JPH0261639A - Photosensitive resin composition - Google Patents

Photosensitive resin composition

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JPH0261639A
JPH0261639A JP21414388A JP21414388A JPH0261639A JP H0261639 A JPH0261639 A JP H0261639A JP 21414388 A JP21414388 A JP 21414388A JP 21414388 A JP21414388 A JP 21414388A JP H0261639 A JPH0261639 A JP H0261639A
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JP
Japan
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compd
resin composition
photosensitive resin
compound
skelton
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Toshihiko Yasue
敏彦 安江
Yoshikazu Sakaguchi
坂口 芳和
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Ibiden Co Ltd
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Abstract

PURPOSE:To make it possible to form the org. insulating layer with excellent heat-resisting property and flexibility by incorporating specified photopolymerizable compd. and photoploymerization initiator in the subject composition. CONSTITUTION:Each of hydroxy groups of a compd. (A) having a bisphenol skelton added ethylene oxide at the end groups thereof respectively are related with each hydroxyl groups contd. in a polyhydric (meth)acrylate compd. (B), and a polyisocyanate compd. (C) having plural isocyanate groups is interposed between each of the hydroxyl groups of the compds (A) and (B). Each of the hydroxyl groups of the compds. (A) and (B) are allowed to react with the isocyanate groups of the polyisocyanate compd. (C) respectively to form the photopolymerizable compd. The resin composition contains the photopolymerizable compd. and the photopolymerization initiator capable of generating a radical by activated rays. As the skelton of the photopolymerizable compd. constituting the main part of the composition is composed of a bisphenol skelton, the heat-resisting property of the resin composition is improved, and as the ethylene oxide is added to each end hydroxyl groups of the compd. (A) having the bisphenol skelton respectively, the sticking property of the composition is improved. As a urethane binding is formed between the bisphenol skelton and a (meth)acryloyl group which is a photopolymerization reactive group, the heat and impact resistance of the composition is improved.

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は感光性樹脂組成物に関し、更に詳しくは多層印
刷配線板製造に使用する層間絶縁被膜形成用の感光性樹
脂組成物に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Field of Industrial Application) The present invention relates to a photosensitive resin composition, and more particularly to a photosensitive resin composition for forming an interlayer insulation coating used in the production of multilayer printed wiring boards.

(従来の技術) 近年、プリント配線板において、高密度化を目的として
配線回路が多層に形成された多層プリント配線板が使用
されている。
(Prior Art) In recent years, multilayer printed wiring boards in which wiring circuits are formed in multiple layers have been used in printed wiring boards for the purpose of increasing density.

従来、多層プリント配線板としては、内層回路が形成さ
れた複数の回路板をプリプレグをvIA縁litとして
積層プレスして接着した後、スルーホールによって各内
層回路を接続した多層プリント配線板が使用されていた
Conventionally, a multilayer printed wiring board has been used in which a plurality of circuit boards on which inner layer circuits have been formed are laminated and pressed together using prepreg as a vIA edge lit, and then the inner layer circuits are connected through through holes. was.

しかしながら、このような多層プリント配線板は、配線
板を貫通するスルーホールを形成して所望の内層回路を
接続させているため、各内層回路は接続不要なスルーホ
ールを迂回した複雑な回路となり、回路を高密度化する
ことは困難であった。
However, in such a multilayer printed wiring board, since through holes passing through the wiring board are formed to connect desired inner layer circuits, each inner layer circuit becomes a complicated circuit that bypasses through holes that do not require connection. It has been difficult to increase the density of circuits.

この困難さを解決することのできる多層プリント配線板
としては、最近になって導体回路と感光性樹脂組成物に
よって形成される有機絶縁層とを交互にビルドアップし
た多層プリント配線板の開発が活発にすすめられている
。この多層プリント配線板は、超高密度化に適したもの
である。
As a multilayer printed wiring board that can solve this difficulty, recently there has been active development of multilayer printed wiring boards that alternately build up conductor circuits and organic insulating layers formed from photosensitive resin compositions. is recommended. This multilayer printed wiring board is suitable for ultra-high density.

従来、上述の如き有機絶縁層を形成するための感光性樹
脂組成物としては、感光性ポリイミド樹脂、アクリル系
ポリマーおよび光重合性モノマーを主成分とする感光性
樹脂、感光基を付加したエポキシ樹脂を主成分とする感
光性樹脂が知られている。
Conventionally, photosensitive resin compositions for forming the above-mentioned organic insulating layer include photosensitive polyimide resins, photosensitive resins containing acrylic polymers and photopolymerizable monomers as main components, and epoxy resins to which photosensitive groups have been added. Photosensitive resins containing as a main component are known.

しかしながら、前記樹脂組成物は下記に述べる如き欠点
を有するものであって、適用分野はごく限られた範囲に
止まるものであった。
However, the resin compositions have the following drawbacks, and the field of application is limited to a very limited range.

すなわち、前記感光性ポリイミド樹脂は硬化時に感光基
が飛散するため、厚い眉間絶縁膜を形成することが困難
であり、さらに、樹脂の耐アルカリ性が低いため、化学
銅めっきにより、配線パターンを形成することができな
い。
That is, the photosensitive polyimide resin scatters the photosensitive groups when cured, making it difficult to form a thick glabellar insulating film.Furthermore, since the resin has low alkali resistance, the wiring pattern is formed by chemical copper plating. I can't.

前記アクリル系ポリマーおよび光重合性モノマーを主成
分とする感光性樹脂は、アクリル系ポリマーを多量に含
有しているため、硬化被膜の耐熱性が十分でない。
Since the photosensitive resin whose main components are an acrylic polymer and a photopolymerizable monomer contains a large amount of an acrylic polymer, the cured film does not have sufficient heat resistance.

