JPH0245585Y2 - - Google Patents
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- JPH0245585Y2 JPH0245585Y2 JP14159486U JP14159486U JPH0245585Y2 JP H0245585 Y2 JPH0245585 Y2 JP H0245585Y2 JP 14159486 U JP14159486 U JP 14159486U JP 14159486 U JP14159486 U JP 14159486U JP H0245585 Y2 JPH0245585 Y2 JP H0245585Y2
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- Japan
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- seal groove
- valve body
- seal
- groove
- width
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- Expired
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- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 19
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
Description
【考案の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
この考案は、例えば、ウエハーに薄膜を形成す
る真空装置に用いるのに最適な真空バルブに関す
る。[Detailed Description of the Invention] (Industrial Application Field) This invention relates to a vacuum valve that is most suitable for use in a vacuum apparatus for forming a thin film on a wafer, for example.
（従来の技術）
第３，４図に示した従来の真空バルブは、弁本
体ａに流入口１と流出口２とを形成するととも
に、これら両口１，２の流通過程にシート面３を
形成している。(Prior Art) The conventional vacuum valve shown in FIGS. 3 and 4 has an inlet 1 and an outlet 2 formed in the valve body a, and a seat surface 3 in the flow process between these two ports 1 and 2. is forming.
このようにした弁本体ａには、ハンドル４を回
すことによつて上下に移動する駆動軸５を設けて
いる。そして、この駆動軸５の先端には弁体ｖを
設けるとともに、この弁体ｖのシート圧接面６側
には、シール溝７をエンドレスに形成している。
このシール溝７は、第４図に示すように、その開
口７ａ側の幅ｌに対して底部７ｂ側の幅Ｌを大き
くしている。 The valve body a thus constructed is provided with a drive shaft 5 that moves up and down by turning the handle 4. A valve body v is provided at the tip of the drive shaft 5, and an endless seal groove 7 is formed on the seat pressure contact surface 6 side of the valve body v.
As shown in FIG. 4, the seal groove 7 has a width L on the bottom 7b side larger than a width l on the opening 7a side.
上記のようにしたシール溝７には、Ｏリング当
からなるシール部材８を挿入するが、このシール
部材８の断面の直径を、上記開口７ａ側の幅ｌよ
りもやや大きくするとともに、底部７ｂの幅Ｌよ
りも小さくしている。さらに、このシール溝７の
深さ方向の長さは、上記シール部材８の直径より
もやや小さくしている。 A sealing member 8 made of an O-ring is inserted into the sealing groove 7 as described above, and the cross-sectional diameter of this sealing member 8 is made slightly larger than the width l on the opening 7a side, and the bottom 7b It is made smaller than the width L of. Further, the length of the seal groove 7 in the depth direction is made slightly smaller than the diameter of the seal member 8.
したがつて、このシール部材８を上記開口７ａ
から押し込めば、このシール部材８は、開口７ａ
を通過するときに変形しながら、当該シール溝７
内に装着される。この装着状態において、当該シ
ール部材８は、シール溝７の開口７ａから突出す
るとともに、その反対側を底部７ｂに圧接させ
る。 Therefore, this sealing member 8 is inserted into the opening 7a.
If the sealing member 8 is pushed in from the opening 7a
The seal groove 7 deforms when passing through the seal groove 7.
installed inside. In this installed state, the seal member 8 protrudes from the opening 7a of the seal groove 7, and the opposite side thereof is brought into pressure contact with the bottom portion 7b.
したがつて、ハンドル４を回して弁体ｖを下降
させ、シール溝７から突出しているシール部材８
をシート面３に圧接させれば、流入口１と流出口
２との連通が遮断される。 Therefore, turn the handle 4 to lower the valve body v and remove the seal member 8 protruding from the seal groove 7.
If it is brought into pressure contact with the sheet surface 3, communication between the inlet 1 and the outlet 2 is cut off.
そして、上記のようにシール溝７の開口７ａ側
の幅ｌを、底部７ｂ側の幅Ｌよりも小さくしてい
るのは、シール溝７に装着したシール部材８が自
然落下しないようにするためである。 As mentioned above, the width l of the seal groove 7 on the opening 7a side is made smaller than the width L on the bottom 7b side in order to prevent the seal member 8 attached to the seal groove 7 from falling by itself. It is.
シール部材８の自然落下を防止するために、上
記のようにシール溝７の開口７ａに対して底部７
ｂの幅を狭くすると、その底部７ｂに空洞部分ｃ
が形成される。このようにして形成された空洞部
分ｃは、シール部材８によつて密閉された状態を
維持するので、真空引きをしても、この空洞部分
ｃのガス抜きが完全にできなくなる。 In order to prevent the seal member 8 from falling naturally, the bottom part 7 is
When the width of b is narrowed, a hollow part c is formed in the bottom part 7b.
is formed. The cavity c formed in this manner remains sealed by the seal member 8, so that even if vacuum is applied, gas cannot be completely vented from the cavity c.
