JPH024492A - 蒸気洗浄装置 - Google Patents
蒸気洗浄装置Info
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- JPH024492A JPH024492A JP15458788A JP15458788A JPH024492A JP H024492 A JPH024492 A JP H024492A JP 15458788 A JP15458788 A JP 15458788A JP 15458788 A JP15458788 A JP 15458788A JP H024492 A JPH024492 A JP H024492A
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- solvent vapor
- cooling
- cooling fluid
- solvent
- cooling part
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- Pending
Links
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- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims abstract description 34
- 239000012809 cooling fluid Substances 0.000 claims abstract description 20
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims abstract description 6
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims abstract description 6
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 12
- 238000013020 steam cleaning Methods 0.000 claims description 7
- 238000009833 condensation Methods 0.000 abstract description 4
- 230000005494 condensation Effects 0.000 abstract description 4
- 238000005201 scrubbing Methods 0.000 abstract 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 3
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Landscapes
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、洗浄槽に、溶剤蒸気洗浄部と、溶剤蒸気を凝
縮させる冷却部とを連通状態に備えた蒸気洗浄装置に関
するものである。
縮させる冷却部とを連通状態に備えた蒸気洗浄装置に関
するものである。
従来のこの種の蒸気洗浄装置の溶剤蒸気冷却部は冷却コ
イルや冷却液カーテンを備えている。
イルや冷却液カーテンを備えている。
従って、溶剤蒸気洗浄部の溶剤蒸気を冷却部へ導く力と
しては、溶剤蒸気の凝縮により減圧した冷却部と溶剤蒸
気洗浄部との、圧力差のみしか作用せず、多量の溶剤蒸
気が被処理物の一出入口から大気中に漏洩していた。
しては、溶剤蒸気の凝縮により減圧した冷却部と溶剤蒸
気洗浄部との、圧力差のみしか作用せず、多量の溶剤蒸
気が被処理物の一出入口から大気中に漏洩していた。
本発明は従来のこの問題点を解決しようとするもので、
溶剤蒸気を積極的に効率良く溶剤蒸気冷却部へ導き、大
気中への漏洩を少なくすることができる蒸気洗浄装置を
提供することを目的とするものである。
溶剤蒸気を積極的に効率良く溶剤蒸気冷却部へ導き、大
気中への漏洩を少なくすることができる蒸気洗浄装置を
提供することを目的とするものである。
本発明の蒸気洗浄装置は、溶剤蒸気冷却部に冷却流体を
下方に向けて噴射する冷却流体噴射口を備えているので
、冷却流体供給口から冷却流体を噴射することにより、
溶剤蒸気を冷却して凝縮（又は固化）せしめることがで
きると同時に溶剤蒸気冷却部に強い下降気流を生ぜしめ
ることかできる。
下方に向けて噴射する冷却流体噴射口を備えているので
、冷却流体供給口から冷却流体を噴射することにより、
溶剤蒸気を冷却して凝縮（又は固化）せしめることがで