前記感光基を付加したエポキシ樹脂を主成分とする感光
性樹脂は、ノボランクエポキシ樹脂をべ〜スとしている
ため、硬化被膜が比較的脆いという問題点を有している
The photosensitive resin whose main component is an epoxy resin to which a photosensitive group has been added has a problem in that the cured film is relatively brittle because it is based on a novolane epoxy resin.

上述の如く、従来導体回路と有機絶縁層とを交互にビル
ドアップした多層プリント配線板の有機絶縁層を形成す
るための感光性樹脂組成物であって、耐熱性および可撓
性に優れた有機絶縁層を形成することが可能な感光性樹
脂組成物は、未だ知られていない。
As mentioned above, it is a photosensitive resin composition for forming an organic insulating layer of a multilayer printed wiring board in which a conventional conductor circuit and an organic insulating layer are alternately built up, and is an organic material with excellent heat resistance and flexibility. A photosensitive resin composition capable of forming an insulating layer is not yet known.

(発明が解決しようとする課題) 本発明は、上述の如き従来技術の欠点を除去し、耐熱性
および可撓性に優れた有機絶縁層を形成することが可能
な感光性樹脂組成物を提供することを目的とするもので
ある。
(Problems to be Solved by the Invention) The present invention provides a photosensitive resin composition that eliminates the drawbacks of the prior art as described above and is capable of forming an organic insulating layer with excellent heat resistance and flexibility. The purpose is to

(課題を解決するための手段) 本発明は、両末端にオキシラン化合物を付加したビスフ
ェノール骨格の化合物の水酸基のそれぞれに対して、少
なくとも1個の水酸基を有する多価(メタ)アクリレー
ト化合物が対応し、前記両化合物の水酸基間に、少なく
とも2個のイソシアネート基を存するポリイソシアネー
ト化合物が介在し、前記両化合物の水酸基と前記ポリイ
ソシアネート化合物のイソシアネート基とが反応してな
る光重合性化合物と活性光線によりラジカルを発生する
光重合開始剤を含有してなる感光性樹脂組成物に関する
(Means for Solving the Problems) The present invention provides that a poly(meth)acrylate compound having at least one hydroxyl group corresponds to each hydroxyl group of a bisphenol skeleton compound having an oxirane compound added to both ends. , a photopolymerizable compound in which a polyisocyanate compound having at least two isocyanate groups is interposed between the hydroxyl groups of both the compounds, and the hydroxyl groups of both the compounds react with the isocyanate groups of the polyisocyanate compound, and actinic light. The present invention relates to a photosensitive resin composition containing a photopolymerization initiator that generates radicals.

本発明の感光性樹脂組成物は、両末端にオキシラン化合
物を付加したビスフェノール骨格の化合物の水酸基のそ
れぞれに対して、少なくとも1個の水酸基を有する多価
(メタ)アクリレート化合物が対応し、前記両化合物の
水酸基間に、少なくとも2個のイソシアネート基を有す
るポリイソシアネート化合物が介在し、前記両化合物の
水酸基と前記ポリイソシアネート化合物のイソシアネー
ト基とが反応してなる光重合性化合物(以後、光重合性
化合物という)を含有する。
In the photosensitive resin composition of the present invention, a polyvalent (meth)acrylate compound having at least one hydroxyl group corresponds to each hydroxyl group of a bisphenol skeleton compound having an oxirane compound added to both ends, and both of the above-mentioned A photopolymerizable compound (hereinafter referred to as photopolymerizable compound) in which a polyisocyanate compound having at least two isocyanate groups is interposed between the hydroxyl groups of the compound, and the hydroxyl groups of both of the compounds react with the isocyanate groups of the polyisocyanate compound. (referred to as a chemical compound).

ところで、特開昭57−78415号公報に、ジオール
のウレタン(タグンアクリレートとケトン樹脂から構成
される感光性樹脂・組成物を印刷配線回路の永久保護及
び部品の半田付けの際の回路間の半田ブリッジ防止の目
的のためにソルダーレジストとして使用することが開示
されている。しかしながら、同公報に記載されている樹
脂は脂肪族炭化水素を骨格とするジオールが使用されて
いるのに対し、本願発明の樹脂は両末端にオキシラン化
合物を付加したビスフェノール骨格の化合物が使用され
ている点において同公報に記載の樹脂組成物と本願発明
の樹脂は全く異なる。しかも同公報記載の樹脂組成物は
耐熱性が低いのに対して、本願発明の樹脂組成物は耐熱
性が高く、作用効果の面においても全く異なっている。
By the way, Japanese Unexamined Patent Publication No. 57-78415 discloses that a photosensitive resin/composition composed of diol urethane (tagne acrylate and ketone resin) is used for permanent protection of printed wiring circuits and between circuits when soldering parts. It is disclosed that the resin described in this publication is used as a solder resist for the purpose of preventing solder bridges.However, while the resin described in the publication uses a diol having an aliphatic hydrocarbon skeleton, The resin composition described in the same publication and the resin of the present invention are completely different in that the resin of the invention uses a bisphenol skeleton compound with an oxirane compound added to both ends.Moreover, the resin composition described in the publication is heat resistant. In contrast, the resin composition of the present invention has high heat resistance, and is completely different in terms of operation and effect.

本発明における、この両末端にオキシラン化合物を付加
したビスフェノール骨格の化合物は、式1に示す一般式
で表されるものである。
In the present invention, the compound having a bisphenol skeleton with oxirane compounds added to both ends thereof is represented by the general formula shown in Formula 1.

H−(−011!、C,−)−0−0−R−0−0−(
−C,lIK、0七、−H弐1 Clユ     HS nとn′は同一または異なる1以上の整数、mは1以上
の整数を示す、]ここで、ビスフェノール骨格の化合物
を使用する理由は、この骨格により硬化後の耐熱性を高
めることができるからである。
H-(-011!, C,-)-0-0-R-0-0-(
-C, lIK, 07, -H21 Clyu HS n and n' are the same or different integers of 1 or more, m is an integer of 1 or more] Here, the reason for using a compound with a bisphenol skeleton is This is because this skeleton can improve the heat resistance after curing.

