JPH021242B2 - - Google Patents
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- JPH021242B2 JPH021242B2 JP57057604A JP5760482A JPH021242B2 JP H021242 B2 JPH021242 B2 JP H021242B2 JP 57057604 A JP57057604 A JP 57057604A JP 5760482 A JP5760482 A JP 5760482A JP H021242 B2 JPH021242 B2 JP H021242B2
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Classifications
-
- G—PHYSICS
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- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
- G01B5/0011—Arrangements for eliminating or compensation of measuring errors due to temperature or weight
- G01B5/0014—Arrangements for eliminating or compensation of measuring errors due to temperature or weight due to temperature
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/347—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
- G01D5/34746—Linear encoders
- G01D5/34753—Carriages; Driving or coupling means
Description
本発明は、直線型変位測定機に係り、特に、長
尺のメインスケールを備えた直線型変位測定機に
用いるのに好適な、相対変位を測定されるべき２
つの被測定物の一方に連結された中空の細長ケー
スと、該細長ケース内に収納・保持された、前記
細長ケースと熱膨脹係数が異なる材料からなるメ
インスケールと、該メインスケールと細長ケース
を接合して、メインスケールを細長ケース内に保
持するための、メインスケール長手方向に配置さ
れた弾性部材と、前記被測定物の他方に連結さ
れ、メインスケールに沿つつて移動されるインデ
ツクススケールとを有し、前記メインスケールと
インデツクススケールの相対移動から前記２つ被
測定物間の相対変位を測定するようにした直線型
変位測定機の改良に関する。 ２個の対象物の相対的な位置を測定したり、或
いは、調整したりするための測長装置の一種に、
直線型変位測定機がある。 この直線型変位測定機は、例えば第１図〜第３
図に示されるように構成されている。 図において、例えば冷間引抜き加工により形成
されたアルミニウム製の細長ケース１は、ほぼ方
形の中空断面を有すると共に、第１図の紙面と直
交方向に細長に形成され、更に、長手方向の一側
面に沿つて、ほぼ全長にわたり開口２を備えてい
る。 前記細長ケース１の開口２側の端面には、移動
部材としての検出機構３が、摺動部材４を介して
当接され、細長ケース１の長手方向に沿つて移動
可能とされている。 この検出機構３の下面には、前記開口２から細
長ケース１内に延在する腕部５が一体的に形成さ
れている。また前記開口２の近傍における細長ケ
ース１の外周面には、該細長ケース１の長手方向
に沿つて一対のマグネツト６が設けられ、このマ
グネツト６に、該開口２を扱うように薄肉の鉄板
からなる閉塞部材７が吸着され、該開口２から細
長ケース１内へ塵埃等が侵入することを防止する
ようにされている。 この時、検出機構３の腕部５が挿入される部分
の閉塞部材７は、該検出機構３に設けられるとと
もに、両端が検出機構３の下面に開口された側面
山形の溝８内に挿入され、この溝８により跨がれ
た状態の腕部５は、細長ケース１内への挿入が可
能となるようにされている。 前記細長ケース１内の長手方向に設けられた溝
９内には、ガラス等からなり、一側面（目盛面）
１０Ｂに縦縞状の目盛１０Ａ（第２図参照）が形
成されたメインスケール１０の下端辺が挿入さ
れ、メインスケール長手方向に配置された、スペ
ーサ１１Ａ、ゴム弾性部材１１Ｂ及び接着剤１１
Ｃにより固定されている。 前記検出機構３の腕部５は前記メインスケール
１０の近傍まで延長され、この先端部には連結手
段１２を介してスライダー１３が移動可能に取付
けられている。この連結手段１２は、例えば、先
端に三角形の環状部１２Ａを一体的に形成され、
基端を腕部５にワツシヤ１２Ｂおよびねじ１２Ｃ
で止められた線状の片持ばね１２Ｄと、前記環状
部１２Ａに係合される円錐台１２Ｅとから構成さ
れている。 前記片持ばね１２Ｄは、スライダー１３をメイ
ンスケール１０の第１の走査基準面と兼用された
目盛面１０Ｂ側に押圧すするようにされるとも
に、スライダー１３をメインスケール１０の目盛
面１０Ｂと直交する第２の走査基準面である端面
１０Ｃ側にも押圧するようにされている。 前記スライダー１３は、板材から略Ｌ字状に形
