JPH0244558Y2 - - Google Patents
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- JPH0244558Y2 JPH0244558Y2 JP10237087U JP10237087U JPH0244558Y2 JP H0244558 Y2 JPH0244558 Y2 JP H0244558Y2 JP 10237087 U JP10237087 U JP 10237087U JP 10237087 U JP10237087 U JP 10237087U JP H0244558 Y2 JPH0244558 Y2 JP H0244558Y2
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- negative pressure
- suction
- passages
- switching means
- circuit
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- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 10
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
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Description
【考案の詳細な説明】
産業上の利用分野
本考案は、回路基板のような板状物を、負圧を
用いて、吸着、位置決めする板状物の吸着保持機
構に関する。[Detailed Description of the Invention] Industrial Application Field The present invention relates to a suction and holding mechanism for a plate-shaped object such as a circuit board, which attracts and positions the plate-shaped object using negative pressure.
従来技術
従来、この種の吸着保持機構としては、第７図
及び第８図に示すものが知られている。第７図に
おいて、吸着テーブル１に複数の吸着穴２が設け
られ、またこの吸着穴２はホース３と連通され、
このホース３は負圧源に接続されている。そし
て、負圧源を作動して、吸着テーブル１の位置決
め突起４に接触させて基板５を置くと、基板５は
吸着穴２の負圧によつて吸着される。Prior Art Conventionally, as this type of suction holding mechanism, those shown in FIGS. 7 and 8 are known. In FIG. 7, a suction table 1 is provided with a plurality of suction holes 2, and the suction holes 2 are communicated with a hose 3.
This hose 3 is connected to a negative pressure source. Then, when the negative pressure source is activated and the substrate 5 is placed in contact with the positioning protrusion 4 of the suction table 1, the substrate 5 is suctioned by the negative pressure in the suction hole 2.
また、第８図における吸着保持機構では、吸着
テーブル１に一方の角から対向する角に向つて順
次大きな十字を形成する溝６ａ，６ｂ，６ｃが設
けられ、これらの溝６ａ，６ｂ，６ｃはそれぞれ
ホース８を接続する接続口７ａ，７ｂ，７ｃに連
通されている。 In addition, in the suction holding mechanism shown in FIG. 8, grooves 6a, 6b, and 6c are provided in the suction table 1, and these grooves 6a, 6b, and 6c form successively larger crosses from one corner to the opposite corner. They are communicated with connection ports 7a, 7b, and 7c to which hoses 8 are connected, respectively.
考案が解決しようとする問題点
しかしながら、第７図の吸着保持機構では、基
板５のサイズに応じて吸着穴２の数が異なるテー
ブル１を交換しなければならないため、基板５の
サイズが頻繁に変更される場合は、テーブル１の
変更が面倒であるという問題があつた。Problems to be Solved by the Invention However, with the suction holding mechanism shown in FIG. When changing Table 1, there was a problem that changing Table 1 was troublesome.
また、第８図の吸着保持機構では、基板５のサ
イズに応じてホース８を接続口７ａ，７ｂ，７ｃ
のいずれかに接続し、最適な状態で吸着するよう
にしているため、ホース８の接続口７ａ，７ｂ，
７ｃへのマニユアル切換えは危険があるという問
題があつた。 In addition, in the suction holding mechanism shown in FIG.
The connection port 7a, 7b of the hose 8,
There was a problem that manual switching to 7c was dangerous.