また、本発明は、このビスフェノール骨格の両末端にオ
キシラン化合物が付加されている。その理由は、このオ
キシラン化合物の鎖状構造により硬化物の可撓性を高め
ることにより、被塗布物との密着性を高めることができ
るからである。従って、両末端にオキシラン化合物を付
加したビスフェノール骨格の化合物は、高い耐熱性と可
撓性との両性能を合わせ持つことを可能とするものであ
る。ここでオキシラン化合物とは、エチレンオキシド、
プロピレンオキシド、ブチレンオキシド等オキシラン環
を有する化合物を総称するものである。
Furthermore, in the present invention, oxirane compounds are added to both ends of this bisphenol skeleton. This is because the chain structure of the oxirane compound increases the flexibility of the cured product, thereby increasing the adhesion to the object to be coated. Therefore, a bisphenol skeleton compound with an oxirane compound added to both ends can have both high heat resistance and flexibility. Here, oxirane compounds include ethylene oxide,
It is a general term for compounds having an oxirane ring such as propylene oxide and butylene oxide.

本発明の少な(とも2個のイソシアネート基を有するポ
リイソシアネートは例えば、2.4−トルエンジイソシ
アネート、2.6−1−ルエンジイソシアネート、キシ
リレンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネ
ート、メチルシクロヘキサン−2,4−ジイソシアネー
ト、インホロンジイソシアネートなどがあげられる。ま
た、これらの重合体を用いることも可能である。
The polyisocyanates of the present invention having at least two isocyanate groups are, for example, 2,4-toluene diisocyanate, 2,6-1-toluene diisocyanate, xylylene diisocyanate, hexamethylene diisocyanate, methylcyclohexane-2,4-diisocyanate. , inphorone diisocyanate, etc. It is also possible to use these polymers.

また、本発明において用いられる少なくとも1個の水酸
基を有する多価(メタ)アクリレートは一般的にはエポ
キシアクリレートあるいはエポキシエステルと呼称され
ているもので、例えば、共栄社油脂化学工業■製:商品
名:エボライ)80MF及び日本化薬■製:商品名: 
KAYARAD・PET−BO等がある。
Furthermore, the polyvalent (meth)acrylate having at least one hydroxyl group used in the present invention is generally referred to as epoxy acrylate or epoxy ester, and for example, manufactured by Kyoeisha Yushi Kagaku Kogyo ■: Trade name: Evolai) 80MF and Nippon Kayaku ■: Product name:
There are KAYARAD, PET-BO, etc.

次に本発明の光重合性化合物の製造方法の一例を簡単に
述べる。まず、両末端にオキシラン化合物を付加したビ
スフェノール骨格の化合物の少なくとも1種を50°C
ないし150°Cの温度において、少なくとも2個のイ
ソシアネート基を有するポリイソシアネートとを1〜5
時間反応させる。
Next, an example of the method for producing the photopolymerizable compound of the present invention will be briefly described. First, at least one compound having a bisphenol skeleton with oxirane compounds added to both ends was heated at 50°C.
1 to 5 polyisocyanates having at least 2 isocyanate groups at a temperature of from 1 to 150°C.
Allow time to react.

このとき、水酸基とイソシアネート基との当量関係は水
酸基に対してイソシアネート基を過剰にしておく6次に
、この反応物のイソシアネート基に対して、少なくとも
1個の水酸基を有する多価(メタ)アクリレートを反応
させる。反応温度は50°Cないし150°Cで1〜5
時間反応させる。
At this time, the equivalence relationship between the hydroxyl group and the isocyanate group is such that the isocyanate group is in excess of the hydroxyl group.6 Next, the poly(meth)acrylate having at least one hydroxyl group is added to the isocyanate group of this reactant. react. The reaction temperature is 1 to 5 at 50°C to 150°C.
Allow time to react.

このとき、イソシアネート基と水酸基との当量関係は、
はぼ当量になるように配合する。この光重合性化合物の
製造時には、メチルエチルケトン、トルエン、メチルイ
ソブチルケトンなどの溶剤を用いることができる。
At this time, the equivalent relationship between the isocyanate group and the hydroxyl group is
Mix so that the amounts are approximately equivalent. When producing this photopolymerizable compound, a solvent such as methyl ethyl ketone, toluene, methyl isobutyl ketone, etc. can be used.

このようにして、本発明の感光性樹脂組成物の必須成分
である光重合性化合物を得る。
In this way, a photopolymerizable compound which is an essential component of the photosensitive resin composition of the present invention is obtained.

本発明の感光性樹脂組成物は、活性光線によりラジカル
を発生する光重合開始剤(以後、光重合開始剤という)
を含有することが必要である。
The photosensitive resin composition of the present invention uses a photopolymerization initiator (hereinafter referred to as a photopolymerization initiator) that generates radicals when exposed to actinic rays.
It is necessary to contain

この光重合開始剤としては、例えばベンゾフェノン、1
−ヒドロキシシクロへキシルフェニルケトン、ペンジル
ジアルキルケクール、2−ヒドロキシ−2−メチルプロ
ピオフェノン、ミヒラーケトン、ベンゾインエチルエー
テル、2.4−ジアルキルチオキサントン、2−メチル
−1[4−(メチルチオ)フェニル】−2−モルフォリ
ノプロパノン等が挙げられる。さらに、前記光重合開始
剤に活性光線の吸収波長の異なる増感剤を組み合わせて
重合開始効率を向上させ、感度をより高くすることが出
来る。例えばベンゾフェノンとトリエタノールアミン、
2−メチル−1[4−(メチルチオ)フェニルコー2−
モルフォリノプロパノンとチオキサントン、ペンヂルジ
アルキルケクールとミヒラーケトンの組み合わせなどが
挙げられる。
Examples of the photopolymerization initiator include benzophenone, 1
-Hydroxycyclohexylphenylketone, penzyldialkylketone, 2-hydroxy-2-methylpropiophenone, Michler's ketone, benzoin ethyl ether, 2,4-dialkylthioxanthone, 2-methyl-1[4-(methylthio)phenyl ]-2-morpholinopropanone and the like. Furthermore, by combining the photopolymerization initiator with a sensitizer having a different absorption wavelength of actinic rays, the polymerization initiation efficiency can be improved and the sensitivity can be further increased. For example, benzophenone and triethanolamine,
2-Methyl-1[4-(methylthio)phenylco2-
Examples include combinations of morpholinopropanone and thioxanthone, and pendyl dialkyl ketol and Michler's ketone.