成された接触子取付部材１３Ａとこの接触子取付
部材１３Ａの一端折曲げ短辺にねじ止めされると
ともに、前記メインスケール１０の目盛１０Ａが
形成されていない面に対向された厚肉の発光素子
取付部材１３Ｂと、前記接触子取付部材１３Ａの
他端折曲げ長辺ねじ（図示省略）止めされるとと
もに、前記メインスケール１０の目盛面１０Ｂに
対向された厚肉の受光素子取付部材１３Ｃとによ
り構成されている。 前記スライダー１３の接触子取付部材１３Ａの
前記メインスケール１０の目盛面１０Ｂに対向し
た面には、メインスケール１０と同様な縦縞状の
目盛（図示省略）を有するインデツクススケール
１４が固定されている。このインデツクススケー
ル１４とメインスケール１０とを挾んだ状態で光
源としての発光素子１５と受光素子１６とが配置
されている。 この場合、発光素子１５は、前記接触子取付部
材１３ＡのＬ字の短辺に固着された発光素子取付
部材１３Ｂに、また受光素子１６は、前記接触子
取付部材１３ＡのＬ字の長辺に固着された受光素
子取付部材１３Ｃに各々２個固着されている。 前記接触子取付部材１３ＡのＬ字の内面すなわ
ち前記メインスケール１０の第１の走査基準面で
ある目盛面１０Ｂおよびこの目盛面に直交した第
２の走査基準面である端面１０Ｃに対向した面に
は、それぞれ、低摩擦係数の樹脂からなる摺動駒
１７，１８が複数個固定され、これらの摺動駒１
７，１８は、前記片持ばね１２Ｄの付勢力によ
り、メインスケール１０の目盛面１０Ｂ及びこの
目盛面１０Ｂに直交した端面１０Ｃに当接するよ
うにされている。 このような構成において、細長ケース１或いは
移動部材としての検出機構３のいずれか一方、例
えば検出機構３を被測定物に取付け、他方すなわ
ち細長ケース１を機械のベツドすなわち固定側１
９に固定して被測定物を移動すると、メインスケ
ール１０の目盛１０Ａとインデツクススケール１
４の目盛との間で明暗の縞模様が発生し、この縞
模様の明暗の変化を発光素子１５と受光素子１６
とで読み取つて被測定物の移動量を読み取り、測
定行うものである。 このような直線型変位測定機によれば、被測定
物の変位をデジタル的に測定できるという特徴を
有するが、一般に、細長ケース１は、アルミニウ
ムで形成され、又、該細長ケース１内に収納・保
持されるメインスケール１０は、ガラスで形成さ
れているため、温度変化時に熱膨脹量に差が生じ
るという問題点を有していた。従つて従来は、前
出第１図に示した如く、細長ケース１の溝９の一
側面及び該溝９内の底部に配設されるスペーサ１
１Ａによつて位置決めされているメインスケール
１０を、前記溝９の一側面に接着剤１１Ｃにより
固着されたゴム弾性部材１１Ｂにより、メインス
ケール１０の長手方向全長にわたつて、圧接・保
持するようにしていた。このような保持方法によ
れば、ばね等を用いる場合に比べて、メインスケ
ール１０を安定して保持することができ、しか
も、メインスケール１０と細長ケース１の熱膨脹
量の差を、ゴム弾性部材１１Ｂの弾性変形により
吸収することができるものである。しかしながら
近年、直線型変位測定機が大型数値制御機械のフ
イードバツク制御系にも利用されるようになつて
きており、このような用途で用いられる直線型変
位測定機は、その全長が４〜６ｍにも及ぶものが
あり、前記のような従来の保持方法では、メイン
スケールと細長ケースの熱膨脹量の差を吸収しき
れず、温度変化時に、ゴム弾性部材１１Ｂを介し
てメインスケール１０に加わる熱応力が過大とな
り、メインスケール１０が破損してしまう恐れが
あつた。これは、メインスケール１０を、その長
手方向全長にわたつて塗布した弾性接着剤、例え
ば、シリコン系ゴム接着剤により、細長ケース１
の溝９の一側面に、接着・保持するようにした場
合でも、同様である。 本発明は、前記従来の欠点を解消するべくなさ
れたもので、メインスケールを安定して保持する
ことができ、しかも、温度変化時に、熱応力によ
つてメインスケールが破損することがない直線型
変位測定機を提供することを目的とする。 本発明は、相対変位を測定されるべき２つの被
測定物の一方に連結された中空の細長ケースと、
該細長ケース内に収納・保持された、前記細長ケ
ースと熱膨脹係数が異なり、熱膨脹量の差が問題
となる材料からなるメインスケールと、該メイン
スケールと細長ケースを接合して、メインスケー
ルを細長ケース内に保持するための、メインスケ
ール長手方向に配置された弾性部材、前記被測定
物の他方に連結され、メインスケールに沿つて移
動されるインデツクススケールとを有しし、前記
メインスケールとインデツクススケールの相対移
動から前記２つの被測定物間の相対変位を測定す
るようにした直線型変位測定機において、前記メ
インスケールの長手方向に、メインスケール、細
長ケース及び弾性部材の材質、並びに、メインス
ケールの長さによつて決定されるピツチ及び長さ
の弾性部材非接合部を設け、温度変化時に弾性部
材を介してメインスケールに加わる熱応力を軽減
するようにして、前記目的を達成したものであ
る。 又、前記メインスケールの材質がガラス、細長
ケースの材質がアルミニウム合金、弾性部材の材
質がニトリルゴムであり、前記メインスケールの
長さが５ｍ以内である時、前記メインスケールの
弾性部材接合部長さと非接合部長さの比を、１：
15〜１：20として、前記目的を達成するだけでな
く、更に温度変化に対するヒステリシスによる測
