JPH0241682B2 - - Google Patents

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JPH0241682B2
JPH0241682B2 JP57045201A JP4520182A JPH0241682B2 JP H0241682 B2 JPH0241682 B2 JP H0241682B2 JP 57045201 A JP57045201 A JP 57045201A JP 4520182 A JP4520182 A JP 4520182A JP H0241682 B2 JPH0241682 B2 JP H0241682B2
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JP
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measured
elongated case
scale
groove
longitudinal direction
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JP57045201A
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JPS58161810A (ja
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B5/00Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B5/0011Arrangements for eliminating or compensation of measuring errors due to temperature or weight
    • G01B5/0014Arrangements for eliminating or compensation of measuring errors due to temperature or weight due to temperature

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 この発明はリニアスケール式測定装置に係り、
特に、相対位置を測定されるべき2つの被測定物
の一方に連結された中空の細長ケースと、この細
長ケース内に収納されたメインスケールと、前記
被測定物の他方に連結され前記メインスケールに
対して相対移動可能に係合されるとともに、該メ
インスケールに沿つて移動されるインデツクスス
ケールと、を有してなり、前記メインスケールと
インデツクススケールの相対移動から前記2つの
被測定物間の相対変位を測定するリニアスケール
式測定装置の改良に関する。
2個の対象物の相対的な位置を測定したり、或
いは調整したりするための測長装置の一種に、リ
ニアスケール式測定装置がある。
このリニアスケール式測定装置は、例えば第1
図〜第3図に示されるように構成されている。
図において、冷間引抜き加工により形成された
細長ケース1はほぼ方形の中空断面を有するとと
もに、第1図の紙面と直交方向に細長に形成さ
れ、更に長手方向の一側面に沿つてほぼ全長にわ
たり開口2を備えている。
前記細長ケース1の開口2側の端面には移動部
材としての検出機構3が摺動部材4を介して当接
され、細長ケース1の長手方向に沿つて移動可能
とされている。
この検出機構3の下面には、前記開口2から細
長ケース1内に延在する腕部5が一体的に形成さ
れている。また前記開口2の近傍における細長ケ
ース1の外側面には該細長ケース1の長手方向に
沿つて一対のマグネツト6が設けられ、このマグ
ネツト6に該開口2を被うように薄肉の鉄板から
なる閉塞部材7が吸着され、該開口2から細長ケ
ース1内への塵埃等が侵入することを防止するよ
うにされている。
この時、検出機構3の腕部5が挿入される部分
の閉塞部材7は、該検出機構3に設けられるとと
もに、両端が検出機構3の下面に開口された側面
山形の溝8内に挿入され、この溝8により跨がれ
た状態の腕部5は細長ケース1内への挿入が可能
となるようにされている。
前記細長ケース1内の長手方向に設けられた溝
9内には、ガラス等からなり、一側面(目盛面)
10Bに縦縞状の目盛10A(第2図参照)が形
成されたメインスケール10の下端辺が挿入さ
れ、接着剤11等により固定されている。
前記検出機構3の腕部5は前記メインスケール
10の近傍まで延長され、この先端部には連結手
段12を介してスライダー13が移動可能に取付
けられている。この連結手段12は、例えば、先
端に三角形の環状部12Aを一体的に形成され、
基端を腕部5にワツシヤ12Bおよびねじ12C
で止められた線状の片持ばね12Dと、前記環状
部12Aに係合される円錐台12Eとから構成さ
れている。
前記片持ばね12Dは、スライダー13をメイ
ンスケール10の第1の走査基準面と兼用された
目盛面10B側に押圧するようにされるととも
に、スライダー13をメインスケール10の目盛
面10Bと直交する第2の走査基準面である端面
10C側にも押圧するようにされている。
前記スライダー13は、板材から略L字状に形
成された接触子取付部材13Aとこの接触子取付
部材13Aの一端折曲げ短辺にねじ止めされると
ともに、前記メインスケール10の目盛10Aが
形成されていない面に対向された肉厚の発光素子