そこで、この空洞部分ｃのガス抜きを完全にす
るために、第５，６図に示すように、当該シール
溝８に対して、それを横切る方向の逃げ溝９を形
成することが従来から知られている。 Therefore, in order to completely vent the gas from the cavity c, it has been known in the past that an escape groove 9 is formed in the direction across the seal groove 8, as shown in FIGS. 5 and 6. It is being
（本考案が解決しようとする問題点）
上記のようにシール溝８に対して逃げ溝９を形
成した従来の場合には、その逃げ溝９を形成した
部分のシール力が弱くなつてしまう。つまり、こ
の逃げ溝９以外の部分では、シール溝７の開口７
ａで締め付けられてシール部材８の横の広がりが
防止されるが、この逃げ溝９の部分では、その締
め付け力が弱くなるので、その分シール力も弱く
なつてしまう。(Problems to be Solved by the Present Invention) In the conventional case where the escape groove 9 is formed in the seal groove 8 as described above, the sealing force of the portion where the escape groove 9 is formed becomes weak. In other words, the opening 7 of the seal groove 7 is
Although the sealing member 8 is tightened at point a to prevent the seal member 8 from spreading laterally, the tightening force is weakened at the relief groove 9, and the sealing force is also weakened accordingly.
このようにシール部材８のシール力が部分的に
弱くなると、そのシール力の弱いところからスロ
ーリークが発生するという問題があつた。 When the sealing force of the seal member 8 is partially weakened in this way, there is a problem in that slow leakage occurs from the weak sealing force.
この考案の目的は、シール溝にガスが篭ること
なく、それを完全に放出できるとともに、シール
部材のシール力を弱めない真空バルブを提供する
ことである。 The purpose of this invention is to provide a vacuum valve that can completely release gas without trapping it in the seal groove, and that does not weaken the sealing force of the seal member.
（問題点を解決する手段）
上記の目的を達成するために、この考案は、弁
体のシート圧接面にはシール溝をエンドレスに形
成し、しかも、このシール溝は、その開口部分の
幅を底部側の幅よりも広くし、当該シール溝に装
着したＯリング等のシール部材が落下するのを防
止した真空バルブにおいて、上記シール溝の底部
を、当該弁本体に形成した流入口側あるいは流出
口側のいずれか一方、又は双方に開放させる連通
孔を、弁体に形成している。(Means for solving the problem) In order to achieve the above object, this invention forms an endless seal groove on the seat pressure contact surface of the valve body, and furthermore, this seal groove has a width of the opening portion. In a vacuum valve whose width is wider than the width of the bottom side to prevent a sealing member such as an O-ring attached to the seal groove from falling, the bottom of the seal groove is connected to the inlet side or the flow side formed in the valve body. A communication hole that is open to one or both of the outlet sides is formed in the valve body.
（本考案の作用）
この考案は、シール溝の底部が、弁本体の流入
口あるいは流出口に連通させているので、その真
空引きの際に、このシール溝内のガスが完全に放
出される。また、このシール部材の全周がシール
溝の開口部分で押さえ付けられるので、当該シー
ル部材のシール力が全体に均一化する。(Operation of the present invention) In this invention, the bottom of the seal groove communicates with the inlet or outlet of the valve body, so when the vacuum is drawn, the gas in the seal groove is completely released. . Further, since the entire circumference of the seal member is pressed by the opening portion of the seal groove, the sealing force of the seal member is uniform throughout.
（本考案の効果）
この考案の真空バルブによれば、シール溝内に
ガスを篭らせず、しかも、シール部材のシール力
も弱めることがない。(Effects of the present invention) According to the vacuum valve of this invention, gas is not trapped in the seal groove and the sealing force of the seal member is not weakened.
（本考案の実施例）
第１図に示した第１実施例は、弁体ｖのシート
圧接面６にのシール溝７を形成し、その開口７ａ
側の幅ｌに対して、底部７ｂ側の幅Ｌを小さくし
ていること、前記従来と全く同様である。(Embodiment of the present invention) In the first embodiment shown in FIG.
The width L on the bottom portion 7b side is made smaller than the width l on the side, which is exactly the same as in the prior art.
ただし、この第１実施例では、シール溝７内に
形成される空洞部分ｃを、連通孔１０、１１を介
して流入口１側と流出口２側とに開放している点
が従来と相違する。 However, this first embodiment is different from the conventional one in that the cavity c formed in the seal groove 7 is open to the inlet 1 side and the outlet 2 side via the communication holes 10 and 11. do.
つまり、シール部材８の外周側に位置する空洞
部分c1は、連通孔１０を介して流入口１側に開放
し、シール部材８の内周側に位置する空洞部分c2
は、連通孔１１を介して流出口２側に開放してい
る。 In other words, the cavity c 1 located on the outer circumferential side of the seal member 8 opens to the inflow port 1 side via the communication hole 10, and the cavity part c 2 located on the inner circumference side of the seal member 8 opens to the inlet 1 side through the communication hole 10.
is open to the outlet 2 side via the communication hole 11.
