JPH02504081A - 拡大装置，特に顕微鏡の焦点深度を相対的に増大し，解像力を向上させる装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 拡大装置、特に顕微鏡の焦点深度を相対的に増大し、解像力を向上させる装置 鼓王立団 本発明は拡大装置、特に顕微鏡の焦点深度（ｄｅｐｔｈ　ｏｆ　５ｈａ−ｒｐゎ ｅｓｓ）を相対的に増大し、かつ解像力を向上させる装置に関する。

■東技玉 工業上の課題としてばかりでなく医学生物学の分野においても拡大装置、特に顕 微鏡の焦点深度を増大することと、解像力を向上させることはいまだに解決すべ き課題として残っている。

画像面の調節や、最大でも１：１の拡大率の像では従来使用されているマット面 が使用される。上記の場合、マット面を変位させても画質はあまり改善されない ため、マット面は固定される。

実験の結果、微小物体が大きな拡大率で拡大された場合、すなわち顕微鏡等の場 合上記の効果が出現していることが確認された。また、マット面を使用して、該 マント面を画像面内で動かすことにより、従来より焦点深度が良好で細部が鮮明 な画像が得られることが確認された。このことは焦点深度と拡大率との両方を上 記方法で増大することが可能なことを意味し、従って現在使用されている顕微鏡 の応用範囲を拡げることができることを意味している。

主肌二Ｍ丞 本発明の目的は光学的若しくは物理学的な複式拡大鏡の対物レンズにより生成し た画像の細部を鮮明にし最大の焦点深度を得ることができるようにすることであ る。主に縮少画像の場合や最大でも１：１の拡大率の画像に関して画像面の調節 にマット面を用いることは周知の方法である。この場合マント面を移動させても 画質はあまり改善されない。

本発明の基本概念は、微小物体を大きな倍率で拡大した場合、すなわち顕微鏡等 の場合上述のマット面の移動は特別な効果を奏するという認識に基づいている。

上記のような場合、対象物の検知は通常、焦点深度が小さいために制限されてい る。我々の発見によればマット面を画像面内で動かすことにより焦点深度と拡大 率との両方が増大し、現在使用されている顕微鏡の応用範囲も又、拡大される。

上記の方法で得られた画像は大きな焦点深度が得られるだけでな〈従来よりはる かに細部が鮮明である。

本発明によれば上述の課題は複式拡大鏡の主拡大鏡と開拡大鏡との間の光線の進 路上で対物レンズの後方の画像面内に、異なった屈折率を有する媒質上に独立し た粒子を分散することにより形成した結像層を挿入し、更に該結像層を画像面内 で移動可能とするごとにより達成できる。前記主拡大鏡と開拡大鏡はどちらも単 式又は複式とすることが可能である。すなわちそれぞれが対物レンズと、接眼レ ンズ若しくは投影器を備えるようにしても良い。換言すれば、主拡大鏡は主対物 レンズと主接眼レンズ（若しくは投影器）から構成され、開拡大鏡は側対物レン ズと副接眼レンズ（若しくは投影器）を備えるようにしても良い。

前記結像層は規則的な経路に沿って動かしても良く不規則な径路に沿って動かし ても良い。但し、円周上の径路に沿って動かすのが最も好適と思われる。

最も単純な例では前記結像層としてマット面を用いることができる。しかし固体 粒子が液中に分散した懸濁液や液体粒子が液中に分散したエマルシヨン、気泡が 液中に分散した泡状のもの、若しくは液滴が気体中に分散したエアロゾル、即ち 分散系や更にはコロイド溶液までが結像層として充分に使用可能である。また、 透明な固体のつや消し表面も、異なる屈折率を有する媒質中に配置することで結 像層として使用可能である。（理論的には真空も「異なる屈折率を有する媒質」 である。）また、結像層として不透明な物体のつや消し表面を使用することも考 えられ、この場合は主拡大鏡と開拡大鏡は両方とも結像層のマット面の側に設置 され、光学繊維や透明な物質中に気泡を分散させたものや固体の粗面、或いは、 液滴や固体粒子を気体中に分散させたもの、例えば煙等もマット面として使用す ることが考えられる。

