JPH0283427A - 差圧トランスミッタ - Google Patents
差圧トランスミッタInfo
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- JPH0283427A JPH0283427A JP1195368A JP19536889A JPH0283427A JP H0283427 A JPH0283427 A JP H0283427A JP 1195368 A JP1195368 A JP 1195368A JP 19536889 A JP19536889 A JP 19536889A JP H0283427 A JPH0283427 A JP H0283427A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
- G01L9/0051—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in ohmic resistance
- G01L9/0052—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in ohmic resistance of piezoresistive elements
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L7/00—Measuring the steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by mechanical or fluid pressure-sensitive elements
- G01L7/02—Measuring the steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by mechanical or fluid pressure-sensitive elements in the form of elastically-deformable gauges
- G01L7/08—Measuring the steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by mechanical or fluid pressure-sensitive elements in the form of elastically-deformable gauges of the flexible-diaphragm type
- G01L7/084—Measuring the steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by mechanical or fluid pressure-sensitive elements in the form of elastically-deformable gauges of the flexible-diaphragm type with mechanical transmitting or indicating means
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
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- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/02—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in ohmic resistance, e.g. of potentiometers, electric circuits therefor, e.g. bridges, amplifiers or signal conditioning
- G01L9/06—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in ohmic resistance, e.g. of potentiometers, electric circuits therefor, e.g. bridges, amplifiers or signal conditioning of piezo-resistive devices
- G01L9/065—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in ohmic resistance, e.g. of potentiometers, electric circuits therefor, e.g. bridges, amplifiers or signal conditioning of piezo-resistive devices with temperature compensating means
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は差圧トランスミッタに係り、より詳しくは高圧
に保たれた気体または空気と低圧の圧力源との間の圧力
差を正確に測定し、かつこれをアナログ表示するもので
ある。さらにトランスミッタが制御ループに組込まれて
使用されるとき、電気信号がエネルギ管理システムの運
転を制御するために、あるいは差圧の測定または制御が
必要とされるどのような箇所にも用いることのできる差
圧トランスミッタに関する。
に保たれた気体または空気と低圧の圧力源との間の圧力
差を正確に測定し、かつこれをアナログ表示するもので
ある。さらにトランスミッタが制御ループに組込まれて
使用されるとき、電気信号がエネルギ管理システムの運
転を制御するために、あるいは差圧の測定または制御が
必要とされるどのような箇所にも用いることのできる差
圧トランスミッタに関する。
空気あるいは他の気体が関係する特殊な測定の場面での
圧力のアナログ表示あるいは圧力差がある二つの圧力源
での空気あるいは他の気体の差圧は、従来、差圧ゲージ
として知られる計器により与えられ、それには一つの圧
力室を高圧および低圧部に区画している可撓性のダイア
フラムを有するハウジングが備えられる。さらに、この
計器には計器内の一方の側に片持ばり状に固く支持され
、かつダイアフラムから離して置かれたリーフスプリン
グが備えられ、ダイアフラムとこのリーフスプリングの
有効長さを与えている部分とはダイアフラムの中心に配
置されたリンクによって結合されると共に、リーフスプ
リングの自由端には磁石が取付けられている。この磁石
は計器内で軸を中心として回転するためにジャーナルに
より支承された螺せん構造体と磁気的な結合関係が保た
れる。
圧力のアナログ表示あるいは圧力差がある二つの圧力源
での空気あるいは他の気体の差圧は、従来、差圧ゲージ
として知られる計器により与えられ、それには一つの圧
力室を高圧および低圧部に区画している可撓性のダイア
フラムを有するハウジングが備えられる。さらに、この
計器には計器内の一方の側に片持ばり状に固く支持され
、かつダイアフラムから離して置かれたリーフスプリン
グが備えられ、ダイアフラムとこのリーフスプリングの
有効長さを与えている部分とはダイアフラムの中心に配
置されたリンクによって結合されると共に、リーフスプ
リングの自由端には磁石が取付けられている。この磁石
は計器内で軸を中心として回転するためにジャーナルに
より支承された螺せん構造体と磁気的な結合関係が保た
れる。
この螺せん構造体の軸心はダイアフラム−リーフスプリ
ングリンクの軸心と平行である。また、螺せん構造体は
ゲージ針あるいはそれに固定された指示アームを従えつ
つ、磁石の位置に従って回転することにより磁石の磁界
と共にそれ自身の位置を変える。ゲージ圧力あるいは差
圧は零基準を有する計器の一部を形成しているスケール
と向かい合う指示アームの振れを見ることにより読まれ
る。
ングリンクの軸心と平行である。また、螺せん構造体は
ゲージ針あるいはそれに固定された指示アームを従えつ
つ、磁石の位置に従って回転することにより磁石の磁界
と共にそれ自身の位置を変える。ゲージ圧力あるいは差
圧は零基準を有する計器の一部を形成しているスケール
と向かい合う指示アームの振れを見ることにより読まれ
る。
この形式の装置について言及する特許として米国特許第
２７２２８３７号、第３０９１１２３号、第４０１１７
５９号および第４０３０３６５号を挙げることができる
。
２７２２８３７号、第３０９１１２３号、第４０１１７
５９号および第４０３０３６５号を挙げることができる
。
一方、歪みゲージ変換器は圧力のアナログ表示を持たな
い形式の計器の一種であって、ここにはプリント回路盤
上に配置される電子回路と結ばれた歪みゲージ変換器の
一部であるリーフスプリングが使用される。このリーフ
スプリングはハウジング内に収容されている。電子回路
の働きはダイアフラムに撓みが生じ、リーフスプリング
が駆動されるときに始動する装置が働き、これにより外
部の供給パワーにより付勢されて約４から２０ミリアン
ペアの範囲内で出力が得られる。この出力電圧はプロセ
スコントローラ、指示計器あるいはコンピュータに伝送
される（例えば、米国特許第４３８５５２５号参照）。
い形式の計器の一種であって、ここにはプリント回路盤
上に配置される電子回路と結ばれた歪みゲージ変換器の
