JPH0258808U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0258808U JPH0258808U JP13880388U JP13880388U JPH0258808U JP H0258808 U JPH0258808 U JP H0258808U JP 13880388 U JP13880388 U JP 13880388U JP 13880388 U JP13880388 U JP 13880388U JP H0258808 U JPH0258808 U JP H0258808U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- orifice
- orifice valve
- displacement
- movable plate
- flow rate
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 5
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims 2
Landscapes
- Flow Control (AREA)
Description
第１図は本考案に係る流量制御装置の一実施例
を示す断面図である。第２図は従来の流量制御装
置の断面図である。 １１…管路、１２…オリフイス弁、１３，１４
…圧力検出器、１５…固定板、１５ａ…オリフイ
ス、１６…可動板、１６ａ…オリフイス、１８…
アクチユエータ、１９…変位検出器、２０…計算
機。
を示す断面図である。第２図は従来の流量制御装
置の断面図である。 １１…管路、１２…オリフイス弁、１３，１４
…圧力検出器、１５…固定板、１５ａ…オリフイ
ス、１６…可動板、１６ａ…オリフイス、１８…
アクチユエータ、１９…変位検出器、２０…計算
機。
Claims (1)
- オリフイスを有する固定板とオリフイスを有し
上記固定板に対して移動自在とされた可動板とか
ら成り管路に設けられたオリフイス弁と、上記管
路における上記オリフイス弁の上流側に設けられ
た上流側圧力検出器と、上記管路におけるオリフ
イス弁の下流側に設けられた下流側圧力検出器と
、上記可動板を固定板に対して動かして上記オリ
フイス弁の開度を変化させるアクチユエータと、
上記可動板の変位量を検出する変位検出器と、上
記両圧力検出器によつて検出された圧力と上記変
位検出器によつて検出された可動板の変位量から
流量を計算し、予め設定された流量等の設定値に
近付くようにアクチユエータを制御する計算機と
を具備したことを特徴とする流量制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13880388U JPH0258808U (ja) | 1988-10-25 | 1988-10-25 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13880388U JPH0258808U (ja) | 1988-10-25 | 1988-10-25 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0258808U true JPH0258808U (ja) | 1990-04-27 |
Family
ID=31401483
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13880388U Pending JPH0258808U (ja) | 1988-10-25 | 1988-10-25 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0258808U (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS593067B2 (ja) * | 1975-10-02 | 1984-01-21 | ソニー株式会社 | コタイサツゾウタイ |
| JPS62296210A (ja) * | 1986-06-16 | 1987-12-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 流量制御装置 |
-
1988
- 1988-10-25 JP JP13880388U patent/JPH0258808U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS593067B2 (ja) * | 1975-10-02 | 1984-01-21 | ソニー株式会社 | コタイサツゾウタイ |
| JPS62296210A (ja) * | 1986-06-16 | 1987-12-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 流量制御装置 |
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