JPH0273163A - プローブ装置 - Google Patents
プローブ装置Info
- Publication number
- JPH0273163A JPH0273163A JP22459088A JP22459088A JPH0273163A JP H0273163 A JPH0273163 A JP H0273163A JP 22459088 A JP22459088 A JP 22459088A JP 22459088 A JP22459088 A JP 22459088A JP H0273163 A JPH0273163 A JP H0273163A
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- Japan
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- probe
- test head
- monitoring means
- movable body
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- Prior art date
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Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 title claims abstract description 37
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims abstract description 31
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 3
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 claims description 26
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 10
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Manipulator (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
発明の目的
（産業上の利用分野）
本発明は、プローブ装置に関するものである。
（従来の技術）
近時、半導体素子は、高集積化、高密度化の傾向が顕著
であり、そのため、半導体素子を電気的に検査するため
のウエハプローバ等のプローブ装置のテストヘッドは、
必然的に大形化になると共に、プローブ装置自体も複雑
化の傾向にあり、しかもプローブ本体の検査ステージや
操作スペースに突起操作部分が多数形成される傾向にあ
る。
であり、そのため、半導体素子を電気的に検査するため
のウエハプローバ等のプローブ装置のテストヘッドは、
必然的に大形化になると共に、プローブ装置自体も複雑
化の傾向にあり、しかもプローブ本体の検査ステージや
操作スペースに突起操作部分が多数形成される傾向にあ
る。
（発明が解決しようとする課題）
上記のように、従来のプローブ装置のテストヘッドは、
大形で厚みを増しているため、テストヘッドの上部にセ
ットしたマイクロスコープ等の監視手段でテストヘッド
の貫通孔より半導体ウェハを監視する場合、マイクロス
コープから半導体ウェハまでの距離が長く、通常のマイ
クロスコープで見るには不十分であった。特に、テスト
ヘッドを必要としない場合には、半導体ウェハまでの距
離が長いままで監視せざるを得なかった。
大形で厚みを増しているため、テストヘッドの上部にセ
ットしたマイクロスコープ等の監視手段でテストヘッド
の貫通孔より半導体ウェハを監視する場合、マイクロス
コープから半導体ウェハまでの距離が長く、通常のマイ
クロスコープで見るには不十分であった。特に、テスト
ヘッドを必要としない場合には、半導体ウェハまでの距
離が長いままで監視せざるを得なかった。
また、プローブ本体の検査ステージや操作スペースに多
数の突起部分が形成されているために、検査工程におい
てこの突起部分が邪魔になり、検査に支障がある場合も
あった。
数の突起部分が形成されているために、検査工程におい
てこの突起部分が邪魔になり、検査に支障がある場合も
あった。
本発明は、上記の実情に鑑み、従来の課題を解決するた
めに開発したもので、テストヘッドが厚みを有する場合
であっても、また、テストヘッドの有無に関係なく、通
常のマイクロスコープ等の監視手段を用いることができ
、しかも、検査工程において突起物が極力邪魔にならな
いような構造にすることを目的としたプローブ装置を提
供するものである。
めに開発したもので、テストヘッドが厚みを有する場合
であっても、また、テストヘッドの有無に関係なく、通
常のマイクロスコープ等の監視手段を用いることができ
、しかも、検査工程において突起物が極力邪魔にならな
いような構造にすることを目的としたプローブ装置を提
供するものである。
発明の構成
（課題を解決するための手段）
上記の目的を達成するため１本発明はプローブ本体に設
けた被検査体にテストヘッドのプローブ端子を接触させ
て検査するに際し、プローブ本体上方に支持軸を立設し
、この支持軸に可動体を設け、この可動体に被検査体を
観察可能に監視手段を取付け、この監視手段を被検査体
までの光学的視野にテストヘッドの有無に関係なく監視
するように構成した。
けた被検査体にテストヘッドのプローブ端子を接触させ
て検査するに際し、プローブ本体上方に支持軸を立設し