一部であるリーフスプリングが使用される。このリーフ
スプリングはハウジング内に収容されている。電子回路
の働きはダイアフラムに撓みが生じ、リーフスプリング
が駆動されるときに始動する装置が働き、これにより外
部の供給パワーにより付勢されて約４から２０ミリアン
ペアの範囲内で出力が得られる。この出力電圧はプロセ
スコントローラ、指示計器あるいはコンピュータに伝送
される（例えば、米国特許第４３８５５２５号参照）。
気体あるいは空気の圧力を測定し、かつアナログ表示す
るための計器は空気の流れの静圧を検出するために使用
される空気フィルタの性能監視用、空気の流速測定用、
流量降下を測定することにより流量決定用、エンジンあ
るいはコンプレッサ用フィルタの運転監視用など、多く
の用途が見出される。
るための計器は空気の流れの静圧を検出するために使用
される空気フィルタの性能監視用、空気の流速測定用、
流量降下を測定することにより流量決定用、エンジンあ
るいはコンプレッサ用フィルタの運転監視用など、多く
の用途が見出される。
本発明のトランスミッタは分離しているか、あるいは混
合された気体状の物質を測定対象とする場合に特に有用
な働きがある。この物質には勿論、空気および他の気体
が含まれる。
合された気体状の物質を測定対象とする場合に特に有用
な働きがある。この物質には勿論、空気および他の気体
が含まれる。
本発明の主要な目的は、外部電源、テスト用トランスミ
ッタおよび固定抵抗レシーバ（コントローラ、コンピュ
ータ、または流動指示計のような）、遠隔操作用の４−
２０ミリアンペア出力と共に、アナログ圧力表示を組み
合わせて用いられるトランスミッタ、電気供給が遮断さ
れたとき、ゲージ圧力ないし差圧を表示し続けることの
できる記録保持または指示を直列接続して使用する形式
の電気式プロセス制御ループ内におけるこれらの機器を
統合するための装置を提供することにある。
ッタおよび固定抵抗レシーバ（コントローラ、コンピュ
ータ、または流動指示計のような）、遠隔操作用の４−
２０ミリアンペア出力と共に、アナログ圧力表示を組み
合わせて用いられるトランスミッタ、電気供給が遮断さ
れたとき、ゲージ圧力ないし差圧を表示し続けることの
できる記録保持または指示を直列接続して使用する形式
の電気式プロセス制御ループ内におけるこれらの機器を
統合するための装置を提供することにある。
本発明の他の主要な目的はリーフスプリングのそれぞれ
の側に取付けられた歪みゲージ変換器の配列の仕方を与
えるものである。一般に、直線で囲われたシリコンセン
サチップは、リーフスプリングの一の側のセンサチップ
についてはリーフスプリングの長手方向中心と平行に、
またリーフスプリングの他の側のセンサチップについて
はリーフスプリングの長手方向中心と垂直な向きに各々
装着される。
の側に取付けられた歪みゲージ変換器の配列の仕方を与
えるものである。一般に、直線で囲われたシリコンセン
サチップは、リーフスプリングの一の側のセンサチップ
についてはリーフスプリングの長手方向中心と平行に、
またリーフスプリングの他の側のセンサチップについて
はリーフスプリングの長手方向中心と垂直な向きに各々
装着される。
さらに、本発明の他の目的は測定された圧力または差圧
の双方のアナログ表示用のためにゲージ圧力ないし差圧
のどちらかを感知して利用する圧カドランスミッタを提
供するものである。トランスミッタが先に述べられた方
式の制御ループ回路と一体化されたとき、出力電流は遠
隔操作のためと、少数の単純な部品から構成される記録
保持または指示のために同じように与えられる。
の双方のアナログ表示用のためにゲージ圧力ないし差圧
のどちらかを感知して利用する圧カドランスミッタを提
供するものである。トランスミッタが先に述べられた方
式の制御ループ回路と一体化されたとき、出力電流は遠
隔操作のためと、少数の単純な部品から構成される記録
保持または指示のために同じように与えられる。
本発明に従うと、トランスミッタは圧力変化に直接的に
比例する４−２０ミリアンペア信号の制御ループ回路か
ら電流制御ループへの伝達と同様に計器における圧力な
いル差圧のアナログ表示および空気式表示の双方を与え
るために制御ループ回路内に組込まれる。
比例する４−２０ミリアンペア信号の制御ループ回路か
ら電流制御ループへの伝達と同様に計器における圧力な
いル差圧のアナログ表示および空気式表示の双方を与え
るために制御ループ回路内に組込まれる。
アナログ表示は計器自身の配置により与えられる。すな
わち、可撓性のダイアフラムは円形であり、計器内の圧
力空間を二つの部屋、すなわち高圧および低圧室に区画
している。リーフスプリングはこのダイアフラムの一方
の側にあって、ダイアフラムの中心に対してほぼ垂直に
延びて片持ばりの状態に支えられている。リーフスプリ
ングの固定端はその位置でダイアフラムの中心を横切っ
て延びるリーフスプリングの有効長さを定めるために調
節可能に締付けられ、一方自由端は計器内に支承された
螺せん構造体と磁気的関係を保つ磁石を支持している。
わち、可撓性のダイアフラムは円形であり、計器内の圧
力空間を二つの部屋、すなわち高圧および低圧室に区画
している。リーフスプリングはこのダイアフラムの一方
の側にあって、ダイアフラムの中心に対してほぼ垂直に
延びて片持ばりの状態に支えられている。リーフスプリ
ングの固定端はその位置でダイアフラムの中心を横切っ
て延びるリーフスプリングの有効長さを定めるために調
節可能に締付けられ、一方自由端は計器内に支承された
螺せん構造体と磁気的関係を保つ磁石を支持している。
リンクはゲージ圧力あるいは差圧のどちらかを測定する
ために高圧および低圧室の連結が保たれたとき、リーフ
スプリングとダイアフラムとの間に位置して圧力を伝達
する。すなわち、このとき、ダイアフラムがダイアフラ
ムの中心に沿って動き、リーフスプリングが螺せん構造
体に対して変位させられる。螺せん構造体はダイアフラ
ムと関係しているリーフスプリングの位置に従ってそれ
が支承された位置で軸心まわりに回転することにより磁
界の移動と共にその位置を変える。螺せん構造体はそこ
に固定された指示アームを有し、これが螺せん構造体と
共に回転し、圧力は計器の全面を通して見ることのでき
る背面上の零基準からの針の偏位によりアナログ値とし
て読むことができる。
ために高圧および低圧室の連結が保たれたとき、リーフ
スプリングとダイアフラムとの間に位置して圧力を伝達
する。すなわち、このとき、ダイアフラムがダイアフラ
ムの中心に沿って動き、リーフスプリングが螺せん構造
体に対して変位させられる。螺せん構造体はダイアフラ
ムと関係しているリーフスプリングの位置に従ってそれ
が支承された位置で軸心まわりに回転することにより磁
界の移動と共にその位置を変える。螺せん構造体はそこ
に固定された指示アームを有し、これが螺せん構造体と
共に回転し、圧力は計器の全面を通して見ることのでき
る背面上の零基準からの針の偏位によりアナログ値とし
て読むことができる。
本発明に従うならば、リーフスプリングには特殊な歪み
ゲージの様式が採用される。一般に、２枚の直線で囲わ
れたシリコンセンサチップとして形成される歪みゲージ
がリーフスプリングのどちらかの側に一体に取付けられ
、リーフスプリングの一の側のセンサチップはリーフス
プリングの長手方向中心と平行に、他の側のセンサチッ
プはリーフスプリングの長手方向中心と垂直に置かれる
。
ゲージの様式が採用される。一般に、２枚の直線で囲わ
れたシリコンセンサチップとして形成される歪みゲージ
がリーフスプリングのどちらかの側に一体に取付けられ
、リーフスプリングの一の側のセンサチップはリーフス
プリングの長手方向中心と平行に、他の側のセンサチッ
プはリーフスプリングの長手方向中心と垂直に置かれる
。
リーフスプリングの歪みゲージ手段はセンシング回路に
一定の電流を供給するための手段を備えるハウジングの
内部に装着された電子回路と、歪みゲージ手段を通して
ダイアフラムの一方の側か、両方の側に作用している圧
力の挙動を事実上関知する出力に従ってリーフスプリン
グの撓みが自由なことから、リーフスプリングが撓むこ
とにより生じた歪みゲージ信号を調節するための手段と
、圧力変化に比例するミリボルト出力を出している電子
回路とに結ばれて一つに統合される。この出力電圧はコ
ントローラ、コンビ二一夕等のような回路レシーバに適
用するためのパワー回路で用いられる４−２０ミリアン
ペアの電流を与えるＩＣチップにより最適な状態に保た
れる。
一定の電流を供給するための手段を備えるハウジングの
内部に装着された電子回路と、歪みゲージ手段を通して
ダイアフラムの一方の側か、両方の側に作用している圧
力の挙動を事実上関知する出力に従ってリーフスプリン
グの撓みが自由なことから、リーフスプリングが撓むこ
とにより生じた歪みゲージ信号を調節するための手段と
、圧力変化に比例するミリボルト出力を出している電子
回路とに結ばれて一つに統合される。この出力電圧はコ
ントローラ、コンビ二一夕等のような回路レシーバに適
用するためのパワー回路で用いられる４−２０ミリアン
ペアの電流を与えるＩＣチップにより最適な状態に保た
れる。
他の目的、使用方法ならびに利点は以下の詳細な記述な
らびに同じ参照符号が幾つかの異なる見方を通じて同じ
部品を示す図面により明らかにされる。
らびに同じ参照符号が幾つかの異なる見方を通じて同じ
部品を示す図面により明らかにされる。
第１図ないし第３図の参照符号１０は本発明の差圧トラ
ンスミッタの一実施例を示すもので、：１゛器本体１１