上記の結像層は上述のように規則的若しくは不規則な経路に沿って動かされてい る。しかし、規則的若しくは不規則な経路沿い、又は両方同時に行なわれる前記 動作の他に、それぞれ、例えばある回転軸まわりの回転運動や装置とある角度を 持った光軸に平行な直線沿いの不規則な速度の往復運動等も可能である。

結像層内では、異なった屈折率の媒質中に分散された前記粒子は成る場合には前 記具なった屈折率の媒質に対してはあまり移動しないが、他の場合では結像層内 で物質の大きな流れが観測される。更に、上記結像層内で、粒子と異なる屈折率 を持った媒質中に分散された粒子を発光可能とすることもできる。

結像層を構成している個々の粒子は、それら粒子が分散している媒質の屈折率と 同じ屈折率を有している場合でも発光可能である。

本発明による物体像を生成する装置を用いる場合、実際上どんな照明装置でも使 用可能であり、可視光と異なる波長や可視光に相当する波長の電磁線を発生する ものや電子線を発生する照明装置も使用される。

上記のタイプの照明装置は任意の数と任意の配置、任意の組合せで作動させて使 用でき、対象物を任意の角度で任意の組合せで、更には任意の組合せを同時に使 用することもできる。

本発明の好ましい実施例でストロボスコープ照明装置が備えられている。本発明 の装置では検査する物体の照明方法は広い範囲で変えることができる。例えばど の結像層とも異なる屈折率を有する媒質中に分散した粒子から成る層を、集光器 と物体の間の光路上に配置しこの層を通して照明を行ない、上記の層を規則的若 しくは不規則に動かすようにしても良い。

不透明物質から成る結像層を用いる場合、つや消し表面からの反射光線による照 明が行なわれる。この場合つや消し表面は固定式のものも移動式のものも集光器 と対象物との間の光路上に配置され、照明装置はつや消し表面の対象物と同じ側 に配置される。

本発明のもう１つの好ましい実施例では、前述の結像層のいずれのタイプをも用 いて、異なった屈折率を存する媒質中に分散した粒子から成る層を通して照明が 行なわれ、この層は集光器と光源及び放射源それぞれとの間の光路上に設けられ 、固定式でも移動式としても良い。

結像層としてマット面が使用される場合、照明は該マット面を通して行なわれ、 この場合マット面は光源及び放射源それぞれと集光器との間に配置され規則的な 、又は不規則な径路沿いに、好適には規則的な円周径路上を移動し、更に、上記 の移動と同時に上記マント面自体の回転軸まわりに任意速度で回転運動を行なう ようにしても良い。

本発明の他の好ましい実施例では、不透明な物質から成る結像層のつや消し表面 に光線を反射させることにより行なわれ、この場合はつや消し表面は光源及び放 射源それぞれと集光器との間の部分の装置の光路上に配置され固定式としても移 動式としても良い。

本発明の好ましい実施例では、光束は、該光束の全体又は一部を囲む閉鎖ケーシ ング内に配設されている。

本発明によれば装置の光路上にはどの部分にでも、任意の数の任意の種類の光学 要素、例えば鏡、レンズ、プリズム、平行平面板、光学繊維、フィルタ、偏光器 、位相及び干渉コントラスト装置等を挿入できる。

別の好ましい実施例では装置の光路上のどの部分にでもストロボスコープが任意 の位置に任意の数だけ配置される。

また、本発明による装置の好適な実施例では、光学装置の視野において物体の空 間的な像を生成するために、異なった角度で結像層に像を生成する２つの主拡大 鏡と、更に、上記の像を個別に観察者の両眼に投影する２つの開拡大鏡を備えて いる。

本発明の装置の更にもう１つの好ましい実施例においては、内蔵した対物レンズ 、例えば主対物レンズ、副対物レンズ等は別々に、光軸に対して一定方向に、そ して光軸に沿ってそれぞれ任意の加速度と速度で任意の往復運動を行なう。

本発明の更にもう１つの好適な実施例では光路上に光軸に沿って２つ以上の拡大 鏡と結像層とが配置され、第２の拡大鏡により生成された像はもう１つの結像層 に投影され第３の即ち、３次拡大鏡によって拡大される。すなわち、上記の過程 が更にもう１つの結像層上で繰り返される。そして複数の結像層を用いる場合に は、少くとも１つの結像層を動かすようにすれば他の結像層は固定式或いは移動 式の任意の組合せとされる。