定精度の低下も防止するようにしたものである。 以下本発明の原理を説明する。 第４図及び第５図に示す如く、ガラス製のメイ
ンスケール１０が細長ケース１の溝９内に、該溝
９の一側面に接着剤１１Ｃにより固着されたゴム
弾性部材１１Ｂにより、メインスケール１０の長
手方向全長にわたつて、圧接・保持されている場
合、細長ケース１の、中点ｏより測つた任意の点
ｘの、温度変化に伴う単位長さ当りの歪みεaは、
細長ケース１（アルミニウム合金製）の熱膨脹係
数がメインスケール１０（ガラス製）のそれより
大きいため、第４図に示されている如く、ゴム弾
性部材１１Ｂのうちメインスケール１０と接触し
ている側の方が、細長ケース１と接触している側
の方より伸びが少なくなる結果、細長ケース１が
ゴム弾性部材１１Ｂから熱膨脹による自由歪みが
抑えられる方向に力を受けることを考慮すると、
次式に示す如くとなる。 εa＝εa1−εa2 ……(1) ここで、εa1は、中点ｏより測つた任意の点ｘ
の、温度変化による単位長さ当りの自由歪み、
εa2は、同じく中点ｏより測つた任意の点ｘの、
ゴム弾性部材１１Ｂからの抗力による単位長さ当
りの歪みである。 同様にして、メインスケール１０の中点ｏより
測つた任意の点ｘの、温度変化に伴なう歪みεg
は、今度はメインスケール１０がゴム弾性部材１
１Ｂから熱膨脹による自由歪みを増す方向に力を
受けることを考慮すると、次式に示す如くとな
る。 εg＝εg1＋εg2 ……(2) ここで、εg1は、中点ｏより測つた任意の点ｘ
の、温度変化による単位長さ当りの自由歪み、
εg2は、同じく中点ｏより測つた任意の点ｘの、
ゴム弾性部材１１Ｂからの抗力による単位長さ当
りの歪みである。 アルミニウム合金製細長ケース１の熱膨脹係数
αは、ガラス製メインスケール１０の熱膨脹係数
βより大であるので、ゴム弾性部材１１Ｂの高さ
ｈ方向両端では、相対的に、単位長さ当り（εa−
εg）の歪み差が生じる。一般に弾性エネルU0、
弾性体の歪みε、弾性体が外部にかける力Ｆの間
には、カステリアノの定理により ε＝∂U0／∂F で与えられる関係がある。又、弾性エネルギU0
は、 U0＝（1/2）・Ｆ・γh＝F2h／2GS で与えられる。ここで、Ｇは、ゴム弾性部材１１
Ｂの横弾性係数、Ｓは、同じく接合面積、ｈは、
同じく高さである。従つて、中点Ｏより測つた任
意の点ｘの、温度変化時に、ゴム弾性部材１１Ｂ
を介してメインスケール１０に加わる単位長さ当
りの熱による力Fgは、次式に示す如くとなる。 Fg＝GS／ｈ（εa−εg） ……(3) よつて、温度変化時にメインスケール１０に加
わる熱による力の最大値Fgmaxは、次式に示す
如くとなる。 Fgmax＝２GS／ｈ∫l/2 x=p（εa−εg）dx ……(4) ここで、ｌは、メインスケール１０の全長であ
る。 結局、熱応力の最大値Fgmaxを減少させるに
は、横弾性係数Ｇ又は接合面積Ｓを小とすれば良
いことがわかる。 今、細長ケース１の熱膨脹係数α＝2.2×10-5
mm／mm℃、メインスケール１０の断面積Ａ＝110
mm2、同じく熱膨脹係数β＝0.9×10-5mm／mm℃、
同じくヤング率Eg＝９×103Kg／mm2、ゴム弾性部
材１１Ｂのヤング率Er＝0.572Kg／mm2、同じく横
弾性係数Ｇ＝0.215Kg／mm2、メインスケール１０
と細長ケース１との摩擦係数μ＝0.3とし、計算
を簡単にするため、自由断面形状が高さＤ＝2.5
mm、幅２mmのゴム弾性部材１１Ｂが、高さのみが
ｈ＝２mm迄圧縮された状態で、前記細長ケース１
とメインスケール１０の間に挿入されている場合
を考える。ここで、曲げモーメントＭと引張（圧
縮）応力σの比で与えられる断面係数Ｚ（＝Ｍ／
σ）は、梁の横断面の形状のみで決まり、細長ケ
ース１の場合、一定の曲げモーメントを加えた場
合に発生する引張応力は非常に小さいため、メイ
ンスケール１０（ガラス製）に比べて、その断面
係数は十分大きく、ゴム弾性体による変形がない
ものと仮定すると、温度変化△Ｔ＝50℃であつた
場合、熱応力によりメインスケール１０に加わる
引張応力の最大値σgmax、及び、ゴム弾性部材
１１Ｂに加わる引張応力の最大値σrmaxは、下
記第１表に示す如くとなる。
尺のメインスケールを備えた直線型変位測定機に
用いるのに好適な、相対変位を測定されるべき２
つの被測定物の一方に連結された中空の細長ケー
スと、該細長ケース内に収納・保持された、前記
細長ケースと熱膨脹係数が異なる材料からなるメ
インスケールと、該メインスケールと細長ケース
を接合して、メインスケールを細長ケース内に保
持するための、メインスケール長手方向に配置さ
れた弾性部材と、前記被測定物の他方に連結さ
れ、メインスケールに沿つつて移動されるインデ
ツクススケールとを有し、前記メインスケールと
インデツクススケールの相対移動から前記２つ被
測定物間の相対変位を測定するようにした直線型
変位測定機の改良に関する。 ２個の対象物の相対的な位置を測定したり、或
いは、調整したりするための測長装置の一種に、
直線型変位測定機がある。 この直線型変位測定機は、例えば第１図〜第３
図に示されるように構成されている。 図において、例えば冷間引抜き加工により形成
されたアルミニウム製の細長ケース１は、ほぼ方
形の中空断面を有すると共に、第１図の紙面と直
交方向に細長に形成され、更に、長手方向の一側
面に沿つて、ほぼ全長にわたり開口２を備えてい