はアルミニウムあるいはアルミニウム合金のような金属
材料から形成されるハウジング１２を備えており、この
ハウジング１２は圧力空間１７を形成するために透明な
カバー１６によって閉じられた開口１４を有する（第４
図参照）。
ンスミッタの一実施例を示すもので、：１゛器本体１１
はアルミニウムあるいはアルミニウム合金のような金属
材料から形成されるハウジング１２を備えており、この
ハウジング１２は圧力空間１７を形成するために透明な
カバー１６によって閉じられた開口１４を有する（第４
図参照）。
カバー１６は、好ましくはアクリルあるいはポリカーボ
ネートのような透明体で、かつ一定の強度の備わったプ
ラスチック材料から形成され、環状のキャップあるいは
ベズル１８（これはハウジング１２と同じ材料から形成
される）により計器本体１１の上面に保持される。第３
図に符号２０として示されるようにこのベズル１８はハ
ウジング１２とねじ同士が噛み合わされて固定される。
ネートのような透明体で、かつ一定の強度の備わったプ
ラスチック材料から形成され、環状のキャップあるいは
ベズル１８（これはハウジング１２と同じ材料から形成
される）により計器本体１１の上面に保持される。第３
図に符号２０として示されるようにこのベズル１８はハ
ウジング１２とねじ同士が噛み合わされて固定される。
ハウジング１２には可撓性のダイアフラム２８によって
圧力空間１７から区画された低圧室２６のため固定壁を
形成する皿形の部分２４を６する後部Ｌ！！２２が備え
られる。ダイアフラム２８は、このとき、圧力空間１７
の他の側の圧力室３０を仕切るためにそのリム２９の位
置で支持される。
圧力空間１７から区画された低圧室２６のため固定壁を
形成する皿形の部分２４を６する後部Ｌ！！２２が備え
られる。ダイアフラム２８は、このとき、圧力空間１７
の他の側の圧力室３０を仕切るためにそのリム２９の位
置で支持される。
好ましくは、ダイアフラム２８はシリコンラバーあるい
はそれと同等の材料から図に示される形状に形成され、
ダイアフラム２８の中心に同心を保って配置される補強
プレート３１．３２の間に固定され、リンク３４と結合
される。リンク３４は、例えば相対する係合端部３８．
４０のねじ（図示せず）とねじ同士を噛み合せる端部を
有するスプリングリンク３６を有し、さらに係合端部３
８（第５図参照）フランジ部３８Ｂ、４０Ｂと各々一体
に形成され、反対方向に突出するねじ部３８Ａ、４０Ａ
を有する。ナツト４２はプレート３１．３２をナツト４
２とフランジ部４０Ｂとの間にダイアフラム２８をリー
ク可能な状態に締付けるため、係合端部４０のねじ部４
０Ａに対して用いられる。ハウジング１２の皿形の部分
２４の中心４３（第２図参照）に雌ねじを刻むことによ
りソケット４５が形成される。このソケット４５は低圧
室２６と低圧の圧力源との連絡をするためのものである
。
はそれと同等の材料から図に示される形状に形成され、
ダイアフラム２８の中心に同心を保って配置される補強
プレート３１．３２の間に固定され、リンク３４と結合
される。リンク３４は、例えば相対する係合端部３８．
４０のねじ（図示せず）とねじ同士を噛み合せる端部を
有するスプリングリンク３６を有し、さらに係合端部３
８（第５図参照）フランジ部３８Ｂ、４０Ｂと各々一体
に形成され、反対方向に突出するねじ部３８Ａ、４０Ａ
を有する。ナツト４２はプレート３１．３２をナツト４
２とフランジ部４０Ｂとの間にダイアフラム２８をリー
ク可能な状態に締付けるため、係合端部４０のねじ部４
０Ａに対して用いられる。ハウジング１２の皿形の部分
２４の中心４３（第２図参照）に雌ねじを刻むことによ
りソケット４５が形成される。このソケット４５は低圧
室２６と低圧の圧力源との連絡をするためのものである
。
レンジスプリング４９は端部４８を片持ばりの状態に固
定されたリーフスプリング４６によりダイアフラム２８
との間に連係を保っている。ここで、端部４８の締付け
は止めねじ５０によっており、米国特許第３３９７３１
９号に示される配置によるものに倣い、リーフスプリン
グ４６の有効長さ５５を調節するためのＵ字形クランプ
５４を支持する滑り部材５２を装着したハウジング１２
の反対側の位置で後部壁２２の部分に締付けられる。
定されたリーフスプリング４６によりダイアフラム２８
との間に連係を保っている。ここで、端部４８の締付け
は止めねじ５０によっており、米国特許第３３９７３１
９号に示される配置によるものに倣い、リーフスプリン
グ４６の有効長さ５５を調節するためのＵ字形クランプ
５４を支持する滑り部材５２を装着したハウジング１２
の反対側の位置で後部壁２２の部分に締付けられる。
ナツト４４はねじ部３８Ａに、しかもリーフスプリング
４６の反対側（スプリングリンク３６がリーフスプリン
グ４６を通して挿入される）に適用され、リンク３４を
連結するためにフランジ部３８Ｂと係合している。この
ため、ダイアフラム２８がリーフスプリング４６と結ば
れてリーフスプリング４５の有効長さ５５とダイアフラ
ム２８との間に動作を伝えることができ、ダイアフラム
２８の動きはリーフスプリング４６と接しているクラン
プ５４の働きにより確立される支点６０のまわりにリー
フスプリング４６の有効長さ５５を揺動させる。
４６の反対側（スプリングリンク３６がリーフスプリン
グ４６を通して挿入される）に適用され、リンク３４を
連結するためにフランジ部３８Ｂと係合している。この
ため、ダイアフラム２８がリーフスプリング４６と結ば
れてリーフスプリング４５の有効長さ５５とダイアフラ
ム２８との間に動作を伝えることができ、ダイアフラム
２８の動きはリーフスプリング４６と接しているクラン
プ５４の働きにより確立される支点６０のまわりにリー
フスプリング４６の有効長さ５５を揺動させる。
第１図ないし第８図に示された計器は、通常、引張力の
作用するスプリングリンクをもって操作するが、リンク
３４としてコイル状のスプリングリンク３６が使用され
、ゲージは零中心形式のものであり、このため読取りは
高圧がダイアフラムのどちら側に作用するかにより決ま
る。また、ダイアフラム３８の移動はスプリングリンク
３６を使用することにより、仮に固定リングがダイアフ
ラム２８とリーフスプリング４６との間に使用されたな
らば生じるとみられる円弧動作よりも本質的には直線的
動作が可能である。
作用するスプリングリンクをもって操作するが、リンク
３４としてコイル状のスプリングリンク３６が使用され
、ゲージは零中心形式のものであり、このため読取りは
高圧がダイアフラムのどちら側に作用するかにより決ま
る。また、ダイアフラム３８の移動はスプリングリンク
３６を使用することにより、仮に固定リングがダイアフ
ラム２８とリーフスプリング４６との間に使用されたな
らば生じるとみられる円弧動作よりも本質的には直線的
動作が可能である。
ハウジング１２の一般的な構造およびダイアフラム２８
の支持の仕方については米国特許第３３９７３１９号に
ほぼ同じものが開示される。
の支持の仕方については米国特許第３３９７３１９号に
ほぼ同じものが開示される。
すなわち、ダイアフラム２８の縁２９はハウジング１２
の皿形の部分２４のまわりにこれと同心に形成される溝
６４の中に受は入れられる環状のビード６２に合せて形
成され、ビード６２はダイアフラム２８の縁２９と反対
側に固定されている皿形のプレート６６およびハウジン
グ１２の内側に形成された環状の凹部７０に適用される
止めリング６８により保持される。
の皿形の部分２４のまわりにこれと同心に形成される溝
６４の中に受は入れられる環状のビード６２に合せて形
成され、ビード６２はダイアフラム２８の縁２９と反対
側に固定されている皿形のプレート６６およびハウジン
グ１２の内側に形成された環状の凹部７０に適用される
止めリング６８により保持される。
第３図、第５図、第７図および第８図に示されるように
、リーフスプリング４６はその自由端５１にバッド６３
Ａと接して磁石６３が装着される。この磁石６３は馬蹄
形に似た形状を持ち、螺せん構造体６５との間に磁気的
結合が得られるように配置される。螺せん構造体６５は
長手方向軸心６７を中心に回転するためにこの技術分野
において、“ウィツシュボーン”として知られた支持フ
レーム７１に取付けた軸受６９．６９Ａにより支承され
る。ウィツシュボーン式の支持フレーム７１は第１図の
ハウジング１２との関係において、右ないし左にピボッ
ト運動を可能とする螺せん構造体６５を支持するために
ハウジング１２に固定されたそれと類似の脚部７３に適
当な市めねじを用いて片持ばり状に装着される（この［
■−めねじはハウジング１２の各ランド７５Ｂ、７５Ｃ
内にねじ穴７５Ａ（第５図参照）に螺合させられ、もち
ろん、各脚部７３内に形成された貫通穴７５を貫いて取
付けられる。）。
、リーフスプリング４６はその自由端５１にバッド６３
Ａと接して磁石６３が装着される。この磁石６３は馬蹄
形に似た形状を持ち、螺せん構造体６５との間に磁気的
結合が得られるように配置される。螺せん構造体６５は
長手方向軸心６７を中心に回転するためにこの技術分野
において、“ウィツシュボーン”として知られた支持フ
レーム７１に取付けた軸受６９．６９Ａにより支承され
る。ウィツシュボーン式の支持フレーム７１は第１図の
ハウジング１２との関係において、右ないし左にピボッ
ト運動を可能とする螺せん構造体６５を支持するために
ハウジング１２に固定されたそれと類似の脚部７３に適
当な市めねじを用いて片持ばり状に装着される（この［
