JPH0261958U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0261958U JPH0261958U JP14030488U JP14030488U JPH0261958U JP H0261958 U JPH0261958 U JP H0261958U JP 14030488 U JP14030488 U JP 14030488U JP 14030488 U JP14030488 U JP 14030488U JP H0261958 U JPH0261958 U JP H0261958U
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- JP
- Japan
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- substrate
- transfer device
- vapor phase
- phase growth
- substrate transfer
- Prior art date
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- Granted
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 10
- 238000001947 vapour-phase growth Methods 0.000 claims description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Description
第1図及び第2図は本考案の一実施例を示すも
ので、第1図は横型気相成長装置の断面側面図、
第2図は要部の断面平面図、第3図及び第4図は
従来の横型気相成長装置を示すもので、第3図は
断面側面図、第4図は要部の断面側面図である。 2……反応室、3……前室、5……基板搬送装
置、7……可撓管、8……ガイド筒、9……基板
載置部、11……ガイド棒、25……保持台、3
0,31……連結材、32……支持ピン、40…
…昇降装置、P……基板。
ので、第1図は横型気相成長装置の断面側面図、
第2図は要部の断面平面図、第3図及び第4図は
従来の横型気相成長装置を示すもので、第3図は
断面側面図、第4図は要部の断面側面図である。 2……反応室、3……前室、5……基板搬送装
置、7……可撓管、8……ガイド筒、9……基板
載置部、11……ガイド棒、25……保持台、3
0,31……連結材、32……支持ピン、40…
…昇降装置、P……基板。
Claims (1)
- 基板に気相成長を行う反応室と該基板の入れ替
えを行う前室との間の基板の搬送を、該前室に連
設したガイド筒の内部を先端部に基板載置部を有
して水平方向に移動するガイド棒で行う基板搬送
装置を有する横型気相成長装置において、前記基
板搬送装置のガイド筒と前記前室とを可撓管で接
続し、該可撓管の近傍で該基板搬送装置の前端側
を前記前室または床面に立設した連結材に回動可
能に連結すると共に、該基板搬送装置の後端側を
昇降可能に支持し、前記前室または床面に立設し
た連結材との連結部を支点として基板搬送装置を
垂直方向に傾動可能としたことを特徴とする横型
気相成長装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14030488U JPH0613257Y2 (ja) | 1988-10-27 | 1988-10-27 | 横型気相成長装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14030488U JPH0613257Y2 (ja) | 1988-10-27 | 1988-10-27 | 横型気相成長装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0261958U true JPH0261958U (ja) | 1990-05-09 |
JPH0613257Y2 JPH0613257Y2 (ja) | 1994-04-06 |
Family
ID=31404348
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP14030488U Expired - Lifetime JPH0613257Y2 (ja) | 1988-10-27 | 1988-10-27 | 横型気相成長装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0613257Y2 (ja) |
-
1988
- 1988-10-27 JP JP14030488U patent/JPH0613257Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0613257Y2 (ja) | 1994-04-06 |