JPH0242318A - 流量センサ - Google Patents
流量センサInfo
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- JPH0242318A JPH0242318A JP19399088A JP19399088A JPH0242318A JP H0242318 A JPH0242318 A JP H0242318A JP 19399088 A JP19399088 A JP 19399088A JP 19399088 A JP19399088 A JP 19399088A JP H0242318 A JPH0242318 A JP H0242318A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resistance plate
- inlet pipe
- outlet pipe
- inductance
- resistance
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims abstract description 9
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 claims description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 5
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- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 abstract 1
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- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 2
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Landscapes
- Measuring Volume Flow (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は空気、ガス、水、油などの流体の流路に設けて
微少？１ｉｔｌを計測する８！量センサに関するもので
ある。
微少？１ｉｔｌを計測する８！量センサに関するもので
ある。
［従来の技術〕
流量が比較的多い場合の流量センサとして、ギヤ式、ル
ーツ式、タービン式などが知られている。
ーツ式、タービン式などが知られている。
例えば、燃焼装置の燃料流量、内燃機関の燃料流量、医
療機器の薬品の流量など微少流量の場合の流ｌセンサは
、歪ゲージを用いたものと、抵抗板による変位を流路か
ら離れた部位でダイヤフラムとＥ型コアを用いて計測す
るものがある。歪式のものは歪ゲージが流体に触れる部
位に設けられるので、防水などの保護とリード線の取り
扱いに配慮しなければならない。そのため、作動抵抗が
生じ、特に微少流量の場合は計測誤差が生じやすい。
療機器の薬品の流量など微少流量の場合の流ｌセンサは
、歪ゲージを用いたものと、抵抗板による変位を流路か
ら離れた部位でダイヤフラムとＥ型コアを用いて計測す
るものがある。歪式のものは歪ゲージが流体に触れる部
位に設けられるので、防水などの保護とリード線の取り
扱いに配慮しなければならない。そのため、作動抵抗が
生じ、特に微少流量の場合は計測誤差が生じやすい。
ダイヤフラムを用いたものは、ダイヤフラムの剛性によ
る作動抵抗があり、Ｅ型コアを用いるために構造が複雑
になる。また、流路が屈曲したものとなるために、流体
の流れが複雑になり、計測精度が劣る。
る作動抵抗があり、Ｅ型コアを用いるために構造が複雑
になる。また、流路が屈曲したものとなるために、流体
の流れが複雑になり、計測精度が劣る。
［発明が解決しようとする問題点］
本発明の目的は流体の流れが単純で作動抵抗がなく、計
測精度の高い流量センサを提供することにある。
測精度の高い流量センサを提供することにある。
［問題を解決するための手段］
上記目的を達成するために、本発明の構成は同軸に並ぶ
入口管と出口管と間に結合したハウジングのセンサ空に
、ばね力に抗して流体の流通抵抗により変位する磁性材
料製抵抗板を配設し、ハウジングの端壁に接近して入口
管と出口管に、抵抗板の変位によりインダクタンスが変
化する１対のコイルをそれぞれ外嵌したものである。
入口管と出口管と間に結合したハウジングのセンサ空に
、ばね力に抗して流体の流通抵抗により変位する磁性材
料製抵抗板を配設し、ハウジングの端壁に接近して入口
管と出口管に、抵抗板の変位によりインダクタンスが変
化する１対のコイルをそれぞれ外嵌したものである。
［ｆ￥用］
入口管１からセンサ室３を経て出口管２へ流体が流れる