る。 前記細長ケース１の開口２側の端面には、移動
部材としての検出機構３が、摺動部材４を介して
当接され、細長ケース１の長手方向に沿つて移動
可能とされている。 この検出機構３の下面には、前記開口２から細
長ケース１内に延在する腕部５が一体的に形成さ
れている。また前記開口２の近傍における細長ケ
ース１の外周面には、該細長ケース１の長手方向
に沿つて一対のマグネツト６が設けられ、このマ
グネツト６に、該開口２を扱うように薄肉の鉄板
からなる閉塞部材７が吸着され、該開口２から細
長ケース１内へ塵埃等が侵入することを防止する
ようにされている。 この時、検出機構３の腕部５が挿入される部分
の閉塞部材７は、該検出機構３に設けられるとと
もに、両端が検出機構３の下面に開口された側面
山形の溝８内に挿入され、この溝８により跨がれ
た状態の腕部５は、細長ケース１内への挿入が可
能となるようにされている。 前記細長ケース１内の長手方向に設けられた溝
９内には、ガラス等からなり、一側面（目盛面）
１０Ｂに縦縞状の目盛１０Ａ（第２図参照）が形
成されたメインスケール１０の下端辺が挿入さ
れ、メインスケール長手方向に配置された、スペ
ーサ１１Ａ、ゴム弾性部材１１Ｂ及び接着剤１１
Ｃにより固定されている。 前記検出機構３の腕部５は前記メインスケール
１０の近傍まで延長され、この先端部には連結手
段１２を介してスライダー１３が移動可能に取付
けられている。この連結手段１２は、例えば、先
端に三角形の環状部１２Ａを一体的に形成され、
基端を腕部５にワツシヤ１２Ｂおよびねじ１２Ｃ
で止められた線状の片持ばね１２Ｄと、前記環状
部１２Ａに係合される円錐台１２Ｅとから構成さ
れている。 前記片持ばね１２Ｄは、スライダー１３をメイ
ンスケール１０の第１の走査基準面と兼用された
目盛面１０Ｂ側に押圧すするようにされるとも
に、スライダー１３をメインスケール１０の目盛
面１０Ｂと直交する第２の走査基準面である端面
１０Ｃ側にも押圧するようにされている。 前記スライダー１３は、板材から略Ｌ字状に形
成された接触子取付部材１３Ａとこの接触子取付
部材１３Ａの一端折曲げ短辺にねじ止めされると
ともに、前記メインスケール１０の目盛１０Ａが
形成されていない面に対向された厚肉の発光素子
取付部材１３Ｂと、前記接触子取付部材１３Ａの
他端折曲げ長辺ねじ（図示省略）止めされるとと
もに、前記メインスケール１０の目盛面１０Ｂに
対向された厚肉の受光素子取付部材１３Ｃとによ
り構成されている。 前記スライダー１３の接触子取付部材１３Ａの
前記メインスケール１０の目盛面１０Ｂに対向し
た面には、メインスケール１０と同様な縦縞状の
目盛（図示省略）を有するインデツクススケール
１４が固定されている。このインデツクススケー
ル１４とメインスケール１０とを挾んだ状態で光
源としての発光素子１５と受光素子１６とが配置
されている。 この場合、発光素子１５は、前記接触子取付部
材１３ＡのＬ字の短辺に固着された発光素子取付
部材１３Ｂに、また受光素子１６は、前記接触子
取付部材１３ＡのＬ字の長辺に固着された受光素
子取付部材１３Ｃに各々２個固着されている。 前記接触子取付部材１３ＡのＬ字の内面すなわ
ち前記メインスケール１０の第１の走査基準面で
ある目盛面１０Ｂおよびこの目盛面に直交した第
２の走査基準面である端面１０Ｃに対向した面に
は、それぞれ、低摩擦係数の樹脂からなる摺動駒
１７，１８が複数個固定され、これらの摺動駒１
７，１８は、前記片持ばね１２Ｄの付勢力によ
り、メインスケール１０の目盛面１０Ｂ及びこの
目盛面１０Ｂに直交した端面１０Ｃに当接するよ
うにされている。 このような構成において、細長ケース１或いは
移動部材としての検出機構３のいずれか一方、例
えば検出機構３を被測定物に取付け、他方すなわ
ち細長ケース１を機械のベツドすなわち固定側１
９に固定して被測定物を移動すると、メインスケ
ール１０の目盛１０Ａとインデツクススケール１
４の目盛との間で明暗の縞模様が発生し、この縞
模様の明暗の変化を発光素子１５と受光素子１６
とで読み取つて被測定物の移動量を読み取り、測
定行うものである。 このような直線型変位測定機によれば、被測定
物の変位をデジタル的に測定できるという特徴を
有するが、一般に、細長ケース１は、アルミニウ
ムで形成され、又、該細長ケース１内に収納・保
持されるメインスケール１０は、ガラスで形成さ
れているため、温度変化時に熱膨脹量に差が生じ
るという問題点を有していた。従つて従来は、前
出第１図に示した如く、細長ケース１の溝９の一
側面及び該溝９内の底部に配設されるスペーサ１
１Ａによつて位置決めされているメインスケール
１０を、前記溝９の一側面に接着剤１１Ｃにより
固着されたゴム弾性部材１１Ｂにより、メインス
ケール１０の長手方向全長にわたつて、圧接・保
持するようにしていた。このような保持方法によ
れば、ばね等を用いる場合に比べて、メインスケ
ール１０を安定して保持することができ、しか
も、メインスケール１０と細長ケース１の熱膨脹
量の差を、ゴム弾性部材１１Ｂの弾性変形により
吸収することができるものである。しかしながら
近年、直線型変位測定機が大型数値制御機械のフ
イードバツク制御系にも利用されるようになつて
きており、このような用途で用いられる直線型変
位測定機は、その全長が４〜６ｍにも及ぶものが
あり、前記のような従来の保持方法では、メイン