■−めねじはハウジング１２の各ランド７５Ｂ、７５Ｃ
内にねじ穴７５Ａ（第５図参照）に螺合させられ、もち
ろん、各脚部７３内に形成された貫通穴７５を貫いて取
付けられる。）。
磁石６３はリーフスプリング４６に接若されたパット６
３Ａと共にリベット６３Ｂによりパッド６３Ａに保持さ
れる。これは第３図に輪郭線により示されるところであ
るが、これについては米国特許第３０９１１２３号およ
び３３９７３１９号に言及する部分がある。
３Ａと共にリベット６３Ｂによりパッド６３Ａに保持さ
れる。これは第３図に輪郭線により示されるところであ
るが、これについては米国特許第３０９１１２３号およ
び３３９７３１９号に言及する部分がある。
螺せん構造体６５は指示アームあるいはゲージ針７７を
移動させる。ゲージ針７７は零基準８３を参照して読む
圧力をアナログ表示で与えるために目盛盤８１に形成さ
れた目盛り７９（第１図参照）と協働する関係にある。
移動させる。ゲージ針７７は零基準８３を参照して読む
圧力をアナログ表示で与えるために目盛盤８１に形成さ
れた目盛り７９（第１図参照）と協働する関係にある。
図に示されるようにゲージ針７７の位置はそこに印され
た目盛り７９に従って読みを与えるためにそれぞれの目
盛盤８１により変化する。例えば高圧および低圧室３０
．２６内の差圧に起因する動作により、あるいは零点調
節装置８５の操作により支持フレーム７１が移動するこ
とにより第３図の上方向あるいは下方向に磁石６３が移
動し、螺せん構造体６５が動く。装置８７は零基準マー
クに合せてゲージ針７７をセットするとき、計器の外側
にのぞいているヘッド９１を使って調節ねじ８９を回転
させるように使用される。
た目盛り７９に従って読みを与えるためにそれぞれの目
盛盤８１により変化する。例えば高圧および低圧室３０
．２６内の差圧に起因する動作により、あるいは零点調
節装置８５の操作により支持フレーム７１が移動するこ
とにより第３図の上方向あるいは下方向に磁石６３が移
動し、螺せん構造体６５が動く。装置８７は零基準マー
クに合せてゲージ針７７をセットするとき、計器の外側
にのぞいているヘッド９１を使って調節ねじ８９を回転
させるように使用される。
ハウジング１２の後部壁２２はトランスミッタ１０の装
備品により取替使用するための高圧室３０への入口とな
る高圧ソケット４５Ａ、４５Ｂの位置を定める。この高
圧ソケット４５Ａ、４５Ｂは使用されないときにはテー
バねじプラグ（図示せず）により閉鎖される。
備品により取替使用するための高圧室３０への入口とな
る高圧ソケット４５Ａ、４５Ｂの位置を定める。この高
圧ソケット４５Ａ、４５Ｂは使用されないときにはテー
バねじプラグ（図示せず）により閉鎖される。
この技術分野ではよく知られるようにトランスミッタ１
０はその端に係合端を備えた管（図示せず）により低圧
から高圧までの気体あるいは空気の互いに離れた圧力源
と分離して接続される低圧および高圧室２６．３０を有
する。トランスミッタ１０は使用中ならびに差圧の制御
においては開放されるが、有効ゲージ圧力は同様に測定
され、低圧室２６を環境と通じさせることにより調節さ
れ、正圧力源は高圧側のソケット４５Ａあるいは・４５
Ｂと接続される。負ゲージ圧力は同様にＡｐｌ定され、
調節されるが、しかし手順は反対で高圧室３０が環境と
通じており、負圧力源は低圧側のソケット４５と接続さ
れる。
０はその端に係合端を備えた管（図示せず）により低圧
から高圧までの気体あるいは空気の互いに離れた圧力源
と分離して接続される低圧および高圧室２６．３０を有
する。トランスミッタ１０は使用中ならびに差圧の制御
においては開放されるが、有効ゲージ圧力は同様に測定
され、低圧室２６を環境と通じさせることにより調節さ
れ、正圧力源は高圧側のソケット４５Ａあるいは・４５
Ｂと接続される。負ゲージ圧力は同様にＡｐｌ定され、
調節されるが、しかし手順は反対で高圧室３０が環境と
通じており、負圧力源は低圧側のソケット４５と接続さ
れる。
本発明に従うと、トランスミッタ１０は計器１１の正面
（第１図参照）で利用される差圧のアナログ表示の他に
は第９図にブロック線図により示される制御ループ回路
１００に組込んで利用することができる。このループ回
路１００内の電源１０２は約１２から３５ボルトの範囲
の直流電圧を駆動電源として持ち、４０ミリアンペアを
最少電流値とする能力を有する。このループ回路１００
に組込まれるとき、トランスミッタ１０はトランスミッ
タ１０のプラグ集合体１０８から延長されるリード線１
０４．１０６（第２図参照）を利用して接続される。プ
ラグ集合体１０８には正および負けのラベルの貼られた
接点１０７．１０９（第２図参照）と共に、トランスミ
ッタ１０と直列に接続された電Ｒ１０２用、およびレシ
ーバ１１０と直列に接続されたトランスミッタ１０用、
電源１０２へ戻る順次直列に接続されたレシーバ１１０
用が各々備えられる。いわゆるレシーバは固定値の抵抗
を持つもので、コントローラ１１２あるいはディジタル
読取装置１１４またはコンピュータ（図示せず）もしく
は他の記録用機器を備えることがあり、要するに装備品
の選択に依存している。これによりトランスミッタ１０
を通してループ回路１００は遠隔制御ないし監視目的用
に２系統の操作を与えることになる（ループ回路１００
はトランスミッタ１０からのものと、トランスミッタに
接続された高圧および低圧源からのものとの双方により
遠隔操作される）。
（第１図参照）で利用される差圧のアナログ表示の他に
は第９図にブロック線図により示される制御ループ回路
１００に組込んで利用することができる。このループ回
路１００内の電源１０２は約１２から３５ボルトの範囲
の直流電圧を駆動電源として持ち、４０ミリアンペアを
最少電流値とする能力を有する。このループ回路１００
に組込まれるとき、トランスミッタ１０はトランスミッ
タ１０のプラグ集合体１０８から延長されるリード線１
０４．１０６（第２図参照）を利用して接続される。プ
ラグ集合体１０８には正および負けのラベルの貼られた
接点１０７．１０９（第２図参照）と共に、トランスミ
ッタ１０と直列に接続された電Ｒ１０２用、およびレシ
ーバ１１０と直列に接続されたトランスミッタ１０用、
電源１０２へ戻る順次直列に接続されたレシーバ１１０
用が各々備えられる。いわゆるレシーバは固定値の抵抗
を持つもので、コントローラ１１２あるいはディジタル
読取装置１１４またはコンピュータ（図示せず）もしく
は他の記録用機器を備えることがあり、要するに装備品
の選択に依存している。これによりトランスミッタ１０
を通してループ回路１００は遠隔制御ないし監視目的用
に２系統の操作を与えることになる（ループ回路１００
はトランスミッタ１０からのものと、トランスミッタに
接続された高圧および低圧源からのものとの双方により
遠隔操作される）。
この目的のために前述の米国特許第
４３８５５２５号に開示された形式の歪みゲージの配置
が本出願に係る特殊な配置と共に利用される。ここでは
大きく相違する点が第５図ないし第８図および第１０図
に示される。これはリーフスプリング４６および特にリ
ーフスプリング４６の有効長さ５５を包含しており上側
１２０（第゛３図の見方による）に固定された特殊な歪
みゲージセ・ンサ１２４と、下側１２２に設けられた類
似の歪みゲージセンサ１２６とを有する。この特殊な形
式のセンサ１２４．１２６は後記される特殊な方向性を
有し、分離された歪みゲージ１２５．１２７を形成して
いる。
が本出願に係る特殊な配置と共に利用される。ここでは
大きく相違する点が第５図ないし第８図および第１０図
に示される。これはリーフスプリング４６および特にリ
ーフスプリング４６の有効長さ５５を包含しており上側
１２０（第゛３図の見方による）に固定された特殊な歪
みゲージセ・ンサ１２４と、下側１２２に設けられた類
似の歪みゲージセンサ１２６とを有する。この特殊な形
式のセンサ１２４．１２６は後記される特殊な方向性を
有し、分離された歪みゲージ１２５．１２７を形成して
いる。
センサ１２４．１２６は第９図に示された方法において
、ホイートストンブリッジに接続される（詳細な説明は
後記）。これは回路盤１３２に適用された電子回路１３
０により駆動される電気−機械式変換器１２８を形成し
、後に支持フレーム７１の下側１３３にそれらの間に適
用される絶縁プレート１３°４（第５図参照）と共に回
路盤１３２の誘電体領域に適用されるねじを利用して装
置される。
、ホイートストンブリッジに接続される（詳細な説明は
後記）。これは回路盤１３２に適用された電子回路１３
０により駆動される電気−機械式変換器１２８を形成し
、後に支持フレーム７１の下側１３３にそれらの間に適
用される絶縁プレート１３°４（第５図参照）と共に回
路盤１３２の誘電体領域に適用されるねじを利用して装
置される。
第３図に示しているところから明らかなように、回路盤
１３２はハウジング１２に横向きに置かれ、かつダイア
フラム２８が撓むときに影響を受けるを効長さ５５の部
分の変位を妨げないようにするためリーフスプリング４
６との間に間隔を置いて配置される。
１３２はハウジング１２に横向きに置かれ、かつダイア
フラム２８が撓むときに影響を受けるを効長さ５５の部
分の変位を妨げないようにするためリーフスプリング４
６との間に間隔を置いて配置される。
電子回路１３０およびその構成要素ならびに接続関係は
第５図ならび第１０図に示される。プラグ集合体１０８
に至る電子回路１３０の接続に関して述べれば、リード