時、センサ室３に配設された抵抗板４に流体の動圧が作
用し、抵抗板４を支持するばね１０の撓みを伴って抵抗
板４が下流側へ変位する。
時、センサ室３に配設された抵抗板４に流体の動圧が作
用し、抵抗板４を支持するばね１０の撓みを伴って抵抗
板４が下流側へ変位する。
この変位は抵抗板４の両側に配設される１対の差動コイ
ル６．７のインダクタンス変化をもたらし、このインダ
クタンス変化から流量が電圧として検出される。
ル６．７のインダクタンス変化をもたらし、このインダ
クタンス変化から流量が電圧として検出される。
［発明の実施例］
第１，２図に示すように、入口管１と一体のハウジング
１２と、出口管２と一体のハウジング１３が両者の間に
シール部材１７を挟んで重ね合され、複数のボルト１４
により結合され、ハウジング１２．１３の内部に円筒形
のセンサ室３が区画される。
１２と、出口管２と一体のハウジング１３が両者の間に
シール部材１７を挟んで重ね合され、複数のボルト１４
により結合され、ハウジング１２．１３の内部に円筒形
のセンサ室３が区画される。
同軸に並ぶ入口管１と出口管２０間のセンサ室３に、抵
抗板４がばね部材１０により配設される。
抗板４がばね部材１０により配設される。
ばね部材１０はハウジング１２．１３の間に挟持され、
かつ接着剤５により固定される。
かつ接着剤５により固定される。
抵抗板４の軸方向の変位を検出するために、入口管１に
コイル６が外嵌され、ハウジング１２の外壁に衝合した
状態に止め輪１５により支持される。同様に、出口管２
にコイル７が外嵌され、止め輪１６により支持される。
コイル６が外嵌され、ハウジング１２の外壁に衝合した
状態に止め輪１５により支持される。同様に、出口管２
にコイル７が外嵌され、止め輪１６により支持される。
１対のコイル６．７から引き出される導ＩＧ１８゜１９
は第３図に示すように結線される。
は第３図に示すように結線される。
第３図において、６，７はコイル、３０は発振器、３１
．４１はコンデンサ、３２，３３，４２゜４３はダイオ
ード、３４．４４は抵抗、３５．４５は演算増幅器であ
る。
．４１はコンデンサ、３２，３３，４２゜４３はダイオ
ード、３４．４４は抵抗、３５．４５は演算増幅器であ
る。
第１図において、コイル６．７は同じ特性のものであり
、抵抗板４は流量Ｏの時コイル６．７の中心に配される
。流通に比例して抵抗板４が出口側へ変位すると、コイ
ル６のインダクタンスが増加し、コイル７のインダクタ
ンスが減少する。第３図に示す出力端子３６の電圧ｖ１
が低くなり、出力端子４６の電圧Ｖ２が高くなる。コイ
ル６゜７のインダクタンスをＬｌ 、Ｌ２とし、コイル
６゜７の間隔を２８、抵抗板４の中心位置から左方への
変位量をＸとすると、抵抗板４の変位に対するコイル６
．７のインダクタンスと出力端子３６゜４６の電圧Ｖ１
、Ｖ２の関係は次式で表され、Ｖｌ −Ｖ２ １１−
Ｌ２ ｘ Ｖｌ ＋Ｖ２を一定にすれば、差電圧Ｖ１−Ｖ２は抵抗
板４の変位量に比例する。すなわち、流量変化は出力端
子３６．４６の差電圧として計測される。
、抵抗板４は流量Ｏの時コイル６．７の中心に配される
。流通に比例して抵抗板４が出口側へ変位すると、コイ
ル６のインダクタンスが増加し、コイル７のインダクタ
ンスが減少する。第３図に示す出力端子３６の電圧ｖ１
が低くなり、出力端子４６の電圧Ｖ２が高くなる。コイ
ル６゜７のインダクタンスをＬｌ 、Ｌ２とし、コイル
６゜７の間隔を２８、抵抗板４の中心位置から左方への
変位量をＸとすると、抵抗板４の変位に対するコイル６
．７のインダクタンスと出力端子３６゜４６の電圧Ｖ１
、Ｖ２の関係は次式で表され、Ｖｌ −Ｖ２ １１−
Ｌ２ ｘ Ｖｌ ＋Ｖ２を一定にすれば、差電圧Ｖ１−Ｖ２は抵抗
板４の変位量に比例する。すなわち、流量変化は出力端
子３６．４６の差電圧として計測される。
なお、上述の実施例で、抵抗板４は円板に限定されるも
のでなく、正方形のものでもよい。また、抵抗板４を支
持するばねとしては板ばねでも線ばねでもよい。
のでなく、正方形のものでもよい。また、抵抗板４を支
持するばねとしては板ばねでも線ばねでもよい。
［発明の効果］
本発明は上述のように、同軸に並ぶ入口管と出口管と間
に結合したハウジングのセンサ室に、ばね力に抗して流
体の流通抵抗により変位する磁性材料製抵抗板を配設し
、ハウジングの端壁に接近して入口管と出口管に、抵抗
板の変位によりインダクタンスが変化する１対のコイル
をそれぞれ外嵌したから、入口管から出口管へ向う流体
の流湯に比例して抵抗板の位置が変化し、この抵抗板の
位置変化は１対のコイルのインダクタンス変化をもたら
し、検出回路において、入口管のコイルのインダクタン
スの増加と、出口管のコイルのインダクタンスの減少を
もたらし、抵抗板の微少な変化に対して大きなインダク
タンスの差が得られ、検出回路において出力端子間の差
電圧として検出される。