前記光重合開始剤の量は、光重合性化合物100重量部
に対して、0.1〜20重量部であることが好ましく、
なかでも1〜15重量部であることが有利である。
The amount of the photopolymerization initiator is preferably 0.1 to 20 parts by weight based on 100 parts by weight of the photopolymerizable compound,
Among these, 1 to 15 parts by weight is advantageous.

本発明の感光性樹脂組成物は、微粒子充填材あるいは化
成処理により溶解除去可能な微粒子充填材から選択され
るいずれか少なくとも一種を含有してな−る感光性樹脂
組成物であることが好ましい。
The photosensitive resin composition of the present invention preferably contains at least one selected from particulate fillers and particulate fillers that can be dissolved and removed by chemical conversion treatment.

前記微粒子充填材を含有する感光性樹脂組成物から得ら
れる硬化物は、微粒子充填材の応力分散効果により耐機
械的衝撃性が、熱膨張の抑制により耐熱衝撃性が更に優
れたものになる9前記機粒子充填材としては、例えばシ
リカ、アルミナ、タルク、二酸化アンチモン、五酸化ア
ンチモン、水酸化アルミニウム、炭酸カルシウム等が挙
げられる。微粒子充填材の粒径は、解像度、硬化被膜の
密着性等の点から、好ましくは0.01〜15μm、よ
り好ましくは0.01〜2.5μmである。微粒子充填
材の好適な配合量は、光重合性化合物100重量部に対
して、10〜60重量部である。微粒子充填材は、感光
性樹脂組成物中に均一に分散されていることが望ましく
、このために微粒子充填材の表面をアミノ基、水酸基等
の官能基を持つカップリング剤で処理することが有利で
ある。前記カップリング剤としては、例えばγ〜ルアミ
ノプロピルトリエトキシシランβ−アミノエチル−T−
アミノプロピルトリエトキシシラン、T−メタアクリロ
キシプロピルトリメトキシシラン等が挙げられる。
The cured product obtained from the photosensitive resin composition containing the fine particle filler has even better mechanical impact resistance due to the stress dispersion effect of the fine particle filler, and even better thermal shock resistance due to the suppression of thermal expansion9. Examples of the particle filler include silica, alumina, talc, antimony dioxide, antimony pentoxide, aluminum hydroxide, and calcium carbonate. The particle size of the particulate filler is preferably 0.01 to 15 μm, more preferably 0.01 to 2.5 μm, from the viewpoint of resolution, adhesion of the cured film, and the like. A suitable amount of the fine particle filler is 10 to 60 parts by weight based on 100 parts by weight of the photopolymerizable compound. It is desirable that the particulate filler is uniformly dispersed in the photosensitive resin composition, and for this purpose it is advantageous to treat the surface of the particulate filler with a coupling agent having a functional group such as an amino group or a hydroxyl group. It is. Examples of the coupling agent include γ-ruaminopropyltriethoxysilane β-aminoethyl-T-
Examples include aminopropyltriethoxysilane and T-methacryloxypropyltrimethoxysilane.

また、前記化成処理により溶解除去可能な微粒子充填材
(以後溶解除去可能微粒子充填材という)としては、シ
リカや炭酸カルシウムなどの無機微粒子や耐熱性樹脂微
粒子等がある。これらの溶解除去可能微粒子充填材を含
有する感光性樹脂組成物を使用して形成された絶縁層は
、その表面を化成処理して表面に露出している微粒子充
填材を熔解除去することにより、絶縁層表面を均一に粗
化することができ、絶縁層上にめっき被膜を信顛性よく
形成することができる。
Further, the particulate filler that can be dissolved and removed by the chemical conversion treatment (hereinafter referred to as the dissolvable particulate filler) includes inorganic particulates such as silica and calcium carbonate, heat-resistant resin particulates, and the like. An insulating layer formed using a photosensitive resin composition containing these dissolving and removable particulate fillers can be formed by chemical conversion treatment on the surface and dissolving and removing the particulate fillers exposed on the surface. The surface of the insulating layer can be uniformly roughened, and a plating film can be formed on the insulating layer with high reliability.

前記溶解除去可能微粒子充填材のうち耐熱性樹脂微粒子
は、あらかじめ硬化処理された耐熱性樹脂微粒子でなけ
ればならない、その理由は、あらかじめ硬化処理されて
いない耐熱性樹脂微粒子を用いると、感光性樹脂組成物
中に分散させた際に樹脂液中に溶解してしまうため、化
成処理により選択的に溶解除去できなくなってしまうか
らである。あらかじめ硬化処理された耐熱性樹脂微粒子
を用いれば、感光性樹脂組成物中に分散させても樹脂液
中に溶解せず、耐熱性樹脂微粒子が均一に分散された絶
縁層を形成することができる。
The heat-resistant resin fine particles among the dissolving and removable fine particle fillers must be heat-resistant resin fine particles that have been hardened in advance.The reason is that if heat-resistant resin fine particles that have not been hardened in advance are used, the photosensitive resin This is because when dispersed in the composition, it dissolves in the resin liquid, making it impossible to selectively dissolve and remove it by chemical conversion treatment. If heat-resistant resin fine particles that have been cured in advance are used, they will not dissolve in the resin liquid even if they are dispersed in a photosensitive resin composition, and an insulating layer in which the heat-resistant resin fine particles are uniformly dispersed can be formed. .