スケールと細長ケースの熱膨脹量の差を吸収しき
れず、温度変化時に、ゴム弾性部材１１Ｂを介し
てメインスケール１０に加わる熱応力が過大とな
り、メインスケール１０が破損してしまう恐れが
あつた。これは、メインスケール１０を、その長
手方向全長にわたつて塗布した弾性接着剤、例え
ば、シリコン系ゴム接着剤により、細長ケース１
の溝９の一側面に、接着・保持するようにした場
合でも、同様である。 本発明は、前記従来の欠点を解消するべくなさ
れたもので、メインスケールを安定して保持する
ことができ、しかも、温度変化時に、熱応力によ
つてメインスケールが破損することがない直線型
変位測定機を提供することを目的とする。 本発明は、相対変位を測定されるべき２つの被
測定物の一方に連結された中空の細長ケースと、
該細長ケース内に収納・保持された、前記細長ケ
ースと熱膨脹係数が異なり、熱膨脹量の差が問題
となる材料からなるメインスケールと、該メイン
スケールと細長ケースを接合して、メインスケー
ルを細長ケース内に保持するための、メインスケ
ール長手方向に配置された弾性部材、前記被測定
物の他方に連結され、メインスケールに沿つて移
動されるインデツクススケールとを有しし、前記
メインスケールとインデツクススケールの相対移
動から前記２つの被測定物間の相対変位を測定す
るようにした直線型変位測定機において、前記メ
インスケールの長手方向に、メインスケール、細
長ケース及び弾性部材の材質、並びに、メインス
ケールの長さによつて決定されるピツチ及び長さ
の弾性部材非接合部を設け、温度変化時に弾性部
材を介してメインスケールに加わる熱応力を軽減
するようにして、前記目的を達成したものであ
る。 又、前記メインスケールの材質がガラス、細長
ケースの材質がアルミニウム合金、弾性部材の材
質がニトリルゴムであり、前記メインスケールの
長さが５ｍ以内である時、前記メインスケールの
弾性部材接合部長さと非接合部長さの比を、１：
15〜１：20として、前記目的を達成するだけでな
く、更に温度変化に対するヒステリシスによる測
定精度の低下も防止するようにしたものである。 以下本発明の原理を説明する。 第４図及び第５図に示す如く、ガラス製のメイ
ンスケール１０が細長ケース１の溝９内に、該溝
９の一側面に接着剤１１Ｃにより固着されたゴム
弾性部材１１Ｂにより、メインスケール１０の長
手方向全長にわたつて、圧接・保持されている場
合、細長ケース１の、中点ｏより測つた任意の点
ｘの、温度変化に伴う単位長さ当りの歪みεaは、
細長ケース１（アルミニウム合金製）の熱膨脹係
数がメインスケール１０（ガラス製）のそれより
大きいため、第４図に示されている如く、ゴム弾
性部材１１Ｂのうちメインスケール１０と接触し
ている側の方が、細長ケース１と接触している側
の方より伸びが少なくなる結果、細長ケース１が
ゴム弾性部材１１Ｂから熱膨脹による自由歪みが
抑えられる方向に力を受けることを考慮すると、
次式に示す如くとなる。 εa＝εa1−εa2 ……(1) ここで、εa1は、中点ｏより測つた任意の点ｘ
の、温度変化による単位長さ当りの自由歪み、
εa2は、同じく中点ｏより測つた任意の点ｘの、
ゴム弾性部材１１Ｂからの抗力による単位長さ当
りの歪みである。 同様にして、メインスケール１０の中点ｏより
測つた任意の点ｘの、温度変化に伴なう歪みεg
は、今度はメインスケール１０がゴム弾性部材１
１Ｂから熱膨脹による自由歪みを増す方向に力を
受けることを考慮すると、次式に示す如くとな
る。 εg＝εg1＋εg2 ……(2) ここで、εg1は、中点ｏより測つた任意の点ｘ
の、温度変化による単位長さ当りの自由歪み、
εg2は、同じく中点ｏより測つた任意の点ｘの、
ゴム弾性部材１１Ｂからの抗力による単位長さ当
りの歪みである。 アルミニウム合金製細長ケース１の熱膨脹係数
αは、ガラス製メインスケール１０の熱膨脹係数
βより大であるので、ゴム弾性部材１１Ｂの高さ
ｈ方向両端では、相対的に、単位長さ当り（εa−
εg）の歪み差が生じる。一般に弾性エネルU0、
弾性体の歪みε、弾性体が外部にかける力Ｆの間
には、カステリアノの定理により ε＝∂U0／∂F で与えられる関係がある。又、弾性エネルギU0
は、 U0＝（1/2）・Ｆ・γh＝F2h／2GS で与えられる。ここで、Ｇは、ゴム弾性部材１１
Ｂの横弾性係数、Ｓは、同じく接合面積、ｈは、
同じく高さである。従つて、中点Ｏより測つた任
意の点ｘの、温度変化時に、ゴム弾性部材１１Ｂ
を介してメインスケール１０に加わる単位長さ当
りの熱による力Fgは、次式に示す如くとなる。 Fg＝GS／ｈ（εa−εg） ……(3) よつて、温度変化時にメインスケール１０に加
わる熱による力の最大値Fgmaxは、次式に示す
如くとなる。 Fgmax＝２GS／ｈ∫l/2 x=p（εa−εg）dx ……(4) ここで、ｌは、メインスケール１０の全長であ
る。 結局、熱応力の最大値Fgmaxを減少させるに
は、横弾性係数Ｇ又は接合面積Ｓを小とすれば良
いことがわかる。 今、細長ケース１の熱膨脹係数α＝2.2×10-5
mm／mm℃、メインスケール１０の断面積Ａ＝110
mm2、同じく熱膨脹係数β＝0.9×10-5mm／mm℃、
同じくヤング率Eg＝９×103Kg／mm2、ゴム弾性部
材１１Ｂのヤング率Er＝0.572Kg／mm2、同じく横
弾性係数Ｇ＝0.215Kg／mm2、メインスケール１０