このようにシール溝７内に形成される空洞部分
c1，c2を、流入口１あるいは流出口２に連通させ
たので、真空引きの際に、この空洞部分にガスが
篭るようなことがなくなる。 The hollow portion formed in the seal groove 7 in this way
Since c 1 and c 2 are communicated with the inflow port 1 or the outflow port 2, there is no possibility that gas will be trapped in this cavity during evacuation.
しかも、このシール溝７の開口７ａ部分には、
従来のような逃げ溝９が不必要ないので、部分的
にシール力が弱くなるようなこともなくなる。 Moreover, in the opening 7a portion of this seal groove 7,
Since the escape groove 9 as in the conventional case is not unnecessary, there is no possibility that the sealing force is weakened partially.
第２図に示した第２実施例は、シール部材８の
内周に接触するシール溝７の側壁７ｃを、底部７
ｂに対して直角にし、シール部材８の外周に接触
するシール溝７の側壁７ｄを傾斜させ、ｌ＜Ｌの
関係を維持したものである。 In the second embodiment shown in FIG.
b, and the side wall 7d of the seal groove 7 that contacts the outer periphery of the seal member 8 is inclined to maintain the relationship l<L.
つまり、上記第１実施例の場合には、シール溝
を左右対称にしたのに対して、この第２実施例で
は、シール溝７の一方の側壁７ｄ側だけを傾斜さ
せたものである。 In other words, in the case of the first embodiment, the seal groove is symmetrical, whereas in the second embodiment, only one side wall 7d of the seal groove 7 is inclined.
このようにした第２実施例でも、シール部材８
の自然落下を防止できるとともに、空洞部分ｃの
ガス抜きも完全にできる。 In the second embodiment as well, the seal member 8
It is possible to prevent the air from falling by itself, and also to completely vent gas from the cavity c.
なお、流入口側あるいは流出口側のいずれか一
方が、大気に通じているような場合は、その方の
連通孔は省略することができる。 Note that if either the inlet side or the outlet side communicates with the atmosphere, the communication hole on that side can be omitted.
また、シール溝の形状がｌ≧Ｌである場合で
も、本考案はその効果を発揮する。 Moreover, even when the shape of the seal groove is l≧L, the present invention exhibits its effects.
図面第１及び２図はこの考案の第１及び第２実
施例の弁体の断面図、第３〜６図は従来の真空バ
ルブを示すもので、第３図は全体の断面図、第４
図は弁体の拡大断面図、第５図は他の従来例を示
す弁体の拡大断面図、第６図は第５図の底面図で
ある。
１……流入口、２……流出口、ｖ……弁体、６
……シート圧接面、７……シール溝、７ａ……開
口、７ｂ……底部、８……シール部材、１０，１
１……連通孔。
Figures 1 and 2 are sectional views of the valve bodies of the first and second embodiments of this invention, Figures 3 to 6 show conventional vacuum valves, Figure 3 is a sectional view of the whole, and Figure 4 is a sectional view of the valve body of the first and second embodiments of this invention.
5 is an enlarged sectional view of the valve body, FIG. 5 is an enlarged sectional view of the valve body showing another conventional example, and FIG. 6 is a bottom view of FIG. 5. 1... Inflow port, 2... Outlet port, v... Valve body, 6
... Seat pressure contact surface, 7 ... Seal groove, 7a ... Opening, 7b ... Bottom, 8 ... Seal member, 10, 1
1...Communication hole.
Claims (1)
に形成し、当該シール溝にＯリング等のシール部
材を装着した真空バルブにおいて、上記シール溝
の底部を、当該弁本体に形成した流入口側あるい
は流出口側のいずれか一方、又は双方に開放させ
る連通孔を、弁体に形成してなる真空バルブ。 In a vacuum valve in which an endless sealing groove is formed on the seat pressure contact surface of the valve body and a sealing member such as an O-ring is attached to the sealing groove, the bottom of the sealing groove is connected to the inlet side formed in the valve body or A vacuum valve in which a valve body is formed with a communication hole that is open to one or both of the outlet sides.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14159486U JPH0245585Y2 (en) | 1986-09-16 | 1986-09-16 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14159486U JPH0245585Y2 (en) | 1986-09-16 | 1986-09-16 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6348083U JPS6348083U (en) | 1988-04-01 |
| JPH0245585Y2 true JPH0245585Y2 (en) | 1990-12-03 |
Family
ID=31049525
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14159486U Expired JPH0245585Y2 (en) | 1986-09-16 | 1986-09-16 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0245585Y2 (en) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4449292B2 (en) * | 2002-10-30 | 2010-04-14 | パナソニック株式会社 | Shut-off valve |
| KR101124182B1 (en) * | 2003-05-26 | 2012-03-28 | 댄포스 아/에스 | A servo valve for a vacuum system |
-
1986
- 1986-09-16 JP JP14159486U patent/JPH0245585Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6348083U (en) | 1988-04-01 |
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