問題点を解決するための手段
本考案は、上記問題点を解決するために、互い
に貫通しない複数の負圧通路を設け、該負圧通路
のそれぞれの表面に複数の吸着穴を設けたテーブ
ルと、該テーブルの前記負圧通路のそれぞれに接
続された負圧の供給を切換える負圧供給切換え手
段と、該負圧供給切換え手段に負圧を供給する真
空発生器と、該真空発生器から負圧供給切換え手
段へ供給する負圧を検出する負圧センサと、該負
圧センサによつて負圧が検出されない時、前記負
圧供給切換え手段によつて前記テーブルの前記負
圧通路を負圧が検出されるまで順次閉じるように
制御する切換え制御手段とからなることを特徴と
する。Means for Solving the Problems In order to solve the above problems, the present invention provides a table in which a plurality of negative pressure passages that do not penetrate each other are provided, and a plurality of suction holes are provided on the surfaces of each of the negative pressure passages. , a negative pressure supply switching means for switching the supply of negative pressure connected to each of the negative pressure passages of the table, a vacuum generator for supplying negative pressure to the negative pressure supply switching means, and a vacuum generator for supplying negative pressure to the negative pressure supply switching means; A negative pressure sensor detects negative pressure supplied to a pressure supply switching means, and when negative pressure is not detected by the negative pressure sensor, the negative pressure passage of the table is set to a negative pressure by the negative pressure supply switching means. and switching control means for sequentially closing the switch until the switch is detected.
作 用
本考案によれば、テーブルに基板を載置したと
き、基板が覆つている吸着穴以外の吸着穴は大気
と連通しているので、テーブルの複数の負圧通路
の位置決め突起から離れた負圧通路を、負圧が検
出されるまで順次閉じていくことにより、種々の
サイズの基板を吸着保持することができる。Effects According to the present invention, when the substrate is placed on the table, the suction holes other than the suction holes covered by the substrate communicate with the atmosphere. By sequentially closing the negative pressure passages until negative pressure is detected, substrates of various sizes can be held by suction.
実施例
第１図は、本考案の実施例の吸着保持機構の構
成図で、テーブル９の表面に位置決め突起１０が
設けられ、また表面に多数の吸着穴１１が設けら
れている。この吸着穴１１は、第２図の点線で示
すようにテーブル９の内部に設けられた負圧通路
１２1，１２2，……，１２oにそれぞれ設けられ
ている。この負圧通路１２1、１２2…、１２oは、
テーブル９の一方の角から他方の角に向かつて順
次大きくなる〓状に形成され、それぞれ接続口１
３1，１３2，……，１３oを介してホース１４1，
１４2，……，１４oに接続されている。そして、
これらのホース１４1，１４2，……，１４oは負
圧供給切換え手段としての電磁弁１５1，１５2，
……，１５oに接続され、また、電磁弁１５1，１
５2，……，１５oは電磁弁駆動回路１６1，１６
２，……，１６oに接続され、さらに電磁弁駆動回
路１６1，１６2，……，１６oは切換え制御手段
としてのCPU１７によつて駆動される。また、
電磁弁１５1，１５2，……，１５oは真空発生器
１８に接続され、この真空発生器１８からの負圧
は負圧センサ１９で検出され、検出信号はCPU
１７に入力される。Embodiment FIG. 1 is a block diagram of a suction holding mechanism according to an embodiment of the present invention, in which a positioning protrusion 10 is provided on the surface of a table 9, and a large number of suction holes 11 are provided on the surface. The suction holes 11 are provided in negative pressure passages 12 1 , 12 2 , . . . , 12 o provided inside the table 9, respectively, as shown by dotted lines in FIG. These negative pressure passages 12 1 , 12 2 ..., 12 o are
The table 9 is formed in a 〓 shape that gradually becomes larger from one corner to the other corner, and each connection port 1
3 1 , 13 2 , ..., 13 o via the hose 14 1 ,
14 2 , ..., 14 o . and,
These hoses 14 1 , 14 2 , ..., 14 o are connected to solenoid valves 15 1 , 15 2 , as negative pressure supply switching means.
..., 15 o , and the solenoid valve 15 1 , 1
5 2 , ..., 15 o are solenoid valve drive circuits 16 1 , 16
The solenoid valve drive circuits 16 1 , 16 2 , . . . , 16 o are further driven by a CPU 17 as a switching control means. Also,
The solenoid valves 15 1 , 15 2 , ..., 15 o are connected to a vacuum generator 18 , the negative pressure from the vacuum generator 18 is detected by a negative pressure sensor 19 , and the detection signal is sent to the CPU
17.