と細長ケース１との摩擦係数μ＝0.3とし、計算
を簡単にするため、自由断面形状が高さＤ＝2.5
mm、幅２mmのゴム弾性部材１１Ｂが、高さのみが
ｈ＝２mm迄圧縮された状態で、前記細長ケース１
とメインスケール１０の間に挿入されている場合
を考える。ここで、曲げモーメントＭと引張（圧
縮）応力σの比で与えられる断面係数Ｚ（＝Ｍ／
σ）は、梁の横断面の形状のみで決まり、細長ケ
ース１の場合、一定の曲げモーメントを加えた場
合に発生する引張応力は非常に小さいため、メイ
ンスケール１０（ガラス製）に比べて、その断面
係数は十分大きく、ゴム弾性体による変形がない
ものと仮定すると、温度変化△Ｔ＝50℃であつた
場合、熱応力によりメインスケール１０に加わる
引張応力の最大値σgmax、及び、ゴム弾性部材
１１Ｂに加わる引張応力の最大値σrmaxは、下
記第１表に示す如くとなる。
【表】
第１表から明らかな如く、メインスケール１０
の全長ｌが2200mm程度（有効長は2000mm程度）で
ある場合には、メインスケール１０及びゴム弾性
部材１１Ｂの引張応力が、許容値を越えることは
ないが、一方、全長ｌ＝4700mm（有効長は4500
mm）のメインスケールの場合には、メインスケー
ル１０が熱応力により破壊されてしまう。 ここで、前記メインスケール１０の引張応力の
最大値σgmaxは、最大応力が明らかにメインス
ケール１０の中点（Ｐ）で発生するので、中点
（Ｐ）に働くF(l/2)が F(l/2)≒ωl2／８＋μfl／２ であり、 σgmax＝F(l/2)／Ａ であることを考慮すると、次式に示す如く近似で
きる。 σgmax≒（ωl2＋4μfl）／8A ……(5) ここで、温度がｔ℃上昇したときの、細長ケー
ス１とメインスケール１０の熱膨脹による長さの
差ｌ（α−β）ｔが、メインスケール１０の接着
剤の張力による伸び λ′(l)＝ωl3／12AEg＋μfl2／4AEg と、接着剤の伸び λ″(l)＝ωhl／GS との和であることを考慮して、 ω≒ｌ（α−β）△Ｔ−μfl2／4AEg／l3／12AEg＋hl
／GS……(6) ｆ≒（１−ｈ／Ｄ）SEr ……(7) 従つて、ゴム弾性部材１１Ｂの横弾性係数Ｇ
を、G′≒0.07Kg／mm2（Er′≒0.19Kg／mm2）とすれ
ば、メインスケール１０に加る最大引張応力
σgmax≒1.48Kg／mm2となり、ほほぼ全長ｌ＝2200
mmのメインスケール１０の場合と対応できる。こ
の場合、横弾性係数Ｇ或いはヤング率Erの比は、
次式に示す如くとなる。 G′／Ｇ＝0.07／0.215≒１／３ ……(8) Er′／Er＝0.19／0.572≒１／３ ……(9) 従つて、メインスケール１０の全長ｌ＝4700mm
とした場合でも、ゴム弾性部材１１Ｂの横弾性係
数Ｇを全長ｌ＝2200mmの場合の1/3〜1/4の値とす
れば、従来の全長ｌ＝2200mmの場合と比較しうる
効果を得ることができ、破損に至るような状態を
生じることはない。 前記ゴム弾性部材１１Ｂの横弾性係数Ｇを小さ
くする方法としては (1) ゴム弾性部材１１Ｂの材質を変更して、その
横弾性係数Ｇを小さくすること、 (2) ゴム弾性部材１１Ｂの断面形状を変更するこ
と、 等が考えられる。しかしながら、(1)の方法は、メ
インスケール１０が長大になるに従つて、横弾性
係数Ｇが小さくなるため、他の特性（特に安定
性）を満足しうる弾性部材を入手できない恐れが
あり、又、本来の固定という機能に欠ける恐れが
ある。一方、(2)の方法は、弾性部材の加工が極め
て困難であり、又、やはり固定という機能に問題
が生ずる。 そこで、本発明では、メインスケール１０の長
大化に伴なつて、接合面積Ｓを小さくすることに
よつて、ゴム弾性部材１１Ｂの横弾性係数Ｇを小
さくしたのと同様な効果を得るようにしている。
この際に、メインスケール１０の破損を防ぐとい
う目的からは、前出の計算の如く、例えば、全長
4700mmのメインスケールの場合には、全長2200mm
のメインスケールの場合に比べて、接合面積Ｓが
１／３〜1/4となるようにすればよい。 以上のような方法により、保存時の温度変化に
よるメインスケール１０の破損は防止できるもの
であるが、一方、測定中の前記のような温度変化
が生じた場合について考慮すると、メインスケー
ル１０の全体の延び量λgは、次式で示す如くと
なる。 λg＝ωl2／12AEg±μfl2／4AE ……(10) この(10)式における右辺第２項は、摩擦係合によ
りゴム弾性部材１１Ｂからメインスケール１０に
与えられる増減分を表わしており、温度の上昇、
下降によつて符号が変化する。例えば、周囲温度
が10→20→60℃のように変化すると、前出(10)式の
右辺第２項に相当する量のヒステリシスが発生す
る。 このヒステリシスの大きさを、全長2200mmのメ
インスケール１０の場合について求めてみると、
0.084mmとなる。尚、ゴム弾性部材１１Ｂの張力
による減少分を配慮した時は0.077mmとなるが、
安全側であるので、ゴム弾性部材１１Ｂの張力に
よる減少分を無視した場合について、検討を続け
る。このヒステリシスは、かなり大きな値であ
り、精度1μｍ程度の測定に際しては無視できな
い値である。ヒステリシスの原因は、摩擦力によ
る仕事エネルギが弾性エネルギに変換されるため
と考えられるので、ヒステリシスの大きさは摩擦
力が大きい程大きくなる。上述のように、全長
2200mmのメインスケール１０の全長に亘つ接合部
