JPH02732U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH02732U JPH02732U JP7874688U JP7874688U JPH02732U JP H02732 U JPH02732 U JP H02732U JP 7874688 U JP7874688 U JP 7874688U JP 7874688 U JP7874688 U JP 7874688U JP H02732 U JPH02732 U JP H02732U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plate
- shaped object
- placement surface
- holding
- gas
- Prior art date
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- Pending
Links
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 1
Landscapes
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例の断面図、第２図
はその分解斜視図である。 １……板状処理物、２……保持台、２ａ……載
置面、３……押え枠、３ａ……押え面、４……気
体導入手段、７……気体圧調整装置。
はその分解斜視図である。 １……板状処理物、２……保持台、２ａ……載
置面、３……押え枠、３ａ……押え面、４……気
体導入手段、７……気体圧調整装置。
Claims (1)
- 板状処理物を載せる凹円筒面状の載置面を有す
る保持台と、前記載置面に整合する凸円筒面状の
押え面を有し前記載置面に載置された板状処理物
の周縁を押える押え枠と、前記載置面と前記板状
処理物との隙間に気体を導入する気体導入手段と
を備えた板状処理物保持装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7874688U JPH02732U (ja) | 1988-06-13 | 1988-06-13 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7874688U JPH02732U (ja) | 1988-06-13 | 1988-06-13 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02732U true JPH02732U (ja) | 1990-01-05 |
Family
ID=31303647
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7874688U Pending JPH02732U (ja) | 1988-06-13 | 1988-06-13 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02732U (ja) |
-
1988
- 1988-06-13 JP JP7874688U patent/JPH02732U/ja active Pending