次に、この本実施例の動作を第３図のフローチ
ヤートにより説明する。まず、電磁弁１５1，１
５2，……，１５oは総べてオンにして基板をテー
ブル９の上に載置すると、基板で覆われていない
吸着穴１１は大気とオープンになつているので、
負圧センサ１９は負圧を検出しないため、CPU
１７から信号が出され、一番大きい〓状の負圧通
路１２oを閉じるように電磁弁駆動回路１６oが駆
動され、電磁弁１５oをオフにする。ここで、
CPU１７のタイマが動作し、負圧センサ１９が
安定するのを待つ。そして、一定時間後に負圧セ
ンサ１９が負圧を検出しない場合は、さらに電磁
駆動回路１６o-1を駆動して電磁弁１５o-1をオフ
にする。 Next, the operation of this embodiment will be explained with reference to the flowchart shown in FIG. First, the solenoid valve 15 1 , 1
5 2 , .
Since the negative pressure sensor 19 does not detect negative pressure, the CPU
A signal is output from 17, and the solenoid valve drive circuit 16o is driven to close the largest square-shaped negative pressure passage 12o , turning off the solenoid valve 15o . here,
The timer of the CPU 17 operates and waits for the negative pressure sensor 19 to stabilize. If the negative pressure sensor 19 does not detect negative pressure after a certain period of time, the electromagnetic drive circuit 16 o-1 is further driven to turn off the electromagnetic valve 15 o-1 .
このようにして順次電磁弁１５をオフにするこ
とにより、負圧センサ１９で負圧が検出された
時、基板によつて大気にオープンにされた吸着穴
がなくなり、吸着穴の負圧面と基板のサイズが一
致した時点で動作が終了する。 By sequentially turning off the solenoid valves 15 in this way, when negative pressure is detected by the negative pressure sensor 19, the suction hole opened to the atmosphere by the board disappears, and the suction hole's negative pressure surface and the board The operation ends when the sizes of the two match.
第４図は、本考案の他の実施例の吸着保持機構
の回路図で、切換え制御手段としてのハード回路
３２o，３２o-1，……はそれぞれ負圧判定回路２
０、ラツチ回路２１、タイマ回路２２を有し、ラ
ツチ回路２１はトランジスタ２３のベースに接続
され、トランジスタ２３のコレクタはそれぞれ電
磁弁１５o，１５o-1，……に接続され、タイマ回
路２２は次のハード回路に接続されている。そし
て、負圧判定回路２０に負圧センサ１９が接続さ
れている。また、トランジスタ２３のコレクタは
それぞれ抵抗２４を介して電磁弁駆動電圧源Vcc
に接続され、エミツタはそれぞれアースされてい
る。一方、トランジスタ２３のコレクタは電磁弁
１５o，１５o-1，……を介してテーブル９の接続
口１３o，１３o-1，……に接続される（第１図参
照）。 FIG. 4 is a circuit diagram of a suction holding mechanism according to another embodiment of the present invention, in which hardware circuits 32o , 32o-1 , .
0, a latch circuit 21, and a timer circuit 22, the latch circuit 21 is connected to the base of a transistor 23, the collector of the transistor 23 is connected to the solenoid valves 15 o , 15 o-1 , . . . , and the timer circuit 22 is connected to the following hard circuit. A negative pressure sensor 19 is connected to the negative pressure determination circuit 20. In addition, the collectors of the transistors 23 are connected to the solenoid valve drive voltage source Vcc through the resistors 24, respectively.
and each emitter is grounded. On the other hand, the collector of the transistor 23 is connected to the connection ports 13 o , 13 o-1 , . . . of the table 9 via electromagnetic valves 15 o , 15 o-1 , . . . (see FIG. 1).
