容に変更なし）

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、放電加工機の誘電体中の球形粒子用ラビリンス式濾
   過器において、ラビリンス濾過部を形成する粒体濾材（
   Ｋ）をゆるく充填した少くとも１個の濾過コラム（Ａ、
   Ｂ）と、この濾過コラムの入口側に接続された供給ポン
   プ（ＦＰ）と、該濾材を通過する誘電体の流速が少くと
   も２ｍ／ｍｉｎであるように該濾過コラムの入口面積、
   通過高さ及び該供給ポンプの能力を選定して構成したこ
   とを特徴とするラビリンス式濾過器。 ２、逆洗のために逆洗流を発生する供給ポンプ（ＲＰ）
   とパルス状の又は激しく変動する逆洗圧力を発生する加
   圧手段が前記濾過コラムの出口側端部に接続されて、前
   記ラビリンス濾過部を形成する前記粒体濾材（Ｋ）を自
   由に運動させる構成にしたことを特徴とする特許請求の
   範囲第１項に記載のラビリンス式濾過器。 ３、前記濾過コラム（Ａ、Ｂ）の入口側と出口側に抑止
   部材（２５）が配設され、該抑止部材（２５）が粒体の
   上に配設されたばね部材として形成され、該ばね部材の
   コイルの相互間隔が粒体の大きさよりも小さく形成され
   ることを特徴とする特許請求の範囲第１項又は第２項に
   記載のラビリンス式濾過器。 ４、閉じた逆洗回路（Ｅ、ＲＰ、Ｃ）が設けられ、逆洗
   液が金属粒子の沈降の後に再び逆洗のために使用される
   ことを特徴とする特許請求の範囲第１項ないし第３項の
   いずれかの１項に記載のラビリンス式濾過器を有する濾
   過装置。 ５、前記濾過ユニツト（Ａ、Ｂ）は少なくとも２個であ
   り、これらの濾過ユニツトを個別に及び互いに直列に接
   続した状態で濾過回路に接続し並びに該濾過ユニツトの
   一方を濾過操作させたまま他方の濾過ユニットを逆洗回
   路に接続することを選択的に行なう弁（１）を設けたこ
   とを特徴とする特許請求の範囲第４項に記載の濾過装置
   。 ６、前記濾過ユニット（Ａ、Ｂ）それぞれが互いに並列
   に配列された圧力容器（２１）を有し、かつ、該圧力容
   器の外面の冷却用の冷却装置（３８ないし４３）が設け
   られることを特徴とする特許請求の範囲第５項に記載の
   濾過装置。 ７、前記圧力容器をハウジング（３６）で囲み、該ハウ
   ジングより冷却空気流を該圧力容器の外面に沿って導く
   構成にしたことを特徴とする特許請求の範囲第６項に記
   載の濾過装置。 ８、蒸発により前記圧力容器を冷却する水で該圧力容器
   の一部を取り囲み、蒸発した水を空気から回収するため
   に冷却空気又は室内空気を通すための復水器（３４）を
   設けたことを特徴とする特許請求の範囲第７項に記載の
   濾過装置。 ９、個別に逆洗することができる少くとも２個のラビリ
   ンス式濾過器を有する特許請求の範囲第１項ないし第８
   項のいずれかの１項に記載の濾過装置において、中央弁
   （１）を穿孔された板（６ないし１４）から成る板重積
   体として構成し、これらの板の内の１枚を少なくとも３
   つの位置の間を移動可能な制御板（１０）となし、これ
   らの３位置の内第１の位置で前記の濾過ユニット（Ａ、
   Ｂ）を直列に接続し、第２の位置で該濾過ユニットの一
   方を逆洗し他方の濾過ユニットに濾過操作を継続させ、
   第３の位置で該他方の濾過ユニットを逆洗し該一方の濾
   過ユニットに濾過操作を継続させるための連絡路を該中
   央弁（１）に設けたことを特徴とする濾過装置。 １０、前記制御板（１０）の前記第１の位置で関連の連
   絡路が前記中央弁（１）を直線状に貫く通路として形成
   されることを特徴とする特許請求の範囲第９項に記載の
   濾過装置。１１、前記板重積体（６ないし１４）がプラ
   スチック製であることを特徴とする特許請求の範囲第９
   項又は第１０項に記載の濾過装置。 １２、前記中央弁（１）は、端面に各濾過ユニット（Ａ
   、Ｂ）用の入口接続部（ＥＡ、ＥＢ）と出口接続部（Ａ
   Ａ、ＡＢ）を有し、かつ、被濾過誘電体（ＳＴ）用の接
   続部、逆洗入口（ＲＰ）及び逆洗出口（ＣＣ）を備えて
   いることを特徴とする特許請求の範囲第９項ないし第１
   １項のいずれかの１項に記載の濾過装置。 １３、前記制御板（１０）が穴あき板として形成され、
   それらの両面が、穴あき板として形成され前記板の一部
   を成す密封板（１１、１２）に接していることを特徴と
   する特許請求の範囲第９項ないし第１２項のいずれかの
   １項に記載の濾過装置。 １４、前記密封板が前記制御板側に各穴毎にそれぞれシ
   ールリング（４１）を有することを特徴とする特許請求
   の範囲第１３項に記載の濾過装置。 １５、逆洗用液を収容する逆洗タンク（Ｅ）とこれに接
   続された沈下タンク（Ｃ）を逆洗装置に接続したことを
   特徴とする特許請求の範囲第４項ないし第１４項のいず
   れかの１項に記載の濾過装置。 １６、前記中央弁（１）の逆洗入口が前記逆洗タンク（
   Ｅ）に、該中央弁の逆洗出口が前記沈下タンク（Ｃ）に
   接続されることを特徴とする特許請求の範囲第４項ない
   し第１５項のいずれかの１項に記載の濾過装置。