を設けた場合のヒステリシスが0.084mmであるか
ら、ヒステリシスを10μｍ以下にするためには、
全長2200mmのメインスケール１０を有する直線型
変位測定機の場合においても、例えば長さ215mm
につき200mm程度の非接合部を設けることが望ま
しい。この場合には、ゴム弾性部材１１Ｂの横弾
性係数Ｇが等価的に、15／215＝0.07となるので、ヒ ステリシス大きさも、全長において5.8μｍ程度と
なつて、大きな改善が期待できる。 又、全長ｌ＝4700mmのメインスケール１０の場
合には、ヒステリシスの大きさが0.383mmとなる
ので、例えば、メインスケール１０の長さ210mm
につき200mm非接合部を設けることによつて、ヒ
ステリシスを大幅に改善することができるもので
ある。 一方、メインスケール１０に弾性部材非接合部
を設けた場合の外力に対する信頼性を検討する
と、前出のような数値である場合には、外力10ｇ
程度迄は安全であることが確認できた。 結局メインスケールの破損を防止する上で必要
なメインスケール弾性部材接合部長さと非接合部
長さの比は、当初の実験で成果が認めらられた結
果を考慮すると約１：３以上であり、又、メイン
スケール１０の破損だけでなく、測定中の精度を
を維持する上で必要な弾性部材接合部長さと非接
合部長さの比は１：15〜１：20程度となる。 以下図面を参照して、本発明の実施例を詳細に
説明する。 本実施例は、前出第１図乃至第３図に示したよ
うな、細長ケース１、メインスケール１０、ゴム
弾性部材１１Ｂ及びインデツクススケール１４を
有する直線型変位測定機において、第６図に示す
如く、前記メインスケール１０長手方向に、メイ
ンスケール１０、細長ケース１、及び弾性部材１
１Ｂの材質、並びに、メインスケール１０の長さ
によつて決定されるピツチ及び長さの弾性部材非
接合部２０を設けたものである。 発明者が、有効長が250mm、500mm、750mm、
1000mm、断面積がいずれも42mm2であるメインスケ
ール１０を有する直線型変位測定機について、直
径1.8mmのニトリルゴム製弾性部材１１Ｂを、接
合部長さが10mm、非接合部長さが150mmとなるよ
うに等ピツチで配置して実験したところ、下記第
２表に示すような結果が得られ、いずれも十分に
安全であることが確認できた。 又、メインスケールの断面積が110mm2である時、
直径2.8mmのニトリルゴム製弾性部材１１Ｂを、
接合部長さ10mm、非接合部長さ200mmとなるよう
に等ピツチで配置した場合の実験結果は下記第３
表に示す如くであり、この場合にも良好な結果が
得られていることが明らかである。
の全長ｌが2200mm程度（有効長は2000mm程度）で
ある場合には、メインスケール１０及びゴム弾性
部材１１Ｂの引張応力が、許容値を越えることは
ないが、一方、全長ｌ＝4700mm（有効長は4500
mm）のメインスケールの場合には、メインスケー
ル１０が熱応力により破壊されてしまう。 ここで、前記メインスケール１０の引張応力の
最大値σgmaxは、最大応力が明らかにメインス
ケール１０の中点（Ｐ）で発生するので、中点
（Ｐ）に働くF(l/2)が F(l/2)≒ωl2／８＋μfl／２ であり、 σgmax＝F(l/2)／Ａ であることを考慮すると、次式に示す如く近似で
きる。 σgmax≒（ωl2＋4μfl）／8A ……(5) ここで、温度がｔ℃上昇したときの、細長ケー
ス１とメインスケール１０の熱膨脹による長さの
差ｌ（α−β）ｔが、メインスケール１０の接着
剤の張力による伸び λ′(l)＝ωl3／12AEg＋μfl2／4AEg と、接着剤の伸び λ″(l)＝ωhl／GS との和であることを考慮して、 ω≒ｌ（α−β）△Ｔ−μfl2／4AEg／l3／12AEg＋hl
／GS……(6) ｆ≒（１−ｈ／Ｄ）SEr ……(7) 従つて、ゴム弾性部材１１Ｂの横弾性係数Ｇ
を、G′≒0.07Kg／mm2（Er′≒0.19Kg／mm2）とすれ
ば、メインスケール１０に加る最大引張応力
σgmax≒1.48Kg／mm2となり、ほほぼ全長ｌ＝2200
mmのメインスケール１０の場合と対応できる。こ
の場合、横弾性係数Ｇ或いはヤング率Erの比は、
次式に示す如くとなる。 G′／Ｇ＝0.07／0.215≒１／３ ……(8) Er′／Er＝0.19／0.572≒１／３ ……(9) 従つて、メインスケール１０の全長ｌ＝4700mm
とした場合でも、ゴム弾性部材１１Ｂの横弾性係
数Ｇを全長ｌ＝2200mmの場合の1/3〜1/4の値とす
れば、従来の全長ｌ＝2200mmの場合と比較しうる
効果を得ることができ、破損に至るような状態を
生じることはない。 前記ゴム弾性部材１１Ｂの横弾性係数Ｇを小さ
くする方法としては (1) ゴム弾性部材１１Ｂの材質を変更して、その
横弾性係数Ｇを小さくすること、 (2) ゴム弾性部材１１Ｂの断面形状を変更するこ
と、 等が考えられる。しかしながら、(1)の方法は、メ
インスケール１０が長大になるに従つて、横弾性
係数Ｇが小さくなるため、他の特性（特に安定
性）を満足しうる弾性部材を入手できない恐れが
あり、又、本来の固定という機能に欠ける恐れが
ある。一方、(2)の方法は、弾性部材の加工が極め
て困難であり、又、やはり固定という機能に問題
が生ずる。 そこで、本発明では、メインスケール１０の長
大化に伴なつて、接合面積Ｓを小さくすることに