前記耐熱性樹脂微粒子の材質は、耐熱性と電気特性に優
れ、硬化処理により感光性樹脂組成物中に分散させても
溶解せず、化成処理に用いる特定の薬液に溶解する性質
を備えた樹脂であればよく、例えばエポキシ樹脂、ポリ
エステル樹脂、ビスマレイミド−トリアジン樹脂等が挙
げられる。前記硬化処理の方法としては、加熱により硬
化させる方法や触媒を添加して硬化する方法がある。ま
た、化成処理に用いる特定の薬液としては、たとえば、
クロム酸、クロム酸塩、過マンガン酸塩等の酸化剤が使
用可能である。
The material of the heat-resistant resin fine particles is a resin that has excellent heat resistance and electrical properties, does not dissolve even when dispersed in a photosensitive resin composition by curing treatment, and has the property of being soluble in a specific chemical solution used for chemical conversion treatment. Any material may be used, and examples thereof include epoxy resins, polyester resins, bismaleimide-triazine resins, and the like. Methods for the curing treatment include a method of curing by heating and a method of curing by adding a catalyst. In addition, specific chemical solutions used for chemical conversion treatment include, for example,
Oxidizing agents such as chromic acid, chromates, permanganates, etc. can be used.

前記耐熱性樹脂微粒子の粒径は15μm以下であること
が望ましく、さらに望ましくは5μm以下である。その
理由は、15μm以上の粒径を有する微粒子を溶解除去
して形成される粗化面は不均一になり、そのため信鎖性
よくめっき被膜を形成することができなくなってしまう
からである。
The particle size of the heat-resistant resin fine particles is preferably 15 μm or less, more preferably 5 μm or less. The reason for this is that the roughened surface formed by dissolving and removing fine particles having a particle size of 15 μm or more becomes non-uniform, making it impossible to form a plating film with good chain reliability.

溶解除去可能微粒子充填材の好適な配合量は、光重合性
化合物100重量部に対して10〜60重量部である。
A suitable amount of the dissolvable particulate filler is 10 to 60 parts by weight based on 100 parts by weight of the photopolymerizable compound.

更に、本発明の感光性樹脂組成物は、末端エチレン基を
少なくとも2個以上有する重合性化合物を含有しても良
い、この化合物占しては、例えば、ジペンタエリスリト
ールへキサアクリレート、1゜6−ヘキサンジオールジ
アクリレート、トリス(2−7クリロキシエチレン)イ
ソシアヌレート、ネオペンチルグリコールジアクリレー
ト、ジエチレングリコールジメタクリレート、トリメチ
ロールプロパントリメタクリレート、ペンタエリスリト
ールテトラメタクリレート、ジアリルテレフタレート、
N、N−メチレンビスアクリルアミド等が挙げられる。
Furthermore, the photosensitive resin composition of the present invention may contain a polymerizable compound having at least two terminal ethylene groups, such as dipentaerythritol hexaacrylate, 1.6 -hexanediol diacrylate, tris(2-7cryloxyethylene) isocyanurate, neopentyl glycol diacrylate, diethylene glycol dimethacrylate, trimethylolpropane trimethacrylate, pentaerythritol tetramethacrylate, diallyl terephthalate,
Examples include N,N-methylenebisacrylamide and the like.

この重合性化合物を配合することにより硬化物における
架橋密度が高くなり、硬化被膜の耐熱性を向上させるこ
とができる。この重合性化合物の好ましい配合量は、光
重合性化合物100重量部に対して、30重量部以下で
ある。
By blending this polymerizable compound, the crosslinking density in the cured product can be increased, and the heat resistance of the cured film can be improved. The preferred amount of this polymerizable compound is 30 parts by weight or less per 100 parts by weight of the photopolymerizable compound.

これは、30重量部を越えると架橋密度が高くなり過ぎ
るため、耐熱衝撃性等を低下させるからである。
This is because if the amount exceeds 30 parts by weight, the crosslinking density becomes too high, resulting in a decrease in thermal shock resistance and the like.

更に、本発明の感光性樹脂組成物は、他の副次成分を含
有していもよい。副次成分としては、例えば熱重合防止
剤、顔料、発色荊、塗工性改良剤、消泡剤、密着性向上
剤、レベリング剤等が挙げられる。
Furthermore, the photosensitive resin composition of the present invention may contain other subsidiary components. Examples of the subsidiary components include thermal polymerization inhibitors, pigments, coloring agents, coatability improvers, antifoaming agents, adhesion improvers, leveling agents, and the like.

また、必要に応してビスフェノールA型エポキシ樹脂、
ノボラック型エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂などの
各種のエポキシ樹脂を併用することができる。
In addition, if necessary, bisphenol A type epoxy resin,
Various epoxy resins such as novolac type epoxy resin and alicyclic epoxy resin can be used in combination.

本発明の感光性樹脂組成物は、ディンデコート法、フロ
ーコート法、スクリーン印刷法等の常法によって基板上
に塗布することができる。塗布するにあたり、必要なら
ば組成物を溶剤で希釈して用いることもできる。溶剤と
しては、たとえば、ブチルセロソルブ、メチルセロソル
ブアセテート、ブチルセロソルブアセテート、メチルエ
チルケトン、シクロヘキサノン等が挙げられることがで
きる。
The photosensitive resin composition of the present invention can be applied onto a substrate by a conventional method such as a DIN-de coating method, a flow coating method, or a screen printing method. When applying, the composition can be diluted with a solvent if necessary. Examples of the solvent include butyl cellosolve, methyl cellosolve acetate, butyl cellosolve acetate, methyl ethyl ketone, cyclohexanone, and the like.

