JPH0279034U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0279034U JPH0279034U JP15766488U JP15766488U JPH0279034U JP H0279034 U JPH0279034 U JP H0279034U JP 15766488 U JP15766488 U JP 15766488U JP 15766488 U JP15766488 U JP 15766488U JP H0279034 U JPH0279034 U JP H0279034U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cassette
- wafer
- parking
- base plate
- moving
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 9
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 1
Description
第１図は、本考案に従つた一つの実施例の斜視
図である、第２Ａ図は本考案に従つた実施例のセ
ンサプレートの位置部を示した平面図である。第
２Ｂ図は第２Ａ図で示したセンサプレートの側面
図である。 符号の説明、１……台板、２……センサプレー
ト、３ａ……投光器、３ａ′……投光部、３ｂ…
…受光器、３ｂ′……受光部、４……昇降器、５
……ガイド部材、６……駐止部材、７……固定器
、１２……ウエハ。
図である、第２Ａ図は本考案に従つた実施例のセ
ンサプレートの位置部を示した平面図である。第
２Ｂ図は第２Ａ図で示したセンサプレートの側面
図である。 符号の説明、１……台板、２……センサプレー
ト、３ａ……投光器、３ａ′……投光部、３ｂ…
…受光器、３ｂ′……受光部、４……昇降器、５
……ガイド部材、６……駐止部材、７……固定器
、１２……ウエハ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 半導体ウエハ収納用のカセツトを台板のカ
セツト載置位置へ案内し、該カセツトの正確な位
置決めを行う位置決め機構と、 上記カセツトに対するウエハ検出位置及び待機
位置間を移動自在に設けられ且つ投光器と受光器
との組み合わせからなるセンサがカセツトのウエ
ハ装填仕様に応じ複数同一面上に配設されるセン
サプレートと、 該センサプレートを上記ウエハ検出位置及び待
機位置間で移動させるセンサプレートの移動機構
とを具備して成る、 ことを特徴とするウエハ検出器。 (2) 上記位置決め機構が、 台板のカセツト載置位置へ上記カセツトを案内
するためのガイド部材と、 案内された上記カセツトを駐止するカセツト駐
止部材と、 該カセツト駐止部材方向へ上記カセツトを押し
付けるようにしてカセツト載置位置に固定する固
定器とを備えて成る ことを特徴とする上記請求項(1)記載のウエハ
検出器。 (3) 上記位置決め機構が、 傾斜した台板のカセツト載置位置へ上記カセツ
トを案内するためのガイド部材と、 案内された上記カセツトを駐止するカセツト駐
止部材とを備えて成り重力によつてカセツトの位
置決めを行うことを特徴とする上記請求項(1)記
載のウエハ検出器。 (4) 上記センサプレートの移動機構が、 上記センサプレートを昇降して上記カセツトの
背面解放部近傍にあるウエハ検出位置と上記台板
側の待機位置との間を移動させるための昇降器で
なることを特徴とする上記請求項(1)，(2)及び(3
)記載のウエハ検出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15766488U JPH0279034U (ja) | 1988-12-05 | 1988-12-05 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15766488U JPH0279034U (ja) | 1988-12-05 | 1988-12-05 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0279034U true JPH0279034U (ja) | 1990-06-18 |
Family
ID=31437305
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15766488U Pending JPH0279034U (ja) | 1988-12-05 | 1988-12-05 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0279034U (ja) |
-
1988
- 1988-12-05 JP JP15766488U patent/JPH0279034U/ja active Pending
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