取付部材13Bと、前記接触子取付部材13Aの
他端折曲げ長辺にねじ(図示省略)止めされると
ともに、前記メインスケール10の目盛面10B
に対向された肉厚の受光素子取付部材13Cとに
より構成されている。
前記スライダー13の接触子取付部材13Aの
前記メインスケール10の目盛面10Bに対向し
た面には、メインスケール10と同様な縦縞状の
目盛(図示省略)を有するインデツクススケール
14が固定されている。このインデツクススケー
ル14とメインスケール10とを挟んだ状態で光
源としての発光素子15と受光素子16とが配置
されている。
この場合、発光素子15は前記接触子取付部材
13AのL字の短辺に固着された発光素子取付部
材13Bに、また受光素子16は前記接触子取付
部材13AのL字の長辺に固着された受光素子取
付部材13Cに各々2個固着されている。
前記接触子取付部材13AのL字の内面すなわ
ち前記メインスケール10の第1の走査基準面で
ある目盛面10Bおよびこの目盛面に直交した第
2の走査基準面である端面10Cに対向した面に
は、それぞれ、各々ポリアセタール樹脂のような
低摩擦係数の樹脂からなる摺動駒17,18が複
数個固定され、これらの摺動駒17,18は前記
片持ばね12Dの付勢力によりメインスケール1
0の目盛面10Bおよびこの目盛面10Bに直交
した端面10Cに当接するようにされている。
このような構成において、細長ケース1および
移動部材としての検出機構3のいずれか一方を、
例えば検出機構を被測定物に取付け、他方すなわ
ち細長ケース1を機械のベツドすなわち固定側1
9に固定して被測定物を移動すると、メインスケ
ール10の目盛10Aとインデツクススケール1
4の目盛との間で明暗の縞模様が発生し、この縞
模様を光源として発光素子15と受光素子16と
で読み取つて被測定物の移動量を読み取り、測定
を行うものである。
前記細長ケース1は通常アルミニウム材料より
形成され、また、この細長ケース1が取付けられ
るべき固定側19は鉄材料によつて形成されてい
る。
前記細長ケース1を形成するアルミニウム材
は、固定側19を形成する鉄材よりも線膨張係数
が大きく、従つて、固定側19に対して細長ケー
ス1のある範囲での伸縮を許容するようにしなけ
ればならない。
すなわち細長ケース1の材料であるアルミニウ
ム合金の線膨張係数α=2.35×10-5/deg、固定
側19を構成する鉄材の線膨張係数β=1.17×
10-5/degであり、細長ケース1の長さを5m、断
面積をAcm2、温度変化を40℃とすると、両者の長
手方向の膨張の差はλ=(2.25−1.17)×10-5×40
℃×5000mm=2.16mm、歪みεは、ε=λ/l=
2.16/5000となり、従つて、細長ケース1に加わ
る圧縮力Pは、 P=εEA =2.16/5000×0.75×104Kg/mm2×A =0.324Kg/mm2×Aとなる。
ここでEはアルミニウム合金のヤング率を示す
ものとする。
従つて、A=10cm2とすると圧縮力Pは324Kgと
なり、また、A=100cm2とすると圧縮力Pは3240
Kgとなり、従つて、細長ケース1を固定側19に
対して一定範囲で伸縮できるように支持しなけれ
ば固定側19の剪断破壊を招くことになる。また
他方、固定側19の強度を増大すると、細長ケー
ス1或いはメインスケール10が湾曲されてしま
うことになる。
このような問題点に対する対策としては、例え
ば、特公昭56−27802号公報に記載されるように、
固定側に対して細長ケースの両端を撓みやすい部
材により支持し、これによつて細長ケースの長手
方向の伸縮を許容するようにしたものがある。
しかしながらこのような支持方法は、細長ケー
スの両端を支持する支持部材が片持ばりとして作
用するため、細長ケースの水平方向の伸長が許容
されず、該細長ケースを湾曲する方向の力が生ず
るという問題点があり、更にまた、支持部材は細
長ケースの長さ、断面形状が異なるごとにこれに
対応して異なる形状としなければならないという
問題点がある。
しかも、近年普及しつつある大型NC機械のフ
イードバツク系に利用される測定装置において
は、全長が4〜10mにも及ぶものがあり、上記の
ような細長ケースの両端を撓みやすい部材で支持
するようにした場合は、測定精度を確保すること
が困難であるとともに、細長ケース自体或いは支
持部材の破損を招くという問題点がある。更に、
細長ケースは、温度の影響のみならず自重によつ
ても撓みを生じ、スライダーのスムーズな移動が
不能となることも生じるという問題点がある。
この発明は上記従来の問題点に鑑みてなされた
ものであつて、細長ケースの伸縮を許容すること
により、温度変化による測定精度の低下、機器の
破損の防止、を図ることができるリニアスケール
式測定装置を提供することを目的とする。
この発明は、相対位置を測定されるべき2つの
被測定物の一方に連結された中空の細長ケース
と、この細長ケース内に収納されたメインスケー
ルと、前記被測定物の他方に連結され前記メイン
スケールに対して相対移動可能に係合されるとと
もに、該メインスケールに沿つて移動されるイン
デツクススケールと、を有してなり、前記メイン
スケールとインデツクススケールの相対移動から
前記2つの被測定物間の相対変位を測定するリニ
アスケール式測定装置において、前記細長ケース
の、前記一方の被測定物側の面に、長手方向に連
続して形成された溝と、この溝の長手方向少なく
