JPH0248783Y2 - - Google Patents

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JPH0248783Y2
JPH0248783Y2 JP1984132819U JP13281984U JPH0248783Y2 JP H0248783 Y2 JPH0248783 Y2 JP H0248783Y2 JP 1984132819 U JP1984132819 U JP 1984132819U JP 13281984 U JP13281984 U JP 13281984U JP H0248783 Y2 JPH0248783 Y2 JP H0248783Y2
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cooling
water
cooled
cooling coil
water pump
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JP1984132819U
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【考案の詳細な説明】 〔考案の属する技術分野〕 この考案は熱交換器で冷却した冷却水を冷媒と
して、被冷却体に伝熱的に配管された冷却コイル
へ、送水ポンプを介して循環供給することによ
り、被冷却体を所定温度に冷却する水冷式冷却装
置に関する。
〔従来技術とその問題点〕
この種の水冷式冷却装置として第2図に示すも
のが知られている。第2図において、1は被冷却
体で、2は冷媒として冷却水が使用され被冷却体
1を冷却するために下記の如く閉回路に構成され
た冷却水循環回路である。3は被冷却体1に伝熱
的に配管され内部を前記冷却水が通る冷却コイ
ル、4は冷却水の熱膨張変化や冷却水循環回路に
おける水圧変化を吸収するために設けられ、一端
が大気側に開放する膨張タンク、5は冷却水を矢
印の方向に循環させる50Hzおよび60Hz共用の送水
ポンプ、6は送水ポンプによつて送り込まれた冷
却水の保有する熱を管路61を流れる流体に熱移
動させ前記冷却水を冷却する熱交換器、7は密閉
構造のタンクとしてなり、熱交換器6から水温変
動を伴つて送り込まれた冷却水を、前記水温変動
をタンク内の水によつて吸収し、平準化された温
度にして送り出すリザーブタンク、8は送水ポン
プ5の吐出側管路から分岐しリザーブタンク7の
出口側管路に合流する分岐管路81を設けるとと
もに前記分岐管路81の合流点に設けられた水温
調節用の混合式三方弁で、この三方弁8は冷却コ
イル3の入口側管路に付設された水温センサー8
2の検出信号により作動する制御器83によつ
て、熱交換器6で冷却されリザーブタンク7を経
由する本流の冷却水と分岐管路81を通る支流の
冷却水との混合比を調整するように制御される。
上記冷却装置は、送水ポンプ5によつて、熱交
換器6で冷却された冷却水がリザーブタンク7で
水温を平準化され、かつ三方弁8を介して一定温
度に調整されて冷却コイル3に循環係給されるこ
とにより、被冷却体1を所定温度に冷却する。
ところで前記冷却コイル3はその管の厚さが、
冷却コイル3が組込まれた被冷却体1の重量や製
作コストに大きく影響するために、管の厚さを極
力薄くすることが要望されている。ところが従来
の冷却装置では、送水ポンプ5の始動時に冷却コ
イル3に一時的に大きな内圧が加わり、また送水
ポンプ4が60Hzで運転される場合に、その送水量
の増加により冷却コイル3に若干大きな内圧を与
え、これらの内圧は膨張タンク4で吸収できない
ために冷却コイル3の管の厚さが厚くなり前記要
望を満足させることができなかつた。
〔考案の目的〕
この考案は冷却コイルの管の厚さを薄くして、
被冷却体の重量を軽く製作コストを低減すること
のできる水冷式冷却装置を提供することを目的と
する。
〔考案の要点〕
この考案は冷却コイルの入口側管路と送水ポン
プの吸込側管路との間に、冷却コイルに流入する
冷却水を規制する調整弁が介挿設置されたバイパ
ス管路を設け、冷却コイルが一定圧力以上の内圧
を受けないようにしたものである。
〔考案の実施例〕
第1図はこの考案の実施例を示すもので、第2
図と共通あるいは同一の部分は同一の符号で示
す。
第1図において、11は一端が冷却コイル3の
入口側管路に接続連通し、他端が送水ポンプ5の
吸込側管路に、この場合膨張タンクが接続される
分岐管路のさらに上流側に接続連通するバイパス
管路、12は流入側の水圧を検知し前記水圧が設
定圧力以上になると自動的に開弁する自力式圧力