に結合したハウジングのセンサ室に、ばね力に抗して流
体の流通抵抗により変位する磁性材料製抵抗板を配設し
、ハウジングの端壁に接近して入口管と出口管に、抵抗
板の変位によりインダクタンスが変化する１対のコイル
をそれぞれ外嵌したから、入口管から出口管へ向う流体
の流湯に比例して抵抗板の位置が変化し、この抵抗板の
位置変化は１対のコイルのインダクタンス変化をもたら
し、検出回路において、入口管のコイルのインダクタン
スの増加と、出口管のコイルのインダクタンスの減少を
もたらし、抵抗板の微少な変化に対して大きなインダク
タンスの差が得られ、検出回路において出力端子間の差
電圧として検出される。
本発明によれば、入口管と出口管が同軸に並ぶので、流
体の流れが単純であり、作動抵抗が少なく、精度の高い
計測結果が得られる。また、構造が簡単で小型であるか
ら、安価な流量センサが得られる。
体の流れが単純であり、作動抵抗が少なく、精度の高い
計測結果が得られる。また、構造が簡単で小型であるか
ら、安価な流量センサが得られる。
第１図は本発明に係る流湯センサの側面断面図、第２図
は同正面図、第３図はインダクタンス変化から電圧変化
として流量を検出する回路図である。 １：入口管 ２：出口管 ３：センサ苗 ４：抵抗板
６，７：コイル １０：ばね部材 １２゜１３ニハウジ
ング
は同正面図、第３図はインダクタンス変化から電圧変化
として流量を検出する回路図である。 １：入口管 ２：出口管 ３：センサ苗 ４：抵抗板
６，７：コイル １０：ばね部材 １２゜１３ニハウジ
ング
Claims (1)
- 同軸に並ぶ入口管と出口管と間に結合したハウジングの
センサ室に、ばね力に抗して流体の流通抵抗により変位
する磁性材料製抵抗板を配設し、ハウジングの端壁に接
近して入口管と出口管に、抵抗板の変位によりインダク
タンスが変化する１対のコイルをそれぞれ外嵌したこと
を特徴とする流量センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19399088A JPH0242318A (ja) | 1988-08-03 | 1988-08-03 | 流量センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19399088A JPH0242318A (ja) | 1988-08-03 | 1988-08-03 | 流量センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0242318A true JPH0242318A (ja) | 1990-02-13 |
Family
ID=16317135
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19399088A Pending JPH0242318A (ja) | 1988-08-03 | 1988-08-03 | 流量センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0242318A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20220170685A (ko) * | 2021-06-23 | 2022-12-30 | 주식회사 케이티앤지 | 에어로졸 생성 장치 및 그의 동작 방법 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6228407A (ja) * | 1985-07-25 | 1987-02-06 | Kuraray Co Ltd | 高強度高弾性率繊維の製造方法 |
| JPS62165121A (ja) * | 1986-01-16 | 1987-07-21 | Cosmo Keiki:Kk | 流量変換装置 |
-
1988
- 1988-08-03 JP JP19399088A patent/JPH0242318A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6228407A (ja) * | 1985-07-25 | 1987-02-06 | Kuraray Co Ltd | 高強度高弾性率繊維の製造方法 |
| JPS62165121A (ja) * | 1986-01-16 | 1987-07-21 | Cosmo Keiki:Kk | 流量変換装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20220170685A (ko) * | 2021-06-23 | 2022-12-30 | 주식회사 케이티앤지 | 에어로졸 생성 장치 및 그의 동작 방법 |
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