とも1個所に形成された、該溝の前記一方の被測
定物側端面における開口幅よりも大きい幅の幅広
部と、該幅広部内において、前記細長ケースと一
定範囲で長手方向相対変位可能な状態で、溝の深
さ方向に係合される固定部材と、前記一方の被測
定物側から前記溝内の固定部材と螺合し、これを
前記幅広部との摩擦力調整可能に固定するための
固定手段と、を設けることにより上記目的を達成
するものである。
またこの発明は、前記リニアスケール式測定装
置において、前記細長ケースの長手方向中央部に
おいて、該細長ケースを前記一方の被測定物側に
相対移動不能に固定するとともに、該長手方向中
央部の両側位置で、前記固定部材および固定手段
により前記細長ケースと一方の被測定物を係合す
ることにより上記目的を達成するものである。
またこの発明は、前記リニアスケール式測定装
置において、前記固定手段を、前記細長ケース側
の溝に沿つて前記一方の被測定物に形成された長
溝を挿通して長手方向一定範囲で固定位置可変と
することにより上記目的を達成するものである。
以下本発明の実施例を図面を参照して説明す
る。この実施例において、前記第1図〜第3図に
示される従来のリニアスケール式測定装置と同一
または相当部分にはこれらと同一の符号を付する
ことにより説明を省略するものとする。
この実施例は、第4図に示されるように、相対
位置を測定されるべき2つの被測定物の一方に連
結された中空の細長ケース11と、この細長ケー
ス1内に収納されたメインスケール10と、前記
被測定物の他方に連結され前記メインスケール1
0に対して相対移動可能に係合されるとともに、
該メインスケール10に沿つて移動されるインデ
ツクススケール14と、を有してなり、前記メイ
ンスケール10とインデツクススケール14の相
対移動から前記2つの被測定物間の相対変位を測
定するリニアスケール式測定装置において、前記
細長ケース1の、前記一方の被測定物19A側の
側面1Aに、長手方向に連続して形成された溝2
0と、この溝20と同様に長手方向に連続的に、
かつ溝20の図において左右に連続して形成され
た、該溝20の前記側面1Aにおける開口幅より
も大きい幅の幅広部20Aと、該幅広部20A内
において、前記細長ケース1と一定範囲で長手方
向相対変位可能な状態で、溝20の深さ方向に係
合される固定部材21と、前記一方の被測定物1
9A側から前記溝20内の固定部材21に係合
し、これを幅広部20Aとの摩擦が調整可能に固
定するための固定手段22と、を設けたものであ
る。
前記固定部材21は、第5図および第6図に示
されるように、前記溝20の幅広部20A内に入
り込み、これと図において上下方向に係合する鍔
部21Aを備え、前記一方の被測定物19Aに形
成された貫通孔23を下方から貫通するボルトた
る固定手段22の先端に螺合され、これにより、
固定手段22を締付けることによつて、鍔部21
Aを介して細長ケース1を一方の被測定物19A
に締付固定できるようにされている。
前記固定部材21は、その各々につき固定手段
22たるボルトが長手方向に2個螺合されるとと
もに、第7図に示されるように細長ケース1の長
手方向中央部を除くその前後の任意個所に等間隔
に複数個配置されている。
細長ケース1の長手方向中央部は、第4図に示
されるように、ボルト24によつて一方の被測定
物19Aとの相対移動不能な状態で締付固定され
ている。
この実施例においては、細長ケース1は固定側
19に対して、その長手方向中央部を除き複数個
所で溝20の幅広部20Aと固定部材21の鍔部
21Aとの接触により固定手段22を介して支持
されているので、温度変化により一方の被測定物
19Aに対して細長ケース1が伸縮しても、鍔部
21Aと溝20の幅広部20Aとの滑りによつて
吸収され、従つて、細長ケース1の伸縮が許容さ
れることになる。
また、この場合、細長ケース1は、長手方向の
複数個所で固定部材21および固定手段22によ
つて一方の被測定物19Aに支持されているの
で、大型のNC機械等用の長大サイズの場合で
も、自重によつて撓んだりすることがない。
更に、細長ケース1の溝20は、その長手方向
に連続的に形成することができるので、細長ケー
ス1を押出し成形でき、精度の向上およびコスト
の低下を図ることができる。
なお上記実施例において、固定手段22たるボ
ルトは一方の被測定物19Aに形成された貫通孔
23に挿通されるものであるが、これは、例えば
貫通孔23を細長ケース1の長手方向の長孔或い
は長溝とすると、細長ケース1を支持するための
固定部材21および固定手段22の個数およびそ
の取付ピツチの選択性ならびに自由度を増大する
ことができる。
また、前記実施例は、細長ケース1の長手方向
中央部において、ボルト24により一方の被測定
物19Aに相対移動不能に固定されているが、こ
れは、必ずしも設ける必要がなく、全て固定部材
21および固定手段22により支持するようにし
てもよい。但し、ボルト24によつて細長ケース
1の長手方向中央部を支持するようにした場合
は、取付時の位置合わせに便利であるという利点
がある。
また、前記実施例における溝20の幅広部20
Aは、溝20と同時に押出し成形するため、細長
ケース1の長手方向に連続的に形成されている
が、これは、固定部材21を取付けることができ
るものであれば、必ずしも連続的に形成する必要
はない。
この発明は上記のように構成したので、細長ケ
ースの温度変化による伸縮を、該細長ケースの変
形を伴なうことなく支持かつ許容でき、従つて、