きると同時に溶剤蒸気冷却部に強い下降気流を生ぜしめ
ることかできる。
このとき、溶剤蒸気洗浄部上力と溶剤蒸気冷却部との間
には、溶剤１気凝縮による圧力差に加えて、強い下降気
流により大きな圧力差が生じ、溶剤蒸気は溶剤蒸気冷却
部に勢いよく吸い込まれる。
には、溶剤１気凝縮による圧力差に加えて、強い下降気
流により大きな圧力差が生じ、溶剤蒸気は溶剤蒸気冷却
部に勢いよく吸い込まれる。
また、冷却流体噴射口から冷却流体を噴射するので、冷
却流体と溶剤蒸気の接触面積が極めて太き（、溶剤蒸気
を瞬時に凝縮させることができる。
却流体と溶剤蒸気の接触面積が極めて太き（、溶剤蒸気
を瞬時に凝縮させることができる。
その結果によっても溶剤蒸気の溶剤蒸気冷却部への流入
が促進される。
が促進される。
従って、大気中に漏洩する溶剤蒸気の量を極めて少なく
することができる。
することができる。
本発明の実施例を図面を用いて説明する。
上部が開放した内槽１は断熱性の槽壁を有し、外槽２の
中に、側壁相互間、底壁相互間及び槽上縁部相互間に適
宜間隔をあけて同心的に設けられ、内槽１と外槽２で洗
浄槽が形成されている。内槽１は底部に溶剤液を保持し
ていて、内部は溶剤蒸気発生部１８と溶剤蒸気洗浄部１
７となっている。
中に、側壁相互間、底壁相互間及び槽上縁部相互間に適
宜間隔をあけて同心的に設けられ、内槽１と外槽２で洗
浄槽が形成されている。内槽１は底部に溶剤液を保持し
ていて、内部は溶剤蒸気発生部１８と溶剤蒸気洗浄部１
７となっている。
内槽１の上方空間と内槽１と外槽２との間の空間は連通
している。
している。
外槽２はその天井壁の中央部に被洗浄物の出入口３を備
え、出入口３には適宜開閉Ｍ４が取り付けられている。
え、出入口３には適宜開閉Ｍ４が取り付けられている。
また、天井壁のすぐ下に、内槽１と外槽２との間の空間
に向けて冷却流体を噴出するノズル５．６を多数設け、
内槽１の上方空間のまわりと内槽１と外槽２の間の空間
を溶剤蒸気冷却部７としである。溶剤蒸気冷却部７の内
部にも、その最奥部に向って冷却流体を噴出するノズル
２２群を多段に多数設けである。
に向けて冷却流体を噴出するノズル５．６を多数設け、
内槽１の上方空間のまわりと内槽１と外槽２の間の空間
を溶剤蒸気冷却部７としである。溶剤蒸気冷却部７の内
部にも、その最奥部に向って冷却流体を噴出するノズル
２２群を多段に多数設けである。
外槽２の底部は凝縮した溶剤の貯留部８となっており、
底壁には溶剤の抜き出し口９が設けられている。
底壁には溶剤の抜き出し口９が設けられている。
ノズル５は、内槽１の槽側壁上方付近に、できるだけ中
央側の位置に、ノズル６は２つの槽の側壁相互間の中央
部の上方に、それぞれ設けられ、ノズル５は外側に向け
て斜めに、ノズル６は真下に向けて、それぞれ冷却流体
を噴出するようになっている。
央側の位置に、ノズル６は２つの槽の側壁相互間の中央
部の上方に、それぞれ設けられ、ノズル５は外側に向け
て斜めに、ノズル６は真下に向けて、それぞれ冷却流体
を噴出するようになっている。
冷却流体としては気体、液体を問わないが、この例では
抜き出し口９とノズル５，６群とを循環路１０で接続し
、凝縮し冷却した溶剤を用いている。循環路１０には水
分離器を兼ねた冷却槽１１、ポンプ１２、圧力調整弁１
９．２０が備えられている。
抜き出し口９とノズル５，６群とを循環路１０で接続し
、凝縮し冷却した溶剤を用いている。循環路１０には水
分離器を兼ねた冷却槽１１、ポンプ１２、圧力調整弁１
９．２０が備えられている。
図中、１３はヒータ、１４ば溶剤供給管、１５は分流コ
ック、１６は台、２１は軟質の遮蔽蓋である。
ック、１６は台、２１は軟質の遮蔽蓋である。
この実施例ではノズル６からの下方噴射流に加えて、ノ
ズル６よりも内槽１の上方中央部に設けたノズル５から
の斜めの噴射流があるので、内槽１上方中央部の溶剤蒸
気も効率良く溶剤蒸気冷却部７へと導くことができる。
ズル６よりも内槽１の上方中央部に設けたノズル５から
の斜めの噴射流があるので、内槽１上方中央部の溶剤蒸
気も効率良く溶剤蒸気冷却部７へと導くことができる。
また、溶剤蒸気冷却部７へ導かれた溶剤蒸気は、ノズル
５．６群からの冷却溶剤の噴射流との気液接触によって
効率よく瞬時に凝縮するが、凝縮しなかった溶剤蒸気も
ノズル２２群の噴射流とともに最奥部に導かれるまでに
凝縮し、回収される。
５．６群からの冷却溶剤の噴射流との気液接触によって
効率よく瞬時に凝縮するが、凝縮しなかった溶剤蒸気も
ノズル２２群の噴射流とともに最奥部に導かれるまでに
凝縮し、回収される。
また溶剤蒸気冷却部７が溶剤蒸気洗浄部１７の上方部の
まわり全周に設けられているので、溶剤蒸気洗浄部１７
の溶剤蒸気を全周からムラなく溶剤蒸気冷却部７へと導
