JPH0268437U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0268437U JPH0268437U JP14917588U JP14917588U JPH0268437U JP H0268437 U JPH0268437 U JP H0268437U JP 14917588 U JP14917588 U JP 14917588U JP 14917588 U JP14917588 U JP 14917588U JP H0268437 U JPH0268437 U JP H0268437U
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- JP
- Japan
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- circuit elements
- width
- wiring
- semiconductor device
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- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 2
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)
- Design And Manufacture Of Integrated Circuits (AREA)
Description
第1図a,bはそれぞれ本考案の一実施例を示
す平面図及び第1図aのA―A′断面図、第2図
a,bはそれぞれ本考案の他の実施例を示す平面
図及び第2図aのA―A′断面図、第3図a,b
はそれぞれ配線寸法を説明するための露光マス3
の断面図及び該マスクを用いて形成したパターン
のエツチング後の断面図である。 1……半導体基板(回路素子は省略)、2……
絶縁膜、3……配線領域、4,7′……導電膜、
5……レジスト、6,6′……マスク(6は透明
部、6′は不透明部)、7……配線幅モニターパ
ターン、7″……間隔(スペース)、WM……マ
スク寸法(設計寸法)、W1……レジスト寸法、
W2……配線寸法、W′……配線幅モニター寸法
(最小配線幅)、W″……配線幅モニター寸法(
△W=WM―W2)。
す平面図及び第1図aのA―A′断面図、第2図
a,bはそれぞれ本考案の他の実施例を示す平面
図及び第2図aのA―A′断面図、第3図a,b
はそれぞれ配線寸法を説明するための露光マス3
の断面図及び該マスクを用いて形成したパターン
のエツチング後の断面図である。 1……半導体基板(回路素子は省略)、2……
絶縁膜、3……配線領域、4,7′……導電膜、
5……レジスト、6,6′……マスク(6は透明
部、6′は不透明部)、7……配線幅モニターパ
ターン、7″……間隔(スペース)、WM……マ
スク寸法(設計寸法)、W1……レジスト寸法、
W2……配線寸法、W′……配線幅モニター寸法
(最小配線幅)、W″……配線幅モニター寸法(
△W=WM―W2)。
Claims (1)
- Si,GaAs等の半導体基板に抵抗、ダイオ
ード、トランジスタ等の回路素子が形成された半
導体装置に於て、該回路素子とは電気的に分離さ
れた該回路素子を電気的に接続する配線導体の幅
を実測することなく管理できる配線幅モニターパ
ターンを有することを特徴とする半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14917588U JPH0268437U (ja) | 1988-11-15 | 1988-11-15 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14917588U JPH0268437U (ja) | 1988-11-15 | 1988-11-15 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0268437U true JPH0268437U (ja) | 1990-05-24 |
Family
ID=31421166
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP14917588U Pending JPH0268437U (ja) | 1988-11-15 | 1988-11-15 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0268437U (ja) |
-
1988
- 1988-11-15 JP JP14917588U patent/JPH0268437U/ja active Pending