線１０４はレシーバ１１０を用意する多種類の構成要素
と接続するため、電源１０２から延ばされ、プラグ集合
体１０８に至る。リード線１１３はレシーバ１１０から
電源１０２に戻る（第２図および第９図参照）。
第５図ならび第１０図に示される。プラグ集合体１０８
に至る電子回路１３０の接続に関して述べれば、リード
線１０４はレシーバ１１０を用意する多種類の構成要素
と接続するため、電源１０２から延ばされ、プラグ集合
体１０８に至る。リード線１１３はレシーバ１１０から
電源１０２に戻る（第２図および第９図参照）。
電子回路１３０はセンサ１２４．１２６により形成され
る歪みゲージ１２５．１２７に一定の直流を供給するた
め、それぞれ後記のやり方で機能する。リーフスプリン
グ４６が差圧を感知して一方に撓んだとき、差圧の変化
が発生するまで、出力零の状態にあるホイートストンブ
リッジ回路を励磁する。この励磁によりホイートストン
ブリッジ回路に差圧の変化に比例する電圧が発生し、レ
シーバ１０を動作させるためにループ１００で用いられ
る４から２０ミリアンペアの範囲の電流を与えるＩＣチ
ップにより動作準備が整う。目盛盤８１は使用上便利な
、しかし−貫した圧力単位に従って表示された印７９と
共に、零基章８３から読む形式のものである。図示の形
式では目盛盤８１が支持フレーム７１の本体１５４に形
成されたねじ穴１５２に止めねじ１５０を用いてハウジ
ング１２内に装着される。
る歪みゲージ１２５．１２７に一定の直流を供給するた
め、それぞれ後記のやり方で機能する。リーフスプリン
グ４６が差圧を感知して一方に撓んだとき、差圧の変化
が発生するまで、出力零の状態にあるホイートストンブ
リッジ回路を励磁する。この励磁によりホイートストン
ブリッジ回路に差圧の変化に比例する電圧が発生し、レ
シーバ１０を動作させるためにループ１００で用いられ
る４から２０ミリアンペアの範囲の電流を与えるＩＣチ
ップにより動作準備が整う。目盛盤８１は使用上便利な
、しかし−貫した圧力単位に従って表示された印７９と
共に、零基章８３から読む形式のものである。図示の形
式では目盛盤８１が支持フレーム７１の本体１５４に形
成されたねじ穴１５２に止めねじ１５０を用いてハウジ
ング１２内に装着される。
ウィツシュボーン式の支持フレーム７１はこの目的のた
めに適用される従来からの装置であり、米国特許第３８
６２４１６号に開示されたものと同等な装置である。螺
せん構造体６５を支持するための軸受６９．６９Ａは軸
受６９Ａが固定軸受のものとしても、軸受６９が調心型
の軸受であるために同心に配置されることになる。ここ
で、螺せん構造体６５は米国特許第３８６２４１６号な
らびに第４０１１７５９号に開示されたツインローブ形
式であり、この目的に適合する形式である。
めに適用される従来からの装置であり、米国特許第３８
６２４１６号に開示されたものと同等な装置である。螺
せん構造体６５を支持するための軸受６９．６９Ａは軸
受６９Ａが固定軸受のものとしても、軸受６９が調心型
の軸受であるために同心に配置されることになる。ここ
で、螺せん構造体６５は米国特許第３８６２４１６号な
らびに第４０１１７５９号に開示されたツインローブ形
式であり、この目的に適合する形式である。
リーフスプリング４６はサンドビックＣ−１０９５焼入
および光輝焼もどしばね鋼あるいは同じ製品の青焼もど
じのような焼もどしばね鋼材料から形成される。
および光輝焼もどしばね鋼あるいは同じ製品の青焼もど
じのような焼もどしばね鋼材料から形成される。
リーフスプリング４６は米国特許第
４３８５５２５号に開示された方法によりその操作位置
に置かれる。その構成はハウジング１２の基礎部にある
リブ１６０（第３図参照）の上面に止めねじ１６２によ
り固定されたすべり部材５２と、上側および下側締付プ
レート１６４．１６６に受は入れられるリーフスプリン
グ４６の端部４８との組み合せによっており、そこに第
８図に示される貫通孔１６７を通して挿入される止めね
じ５０により固定される。リーフスプリング４６はクラ
ンプ５４の下側に置かれる上側締付プレート１７０と、
すべり部材５２の上に載っている上側締付プレート１７
２との間に受は入れられ、すべり部材５２の反対側でリ
ーフスプリング４６を締付けるために配置されるクラン
プ５４に装着された止めねじ１７４を用いて上側締付プ
レート１７０の反対側から締付けられる。これにより、
リーフスプリング４６の有効長さ５５と支点６０とが定
められる。
に置かれる。その構成はハウジング１２の基礎部にある
リブ１６０（第３図参照）の上面に止めねじ１６２によ
り固定されたすべり部材５２と、上側および下側締付プ
レート１６４．１６６に受は入れられるリーフスプリン
グ４６の端部４８との組み合せによっており、そこに第
８図に示される貫通孔１６７を通して挿入される止めね
じ５０により固定される。リーフスプリング４６はクラ
ンプ５４の下側に置かれる上側締付プレート１７０と、
すべり部材５２の上に載っている上側締付プレート１７
２との間に受は入れられ、すべり部材５２の反対側でリ
ーフスプリング４６を締付けるために配置されるクラン
プ５４に装着された止めねじ１７４を用いて上側締付プ
レート１７０の反対側から締付けられる。これにより、
リーフスプリング４６の有効長さ５５と支点６０とが定
められる。
歪みゲージ１゛２５．１２７は最適な形式が第７図およ
び第８図に各々示される。特に歪みゲージ１２５につい
てはリーフスプリング４６の上面に配置され、リーフス
プリング４６を横断する方向（これは長手方向中心１８
２と直角である）に延びているシリコンチップ１８０の
形状をしたセンサ１２４を有する。このシリコンチップ
１８０は離間して置かれたはんだ１８４の一組と電気的
に接続され、かつ長手方向中心１８２とほぼ平行に延ば
され、リード線１８６．１８８により電子回路１３０に
電気的に接続される。
び第８図に各々示される。特に歪みゲージ１２５につい
てはリーフスプリング４６の上面に配置され、リーフス
プリング４６を横断する方向（これは長手方向中心１８
２と直角である）に延びているシリコンチップ１８０の
形状をしたセンサ１２４を有する。このシリコンチップ
１８０は離間して置かれたはんだ１８４の一組と電気的
に接続され、かつ長手方向中心１８２とほぼ平行に延ば
され、リード線１８６．１８８により電子回路１３０に
電気的に接続される。
一方、歪みゲージ１２７はリーフスプリング４６の下側
に置かれ、リーフスプリング４６の長で方向中心１８２
と平行に延ばすように配置されたシリコンチップ１９０
の形状をしたセンサ１２６を有する。このシリコンチッ
プ１９０はリード線１９４．１９６によって電子回路１
３０に順次接続された各はんだ１９２と直列に接続され
ている。、シリコンチップ１８０．１９０および歪みゲ
ージ１２５．１２７を用意するシリコンチップ１８０．
１９０に結ばれたはんだ１８４．１９２はリーフスプリ
ング４６の表面に埋め込まれる。
に置かれ、リーフスプリング４６の長で方向中心１８２
と平行に延ばすように配置されたシリコンチップ１９０
の形状をしたセンサ１２６を有する。このシリコンチッ
プ１９０はリード線１９４．１９６によって電子回路１
３０に順次接続された各はんだ１９２と直列に接続され
ている。、シリコンチップ１８０．１９０および歪みゲ
ージ１２５．１２７を用意するシリコンチップ１８０．
１９０に結ばれたはんだ１８４．１９２はリーフスプリ
ング４６の表面に埋め込まれる。
そして、第７図および第７図の破線により示されるリー
フスプリング４６の両側１２０．１２２の領域１９７．
１９８内に適用されるアクリル被覆材をもって被覆され
る。これらのシリコンチップ１８０．１９０およびはん
だ１８４．１９２はマイクロインズノルメント社（カリ
フォルニア州）により製造される。
フスプリング４６の両側１２０．１２２の領域１９７．
１９８内に適用されるアクリル被覆材をもって被覆され
る。これらのシリコンチップ１８０．１９０およびはん
だ１８４．１９２はマイクロインズノルメント社（カリ
フォルニア州）により製造される。
リーフスプリング４６の長手方向中心１８２と垂直方向
に配置されたシリコンチップ１８０が引張りも圧縮も受
けず、リーフスプリング４６が曲げ応力に従うとき、リ
ーフスプリング４６の長手方向中心１８２と平行に配置
されたシリコンチップ１９０は検出された差圧の蓄積に
基づいて第３図の下方向に偏る圧縮を受ける。上側およ
び下側歪みゲージ１２５．１２７は変換器】２８を６゛
する電子回路１３０のホイートストンブリッジ回路２０
０の４つの抵抗要素のうちの２つを含んでいる。
に配置されたシリコンチップ１８０が引張りも圧縮も受
けず、リーフスプリング４６が曲げ応力に従うとき、リ
ーフスプリング４６の長手方向中心１８２と平行に配置
されたシリコンチップ１９０は検出された差圧の蓄積に
基づいて第３図の下方向に偏る圧縮を受ける。上側およ
び下側歪みゲージ１２５．１２７は変換器】２８を６゛
する電子回路１３０のホイートストンブリッジ回路２０
０の４つの抵抗要素のうちの２つを含んでいる。
ホイートストンブリッジ回路２００は一つないしそれ以
上の抵抗要素で抵抗に変化が生じるまで、出力が零であ
るように調節される。このような抵抗の変化が一度生じ
るや否やホイートストンブリッジ回路２００はその変化
に比例した出力電圧を発生し、この出力電圧はトランス
ミッタチップ２０２（第１０図参照）により望ましい値
に調整される。このチップ２０２にはプル・ブラウンｒ