本発明による装置の全ての好ましい実施例においては、装置を構成する全ての光 学的及び機械構造的要素はそれぞれ相互に任意の規則的若しくは不規則な径路上 を任意の速度と任意の組合せで移動可能なようにされており、一方検査対象物は 任意の規則的若しくは不規則な径路上を任意の速度で移動可能なように配置され ている。

また、本発明による装置の好ましい実施例の光路上の任意の部分にはカメラ、ビ デオカメラ、又は放射を感知する層、変換器が配置され、これらの装置は任意の 径路に沿って移動可能にされている。

また、本発明の更にもう１つの好ましい実施例においては、前記結像層は２つの 透明な固体材料のつや消し表面から形成されており、この場合上記２つの透明な 固体材料のつや消し表面は、互いに対向して積層配置されている。上記２つのつ や消し表面は相互に固定されていても良く、或いは相互に規則的若しくは不規則 な径路上を移動するようにしても良いが、上記２つのつや消し表面間には結像層 の運動を妨げないように上記つや消し表面の粒子とは屈折率の異なる物質が配置 されている。上記物質は液体でも気体でも真空或いは固体でも他の種類の物質で も良い。

上述のように種々の結像層が使用可能であるが、簡単のために以下マット面のみ について述べる。

マット面の粒状表面が複式拡大装置の第−若しくは主拡大鏡の画像面上を移動し ており、一方対象物からの光線は単式又は複式の拡大鏡Ｃ以下主拡大鏡という） により上記マント面の粒状表面に投影され、粒子面上に結像する。すなわち、主 拡大鏡の画像面は前記マット面の粒状表面と一致している。

前記の像はもう１つの単式又は複式の拡大＠（以下側拡大鏡という）により拡大 される。すなわち開拡大鏡の対物面は前記マット面の粒状表面と一致している。

前述のように、結像中に前記マット面は規則的若しくは不規則な径路上を移動し ている。現在まで、画像面内でマット面を移動させることができるようにして細 部が鮮明で焦点深度の大きな像を得た例は知られていない。

型皿■皿里星脱里 本発明を、以下に一例として好ましい実施例を用いて、本発明による装置の構成 を略示する側面図により説明する。

ｍス゛−るための０　の５複 図に示すように、照明装置はランプ１、集光レンズ１ａと鏡２とから成っている 。鏡２で反射した光の進路上、すなわち図で垂直上方（いわゆる光軸上）には下 から順に集光器３、対象物４（通常は顕微鏡用切片）、主拡大鏡５、回転マット 面６、副対物レンズ７及び副接眼レンズ８の部分が配列されている。上記マット 面は回転軸６ａの回りに回転可能になっており、該回転軸６ａは前記光軸から偏 心して配置されている。前記光軸とマット面６とが交差する点には対象物４の像 ６ｂが形成される。

照明装置から投射された光線束は集光器３により対象物４を通過して主拡大鏡に よってマット面６の上面に結像する。

このようにして得られた像６ｂは前記副対物レンズ７と副接眼レンズ８とから成 る複式拡大鏡により拡大される。また前記副接眼レンズ８の上の位置に顕微鏡写 真装置が挿入可能になっている。

本発明の特長を要約すると以下のようになる：すなわち、前述のように、本発明 によりマット面を内蔵した複式顕微鏡が、実際には２つの顕微鏡を前後に配置す ることにより構成される。第１の顕微鏡の主対物レンズの焦点深度内に存在する 対象物は前記マット面の一面に結像される。

一方、このようにして得られた像は開拡大鏡により拡大される。その結果、開拡 大鏡により得られた像は主拡大鏡の焦点深度を維持したものとなる。前記マント 面を移動させることによりマット面上の像の画質は改善され、従って前記開拡大 鏡によって更に拡大することが可能となる。従って装置全体として拡大率と焦点 深度が変化、任意の拡大率をより大きな焦点深度で得ることができる。すなわち 光学系の焦点深度が相対的に増大する。上記の方法により、従来より厚い層の深 い部分にある物体の形状を顕微鏡で探知可能となり、同時に顕微鏡的物体の検知 の可能性も拡げられる。また、同時に拡大装置の解像力も改善される。

