JPH0247623A - レーザー光線用回転鏡装置 - Google Patents

レーザー光線用回転鏡装置

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Publication number
JPH0247623A
JPH0247623A JP1167170A JP16717089A JPH0247623A JP H0247623 A JPH0247623 A JP H0247623A JP 1167170 A JP1167170 A JP 1167170A JP 16717089 A JP16717089 A JP 16717089A JP H0247623 A JPH0247623 A JP H0247623A
Authority
JP
Japan
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laser beam
rotary
rotation
focus
center
Prior art date
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Pending
Application number
JP1167170A
Other languages
English (en)
Inventor
Gerhard Dr Hohberg
ゲルハルト・ホーベルク
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss AG
Original Assignee
Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss AG
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Filing date
Publication date
Application filed by Carl Zeiss SMT GmbH, Carl Zeiss AG filed Critical Carl Zeiss SMT GmbH
Publication of JPH0247623A publication Critical patent/JPH0247623A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/035Aligning the laser beam
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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    • B23K26/08Devices involving relative movement between laser beam and workpiece
    • B23K26/10Devices involving relative movement between laser beam and workpiece using a fixed support, i.e. involving moving the laser beam

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
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  • Mechanical Engineering (AREA)
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  • Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
  • Laser Beam Processing (AREA)
  • Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
  • Laser Surgery Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明はレーザー光線用回転鏡装置であって2本の回転
軸と1つの焦点装置を持ち、この場合焦点装置の焦点は
回転軸の交差点にある形式のものに関する。
[従来の技術] 立体的加工材にレーザーで加工する場合一般に5つの運
動自由度が必要である、より厳密に言えば加工点の運行
に3で、さらに時々は平らかでない加工材表面にふつう
直角に行う照射方向の調節に2である。
多く使用されているレーザー装置では、加工点は直線運
動で運行され、レーザー光線は門形装置で直線に動く鏡
で操作するかまたは加工材の運動による。該照射方向は
回転鏡を使用することにより調節されるが、このとき2
つの軸の周りを回転することにより各照射方向は調節す
ることができる。
この種の装置は重大な欠陥がある。すなわち、照射方向
の変化は同時にレーザー焦点の位置の変化を起こし、こ
れはそこで直線運動の調整により補わなければならない
。それによって制御計算はかなり複雑でかつ位置決め時
間は長くなる。それでもなおより重大な欠陥は精度要求
の評価の際に現れる。
実際に位置の許容差は非常に狭い(例えば±0 、11
11111)一方で、照射方向はただ近似的で調整しな
(すればならない(例えば±5°)。し力)し該方向が
該位置に逆に影響を及ぼすときは、角調整はこの逆作用
のためだけで約±1′の許容差、すなわち略2階級の大
きさ精確に行わなければならない。
それ故照射方向の変化が少しも焦点位置に影響を与えな
い回転鏡装置を使用することは有利である。この要求を
満たしている公知の装置(Fa、BinderのLBI
−6A、4頁の案内書に細かい特徴なしに記載されてい
る)は第1図に略示図で示している。そこでは11で第
一の回転軸及び12で第二の回転軸が示してあり、これ
を中心として焦点調整装置13が回転できる。
レーザー光線15の焦点14は回転軸11.12の交差
点にあって、従って回転時移動しないこの公知の装置で
の欠陥は、該弓形部材16の長さ(L)が、最大で問題
になる加工材が十分に動くことができる程大きくなけれ
ばならないことである。この結果本装置は非常に金がか
かり、相応して高価である。
[発明が解決しようとする課題] 本発明の課題は、僅かの費用にかかわらず、また非常に
大きな加工材に対しても適応する装置を造り出すことで
ある。
[課題を解決するための手段] 前記課題は本発明により、冒頭に記載したレーザー光線
用回転鏡装置において、回転軸が互いに鋭角に配置され
ていることで解決される。
有利な実施形式では回転軸間の該角は45゜である。
さらに本発明の有利な点は請求項及び添付図に対する説
明から明らかになる。
[実施例1 以下本発明を第2図及び第3図に示した実施例にもとづ
き詳細に説明する。
第2図では21によって第1の回転軸及び22によって
第2の回転軸を示し、これらは互いに鋭角27をなし、
その交差点にレンズ13の焦点14がある。それ故その
位置は回転軸2122を中心とした回転で変化しない。
焦点14に当るレーザー光線の回転軸21に対する最大
傾斜は該角27の2倍になる。すなわち、この傾斜は軸
21を中心として妨げられずに回転できるからいずれの
方位角に対しても調整することができる。
28で平面鏡を示し、入射するレーザー光線15に対す
るその傾斜は変化せずにとどまる。
すなわち、回転軸21.22を中心とした回転運動の外
に光学的部材の別の運動は少しも生じない。
本発明による装置の有利な点は、機構的むだは著しく少
なく、かつ平面鏡は公知の第1図に示した装置における
よりも少ないのみならず、該構造もまた加工すべき材料
の大きさに関係がないということである。
@3図には本発明の他の1実施形式を示す。
この場合は第2図の最後の平面鏡28は放物面鏡33で
置換えられていて、これによって第2図のレンズ13は
省略される。
【図面の簡単な説明】
第1図は公知の装置の略示図、第2図はレンズにより焦
点調整を行う、本発明による1実施例の暗示構成図、第
、3図は放物面鏡により焦点調整を行うl実施例の暗示
構成図である。 13・・・焦点調整装置、14・・・焦点、15・・・
レーザー光線、21・・・回転軸、22・・・回転軸、
27・・・鋭角、33・・・焦点調整装置 代 理 人

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. レーザー光線(15)用回転鏡装置であつて、2本の回
    転軸(21、22)と、1つの焦点調整装置(13、3
    3)とを持ち、この場合焦点調整装置(13、33)の
    焦点(14)が回転軸(21、22)の交差点にある形
    式のものにおいて、前記回転軸(21、22)が互いに
    鋭角に配置されていることを特徴とするレーザー光線用
    回転鏡装置。
JP1167170A 1988-07-01 1989-06-30 レーザー光線用回転鏡装置 Pending JPH0247623A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE3822292.2 1988-07-01
DE3822292A DE3822292A1 (de) 1988-07-01 1988-07-01 Drehspiegelanordnung fuer einen laserstrahl

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0247623A true JPH0247623A (ja) 1990-02-16

Family

ID=6357755

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1167170A Pending JPH0247623A (ja) 1988-07-01 1989-06-30 レーザー光線用回転鏡装置

Country Status (3)

Country Link
EP (1) EP0348796A3 (ja)
JP (1) JPH0247623A (ja)
DE (1) DE3822292A1 (ja)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NL193239C (nl) * 1994-03-18 1999-04-02 Famurano Anstalt Inrichting voor het uitvoeren van bewerkingen met behulp van een laserbundel.

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4673795A (en) * 1984-10-15 1987-06-16 General Electric Company Integrated robotic laser material processing and imaging system
JPH0761555B2 (ja) * 1986-08-18 1995-07-05 株式会社日平トヤマ レ−ザ加工装置
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Also Published As

Publication number Publication date
EP0348796A2 (de) 1990-01-03
EP0348796A3 (de) 1990-03-28
DE3822292A1 (de) 1990-01-04

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