JPH0268437U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0268437U JPH0268437U JP14917588U JP14917588U JPH0268437U JP H0268437 U JPH0268437 U JP H0268437U JP 14917588 U JP14917588 U JP 14917588U JP 14917588 U JP14917588 U JP 14917588U JP H0268437 U JPH0268437 U JP H0268437U
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- JP
- Japan
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- circuit elements
- width
- wiring
- semiconductor device
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- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 2
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)
- Design And Manufacture Of Integrated Circuits (AREA)
Description
第１図ａ，ｂはそれぞれ本考案の一実施例を示
す平面図及び第１図ａのＡ―Ａ′断面図、第２図
ａ，ｂはそれぞれ本考案の他の実施例を示す平面
図及び第２図ａのＡ―Ａ′断面図、第３図ａ，ｂ
はそれぞれ配線寸法を説明するための露光マス３
の断面図及び該マスクを用いて形成したパターン
のエツチング後の断面図である。 １……半導体基板（回路素子は省略）、２……
絶縁膜、３……配線領域、４，７′……導電膜、
５……レジスト、６，６′……マスク（６は透明
部、６′は不透明部）、７……配線幅モニターパ
ターン、７″……間隔（スペース）、ＷＭ……マ
スク寸法（設計寸法）、Ｗ１……レジスト寸法、
Ｗ２……配線寸法、Ｗ′……配線幅モニター寸法
（最小配線幅）、Ｗ″……配線幅モニター寸法（
△Ｗ＝ＷＭ―Ｗ２）。
す平面図及び第１図ａのＡ―Ａ′断面図、第２図
ａ，ｂはそれぞれ本考案の他の実施例を示す平面
図及び第２図ａのＡ―Ａ′断面図、第３図ａ，ｂ
はそれぞれ配線寸法を説明するための露光マス３
の断面図及び該マスクを用いて形成したパターン
のエツチング後の断面図である。 １……半導体基板（回路素子は省略）、２……
絶縁膜、３……配線領域、４，７′……導電膜、
５……レジスト、６，６′……マスク（６は透明
部、６′は不透明部）、７……配線幅モニターパ
ターン、７″……間隔（スペース）、ＷＭ……マ
スク寸法（設計寸法）、Ｗ１……レジスト寸法、
Ｗ２……配線寸法、Ｗ′……配線幅モニター寸法
（最小配線幅）、Ｗ″……配線幅モニター寸法（
△Ｗ＝ＷＭ―Ｗ２）。
Claims (1)
- Ｓｉ，ＧａＡｓ等の半導体基板に抵抗、ダイオ
ード、トランジスタ等の回路素子が形成された半
導体装置に於て、該回路素子とは電気的に分離さ
れた該回路素子を電気的に接続する配線導体の幅
を実測することなく管理できる配線幅モニターパ
ターンを有することを特徴とする半導体装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14917588U JPH0268437U (ja) | 1988-11-15 | 1988-11-15 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14917588U JPH0268437U (ja) | 1988-11-15 | 1988-11-15 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0268437U true JPH0268437U (ja) | 1990-05-24 |
Family
ID=31421166
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14917588U Pending JPH0268437U (ja) | 1988-11-15 | 1988-11-15 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0268437U (ja) |
-
1988
- 1988-11-15 JP JP14917588U patent/JPH0268437U/ja active Pending