、この支持軸に可動体を設け、この可動体に被検査体を
観察可能に監視手段を取付け、この監視手段を被検査体
までの光学的視野にテストヘッドの有無に関係なく監視
するように構成した。
（作 用）
プローブ本体上にテストヘッドがセットされている場合
、マイクロスコープ等の監視手段をテストヘッド上に移
動する際には、上部の可動体を支持軸を中心にしてプロ
ーブ本体上を平行に移動してセットする。
、マイクロスコープ等の監視手段をテストヘッド上に移
動する際には、上部の可動体を支持軸を中心にしてプロ
ーブ本体上を平行に移動してセットする。
プローブ本体上にテストヘッドがセットされていない場
合は、下部の可動体を支持軸を中心にしてプローブ本体
上を平行に移動してセットすると、半導体ウェハ等の被
検査体に近接した位置でマイクロスコープ等の監視手段
を有効に使用することができる。
合は、下部の可動体を支持軸を中心にしてプローブ本体
上を平行に移動してセットすると、半導体ウェハ等の被
検査体に近接した位置でマイクロスコープ等の監視手段
を有効に使用することができる。
また、可動体の監視手段取付位置の近傍部分を回動させ
ると、使用していないときのマイクロスコープ等の監視
手段が、プローブ本体上の突起物に接触することなく検
査工程に支障を与えることがない。
ると、使用していないときのマイクロスコープ等の監視
手段が、プローブ本体上の突起物に接触することなく検
査工程に支障を与えることがない。
（実施例）
本発明におけるプローブ装置をウエハプローバに適用し
た場合の一実施例を図面に従って説明する。
た場合の一実施例を図面に従って説明する。
プローブ本体１上に１本の支持軸２を立設し、この支持
軸２の外周面の上部位置に可動体３を回動可能に設け、
この可動体３に設けたアーム４の先端に、マイクロスコ
ープ、ＩＴＶカメラ等の監視手段５を取付ける取付部材
６を設ける。
軸２の外周面の上部位置に可動体３を回動可能に設け、
この可動体３に設けたアーム４の先端に、マイクロスコ
ープ、ＩＴＶカメラ等の監視手段５を取付ける取付部材
６を設ける。
この支持軸２の外周面の下部位置に可動体１３を回動可
能に設け、この可動体１３に設けたアーム１４の先端に
、マイクロスコープ等の監視手段１５を取付けるための
取付部材１６を設ける。
能に設け、この可動体１３に設けたアーム１４の先端に
、マイクロスコープ等の監視手段１５を取付けるための
取付部材１６を設ける。
この取付部材１６の構造を第４図において説明すると、
アーム４の先端部に設けた保持軸７の外周に係止孔８を
形成し、係止棒９を外方に引くと係止孔８から係止棒９
が離脱する。通常時は係止孔８から係止棒９が離脱して
おり、先端がリング状の取付環１０が自由に回転するこ
とができ、収納時には水平方向に設けである係止孔８に
係止棒９が係合するので、マイクロスコープ、ＩＴＶカ
メラ等の監視手段５は略９０度回動して横向きになり１
例えばキャリアＣ等がある場合には、邪魔にならず極め
て有効である。
アーム４の先端部に設けた保持軸７の外周に係止孔８を
形成し、係止棒９を外方に引くと係止孔８から係止棒９
が離脱する。通常時は係止孔８から係止棒９が離脱して
おり、先端がリング状の取付環１０が自由に回転するこ
とができ、収納時には水平方向に設けである係止孔８に
係止棒９が係合するので、マイクロスコープ、ＩＴＶカ
メラ等の監視手段５は略９０度回動して横向きになり１
例えばキャリアＣ等がある場合には、邪魔にならず極め
て有効である。
また、本例では、監視手段を２個設けた場合を説明した
が、これに限定することなく複数の監視手段を上記の例
に倣って取付けることができる。
が、これに限定することなく複数の監視手段を上記の例
に倣って取付けることができる。
また、プローブ本体１には、軸１７を介して回動するテ
ス１へヘッド１８が設けられ、このテストヘッド１８に
は貫通孔１９があけられ、この貫通孔１９に望遠レンズ
２０が装入されており、上部の監視手段５の監視を高精
度に行なうようにしている。
ス１へヘッド１８が設けられ、このテストヘッド１８に
は貫通孔１９があけられ、この貫通孔１９に望遠レンズ
２０が装入されており、上部の監視手段５の監視を高精
度に行なうようにしている。
また、プローブ本体１の上面に凹部２１を形成し、この
四部２１に傾斜面２２を設け、この傾斜面２２に、イン
カー、カードセンサ或はプローブセンサ等のコネクタ部
２３を設けて、コネクタ部２３がプローブ本体１の上面
より露出しないようにして検査工程に支障がないように
しており、イン力等のケーブル２４は凹部２１内に位置
しているコネクタ部２３と連結するようにしている。
四部２１に傾斜面２２を設け、この傾斜面２２に、イン
カー、カードセンサ或はプローブセンサ等のコネクタ部
２３を設けて、コネクタ部２３がプローブ本体１の上面
より露出しないようにして検査工程に支障がないように
しており、イン力等のケーブル２４は凹部２１内に位置
しているコネクタ部２３と連結するようにしている。
次に上記実施例の作用を説明する。
プローブ本体１上にテストヘッド１８がセットされてい
る場合、マイクロスコープ等の監視手段５．１５をテス
トヘッド１８上に移動する際には、上部の可動体３を支
持軸２を中心にしてプローブ本体１上を平行に移動して
図示しないストッパ機構を介してテストヘッド１８上に
セットする。
る場合、マイクロスコープ等の監視手段５．１５をテス
トヘッド１８上に移動する際には、上部の可動体３を支
持軸２を中心にしてプローブ本体１上を平行に移動して
図示しないストッパ機構を介してテストヘッド１８上に
セットする。
プローブ本体１上にテストヘッド１８がセットされてい