機器の破損の防止、測定精度の向上を図ることが
できるという優れた効果を有する。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来のリニアスケール式測定装置の一
例を示す横断面図、第2図は第1図の−線に
沿う縦断面図、第3図は第1図の−線に沿う
縦断面図、第4図は本発明に係るリニアスケール
式測定装置の実施例を示す第1図と同様の横断面
図、第5図は同実施例における固定部材と溝との
関係を示す拡大断面図、第6図は同固定部材の平
面図、第7図は同実施例における固定部材の配置
状態を示す断面図である。 1…細長ケース、10…メインスケール、14
…インデツクススケール、19A…一方の被測定
物、20…溝、20A…幅広部、21…固定部
材、21A…鍔部、22…固定手段、23…貫通
孔、24…ボルト。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 相対位置を測定されるべき2つの被測定物の
    一方に連結された中空の細長ケースと、この細長
    ケース内に収納されたメインスケールと、前記被
    測定物の他方に連結され前記メインスケールに対
    して相対移動可能に係合されるとともに、該メイ
    ンスケールに沿つて移動されるインデツクススケ
    ールと、を有してなり、前記メインスケールとイ
    ンデツクススケールの相対移動から前記2つの被
    測定物間の相対変位を測定するリニアスケール式
    測定装置において、前記細長ケースの、前記一方
    の被測定物側の面に、長手方向に連続して形成さ
    れた溝と、この溝の長手方向少なくとも1個所に
    形成された、該溝の前記一方の被測定物側端面に
    おける開口幅よりも大きい幅の幅広部と、該幅広
    部内において、前記細長ケースと一定範囲で長手
    方向相対変位可能な状態で、溝の深さ方向に係合
    される固定部材と、前記一方の被測定物側から前
    記溝内の固定部と螺合し、これを前記幅広部との
    摩擦力調整可能に固定するための固定手段と、を
    設けたことを特徴とするリニアスケール式測定装
    置。 2 前記細長ケースの長手方向中央部において、
    該細長ケースを前記一方の被測定物側に相対移動
    不能に固定するとともに、該長手方向中央部の両
    側位置で、前記固定部材および固定手段により前
    記細長ケースと一方の被測定物を係合したことを
    特徴とする特許請求の範囲第1項記載のリニアス
    ケール式測定装置。 3 前記固定手段を、前記細長ケース側の溝に沿
    つて前記一方の被測定物に形成された長溝を挿通
    して長手方向一定範囲で固定位置可変としたこと
    を特徴とする特許請求の範囲第1項または第2項
    記載のリニアスケール式測定装置。
JP4520182A 1982-03-19 1982-03-19 リニアスケ−ル式測定装置 Granted JPS58161810A (ja)

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JP4520182A JPS58161810A (ja) 1982-03-19 1982-03-19 リニアスケ−ル式測定装置

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JPS58161810A JPS58161810A (ja) 1983-09-26
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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS539141A (en) * 1976-07-09 1978-01-27 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Length measuring device
JPS549962A (en) * 1977-06-21 1979-01-25 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Measuring machine sealed in case for large measuring length

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS539141A (en) * 1976-07-09 1978-01-27 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Length measuring device
JPS549962A (en) * 1977-06-21 1979-01-25 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Measuring machine sealed in case for large measuring length

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JPS58161810A (ja) 1983-09-26

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