JPH0255144U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0255144U JPH0255144U JP13366588U JP13366588U JPH0255144U JP H0255144 U JPH0255144 U JP H0255144U JP 13366588 U JP13366588 U JP 13366588U JP 13366588 U JP13366588 U JP 13366588U JP H0255144 U JPH0255144 U JP H0255144U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stem
- substrate
- piezoresistor
- pressure sensor
- semiconductor pressure
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 3
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- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
第1図は、この考案の好適な実施例の要部を切
欠した斜視図である。第2図は、第1図に示す基
板の斜視図である。第3図は、従来の技術に於け
るステムの一部の断面図である。 1……ステム、2……基板、3……接着剤、4
……端子、6……ハーメチツクシール剤、7……
キヤツプ、8……パイプ、9……半田、21……
孔、23……ピエゾ抵抗体。
欠した斜視図である。第2図は、第1図に示す基
板の斜視図である。第3図は、従来の技術に於け
るステムの一部の断面図である。 1……ステム、2……基板、3……接着剤、4
……端子、6……ハーメチツクシール剤、7……
キヤツプ、8……パイプ、9……半田、21……
孔、23……ピエゾ抵抗体。
Claims (1)
- 中空円筒形状のステムと、該ステムの開口部に
形成した被検出部位への接続部と、前記ステムの
他端部に該他端部を封止すべく接着剤によつて固
着するとともに表面にピエゾ抵抗体を印刷形成し
た基板と、該基板を他の回路に電気的接続する端
子と、前記ピエゾ抵抗体の露出面側を覆うキヤツ
プとでなる半導体式圧力センサに於いて、前記ス
テムに対する基板の接着面に複数の孔を穿設した
ことを特徴とする半導体式圧力センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13366588U JPH0255144U (ja) | 1988-10-13 | 1988-10-13 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13366588U JPH0255144U (ja) | 1988-10-13 | 1988-10-13 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0255144U true JPH0255144U (ja) | 1990-04-20 |
Family
ID=31391738
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP13366588U Pending JPH0255144U (ja) | 1988-10-13 | 1988-10-13 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0255144U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009103632A (ja) * | 2007-10-25 | 2009-05-14 | Nippon Sharyo Seizo Kaisha Ltd | 線状検出具 |
-
1988
- 1988-10-13 JP JP13366588U patent/JPH0255144U/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009103632A (ja) * | 2007-10-25 | 2009-05-14 | Nippon Sharyo Seizo Kaisha Ltd | 線状検出具 |