更に、本発明によれば物体の空間的な像を生成するのに適切な装置も提供される 。この場合、２つの光学系が結像層表面に同時に使用されて２つの主拡大鏡によ り２つの像がそれぞれ異なる角度で生成される。そして、上記の像をそれぞれ開 拡大鏡で見ることにより、開拡大鏡により生成される像は別々の観察者の両眼に 投影される。

本発明は上記に例示のみの目的で説明した実施例に限定されないことはいうまで もなく、本出願により保護を求める範囲から外れることなく他の異なる実施例を 構成可能である。

例えば、物体の像を生成するために、可視光線の波長と異なる波長の他の電磁線 を用いることも可能である。また、主拡大鏡と開拡大鏡は結像層に対して同じ側 にも反対側ムこも配置可能である。最初の例では光線は結像層に対して投射され 、第２の例では結像層を透過する。光線を投射する場合には不透明な物体のつや 消し面で結像層を形成することもできる。

理論的には結像層だけでなく２つ以上の拡大鏡を光軸上の光の進路に配置するこ とも可能である。上記の場合筒２の拡大鏡で生成された像は更にもう１つの結像 層に投影され、再度筒３の拡大鏡によって拡大される。上記の原理に基づいて数 回の拡大が可能である。

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Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．複式顕微鏡の主拡大鏡と副拡大鏡との間で、光の進路から見て対象物の後方 、主拡大鏡の画像面内に結像層を挿入し、該結像層を、独立した粒子を該粒子の 屈折率と異なる屈折率を有する媒質中に分散させることによって形成し、上記結 像層を前記画像面内で移動可能とし、それにより生成される像が副拡大鏡の対物 面と一致するようにしたことを特徴とする、拡大装置、特に顕微鏡の焦点深度を 相対的に増大し、かつ解像力を向上させる装置。（優先権：１９８６年１２月１ ０日）２．前記結像層は、任意の規則的な、若しくは不規則な径路に沿って移動 することを特徴とする請求の範囲第１項に記載の装置。（優先権：１９８６年１ ２月１０日）３．前記規則的な径路は円周径路であることを特徴とする請求の範 囲第２項に記載の装置。（優先権：１９８６年１２月１０日）４．前記結像層と してマット面が用いられることを特徴とする請求の範囲第２項又は第３項に記載 の装置。（優先権：１９８６年１２月１０日） ５．前記結像層は、液中に固体粒子が分散したもの、即ち懸濁液により形成され ていることを特徴とする請求の範囲第２項又は第３項に記載の装置。（優先権： １９８６年１２月１０日）６．前記結像層は、液中に液体粒子が分散したもの、 即ちエマルジョンにより形成されていることを特徴とする請求の範囲第２項又は 第３項に記載の装置。（優先権：１９８６年１２月１０日） ７．前記結像層は、液中に気泡が分散したもの、即ち泡状のものにより形成され ていることを特徴とする請求の範囲第２項又は第３項に記載の装置。（優先権： １９８６年１２月１０日）８．前記結像層は、気体中に液滴が分散したもの、即 ちエアロゾルにより形成されていることを特徴とする請求の範囲第２項又は第３ 項に記載の装置。（優先権：１９８６年１２月１０日）９．前記結像層はコロイ ド溶液により形成されていることを特徴とする請求の範囲第２項又は第３項に記 載の装置。 （優先権：１９８６年１２月１０日） １０．前記対象物の像を生成するために、可視光線の波長と異なる波長の電磁放 射線を発生する照明装置を備えたことを特徴とする請求の範囲第１項から第９項 までのいずれか１項に記載の装置。（優先権：１９８６年１２月１０日）１１． 前記対象物の空間的な像を光学装置の視野に生成するために、前記対象物のそれ ぞれ異なった角度での像を生成する２つの主拡大鏡と、観察者の両眼に前記像の それぞれを個別に投影する副拡大鏡とを備えたことを特徴とする請求の範囲第１ 項から第１０項までのいずれか１項に記載の装置。 （優先権：１９８６年１２月１０日） １２．