(発明の作用) 本発明の感光性樹脂組成物は、主要分を構成する光重合
性化合物の骨格がビスフェノール骨格により構成される
ので高い耐熱性を有し、しかも両末端にオキシラン化合
物が付加されているため、この鎖状構成による被塗布物
とのすぐれた密着性を併せ持つことになる。更に、この
ビスフェノール骨格と光重合反応基である(メタ)アク
リロイル基がイソシアネート基を介して、いわゆるウレ
タン結合により結合しているため、耐熱衝撃性に対して
優れた効果を発揮する。これは、従来−mに印刷配線板
の製造時に使用されている保護膜形成用感光性樹脂組成
物の主要成分を構成する光重合性化合物の骨格であるタ
レゾールノボラック型エポキシ樹脂と比較すると、特に
可撓性についての差異が明白となる。
(Action of the invention) The photosensitive resin composition of the present invention has high heat resistance because the skeleton of the photopolymerizable compound constituting the main component is composed of a bisphenol skeleton, and moreover, the photosensitive resin composition has high heat resistance and has an oxirane compound added to both ends. Therefore, it also has excellent adhesion to the object to be coated due to this chain-like structure. Furthermore, since this bisphenol skeleton and the (meth)acryloyl group, which is a photopolymerization reaction group, are bonded via an isocyanate group by a so-called urethane bond, it exhibits an excellent effect on thermal shock resistance. This is compared with Talesol novolac type epoxy resin, which is the backbone of the photopolymerizable compound that constitutes the main component of the photosensitive resin composition for forming a protective film, which is conventionally used in the production of printed wiring boards. In particular, the difference in flexibility becomes obvious.

更に、本発明の感光性樹脂組成物は、多価(メタ)アク
リレート化合物を感光性樹脂組成物としているため極め
て高感度である。
Furthermore, the photosensitive resin composition of the present invention has extremely high sensitivity since it uses a polyvalent (meth)acrylate compound as the photosensitive resin composition.

さらに、この光重合性化合物等に含有される微粒子充填
材が、絶縁層の熱膨張を制御し、下地導体との密着性に
優れたものにする。
Furthermore, the particulate filler contained in this photopolymerizable compound etc. controls the thermal expansion of the insulating layer and provides excellent adhesion to the underlying conductor.

さらに、感光性樹脂組成物中に化成処理により溶解除去
可能な微粒子充填材を含むため、感光性樹脂組成物の硬
化膜に化成処理を施すことにより、硬化膜表面に微少に
凸凹が形成される。このような表面上にめっきを施すと
、この微少な凸凹の細部までめっき被膜が形成される。
Furthermore, since the photosensitive resin composition contains a particulate filler that can be dissolved and removed by chemical conversion treatment, slight irregularities are formed on the surface of the cured film by applying chemical conversion treatment to the cured film of the photosensitive resin composition. . When plating is applied to such a surface, a plating film is formed even on the minute irregularities.

このめっき被膜を引き剥そうとすると、微少な凸凹が引
っ掛かりとなり、いわゆるアンカーとしてはたらくこと
になる。
When an attempt is made to peel off this plating film, the minute unevenness becomes a catch and acts as a so-called anchor.

また、このめっき被膜を引き剥すとき、微少な凸凹がア
ンカーとして働くため、硬化膜の破壊強さがめつき被膜
の引き剥し強さを支配することになる。このとき、本発
明の感光性樹脂組成物の主要部を構成する光重合性化合
物の硬化物は、通常のタレゾールノボラック型エポキシ
樹脂の硬化物等と比較して特に可撓性にすぐれているた
め、めっき被膜を引き剥したとき、硬化膜の深い位置で
破壊が起こり、それだけ高い密着強度を示すことになる
Furthermore, when this plating film is peeled off, the minute irregularities act as anchors, so the breaking strength of the cured film will control the peeling strength of the plating film. At this time, the cured product of the photopolymerizable compound that constitutes the main part of the photosensitive resin composition of the present invention has particularly excellent flexibility compared to the cured product of ordinary Talesol novolac type epoxy resin. Therefore, when the plating film is peeled off, breakage occurs at a deeper position in the cured film, and the adhesion strength is correspondingly higher.

このようにして、本発明の感光性樹脂組成物の硬化膜上
に形成されためっき被膜は強固に密着し、本感光性樹脂
組成物による発明の効果が発生することになる。
In this way, the plating film formed on the cured film of the photosensitive resin composition of the present invention is firmly adhered, and the effects of the invention by the photosensitive resin composition of the present invention are produced.

(実施例) 以下、本発明を実施例により更に具体的に説明するが、
本発明はこれらに限定されるものでない。
(Example) Hereinafter, the present invention will be explained in more detail with reference to Examples.
The present invention is not limited to these.

実施例中の数値単位として用いた部は重量部を意味する
Parts used as numerical units in the examples mean parts by weight.

り温度計、撹拌装置、冷却管を付したフラスコ中に、ト
リレンジイソシアネート(日本ポリウレタン類、商品名
:TDI−80)348部、ジブチルチンジラウレート
1部、ハイドロキノン1部。
In a flask equipped with a thermometer, a stirrer, and a cooling tube, 348 parts of tolylene diisocyanate (Japan Polyurethanes, trade name: TDI-80), 1 part of dibutyltin dilaurate, and 1 part of hydroquinone were placed.

メチルエチルケトン350部を加えて撹拌し、その後4
0°Cに昇温しで均一溶液とした。また、別に両末端に
プロピレンオキサイドを付加したビスフェノールA(三
井東圧化学製、商品名: KB−300K)344部と
メチルエチルケトン344部とを混合し、均一溶液を調
整する。
Add 350 parts of methyl ethyl ketone and stir.
The temperature was raised to 0°C to form a homogeneous solution. Separately, 344 parts of bisphenol A (manufactured by Mitsui Toatsu Chemical Co., Ltd., trade name: KB-300K) with propylene oxide added to both ends and 344 parts of methyl ethyl ketone are mixed to prepare a homogeneous solution.