ない場合は、下部の可動体１３を支持軸２を中心にして
プローブ本体上上を平行に移動してセットすると、半導
体ウェハ等の被検査体に近接した位置でマイクロスコー
プ等の監視手段１５を有効に使用することができる。
ない場合は、下部の可動体１３を支持軸２を中心にして
プローブ本体上上を平行に移動してセットすると、半導
体ウェハ等の被検査体に近接した位置でマイクロスコー
プ等の監視手段１５を有効に使用することができる。
また、可動体の監視手段取付位置の近傍部分である係止
棒９を外方に引くと、係止孔８から離脱して取付Ｑ１０
の部分が９０度回動するので、マイクロスコープ等の監
視手段が横向きになり、監視手段を使用しないときに検
査時に邪魔になることがない。
棒９を外方に引くと、係止孔８から離脱して取付Ｑ１０
の部分が９０度回動するので、マイクロスコープ等の監
視手段が横向きになり、監視手段を使用しないときに検
査時に邪魔になることがない。
なお、上記実施例では、回転操作系を設けた例について
説明したが、上下動機構のみでも良い６見匪座塾困 以上のことから明らかなように、本発明によると、テス
トヘッドが厚みを有する場合であっても、また、テスト
ヘッドの有無に関係なく、通常のマイクロスコープ等の
監視手段を用いることができ、るため、高精度の監視が
可能であるばかりでなく、経済性にも優れており、しか
も、検査工程において突起物が極力邪魔にならないよう
に効率的に設計されているため、使い勝手が極めて良好
である等の有用な効果がある。
説明したが、上下動機構のみでも良い６見匪座塾困 以上のことから明らかなように、本発明によると、テス
トヘッドが厚みを有する場合であっても、また、テスト
ヘッドの有無に関係なく、通常のマイクロスコープ等の
監視手段を用いることができ、るため、高精度の監視が
可能であるばかりでなく、経済性にも優れており、しか
も、検査工程において突起物が極力邪魔にならないよう
に効率的に設計されているため、使い勝手が極めて良好
である等の有用な効果がある。
図面は、本発明の一実施例を示したもので、第１図はプ
ローブ装置の側面図、第２図は同上の正面図、第３図は
同上の平面図、第４図は可動体の部分拡大図である。 １・・・・プローブ本体 ２・・・・支持軸 ３・・・・可動体 ５・・・・監視手段 １８・・・・テストヘッド 特 許 出 願 人 東京エレクトロン株式会社第１図 第２図 第 図 第 図
ローブ装置の側面図、第２図は同上の正面図、第３図は
同上の平面図、第４図は可動体の部分拡大図である。 １・・・・プローブ本体 ２・・・・支持軸 ３・・・・可動体 ５・・・・監視手段 １８・・・・テストヘッド 特 許 出 願 人 東京エレクトロン株式会社第１図 第２図 第 図 第 図
Claims (1)
- プローブ本体に設けた被検査体にテストヘッドのプロー
ブ端子を接触させて検査するに際し、プローブ本体上方
に支持軸を立設し、この支持軸に可動体を設け、この可
動体に被検査体を観察可能に監視手段を取付け、この監
視手段を被検査体までの光学的視野にテストヘッドの有
無に関係なく監視するようにしたプローブ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63224590A JP2566157B2 (ja) | 1988-09-09 | 1988-09-09 | プローブ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63224590A JP2566157B2 (ja) | 1988-09-09 | 1988-09-09 | プローブ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0273163A true JPH0273163A (ja) | 1990-03-13 |
| JP2566157B2 JP2566157B2 (ja) | 1996-12-25 |
Family
ID=16816113
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63224590A Expired - Lifetime JP2566157B2 (ja) | 1988-09-09 | 1988-09-09 | プローブ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2566157B2 (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61129339U (ja) * | 1985-01-31 | 1986-08-13 | ||
| JPS63114228A (ja) * | 1986-10-31 | 1988-05-19 | Tokyo Electron Ltd | プローブ装置 |
-
1988
- 1988-09-09 JP JP63224590A patent/JP2566157B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61129339U (ja) * | 1985-01-31 | 1986-08-13 | ||
| JPS63114228A (ja) * | 1986-10-31 | 1988-05-19 | Tokyo Electron Ltd | プローブ装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2566157B2 (ja) | 1996-12-25 |
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