前記光の進路上に光軸に沿って２つ以上の拡大鏡と結像層とを配置し、副 拡大鏡により生成した像は、更にもう１つの結像層に投影され、更に３番目即ち ３次拡大鏡により拡大され、この過程が更に別の結像層に繰り返されることを特 徴とする請求の範囲第１項から第１１項までのいずれか１項に記載の装置。（優 先権：１９８６年１２月１０日）１３．前記対象物の像を生成するために、前記 装置には可視光線の波長と一致する波長の電磁放射線を発生する照明装置が備え られていることを特徴とする請求の範囲第１項から第９項及び第１１項から第１ ２項までのいずれか１項に記載の装置。（優先権：１９８７年１２月８日）１４ ．前記対象物の像を生成するために電子線を発生する照明装置が備えられている ことを特徴とする請求の範囲第１項から第９項及び第１１項から第１２項までの いずれか１項に記載の装置。（優先権：１９８７年１２月８日）１５．前記対象 物を任意の角度から証明するために、可視光線の波長と異なる波長及び／又は、 可視光線の波長と一致する波長の電磁放射及び／又は電子線を発生する装置の任 意の組合せの照明装置を備えていることを特徴とする請求の範囲第１項から第１ ４項までのいずれか１項に記載の装置。（優先権：１９８７年１２月８日） １６．前記照明装置を任意の組合せでかつ同時に作動させる手段が備えられてい ることを特徴とする請求の範囲第１５項に記載の装置。（優先権：１９８７年１ ２月８日）１７．照明装置としてストロボスコープ式照明装置が用いられている ことを特徴とする請求の範囲第１項から第１６項までのいずれか１項に記載の装 置。（優先権：１９８７年１２月８日）１８．前記結像層は不透明な物質のつや 消し表面であり、主及び副光学系の両方が前記結像層の同じ側、即ち前記つや消 し表面と同一の側に配置されていることを特徴とする請求の範囲第２項、第３項 及び第１０項から第１７項までのいずれか１項に記載の装置。（優先権：１９８ ７年１２月８日）１９．前記結像層は光学繊維により形成されていることを特徴 とする請求の範囲第２項、第３項及び第１０項から第１７項までのいずれか１項 に記載の装置。（優先権：１９８７年１２月８日） ２０．前記結像層は任意の規則的若しくは不規則な径路、好ましくは円周径路沿 いに移動し、この移動の動作と同時に前記結像層自体の回転軸まわりに任意速度 で回転運動をすることを特徴とする請求の範囲第１項から第１９項までのいずれ か１項に記載の装置。（優先権：１９８７年１２月８日）２１．前記結像層は透 明な固体物質中に分散した気泡により形成されていることを特徴とする請求の範 囲第２項、第３項、第１０項から第１７項、及び第２０項のいずれか１項に記載 の装置。（優先権１１９８７年１２月８日）２２．前記結像層は透明な固体物質 中に分散した液滴から成ることを特徴とする請求の範囲第２項、第３項、第１０ 項から第１７項、及び第２０項のいずれか１項に記載の装置。 （優先権：１９８７年１２月８日） ２３．前記結像層は透明な固体物質中に分散した固体粒子により形成されている ことを特徴とする請求の範囲第２項、第３項、第１０項から第１７項、及び第２ ０項のいずれか１項に記載の装置。（優先権：１９８７年１２月８日）２４．前 記結像層は気体中に分散した固体粒子、例えば煙により形成されていることを特 徴とする請求の範囲第２項、第３項、第１０項から第１７項、及び第２０項のい ずれか１項に記載の装置。（優先権：１９８７年１２月８日）２５．前記結像層 は、任意の規則的若しくは不規則な径路に沿った運動及び回転軸まわりの任意速 度での回転運動のそれぞれと同時に、規則的若しくは不規則に変化する速度で、 １つ（若しくはそれ以上）の前記光軸に平行及び／又は微小傾斜角をもった直線 上を往復運動することを特徴とする請求の範囲第１項から第２４項までのいずれ か１項に記載の装置。 （優先権：１９８７年１２月８日） ２６．液中に分散した固体粒子及び／又は液体粒子、又は液体又はコロイド溶液 中に分散した気泡、又は透明な固体物質中に分散した気泡及び／又は、固体物質 中に分散した液滴及び／又は固体粒子により形成された前記結像層内においては 、前記分散した粒子の屈折率と異なる屈折率を有する媒質中に分散されている前 記粒子は前記粒子間相互に、又は前記異なる屈折率を有する媒質に対して全く移 動しないか、又は微小な程度にしか移動しないことを特徴とする請求の範囲第１ 項から第２５項までのいずれか１項に記載の装置。