この実施例の動作は、まず、端子２５から吸着
開始信号がハード回路３２oに入力されると、負
圧判定回路２０は負圧センサ１９から負圧信号が
あるかないかを判定し、負圧がなければ、ラツチ
回路２１に信号をラツチし、それに接続されたト
ランジスタ２３をオンにし、それによつて、電磁
弁１５oをオフにする。その後、タイマ回路２２
を駆動して一定時間の後、次のハード回路３２o-
１の負圧判定回路２０を動作し、負圧センサ１９
から負圧信号があるかないかを判定し、負圧がな
ければ、ラツチ回路２１をオンにし、それによつ
て、電磁弁１５o-1をオフにする。その後、タイ
マ回路２２を駆動して一定時間の後、次のハード
回路３２を駆動するというように、前記実施例と
同様に電磁弁１５を順次オフにして、負圧センサ
１９が負圧が検出されない時に基板がテーブル９
で確実に保持される。 The operation of this embodiment is as follows. First, when a suction start signal is input from the terminal 25 to the hardware circuit 32o , the negative pressure determination circuit 20 determines whether or not there is a negative pressure signal from the negative pressure sensor 19, and If not, it latches a signal in the latch circuit 21, turning on the transistor 23 connected thereto, thereby turning off the solenoid valve 15o . After that, the timer circuit 22
After a certain period of time, the next hard circuit 32 o-
The negative pressure determination circuit 20 of No. 1 is operated, and the negative pressure sensor 19
If there is no negative pressure, the latch circuit 21 is turned on, thereby turning off the solenoid valve 15 o-1 . Thereafter, the timer circuit 22 is driven, and after a certain period of time, the next hardware circuit 32 is driven, and the solenoid valves 15 are sequentially turned off in the same manner as in the embodiment described above, and the negative pressure sensor 19 detects the negative pressure. when the board is not on table 9
is securely held.
第５図は、本考案のさらに他の実施例の吸着保
持機構の構成図で、９はテーブル、１０は位置決
め突起、１１は吸着穴、１２1，１２2，……，１
２oは負圧通路、１３1，１３2，……，１３oは接
続口、１４1，１４2，……，１４oはホース、１
７はCPU、１８は真空発生器、１９は負圧セン
サであり、これらの構成は第１図の実施例とほぼ
同様であるので、説明は省略する。本実施例で
は、ホース１４1，１４2，……，１４oは切換ド
ラム２６の接続口２７1，２７2，……、２７oに
接続され、この接続口２７1、２７2、……、２７
ｏは第６図の点線で示すように切換ドラム２６の
負圧供給室２８に接続され、この負圧供給室２８
に真空発生器１８からホースが接続されて負圧が
供給され、この真空発生器１８からの負圧は負圧
センサ１９で検出されている。また、負圧供給室
２８内に切換ロータ２９が回転可能に設けられ、
さらにこの切換ロータ２９はステツプモータ３０
によつて回転される。このステツプモータ３０は
CPU１７からの出力によつてモータ駆動回路３
１が駆動すると、モータ駆動回路３１からステツ
プモータ３０を１ステツプ駆動する信号を供給す
る。なお、切換ドラム２６、負圧供給室２８、切
換ロータ２９、ステツプモータ３０等で負圧供給
切換手段を形成している。 FIG. 5 is a configuration diagram of a suction holding mechanism according to still another embodiment of the present invention, in which 9 is a table, 10 is a positioning protrusion, 11 is a suction hole, 12 1 , 12 2 , . . . , 1
2 o is a negative pressure passage, 13 1 , 13 2 , ..., 13 o is a connection port, 14 1 , 14 2 , ..., 14 o is a hose, 1
7 is a CPU, 18 is a vacuum generator, and 19 is a negative pressure sensor, and since these structures are almost the same as those in the embodiment shown in FIG. 1, their explanations will be omitted. In this embodiment, the hoses 14 1 , 14 2 , ..., 14 o are connected to the connection ports 27 1 , 27 2 , ..., 27 o of the switching drum 26, and these connection ports 27 1 , 27 2 , ... , 27
o is connected to the negative pressure supply chamber 28 of the switching drum 26 as shown by the dotted line in FIG.
A hose is connected to the vacuum generator 18 to supply negative pressure, and the negative pressure from the vacuum generator 18 is detected by a negative pressure sensor 19. Further, a switching rotor 29 is rotatably provided in the negative pressure supply chamber 28,
Furthermore, this switching rotor 29 is connected to a step motor 30.
rotated by. This step motor 30 is
The motor drive circuit 3 is controlled by the output from the CPU 17.