１゜（アリシナ州）の製品ＸＴＲｌ０ＩＡＧが使用でき
る。
上の抵抗要素で抵抗に変化が生じるまで、出力が零であ
るように調節される。このような抵抗の変化が一度生じ
るや否やホイートストンブリッジ回路２００はその変化
に比例した出力電圧を発生し、この出力電圧はトランス
ミッタチップ２０２（第１０図参照）により望ましい値
に調整される。このチップ２０２にはプル・ブラウンｒ
１゜（アリシナ州）の製品ＸＴＲｌ０ＩＡＧが使用でき
る。
第１０図を参照すると、トランスミッタチップ２０２は
それぞれ直流１ミリアンペアの基準電流を与えるビン１
０．１１を備えている。このビン１０．１１は互いに電
気的に結ばれ、合わせて直流２ミリアンペアの基準電流
を発生している。この基準電流は４つの抵抗要素から作
られたホイートストンブリッジ回路２００に送られる。
それぞれ直流１ミリアンペアの基準電流を与えるビン１
０．１１を備えている。このビン１０．１１は互いに電
気的に結ばれ、合わせて直流２ミリアンペアの基準電流
を発生している。この基準電流は４つの抵抗要素から作
られたホイートストンブリッジ回路２００に送られる。
すなわち、それはシリコンチップ１８０．１９０および
固定抵抗器２０６．２０８および平衡ポテンションメー
タ２０４である。ポテンションメータ２０４はホイート
ストンブリッジ回路２００にＹ字回路により接続され、
その結果抵抗はブリッジのどちらの側にも加えられるか
、あるいは減少させられる。ポテンションメータ２０４
はブリッジのそれぞれの側の抵抗が等しい量になるよう
にセットするために調節される。このためには直流２ミ
リアンペアの基準電流がブリッジのそれぞれの側の間で
等しく分けられる。基準電流が指示されたように分けら
れたとき、ブリッジは“零″と称し、出力が零であるこ
とを意味している。この状態は歪みゲージ１２５．１２
７がＮ１′、面として保たれる限り、正確に維持される
。
固定抵抗器２０６．２０８および平衡ポテンションメー
タ２０４である。ポテンションメータ２０４はホイート
ストンブリッジ回路２００にＹ字回路により接続され、
その結果抵抗はブリッジのどちらの側にも加えられるか
、あるいは減少させられる。ポテンションメータ２０４
はブリッジのそれぞれの側の抵抗が等しい量になるよう
にセットするために調節される。このためには直流２ミ
リアンペアの基準電流がブリッジのそれぞれの側の間で
等しく分けられる。基準電流が指示されたように分けら
れたとき、ブリッジは“零″と称し、出力が零であるこ
とを意味している。この状態は歪みゲージ１２５．１２
７がＮ１′、面として保たれる限り、正確に維持される
。
ホイートストンブリッジ回路２００の出力はトランスミ
ッタチップ２０２の信号入力ターミナルであるビン３．
４に入力される。ビン５．６の間の抵抗値に関連してホ
イートストンブリッジ回路２００により発生する電位差
はループ回路１００（工業用標準４−２０ミリアンペア
出力である）に流れるトランスミッタの電流スパンを制
御する。
ッタチップ２０２の信号入力ターミナルであるビン３．
４に入力される。ビン５．６の間の抵抗値に関連してホ
イートストンブリッジ回路２００により発生する電位差
はループ回路１００（工業用標準４−２０ミリアンペア
出力である）に流れるトランスミッタの電流スパンを制
御する。
直列のポテンションメータ２１０の結合および固定抵抗
器２１２は電流スパンあるいはトランスミッタチップ２
０２のゲインをセットするための抵抗を与える。ポテン
ションメータ２１０は全目盛入力信号のための電流スパ
ンが１６ミリアンペアと等しくなるように調節される。
器２１２は電流スパンあるいはトランスミッタチップ２
０２のゲインをセットするための抵抗を与える。ポテン
ションメータ２１０は全目盛入力信号のための電流スパ
ンが１６ミリアンペアと等しくなるように調節される。
スパン抵抗の極度に低い値はトランスミッタチップ２０
２内に高いゲインを生じさせることになり、それゆえ固
定抵抗器２１２は抵抗値が零になることから生じる直列
結合を防止するために使用される。
２内に高いゲインを生じさせることになり、それゆえ固
定抵抗器２１２は抵抗値が零になることから生じる直列
結合を防止するために使用される。
抵抗器２１４はビン３．４における基準電流信号入力が
ビン７の電圧よりも高い約５ボルトになるようにバイア
スを与えるために基準電流ループに挿入される。これは
直線応答を確実なものとする手助けとなる。キャパシタ
２１６は抵抗器２１４の分路内に接続され、基準電流ル
ープ内での過渡電圧を抑えるように働く。基準電流は抵
抗器２１４を通過した後はトランスミッタチップ２０２
の出力を出すビン７と結合している。２ミリアンペアの
基準電流とビン７の出力との結合はトランスミッタ１０
からループ回路１００へ供給される４から２０ミリアン
ペアの直流信号を形成する。注目すべき点は回路が４−
２０ミリアンペアのループ電流を実際に発生することな
く、ループ内で４から２０ミリアンペアの電流を誘い出
すために正規の２系統のトランスミッタループ内で電源
１０２の電圧とシリコンチップ１９０により制御された
入力パラメータとに基づいて直列の抵抗を効果的に調節
していることである。
ビン７の電圧よりも高い約５ボルトになるようにバイア
スを与えるために基準電流ループに挿入される。これは
直線応答を確実なものとする手助けとなる。キャパシタ
２１６は抵抗器２１４の分路内に接続され、基準電流ル
ープ内での過渡電圧を抑えるように働く。基準電流は抵
抗器２１４を通過した後はトランスミッタチップ２０２
の出力を出すビン７と結合している。２ミリアンペアの
基準電流とビン７の出力との結合はトランスミッタ１０
からループ回路１００へ供給される４から２０ミリアン
ペアの直流信号を形成する。注目すべき点は回路が４−
２０ミリアンペアのループ電流を実際に発生することな
く、ループ内で４から２０ミリアンペアの電流を誘い出
すために正規の２系統のトランスミッタループ内で電源
１０２の電圧とシリコンチップ１９０により制御された
入力パラメータとに基づいて直列の抵抗を効果的に調節
していることである。
機器の性能を高めるために付加される要素の幾つかが第
１０図の回路内に見出される。キャパシタ２１７はチッ
プ２０２への電圧供給のためのバイパスとして機能し、
トランスミッタチップ２０２、ビン７．８にそれぞれ接
続される。ダイオード２１８は“＋”ないし“ループ電
流入”ターミナル１０８と接続して逆極性保護器として
使用され、そのため電流は要求に従ってトランスミッタ
チップ２０２に至る前方へのみ流れる。回路が不適当な
やり方で接続されたとき、ダイオード２１８の結合は逆
バイアスが加えられ、回路１２８の幾つかの部分では電
流を流すことができず、このため、高価な機器が損傷を
受けるのを免れることができる。トランジスタ２２０は
回路で選択されたときに使用される機器であって、その
働きはパッケージ内にこもる熱を減少するためにトラン
スミッタチップ２０２の内部で内臓トランジスタ（図示
せず）と共に電流を分けることである。これは最少と最
大人力信号が４から２０ミリアンペアをスパンとして出
力電流を生じるようにトランスミッタチップ２０２の直
線応答を改良するものである。
１０図の回路内に見出される。キャパシタ２１７はチッ
プ２０２への電圧供給のためのバイパスとして機能し、
トランスミッタチップ２０２、ビン７．８にそれぞれ接
続される。ダイオード２１８は“＋”ないし“ループ電
流入”ターミナル１０８と接続して逆極性保護器として
使用され、そのため電流は要求に従ってトランスミッタ
チップ２０２に至る前方へのみ流れる。回路が不適当な
やり方で接続されたとき、ダイオード２１８の結合は逆
バイアスが加えられ、回路１２８の幾つかの部分では電
流を流すことができず、このため、高価な機器が損傷を
受けるのを免れることができる。トランジスタ２２０は
回路で選択されたときに使用される機器であって、その
働きはパッケージ内にこもる熱を減少するためにトラン
スミッタチップ２０２の内部で内臓トランジスタ（図示
せず）と共に電流を分けることである。これは最少と最
大人力信号が４から２０ミリアンペアをスパンとして出
力電流を生じるようにトランスミッタチップ２０２の直
線応答を改良するものである。
既に述べたように、歪みゲージ１２５．１２７はリーフ
スプリング４６の相対する側に装着され、リーフスプリ
ング４６の長手方向中心１８２と平行にリーフスプリン
グ４６の下側あるいは底部に接して装着されるシリコン
チップ１９０はリーフスプリング４６が撓んだとき、リ
ーフスプリング４６の下面上に起こる引張りおよび圧縮
力に従っている。トランスミッタ１０の正常な動作状態
においてはリーフスプリング４６の動きはシリコンチッ
プ１９０内に僅かに圧縮を生じさせる。この圧縮は歪み
ゲージ１２７の横断面領域を増加させ、このため抵抗値
については減少する。ひずみゲージ１２５のシリコンチ
ップ１８０はリーフスプリング４６の長手方向中心１８
２と直角方向に延長して装着され、これは引張りおよび
圧縮力の作用方向に合う向きである。リーフスプリング
４６の正常な動きの中でシリコンチップ１８０上に生じ
る機械的な応力はシリコンチップ１９０内に生じる応力
と比較したとき、取るに足らないものである。双方の歪
みゲージ１２５．１２７はシリコン材料から構成されて
いるので、蓄積している熱的状態はそれらの固有の抵抗
値の中で大きな役割りを演する。周囲の温度が変化する
ことにより歪みゲージ１２５．１２７を膨張させ、収縮