（優先権：１９８７年１２月 ８日） ２７．液中に分散した固体粒子及び／又は液体粒子、又は液中に分散した気泡、 又は気体中に分散した液滴及び／又は固体粒子、又はコロイド溶液によって形成 された前記結像層内においては、前記成分の屈折率と異なる屈折率を有する媒質 中に分散した前記粒子は、前記粒子間相互に及び前記異なる屈折率を有する媒質 に対して大きな範囲で移動可能であること、即ち前記結像層内で大きな物質移動 が生じていることを特徴とする請求の範囲第１項から第２５項までのいずれか１ 項に記載の装置。（優先権：１９８７年１２月８日）２８．前記マット面、又は 液中に分散した固体粒子及び／又は液体粒子、又は液中に分散した気泡、又は気 体中に分散した液滴、又はコロイド溶液、又は不透明物質のつや消し表面、又は 光学繊維、又は透明な固体物質中に分散した気泡及び／又は液滴及び／又は固体 粒子、又は気体中に分散した固体粒子によって形成された前記結像層内において 、異なる屈折率を有する媒質中に分散した上記粒子は発光する性質を有すること を特徴とする請求の範囲第１項から第２７項までのいずれか１項に記載の装置。 （優先権：１９８７年１２月８日）２９．前記結像層が、マット面、又は液中に 分散した固体粒子及び／又は液体粒子、又は液中に分散した気泡、又は気体中に 分散した液滴、又はコロイド溶液、又は不透明物質のつや消し表面、又は光学繊 維、又は透明な固体物質中に分散した気泡及び／又は液滴及び／又は固体粒、又 は気体中に分散した固体粒子によって形成されている場合において、前記結像層 を構成する個々の粒子は発光性能を有しているが、前記偶々の粒子の屈折率は、 該粒子が分散している媒質の屈折率と異ならないことを特徴とする請求の範囲第 １項から第２８項までのいずれか１項に記載の装置。（優先権：１９８７年１２ 月８日） ３０．前記対象物は媒質中に分散した粒子から成る層を通して照明されており、 上記媒質中に分散した粒子から成る層の屈折率は、前記マット面、又は液中に分 散した固体粒子及び／又は液体粒子、又は液中に分散した気泡、又は気体中に分 散した液滴、又はコロイド溶液、又は光学繊維、又は透明な固体物質中に分散し た気泡及び／又は液滴及び／又は固体粒子、又は気体中に分散した固体粒子によ って形成された前記結像層の屈折率とは異なっており、上記媒質中に分散した粒 子から成る層は、前記光の進路上の前記集光器と前記対象物体との間の部分に挿 入されると共に、規則的若しくは不規則な径路上を規則的若しくは不規則な速度 で移動していることを特徴とする請求の範囲第１項から第２９項までのいずれか １項に記載の装置。（優先権：１９８７年１２月８日）３１．前記対象物体は不 透明な物質から成る結像層のつや消し表面に反射した光線により照明されており 、上記つや消し表面は前記光の進路上の前記集光器と前記対象物体との間に固定 若しくは移動可能なように配置され、前記照明装置は前記対象物体及び前記つや 消し表面と同じ側に配置されていることを特徴とする請求の範囲第１項から第３ ０項までのいずれか１項に記載の装置。（優先権：１９８７年１２月８日）３２ ．前記対象物体は、又は液中に分散した固体粒子及び／又は液体粒子、及び／又 は液中に分散した気泡、又は気体中に分散した液滴、又はコロイド溶液、又は光 学繊維、又は透明な固体物質中に分散した気泡及び／又は液滴及び／又は固体粒 子によって形成された結像層の屈折率とは異なる屈折率を有する媒質中に分散し た粒子から成る層を通して照明されており、この層は前記光の進路上の光源若し くは放射源それぞれと集光器との間に配置されると共に固定又は移動可能とされ ていることを特徴とする請求の範囲第１項から第３１項までのいずれか１項に記 載の装置。（優先権：１９８７年１２月８日） ３３．