2)次に、前記トリレンジイソシアネート?8液中に前
記両末端にプロピレンオキサイドを付加したビスフェノ
ールA溶液を2〜3時間かけて均一滴下し、その後3時
間60’Cに保温した。この反応により得られる反応物
を式2に示す。
2) Next, the tolylene diisocyanate? A bisphenol A solution in which propylene oxide was added to both ends of the solution was uniformly dropped into the solution over a period of 2 to 3 hours, and then kept at 60'C for 3 hours. The reactant obtained by this reaction is shown in Formula 2.

C11゜ CH。C11゜ CH.

C=0 11aCs HO O式2 3)次に、この反応物溶液に水酸基1個とアクリロイル
基3個を存するヒドロキシ多価アクリレート(日本化薬
製、商品名: KAYARAD −PET−30)59
6部を15時間かけて滴下し、さらに5時間保温した後
、メタノール10部を添加して光重合性化合物を得た。
C=0 11aCs HO O Formula 2 3) Next, hydroxy polyacrylate having one hydroxyl group and three acryloyl groups (manufactured by Nippon Kayaku, trade name: KAYARAD-PET-30) 59
After adding 6 parts dropwise over 15 hours and keeping the temperature for an additional 5 hours, 10 parts of methanol was added to obtain a photopolymerizable compound.

このようにして得られた光重合性化合物を式3に示す。The photopolymerizable compound thus obtained is shown in Formula 3.

0          式3 4)前記光重合性化合物(式3に示す)100部(固形
分換算)、2−メチル−1−(4−(メチルチオ)フェ
ニル〕−2−モルフォリノプロパノン−1(チバ・ガイ
ギー製、商品名;イルガキュアー907)4部、シリカ
微粉末(日本触媒化学工業製、商品名;NSシリカx−
05、平均粒径0.5μm)25部、エポキシ樹脂微粉
末(東し製、商品名;トレバールEP−B、平均粒径5
゜6μm)25部を混合したのち、ブチルセロソルブを
添加しながら、ホモデイスパー撹拌機で粘度250CP
Sに調整し、次いで、3本ロールで混練して感光性樹脂
組成物の溶液を調整した。
0 Formula 3 4) 100 parts (solid content equivalent) of the photopolymerizable compound (shown in Formula 3), 2-methyl-1-(4-(methylthio)phenyl]-2-morpholinopropanone-1 (Ciba Geigy) (manufactured by Nippon Shokubai Chemical Co., Ltd., trade name: Irgacure 907) 4 parts, fine silica powder (manufactured by Nippon Shokubai Chemical Co., Ltd., trade name: NS Silica x-
05, average particle size 0.5 μm) 25 parts, epoxy resin fine powder (manufactured by Toshi, trade name: Treval EP-B, average particle size 5)
After mixing 25 parts of 6 μm) and adding butyl cellosolve, the mixture was heated to a viscosity of 250 CP using a homodisper stirrer.
S, and then kneaded with three rolls to prepare a solution of the photosensitive resin composition.

5)次いで、銅張り積層板の表面を常法によりフォトエ
ツチングして得られる印刷配線板上に前記感光性樹脂組
成物の溶液をナイフコータを用いて塗布し、水平状態で
20分放置したのら、70°Cで指触乾燥させて厚さ約
50μmの感光性樹脂層を形成した。
5) Next, a solution of the photosensitive resin composition was applied using a knife coater onto a printed wiring board obtained by photo-etching the surface of the copper-clad laminate using a conventional method, and left in a horizontal position for 20 minutes. The photosensitive resin layer was dried to the touch at 70° C. to form a photosensitive resin layer with a thickness of about 50 μm.

6)次いで、これにl100jIφの累日が形成された
フォトマスクフィルムを密着させ、超高圧水銀灯で20
0mj/c4露光した。これを、クロロセン溶液で超音
波現象処理することにより、印刷配線板上に100μm
φのバイアホールを形成した0次いで、この配線板を超
高圧水銀灯で500m j /dflr光し、さらに1
00 ’Cで1時間、その後150°Cで2時間加熱処
理することによりフォトマスクフィルムに相当するバイ
アホールを有する、寸法精度に優れた眉間絶縁被膜を得
た。
6) Next, a photomask film with a cumulative thickness of 1100jIφ was attached to this and heated for 20 minutes using an ultra-high pressure mercury lamp.
Exposure was performed at 0 mj/c4. This was applied to a printed wiring board with a thickness of 100 μm by ultrasonic treatment with a chlorocene solution.
After forming a via hole of φ, this wiring board was illuminated with 500 m j /dflr using an ultra-high pressure mercury lamp, and further 1
By heat-treating at 00'C for 1 hour and then at 150C for 2 hours, a glabellar insulating coating with excellent dimensional accuracy and having via holes corresponding to a photomask film was obtained.

7)次いで、この眉間絶縁被膜を温度70’C,fi度
800g/lのクロム酸で30分粗化し、中和液(シブ
レイ社製、商品名;PM950)に浸漬して水洗いする
。この被膜は、クロム酸に不要なシリカ微粒子と、クロ
ム酸に可溶なエポキシ樹脂微粒子を含むため、被膜表面
をクロム酸処理することにより非常に襟雑な形状の粗化
面を得た。
7) Next, this glabellar insulating coating is roughened with chromic acid at a temperature of 70'C and a fi of 800 g/l for 30 minutes, immersed in a neutralizing solution (manufactured by Sibley, trade name: PM950), and washed with water. Since this coating contains fine silica particles that are unnecessary for chromic acid and fine epoxy resin particles that are soluble in chromic acid, by treating the surface of the coating with chromic acid, a roughened surface with a very rough shape was obtained.