させる力が作られ、零点およびスパンは移り嚢わる。理
想的にはシリコンチップ１８０．１９０は周囲の温度に
合わせて同時に抵抗が等・しく増加しあるいは減少する
ことである。それらの近似のためにはホイートストンブ
リッジ回路２００が励磁されたとき、その出力信号をオ
フセットすることはすべきでない。しかし、シリコンチ
ップ１８０，１９０ををする歪みゲージ１２５．１２７
の構造は、そのようにはなっていないので、熱膨張によ
り起こる応力および特殊なシリコンチップ１８０．１９
０の構造は同一ではない。これは歪みゲージ１２５．１
２７に僅かに異なる割合で抵抗値に変化を与える原因と
なり、熱的誤差あるいはドリフトを引き起こすことにな
る。温度補償のために２つの歪みゲージを用いる必要が
あることは熱膨張および熱収縮力を試験したときに明ら
かになる。
スプリング４６の相対する側に装着され、リーフスプリ
ング４６の長手方向中心１８２と平行にリーフスプリン
グ４６の下側あるいは底部に接して装着されるシリコン
チップ１９０はリーフスプリング４６が撓んだとき、リ
ーフスプリング４６の下面上に起こる引張りおよび圧縮
力に従っている。トランスミッタ１０の正常な動作状態
においてはリーフスプリング４６の動きはシリコンチッ
プ１９０内に僅かに圧縮を生じさせる。この圧縮は歪み
ゲージ１２７の横断面領域を増加させ、このため抵抗値
については減少する。ひずみゲージ１２５のシリコンチ
ップ１８０はリーフスプリング４６の長手方向中心１８
２と直角方向に延長して装着され、これは引張りおよび
圧縮力の作用方向に合う向きである。リーフスプリング
４６の正常な動きの中でシリコンチップ１８０上に生じ
る機械的な応力はシリコンチップ１９０内に生じる応力
と比較したとき、取るに足らないものである。双方の歪
みゲージ１２５．１２７はシリコン材料から構成されて
いるので、蓄積している熱的状態はそれらの固有の抵抗
値の中で大きな役割りを演する。周囲の温度が変化する
ことにより歪みゲージ１２５．１２７を膨張させ、収縮
させる力が作られ、零点およびスパンは移り嚢わる。理
想的にはシリコンチップ１８０．１９０は周囲の温度に
合わせて同時に抵抗が等・しく増加しあるいは減少する
ことである。それらの近似のためにはホイートストンブ
リッジ回路２００が励磁されたとき、その出力信号をオ
フセットすることはすべきでない。しかし、シリコンチ
ップ１８０，１９０ををする歪みゲージ１２５．１２７
の構造は、そのようにはなっていないので、熱膨張によ
り起こる応力および特殊なシリコンチップ１８０．１９
０の構造は同一ではない。これは歪みゲージ１２５．１
２７に僅かに異なる割合で抵抗値に変化を与える原因と
なり、熱的誤差あるいはドリフトを引き起こすことにな
る。温度補償のために２つの歪みゲージを用いる必要が
あることは熱膨張および熱収縮力を試験したときに明ら
かになる。
互いに連係して働くリーフスプリング４６の歪みゲージ
１２５．１２７は周囲の温度変化がある間中はぼ等しい
励磁電流を与え、それによって零点およびスパンのオフ
セットを防止している。これは上記の熱的ドリフトに基
づいて引き起こされる出力信号誤差を最少にする。ホイ
ートストンブリッジ回路２００でただ一つの歪みゲージ
を使用すると、温度に対する補償が得られず、零点およ
びスパンに許容できない変化が現われる。この誤差は温
度の変化がブリッジの一つの側の抵抗のみ増加あるいは
減少させ、これによりブリッジ励磁電流に不平衡が生じ
るために起こる。この状態は歪みゲージが平面のままで
あっても、そうでなくても発生する。
１２５．１２７は周囲の温度変化がある間中はぼ等しい
励磁電流を与え、それによって零点およびスパンのオフ
セットを防止している。これは上記の熱的ドリフトに基
づいて引き起こされる出力信号誤差を最少にする。ホイ
ートストンブリッジ回路２００でただ一つの歪みゲージ
を使用すると、温度に対する補償が得られず、零点およ
びスパンに許容できない変化が現われる。この誤差は温
度の変化がブリッジの一つの側の抵抗のみ増加あるいは
減少させ、これによりブリッジ励磁電流に不平衡が生じ
るために起こる。この状態は歪みゲージが平面のままで
あっても、そうでなくても発生する。
トランスミッタ１０の働きが正常である間、ループ回路
１００にトランスミッタ１０が結合され、リーフスプリ
ング４６に撓みが生じたとき、圧力の変化が歪みゲージ
１２７つまりシリコンチップ１９０に圧縮をもたらし、
横断面領域が増加し、それによってその部分の抵抗が増
大する。歪みゲージ１２７はホイートストンブリッジ回
路２００から離れているので、励磁電流の大きな部分が
歪みゲージ１２７および抵抗器２０８を通って流れ、ホ
イートストンブリッジ回路２００の出力端に電位差を作
り出す。この出力信号は歪みゲージ１２７の抵抗の減少
に直線的に比例し、トランスミッタチップ２０２の信号
入力端であるピン３．４に送られる。トランスミッタチ
ップ２０２は計器操作員がループ回路１００用の適当な
電流およびポテンションメータ２１０の抵抗値を選択す
るために内部に配置される。
１００にトランスミッタ１０が結合され、リーフスプリ
ング４６に撓みが生じたとき、圧力の変化が歪みゲージ
１２７つまりシリコンチップ１９０に圧縮をもたらし、
横断面領域が増加し、それによってその部分の抵抗が増
大する。歪みゲージ１２７はホイートストンブリッジ回
路２００から離れているので、励磁電流の大きな部分が
歪みゲージ１２７および抵抗器２０８を通って流れ、ホ
イートストンブリッジ回路２００の出力端に電位差を作
り出す。この出力信号は歪みゲージ１２７の抵抗の減少
に直線的に比例し、トランスミッタチップ２０２の信号
入力端であるピン３．４に送られる。トランスミッタチ
ップ２０２は計器操作員がループ回路１００用の適当な
電流およびポテンションメータ２１０の抵抗値を選択す
るために内部に配置される。
ポテンションメータ２０４．２１０はノブ２６０．２６
１ （第４図参照）を用いることによりトランスミッタ
１０の据付面側で調節される。
１ （第４図参照）を用いることによりトランスミッタ
１０の据付面側で調節される。
これは米国特許第４３８５５２５号に開示された方法に
より配置され、ノブ２６０はポテンションメータ２０４
に、ノブ２６１はポテンションメータ２１０にそれぞれ
結合される。ノブ２６０．２６１はそれぞれのポテンシ
ョンメータ２０４．２１０の回転部分に形成されたソケ
ットないし溝と適合させるために用いられる平面シャン
ク２６４と噛み合わされる。ポテンションメータ２０４
．２１０回転部分には米国特許第３８６２４１６号に示
されるスプライン結合に類似のものが形成され、平面シ
ャンク２６４と係合している。このノブ２６０．２６１
を回すためには適当な二叉のカギ形工具（図示せず）が
使用される。計器本体１１にはそれぞれの部分の気密を
保つためにＯ−リング２７０．２７１．２７２が使用さ
れる（第３図および第４図参照）。支枝フレーム７１は
、計器本体１１を組立てる際、各ポテンションメータ２
０４．２１０を収容するために符号２８０．２８１によ
り示される部分がそれぞれ削り取られる。
より配置され、ノブ２６０はポテンションメータ２０４
に、ノブ２６１はポテンションメータ２１０にそれぞれ
結合される。ノブ２６０．２６１はそれぞれのポテンシ
ョンメータ２０４．２１０の回転部分に形成されたソケ
ットないし溝と適合させるために用いられる平面シャン
ク２６４と噛み合わされる。ポテンションメータ２０４
．２１０回転部分には米国特許第３８６２４１６号に示
されるスプライン結合に類似のものが形成され、平面シ
ャンク２６４と係合している。このノブ２６０．２６１
を回すためには適当な二叉のカギ形工具（図示せず）が
使用される。計器本体１１にはそれぞれの部分の気密を
保つためにＯ−リング２７０．２７１．２７２が使用さ
れる（第３図および第４図参照）。支枝フレーム７１は
、計器本体１１を組立てる際、各ポテンションメータ２
０４．２１０を収容するために符号２８０．２８１によ
り示される部分がそれぞれ削り取られる。
上記の記述と図面とは単に本発明を説明し、かつ図示す
るために与えられたものにすぎず、そのうえ当業者が発
明の範囲から離れることなく、これに改良を加えること
、そして変形させることも可能であるから、特許請求の
範囲がそのように制限されている限りにおいて、それら
の事項は除いて発明が制限されることはない。
るために与えられたものにすぎず、そのうえ当業者が発
明の範囲から離れることなく、これに改良を加えること
、そして変形させることも可能であるから、特許請求の
範囲がそのように制限されている限りにおいて、それら
の事項は除いて発明が制限されることはない。
第１図は本発明の一実施例に係る装置の正面図、第２図
は装置の背側の立面図を示し、外部電源およびトランス
ミッタの２本のリード線と制御ループ回路との結合関係
を含む図、第３図は装置の断面図を示し、はぼ第１図お
よび第２図の■−■線に沿う位置で切断した図、第４図
は装置の一部分の断面図を示し、はぼ第１図のＩＶ−Ｉ
Ｖ線に沿う位置で切断した図、第５図は装置の口［面図
を示し、ゲージカバーが除かれ、支持フレーム、電子回
路および回路盤を含むところの図、第６図は計器の支持
フレームの平面図を示し、回路盤および結合部品を除く
図、第７図は計器のリーフスプリングの下側平面図を示
し、磁石および歪みゲージを含む図、第８図はリーフス
プリングとこのリーフスプリングの下面に取付けられる
歪みゲージのド側平面図、第９図は制御ループ回路を示