前記対象物体は、規則的若しくは不規則な径路、好ましくは円周径路上を 動き、同時に自身の回転軸まわりに任意速度で回転するマット面を通して照明さ れ、上記マット面は前記光源及び放射源それぞれと前記集光器との間に配置され ていることを特徴とする請求の範囲第１項から第３２項までのいずれか１項に記 載の装置。（優先権：１９８７年１２月８日）３４．前記対象物体は不透明な物 質から成る結像層のつや消し表面に反射した光線により照明され、上記つや消し 表面は前記光の進路上の前記光源及び放射源それぞれと前記集光器との間に配置 されると共に固定若しくは移動可能とされていることを特徴とする請求の範囲第 １項から第３３項までのいずれか１項に記載の装置。（優先権：１９８７年１２ 月８日）３５．光束が、該光束の全体若しくは一部を囲む閉鎖ケーシング内を進 行することを特徴とする請求の範囲第１項から第３４項までのいずれか１項に記 載の装置。（優先権：１９８７年１２月８日） ３６．前記光の進路上には、どの部分にもどのような種類の光学要素、例えば鏡 、レンズ、プリズム、平行平面板、光学繊維、フィルタ、偏光器、位相及び干渉 コントラスト装置等をも任意の数と組合せと幾何学的配置とで挿入可能であるこ とを特徴とする請求の範囲第１項から第３５項までのいずれか１項に記載の装置 。（優先権：１９８７年１２月８日）３７．前記光の進路上にはどの部分にでも 、任意の数と配置とでストロボスコープが設けられることを特徴とする請求の範 囲第１項から第３６項までのいずれか１項に記載の装置。 （優先権：１９８７年１２月８日） ３８．装置に組み込まれた主対物レンズ、副対物レンズ等の対物レンズは、それ ぞれの光軸に対して一定方向に個々に、しかし一致した規則的若しくは不規則な 加速度と速度とで任意の往復運動をすることを特徴とする請求の範囲第１項から 第３７項までのいずれか１項に記載の装置。（優先権：１９８７年１２月８日） ３９．複数の結像層を用いる場合、少くとも１つの結像層を動かし、他の結像層 を固定若しくは任意の組合せで動かすようにしたことを特徴とする請求の範囲第 １項から第３８項までのいずれか１項に記載の装置。（優先権：１９８７年１２ 月８日）４０．装置を構成する全ての光学的要素と機械構造的要素は、それぞれ 相互に任意の規則的若しくは不規則な幾何学的径路上を任意の速度と任意の組合 せで移動可能に配置したことを特徴とする請求の範囲第１項から第３９項までの いずれか１項に記載の装置。（優先権：１９８７年１２月８日）４１．前記検査 対象物体は任意の規則的若しくは不規則な径路に沿って任意の速度で移動可能に 配置されたことを特徴とする請求の範囲第１項から第４０項までのいずれか１項 に記載の装置。（優先権：１９８７年１２月８日）４２．前記光の進路上の任意 の部分に写真機が配置されていることを特徴とする請求の範囲第１項から第４１ 項までのいずれか１項に記載の装置。（優先権：１９８７年１２月８日）４３． 前記光の進路上の任意の部分にビデオカメラが配置されていることを特徴とする 請求の範囲第１項から第４１項までのいずれか１項に記載の装置。（優先権：１ ９８７年１２月８日）４４．前記光の進路上の任意の部分には、任意の放射検知 層、又は変換器が配置されていることを特徴とする請求の範囲第１項から第４３ 項までのいずれか１項に記載の装置。（優先権：１９８７年１２月８日） ４５．前記光の進路の任意の部分に配置された写真装置、ビデオカメラ等の装置 はいずれも任意の径路に沿って移動可能にされていることを特徴とする請求の範 囲第１項から第４４項までのいずれか１項に記載の装置。（優先権：１９８７年 １２月８日） ４６．前記結像層は２つの透明な固体物質のつや消し表面によって形成されてお り、該２つの透明な固体物質のつや消し表面は、相互に対向するように積層され ると共に、固定または任意の規則的若しくは不規則な径路上を移動可能に配置さ れ、前記２つのつや消し表面の間には、前記結像層の動きを妨げないように、前 記つや消し表面の粒子と異なる屈折率を有する物質が配置されており、該物質は 液体、気体、真空、固体又は他の任意の物質であることを特徴とする請求の範囲 第１項から第４５項までのいずれか１項に記載の装置。（優先権：１９８７年１ ２月８日）