1 is driven, the motor drive circuit 31 supplies a signal to drive the step motor 30 one step. Note that the switching drum 26, the negative pressure supply chamber 28, the switching rotor 29, the step motor 30, etc. form a negative pressure supply switching means.
次に、本実施例の動作を説明する。まず、切換
ドラム２６の負圧供給室２８で切換ロータ２９に
よつて接続口２７1，２７2，……，２７oは総べ
て開かれ、また負圧供給室２８内のエアーは真空
発生器１８で抜かれている。そして、第１図の実
施例と同様に負圧センサ１９で負圧が検出されな
い場合は、モータ駆動回路３１から信号が出力さ
れ、ステツプモータ３０を１ステツプ駆動する。
ステツプモータ３０の回転で切換ロータ２９が第
６図の矢印方向に回転すると、接続口２７oが閉
じられる。そして、CPU１７のタイマにより一
定時間経過した後、負圧センサで負圧を検出し、
負圧信号がなければ、ステツプモータ３０を回転
して接続口２７o-1を閉じ、負圧が検出されなけ
れば、順次接続口２７を閉じ、負圧が検出される
と、ステツプモータ３０をそれ以上回転しない。 Next, the operation of this embodiment will be explained. First, in the negative pressure supply chamber 28 of the switching drum 26, all the connection ports 27 1 , 27 2 , . It is removed in container 18. Similarly to the embodiment shown in FIG. 1, if the negative pressure sensor 19 does not detect negative pressure, a signal is output from the motor drive circuit 31 to drive the step motor 30 one step.
When the switching rotor 29 rotates in the direction of the arrow in FIG. 6 due to the rotation of the step motor 30, the connection port 27o is closed. Then, after a certain period of time has elapsed by the timer of the CPU 17, the negative pressure is detected by the negative pressure sensor,
If there is no negative pressure signal, the step motor 30 is rotated to close the connection port 27 o-1 . If no negative pressure is detected, the connection port 27 is closed in sequence, and if negative pressure is detected, the step motor 30 is rotated. It won't rotate any more.
本実施例は、このようにして負圧センサ１９で
負圧が検出されるまでステツプモータ３０を回転
し、負圧検出されると、ステツプモータ３０を停
止することにより、基板がテーブル９の上に確実
に位置決め、保持される。 In this embodiment, the step motor 30 is rotated in this manner until negative pressure is detected by the negative pressure sensor 19, and when the negative pressure is detected, the step motor 30 is stopped, so that the substrate is placed on the table 9. be reliably positioned and held.
なお、上記実施例では、ステツプモータ３０を
使用した例を説明したが、リニアモータでもよ
い。 In the above embodiment, a step motor 30 is used, but a linear motor may also be used.
考案の効果
以上の説明から明らかなように、本考案によれ
ば、テーブルに基板を載置したとき、基板が覆つ
ている吸着穴以外の吸着穴は大気と連通している
ので、基板が覆われていない負圧通路を、負圧が
検出されるまで順次閉じていくことにより、積載
テーブルを交換したり、また吸着経路をマニユア
ルで切換える必要がないため、簡単に、かつ危険
を伴わずに種々のサイズの基板を吸着、位置決め
保持することができるという利点がある。Effects of the invention As is clear from the above explanation, according to the invention, when a substrate is placed on a table, the suction holes other than those covered by the substrate communicate with the atmosphere, so the substrate is covered. By sequentially closing unused negative pressure passages until negative pressure is detected, there is no need to replace the loading table or manually switch the suction route, making it easy and risk-free. It has the advantage of being able to attract, position and hold substrates of various sizes.