8)次いで、化学めっき前処理としてパラジウム触媒(
シブレイ社製、商品名;キャタポジット44)を付与し
て表面を活性化し、下記組成の化学銅めっき板に15分
間浸漬したのち、下記組成の電気銅めっき液によりパイ
ヤホール内に20μmの銅を析出させた場合、常態での
ビール強度は1.70kg / cmであった。また、
M I L−3TD−202Method  107c
ondition  Bに準する熱衝撃試験では、50
0サイクル後も断線を生じず、長期の信鎖性も優れてい
ることが明らかになった。
8) Next, palladium catalyst (
After activating the surface by applying Cataposit 44 (manufactured by Sibley) and immersing it in a chemical copper plated plate with the following composition for 15 minutes, 20 μm of copper was deposited inside the pie hole using an electrolytic copper plating solution with the following composition. The beer strength under normal conditions was 1.70 kg/cm. Also,
M I L-3TD-202Method 107c
In the thermal shock test according to condition B, 50
It was revealed that no disconnection occurred even after 0 cycles, and the long-term reliability was excellent.

化学銅めっき液組成 シブレイ社製 32BA   12.5%シブレイ社製
 328L   12.5%シブレイ社製 32BC1
,5% 純   水            73.5%温  
度               25℃電気銅めっき
液組成 CuSO4−5L0     150 g/1)1iS
O<           40 g / eCl−2
0ppm 添加剤            所定量温度     
 25℃ 陰橿電流密度       2A/dm”本実施例の感
光性樹脂組成物は、必須成分として使用している光重合
性化合物が耐熱性に優れ、かつ可撓性にも優れているた
め被塗布物との密着性が良く、耐熱衝撃性にも優れてい
る。また、多価(メタ)アクリロイル基を有するので極
めて感度が高いという特徴を有する。
Chemical copper plating solution composition Sibley 32BA 12.5% Sibley 328L 12.5% Sibley 32BC1
,5% pure water 73.5% temperature
Degree 25℃ Electrolytic copper plating solution composition CuSO4-5L0 150 g/1) 1iS
O<40 g/eCl-2
0ppm additive predetermined amount temperature
25°C, negative current density 2A/dm” The photosensitive resin composition of this example has excellent heat resistance and flexibility, so the photopolymerizable compound used as an essential component has excellent heat resistance and flexibility. It has good adhesion to objects and excellent thermal shock resistance.Also, because it has a polyvalent (meth)acryloyl group, it has extremely high sensitivity.

また、クロム酸に不要なシリカ微粒子とクロム酸に可溶
なエポキシ樹脂微粒子を含むため粗化面形状が非常に複
雑となり絶縁層上に導体を形成した場合、高い密着力が
得られること、また、無機物のシリカ微粒子を包含する
ため絶縁膜の熱間硬度が高く、熱膨張が制御されるため
耐熱衝撃性に優れること等の特徴を有する。
In addition, since chromic acid contains unnecessary silica particles and chromic acid-soluble epoxy resin particles, the roughened surface shape becomes very complex, and when a conductor is formed on an insulating layer, high adhesion strength can be obtained. The insulating film has high hot hardness because it contains fine inorganic silica particles, and has excellent thermal shock resistance because thermal expansion is controlled.

(発明の効果) 本発明の感光性樹脂組成物を用いて得られる眉間絶縁被
膜をもちいれば、めっき119からなる導体回路と絶縁
層との密着性が極めて優れ、特に耐熱性、耐熱衝撃性に
優れた超高密度多層配線板を作ることができる。
(Effects of the Invention) When the glabellar insulating film obtained using the photosensitive resin composition of the present invention is used, the adhesion between the conductor circuit made of plating 119 and the insulating layer is extremely excellent, and it has particularly good heat resistance and thermal shock resistance. It is possible to create ultra-high-density multilayer wiring boards with excellent performance.

また、本発明の光重合性化合物を他の感光性樹脂組成物
中に改質剤として添加することにより、特に耐熱性衝撃
性等を改良することが可能なため、添加成分として取り
扱うこともでき、本発明の応用は極めて幅広いものとな
る。
Furthermore, by adding the photopolymerizable compound of the present invention as a modifier to other photosensitive resin compositions, it is possible to particularly improve heat resistance, impact resistance, etc., so it can also be treated as an additive component. , the application of the present invention is extremely wide.

さらに、本発明の感光性樹脂組成物を用いて得られる保
護皮膜は、めっき用レジストやソルダーマスク等の永久
保護被膜として使用することもでき、産業上極めて有用
である。
Furthermore, the protective film obtained using the photosensitive resin composition of the present invention can also be used as a permanent protective film for plating resists, solder masks, etc., and is extremely useful industrially.

以上that's all

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1、両末端にオキシラン化合物を付加したビスフェノー
ル骨格の化合物の水酸基のそれぞれに対して、少なくと
も1個の水酸基を有する多価(タグ)アクリレート化合
物が対応し、前記両化合物の水酸基間に、少なくとも2
個のイソシアネート基を有するポリイソシアネート化合
物が介在し、前記両化合物の水酸基と前記ポリイソシア
ネート化合物のイソシアネート基とが反応してなる光重
合性化合物と活性光線によりラジカルを発生する光重合
開始剤を含有してなることを特徴とする感光性樹脂組成
物。 2、微粒子充填材あるいは化成処理により溶解除去可能
な微粒子充填材から選択されるいずれか少なくとも一種
を含有してなる請求項1記載の感光性樹脂組成物。
[Scope of Claims] 1. A polyvalent (tag) acrylate compound having at least one hydroxyl group corresponds to each hydroxyl group of a bisphenol skeleton compound with an oxirane compound added to both ends, and Between the hydroxyl groups, at least 2
contains a photopolymerizable compound formed by reacting the hydroxyl groups of both compounds with the isocyanate groups of the polyisocyanate compound, and a photopolymerization initiator that generates radicals when exposed to actinic rays. A photosensitive resin composition characterized by: 2. The photosensitive resin composition according to claim 1, which contains at least one selected from the group consisting of a particulate filler and a particulate filler that can be dissolved and removed by chemical conversion treatment.
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