すブロック線図、第１０図はトランスミッタ電子回路を
示す系統構成図である。 １１・・・・・・・・・計器本体 １２・・・・・・・・・ハウジング ２６・・・・・・・・・低圧室 ２８・・・・・・・・・ダイアフラム ３０・・・・・・・・・高圧室 ３４・・・・・・・・・リンク ４６・・・・・・・・・リーフスプリング５５・・・・
・・・・・有効長さ ６０・・・・・・・・・支点 ６３・・・・・・・・・磁石 ６５・・・・・・・・・螺せん構造体 ７１・・・・・・・・・支持フレーム １００・・・・・・・・・ループ回路 １２４．１２６・・・・・・・・・歪みゲージセンサ１
３０・・・・・・・・・電子回路
は装置の背側の立面図を示し、外部電源およびトランス
ミッタの２本のリード線と制御ループ回路との結合関係
を含む図、第３図は装置の断面図を示し、はぼ第１図お
よび第２図の■−■線に沿う位置で切断した図、第４図
は装置の一部分の断面図を示し、はぼ第１図のＩＶ−Ｉ
Ｖ線に沿う位置で切断した図、第５図は装置の口［面図
を示し、ゲージカバーが除かれ、支持フレーム、電子回
路および回路盤を含むところの図、第６図は計器の支持
フレームの平面図を示し、回路盤および結合部品を除く
図、第７図は計器のリーフスプリングの下側平面図を示
し、磁石および歪みゲージを含む図、第８図はリーフス
プリングとこのリーフスプリングの下面に取付けられる
歪みゲージのド側平面図、第９図は制御ループ回路を示
すブロック線図、第１０図はトランスミッタ電子回路を
示す系統構成図である。 １１・・・・・・・・・計器本体 １２・・・・・・・・・ハウジング ２６・・・・・・・・・低圧室 ２８・・・・・・・・・ダイアフラム ３０・・・・・・・・・高圧室 ３４・・・・・・・・・リンク ４６・・・・・・・・・リーフスプリング５５・・・・
・・・・・有効長さ ６０・・・・・・・・・支点 ６３・・・・・・・・・磁石 ６５・・・・・・・・・螺せん構造体 ７１・・・・・・・・・支持フレーム １００・・・・・・・・・ループ回路 １２４．１２６・・・・・・・・・歪みゲージセンサ１
３０・・・・・・・・・電子回路
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、高圧および低圧室を区画している可撓性のダイアフ
ラムを設けた圧力空間を有する殻体を備え、前記殻体は
軸回りに回転可能に支承され、それの軸方向に沿う磁石
の直線の移動に応じて回転運動を生じる指示器を備えた
螺せん構造体を内部に収容するハウジングを有し、前記
磁石は片持ばり状に一方の端部を固定されたリーフスプ
リング部材の他方の端部に装着されると共に、前記螺せ
ん構造体との間に磁気的結合が保たれ、前記双方の室の
一つないし二つで圧力の変化する間、前記リーフスプリ
ング部材に結合されたダイアフラムと共に前記螺せん構
造体の軸心とほぼ平行に移動し、前記リーフスプリング
部材は前記螺せん構造体の軸心を横切る方向に延在する
ために該螺せん構造体と位置を合わせて設けられ、該リ
ーフスプリング部材のばねレートを調節する装置と、前
記殻体内に装着された電子回路と接続された歪みゲージ
手段とを備え、前記電子回路は前記歪みゲージ手段に一
定の電流を供給する手段および前記ダイアフラムのどち
らかの側の差圧から生じる挙動を感知して出される出力
に従って前記リーフスプリング部材の撓みが自由なこと
から、該リーフスプリング部材が撓むことにより発生し
た歪みゲージ信号を調節するための手段を備えた差圧ト
ランスミッタにおいて、前記歪みゲージ手段は前記リー
フスプリング部材のそれぞれの側に装着されたシリコン
センサチップから構成される歪みゲージを有し、前記リ
ーフスプリング部材の一方の側の前記センサチップは該
リーフスプリング部材の長手方向中心と平行に、かつ他
方の側の前記センサチップは該リーフスプリング部材の
長手方向中心に対し、垂直方向に向けられていることを
特徴とする差圧トランスミッタ。 ２、前記歪みゲージ信号が電子回路出力を与えるため、
前記リーフスプリング部材の撓みが自由なことから、該
リーフスプリング部材に撓みを与えている前記ダイアフ
ラムにより感知された圧力信号に比例することを特徴と
する請求項１記載の差圧トランスミッタ。 ３、前記出力信号が約４から２０ミリアンペアの範囲に
保たれることを特徴とする請求項２記載の差圧トランス
ミッタ。 ４、前記リーフスプリング部材の他の側がそれの下側で
あることを特徴とする請求項２記載の差圧トランスミッ
タ。 ５、指示トランスミッタに直列に接続された外部電源を
有するプロセス制御のための制御ループ回路であって、
該指示トランスミッタが前記外部電源に直列に順次接続
される固定値の抵抗に直列に順次接続されるようになっ
ているものにおいて、前記指示トランスミッタは高圧お
よび低圧室を区画する可撓性のダイアフラムを設けた圧
力空間を有するハウジングから構成される圧力ゲージと
、前記ハウジング内に軸まわりに回転可能に支承され、
指示器を有する螺せん構造体と、前記ハウジング内にあ
って、前記ダイアフラムの一方の側に横向きに置かれ、
かつその一端を該ハウジングに片持ばり状に固定された
リーフスプリングと、このリーフスプリングの自由端に
設けられ、それの直線状の移動に合わせて前記螺せん構
造体に回転運動を生じさせる磁石と、前記リーフスプリ
ングの有効長さおよびその有効長さを変える支点を定め
るために該リーフスプリングを締付ける手段と、前記ダ
イアフラムのどちらかの側に生じる差圧に応じて前記リ
ーフスプリングに撓みが発生するように該ダイアフラム
を該リーフスプリングの有効長さを与える部分に接続さ
れるリンクと、前記リーフスプリングの有効長さを与え
る部分のそれぞれの側に装着され、直線で囲われたシリ
コンセンサチップから構成され、前記ダイアフラムおよ
び前記リーフスプリングの撓みが自由であるとき、平衡
している感知要素を有する歪みゲージと、前記ダイアフ
ラムの一方の側に横向きに置かれ、しかも前記リーフス
プリングと平行に、かつ間隔を保持して設けられた回路
盤と、前記回路盤上に設けられ、前記歪みゲージに直流
電流を供給する手段および前記ダイアフラムのどちらか
の側の差圧から生じる挙動を感知して出される出力に従
って前記リーフスプリングの撓みが自由なことから、該
リーフスプリングの有効長さを与える部分が撓むことに
より発生した歪みゲージ信号を増幅する手段を有する電
子回路とを備え、前記リーフスプリングの一の側のシリ
コンセンサチップは該リーフスプリングの長手方向と平
行に、他の側のシリコンセンサチップは該リーフスプリ
ングの長手方向中心に対し、垂直に配置されることを特
徴とする制御ループ回路。 ６、前記歪みゲージ信号は出力を与えるために前記リー
フスプリングの撓みが自由なことから、該リーフスプノ
ングの有効長さを与える部分に撓みを与えている前記ダ
イアフラムにより感知された圧力信号に比例しているこ
とを特徴とする請求項５記載の制御ループ回路。 ７、前記電子回路がゲージの操作範囲をセットするため
の第１のポテンションメータと、前記ダイアフラムおよ
び前記リーフスプリングが自由に撓み得るとき、約４ミ
リアンペアの出力となるようにゲージ零調整をセットす
るための第２のポテンションメータとを備えることを特
徴とする請求項５記載の制御ループ回路。 ８、前記ハウジングが前記高圧および低圧室を高圧およ
び低圧の流体源とそれぞれ分離して接続するように形成
されることを特徴とする請求項５記載の制御ループ回路
。 ９、高圧および低圧室を区画する可撓性のダイアフラム
を設けた圧力空間を有するハウジングと、このハウジン
グ内にあって、前記ダイアフラムの一方の側に横向きに
置かれ、かつその一端を該ハウジングに片持ばり状に固
定されたリーフスプリングと、前記リーフスプリングの
有効長さおよびその有効長さを変える支点を定めるため
に該リーフスプリングを締付ける締付け手段と、前記ダ
イアフラムのどちらかの側に生じる差圧に応じて前記リ
ーフスプリングに撓みが発生するように該ダイアフラム
を該リーフスプリングの有効長さを与える部分に接続す
るリンクとを備えてなる圧力ゲージにおいて、前記リー
フスプリングの有効長さを与える部分のそれぞれの側に
装着され、直線で囲われたシリコンセンサチップから構
成される感知要素を有する歪みゲージを備え、前記リー
フスプリングの一の側のシリコンセンサチップは該リー
フスプリングの長手方向中心と平行に、他の側のシリコ
ンチップセンサは該リーフスプリングの長手方向中心に
対し垂直に配置されることを特徴とする圧力ゲージ。 １０、前記ダイアフラムの一方の側に横向きに置かれ、
しかも前記リーフスプリングと平行に、かつ間隔を保持
して設けられた回路盤と、前記回路盤上に設けられ、前
記歪みゲージに直流電流を供給する手段および前記ダイ
アフラムのどちらかの側の差圧から生じる挙動を感知し
て出される出力に従って前記リーフスプリングの撓みが
自由なことから、該リーフスプリングの有効長さを与え
る部分が撓むことにより発生した歪みゲージ信号を増幅
する手段を有する電子回路とを備え、前記シリコンセン
サチップが自己温度保償形式を保つようにホイートスト
ンブリッジ回路を形成して接続され、前記回路は前記電
子回路に接続されると共に、前記ダイアフラムおよび前
記リーフスプリングの撓みが自由であるとき、平衡して
いることを特徴とする請求項９記載の圧力ゲージ。
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