くことができる。
まわり全周に設けられているので、溶剤蒸気洗浄部１７
の溶剤蒸気を全周からムラなく溶剤蒸気冷却部７へと導
くことができる。
本発明の蒸気洗浄装置は、溶剤蒸気冷却部に冷却流体を
下方に向けて噴射する冷却流体噴射口を備えているので
、冷却流体供給口から冷却流体を噴射することにより、
溶剤蒸気を瞬時に冷却して凝縮せしめることができると
同時に溶剤蒸気冷却部に強い下降気流を生ぜしめる。
下方に向けて噴射する冷却流体噴射口を備えているので
、冷却流体供給口から冷却流体を噴射することにより、
溶剤蒸気を瞬時に冷却して凝縮せしめることができると
同時に溶剤蒸気冷却部に強い下降気流を生ぜしめる。
従って、溶剤蒸気発生部上方と溶剤蒸気冷却部との間に
は、溶剤蒸気凝縮による圧力差に加えて、強い下降気流
により大きな圧力差が生じ、溶剤蒸気は溶剤蒸気冷却部
に勢いよく吸い込まれるので、大気中に漏洩する溶剤蒸
気の量を極めて少なくすることができる。
は、溶剤蒸気凝縮による圧力差に加えて、強い下降気流
により大きな圧力差が生じ、溶剤蒸気は溶剤蒸気冷却部
に勢いよく吸い込まれるので、大気中に漏洩する溶剤蒸
気の量を極めて少なくすることができる。
第１図は本発明の実施例の縦断面図である。
１・・・内槽、２・・・外槽、３・・・出入口、４・・
・開閉蓋、５・・・ノズル、６・・・ノズル、７・・・
溶剤蒸気冷却部、８・・・貯留部、９・・・抜き出し口
、１０・・・循環路、１１・・・冷却槽、１２・・・ポ
ンプ、１３・・・ヒータ、１４・・・溶剤供給管、１５
・・・分流コック、１６・・・台、１７・・・溶剤蒸気
洗浄部、１８・・・溶剤蒸気発生部、１９・・・圧力調
整弁、２０・・・圧力調整弁、２１・・・遮両流、 ２２・・・ノズル。
・開閉蓋、５・・・ノズル、６・・・ノズル、７・・・
溶剤蒸気冷却部、８・・・貯留部、９・・・抜き出し口
、１０・・・循環路、１１・・・冷却槽、１２・・・ポ
ンプ、１３・・・ヒータ、１４・・・溶剤供給管、１５
・・・分流コック、１６・・・台、１７・・・溶剤蒸気
洗浄部、１８・・・溶剤蒸気発生部、１９・・・圧力調
整弁、２０・・・圧力調整弁、２１・・・遮両流、 ２２・・・ノズル。
Claims (1)
- （１）洗浄槽内に溶剤蒸気洗浄部と溶剤蒸気冷却部とを
連通させて設けた蒸気洗浄装置において、前記溶剤蒸気
冷却部は冷却流体を下方に向けて噴射する冷却流体噴射
口を備えていることを特徴とする蒸気洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15458788A JPH024492A (ja) | 1988-06-24 | 1988-06-24 | 蒸気洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15458788A JPH024492A (ja) | 1988-06-24 | 1988-06-24 | 蒸気洗浄装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH024492A true JPH024492A (ja) | 1990-01-09 |
Family
ID=15587456
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15458788A Pending JPH024492A (ja) | 1988-06-24 | 1988-06-24 | 蒸気洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH024492A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0222530U (ja) * | 1988-07-28 | 1990-02-15 | ||
| JPH04290433A (ja) * | 1991-03-19 | 1992-10-15 | Nec Yamaguchi Ltd | 半導体集積回路装置の洗浄装置 |
-
1988
- 1988-06-24 JP JP15458788A patent/JPH024492A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0222530U (ja) * | 1988-07-28 | 1990-02-15 | ||
| JPH04290433A (ja) * | 1991-03-19 | 1992-10-15 | Nec Yamaguchi Ltd | 半導体集積回路装置の洗浄装置 |
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