第１図は本考案の実施例の吸着保持機構の構成
図、第２図は第１図のテーブルの平面図、第３図
は第１図の動作を説明するフロートチヤート、第
４図は本考案の他の実施例の吸着保持機構の回路
図、第５図は本考案のさらに他の実施例の吸着保
持機構の構成図、第６図は第５図の切換ロータ及
びテーブルの平面図、第７図は従来の吸着保持機
構の斜視図、第８図は他の従来の吸着保持機構の
斜視図である。
９……テーブル、１０……位置決め突起、１１
……吸着穴、１２1，１２2，……，１２o……負
圧通路、１３1，１３2，……，１３o……接続口、
１４1，１４2，……，１４o……ホース、１５1，
１５2，……，１５o……電磁弁、１６1，１６2，
……，１６o……電磁弁駆動回路、１７……
CPU、１８……真空発生器、１９……負圧セン
サ、２０……負圧判定回路、２１……ラツチ回
路、２２……タイマ回路、２３……トランジス
タ、２４……抵抗。
Fig. 1 is a configuration diagram of the suction holding mechanism according to the embodiment of the present invention, Fig. 2 is a plan view of the table shown in Fig. 1, Fig. 3 is a float chart explaining the operation of Fig. 1, and Fig. 4 is a booklet. A circuit diagram of a suction holding mechanism according to another embodiment of the invention, FIG. 5 is a configuration diagram of a suction holding mechanism according to another embodiment of the invention, FIG. 6 is a plan view of the switching rotor and table of FIG. 5, FIG. 7 is a perspective view of a conventional suction holding mechanism, and FIG. 8 is a perspective view of another conventional suction holding mechanism. 9...Table, 10...Positioning protrusion, 11
...suction hole, 12 1 , 12 2 , ..., 12 o ... negative pressure passage, 13 1 , 13 2 , ..., 13 o ... connection port,
14 1 , 14 2 , ..., 14 o ... hose, 15 1 ,
15 2 , ..., 15 o ... solenoid valve, 16 1 , 16 2 ,
..., 16 o ... Solenoid valve drive circuit, 17 ...
CPU, 18... Vacuum generator, 19... Negative pressure sensor, 20... Negative pressure determination circuit, 21... Latch circuit, 22... Timer circuit, 23... Transistor, 24... Resistor.
Claims (1)
圧通路のそれぞれの表面に複数の吸着穴を設けた
テーブルと、該テーブルの前記負圧通路のそれぞ
れに接続された負圧の供給を切換える負圧供給切
換え手段と、該負圧供給切換え手段に負圧を供給
する真空発生器と、該真空発生器から負圧供給切
換え手段へ供給する負圧を検出する負圧センサ
と、該負圧センサによつて負圧が検出されない
時、前記負圧供給切換え手段によつて前記テーブ
ルの前記負圧通路を負圧が検出されるまで順次閉
じるように制御する切換え制御手段とからなる板
状物の吸着保持機構。 A table provided with a plurality of negative pressure passages that do not penetrate each other, and a plurality of suction holes provided on the surface of each of the negative pressure passages, and a vacuum cleaner connected to each of the negative pressure passages of the table for switching the supply of negative pressure. A pressure supply switching means, a vacuum generator that supplies negative pressure to the negative pressure supply switching means, a negative pressure sensor that detects the negative pressure supplied from the vacuum generator to the negative pressure supply switching means, and the negative pressure sensor. switching control means for controlling the negative pressure supply switching means to sequentially close the negative pressure passages of the table until negative pressure is detected; Adsorption holding mechanism.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10237087U JPH0244558Y2 (en) | 1987-07-03 | 1987-07-03 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10237087U JPH0244558Y2 (en) | 1987-07-03 | 1987-07-03 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6413200U JPS6413200U (en) | 1989-01-24 |
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Family
ID=31332219
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10237087U Expired JPH0244558Y2 (en) | 1987-07-03 | 1987-07-03 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0244558Y2 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102363248A (en) * | 2010-06-15 | 2012-02-29 | 株式会社Lg化学 | Roll-film suction device of roll-film cutting system |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JP5201642B2 (en) * | 2011-07-19 | 2013-06-05 | 株式会社日本製鋼所 | Adsorption device and processing device |
| CN114535841A (en) * | 2022-02-28 | 2022-05-27 | 中钞印制技术研究院有限公司 | Bearing platform and processing equipment |
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1987
- 1987-07-03 JP JP10237087U patent/JPH0244558Y2/ja not_active Expired
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| JPS6413200U (en) | 1989-01-24 |
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