調整弁、13は開弁時の通過流量を規制し得る手
動式開閉弁で、圧力調整弁12と開閉弁13とは
前記バイパス管路11の途中に、互いに並列に介
挿設置されている。しかして冷却コイル3は50Hz
で運転される送水ポンプ5により循環供給される
通常時の冷却水の水圧に耐えればよいように管の
厚さが薄く形成されている。
前述の構成において、開閉弁13は送水ポンプ
5が60Hzで運転された場合に50Hz運転時より増加
する送水量を通すように設定され、また圧力調整
弁12は冷却コイル3の許容圧力をもとにそれ以
上の水圧になれば開弁するように設定される。し
かして送水ポンプ5が60Hzで運転される場合には
開閉弁13は開弁され、これに伴つて一部の冷却
水がバイパス管路11を流れて循環し、冷却コイ
ル3は50Hz運転時と同じ内圧しか受けない。また
送水ポンプ5の起動時など冷却コイル3の入口側
管路の水圧が一時的に高くなる場合には、圧力調
整弁12がそれを検知して開弁するために、一部
の冷却水がバイパス管路11を送水ポンプ5に向
けて流れ前記水圧の上昇が避けられ、冷却コイル
3に大きな内圧を与えることが防止される。従つ
て冷却コイル3は管の厚さが薄くても十分安全に
保たれ内部を常に一定量の冷却水が流れて被冷却
体1を必要温度に冷却する。
〔考案の効果〕
この考案によれば、一端が冷却コイルの入口側
管路に、他端が送水ポンプの吸込側管路にそれぞ
れ接続連通されるバイパス管路を設けるととも
に、冷却コイルに流入する冷却水を規制するため
の調整弁を前記バイパス管路に介挿設置したの
で、冷却コイルが一定圧力以上に大きな圧力を受
けることが排除されて、冷却コイルは管の厚さを
薄く形成することが可能となり、被冷却体の重量
を軽く、かつ製作コストを安くすることができ
る。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの考案の実施例を示す冷却装置の冷
却水循環回路図、第2図は従来のものの冷却水循
環回路図である。 1……被冷却体、2……冷却水循環回路図、3
……冷却コイル、5……送水ポンプ、6……熱交
換器、7……リザーブタンク、11……バイパス
管路、12……圧力調整弁、13……開閉弁(流
量調整弁)。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 冷媒としての冷却水を循環させる送水ポンプと
    被冷却体へ伝熱的に配管された冷却コイルとの間
    に、冷却水冷却用の熱交換器および密閉構造のリ
    ザーブタンクが順次配置されて冷却水循環回路が
    構成され、前記熱交換器によつて冷却した冷却水
    を冷却コイルへ循環供給して被冷却体を冷却する
    冷却式冷却装置において、一端が前記冷却コイル
    の入口側管路に、他端が前記送水ポンプの吸込側
    管路にそれぞれ接続連通されるバイパス管路を設
    けるとともに、該バイパス管路に自力式圧力調整
    弁と流量調整弁とを並列に介挿設置したことを特
    徴とする水冷式冷却装置。
JP1984132819U 1984-08-31 1984-08-31 Expired JPH0248783Y2 (ja)

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JP1984132819U JPH0248783Y2 (ja) 1984-08-31 1984-08-31

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JP1984132819U JPH0248783Y2 (ja) 1984-08-31 1984-08-31

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JPS6149281U JPS6149281U (ja) 1986-04-02
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4984092B2 (ja) * 2008-12-25 2012-07-25 信越半導体株式会社 単結晶製造装置及び単結晶製造方法

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57164264A (en) * 1981-04-01 1982-10-08 Mitsuo Anjiyou Vacuum cooler

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