JPH0293179U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は実施例に係るタンデム型真空倍力装置
の断面図、第２図は第１図の―線断面図、第
３図はバルブボデイ内のバルブ機構部の断面図、
第４図は同側面図、第５図は同正面図である。 １０…シエル、１２…ダイアフラム、１４…定
圧室、１６…変圧室、１８…バルブボデイ、２２
…バルブボデイ本体、２２Ａ…円筒突起部、２４
…ダイヤフラムホルダ、２６…プツシユロツド、
３０…デイスクホルダ、３２…操作ロツド、３４
…バルブプランジヤ、３６…キー装着孔、３８…
ストツパキー、４０…板バネ、５６…フロントエ
ア通路、５８…貫通流路。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. ダイアフラムにより定圧室と変圧室に区画する
   ダイアフラム室を複数連接するとともに、各ダイ
   アフラムが取り付けられ入力用操作ロツドと出力
   用プツシユロツドが接続されたバルブボデイを有
   するタンデム型真空倍力装置において、前記バル
   ブボデイは前端にフロント室側に至る筒状部が一
   体的に形成されリアダイアフラムが取り付けられ
   たバルブボデイ本体と、フロントダイアフラムを
   取り付けたダイアフラムホルダとから形成し、前
   記バルブボデイ本体の筒状部内面にフロント側変
   圧室に通じる開口された溝通路を形成してこれを
   前記ダイアフラムホルダにより覆つてフロントエ
   ア通路としたことを特徴とするタンデム型真空倍
   力装置。