よつて、ゴム弾性部材１１Ｂの横弾性係数Ｇを小
さくしたのと同様な効果を得るようにしている。
この際に、メインスケール１０の破損を防ぐとい
う目的からは、前出の計算の如く、例えば、全長
4700mmのメインスケールの場合には、全長2200mm
のメインスケールの場合に比べて、接合面積Ｓが
１／３〜1/4となるようにすればよい。 以上のような方法により、保存時の温度変化に
よるメインスケール１０の破損は防止できるもの
であるが、一方、測定中の前記のような温度変化
が生じた場合について考慮すると、メインスケー
ル１０の全体の延び量λgは、次式で示す如くと
なる。 λg＝ωl2／12AEg±μfl2／4AE ……(10) この(10)式における右辺第２項は、摩擦係合によ
りゴム弾性部材１１Ｂからメインスケール１０に
与えられる増減分を表わしており、温度の上昇、
下降によつて符号が変化する。例えば、周囲温度
が10→20→60℃のように変化すると、前出(10)式の
右辺第２項に相当する量のヒステリシスが発生す
る。 このヒステリシスの大きさを、全長2200mmのメ
インスケール１０の場合について求めてみると、
0.084mmとなる。尚、ゴム弾性部材１１Ｂの張力
による減少分を配慮した時は0.077mmとなるが、
安全側であるので、ゴム弾性部材１１Ｂの張力に
よる減少分を無視した場合について、検討を続け
る。このヒステリシスは、かなり大きな値であ
り、精度1μｍ程度の測定に際しては無視できな
い値である。ヒステリシスの原因は、摩擦力によ
る仕事エネルギが弾性エネルギに変換されるため
と考えられるので、ヒステリシスの大きさは摩擦
力が大きい程大きくなる。上述のように、全長
2200mmのメインスケール１０の全長に亘つ接合部
を設けた場合のヒステリシスが0.084mmであるか
ら、ヒステリシスを10μｍ以下にするためには、
全長2200mmのメインスケール１０を有する直線型
変位測定機の場合においても、例えば長さ215mm
につき200mm程度の非接合部を設けることが望ま
しい。この場合には、ゴム弾性部材１１Ｂの横弾
性係数Ｇが等価的に、15／215＝0.07となるので、ヒ ステリシス大きさも、全長において5.8μｍ程度と
なつて、大きな改善が期待できる。 又、全長ｌ＝4700mmのメインスケール１０の場
合には、ヒステリシスの大きさが0.383mmとなる
ので、例えば、メインスケール１０の長さ210mm
につき200mm非接合部を設けることによつて、ヒ
ステリシスを大幅に改善することができるもので
ある。 一方、メインスケール１０に弾性部材非接合部
を設けた場合の外力に対する信頼性を検討する
と、前出のような数値である場合には、外力10ｇ
程度迄は安全であることが確認できた。 結局メインスケールの破損を防止する上で必要
なメインスケール弾性部材接合部長さと非接合部
長さの比は、当初の実験で成果が認めらられた結
果を考慮すると約１：３以上であり、又、メイン
スケール１０の破損だけでなく、測定中の精度を
を維持する上で必要な弾性部材接合部長さと非接
合部長さの比は１：15〜１：20程度となる。 以下図面を参照して、本発明の実施例を詳細に
説明する。 本実施例は、前出第１図乃至第３図に示したよ
うな、細長ケース１、メインスケール１０、ゴム
弾性部材１１Ｂ及びインデツクススケール１４を
有する直線型変位測定機において、第６図に示す
如く、前記メインスケール１０長手方向に、メイ
ンスケール１０、細長ケース１、及び弾性部材１
１Ｂの材質、並びに、メインスケール１０の長さ
によつて決定されるピツチ及び長さの弾性部材非
接合部２０を設けたものである。 発明者が、有効長が250mm、500mm、750mm、
1000mm、断面積がいずれも42mm2であるメインスケ
ール１０を有する直線型変位測定機について、直
径1.8mmのニトリルゴム製弾性部材１１Ｂを、接
合部長さが10mm、非接合部長さが150mmとなるよ
うに等ピツチで配置して実験したところ、下記第
２表に示すような結果が得られ、いずれも十分に
安全であることが確認できた。 又、メインスケールの断面積が110mm2である時、
直径2.8mmのニトリルゴム製弾性部材１１Ｂを、
接合部長さ10mm、非接合部長さ200mmとなるよう
に等ピツチで配置した場合の実験結果は下記第３
表に示す如くであり、この場合にも良好な結果が
得られていることが明らかである。
【表】
【表】
尚、前記実施例においては、ゴム弾性部材１１
Ｂとしてニトリルゴムが用いられていたが、ゴム
弾性部材１１Ｂの材質は、これに限定されず、ク
ロロプレンゴム等の他のゴム弾性部材、或いは、
一般に弾性部材を用いることも勿論可能である。 以上説明した通り、本発明によれば、温度変化
時に、弾性部材を介してメインスケールに加わる
熱応力を軽減することができ、長尺スケールであ
つても、破損を生じることなく、安定的に保持す
ることできるという優れた効果を有する。
Ｂとしてニトリルゴムが用いられていたが、ゴム
弾性部材１１Ｂの材質は、これに限定されず、ク
ロロプレンゴム等の他のゴム弾性部材、或いは、
一般に弾性部材を用いることも勿論可能である。 以上説明した通り、本発明によれば、温度変化
時に、弾性部材を介してメインスケールに加わる
熱応力を軽減することができ、長尺スケールであ
つても、破損を生じることなく、安定的に保持す
ることできるという優れた効果を有する。
第１図は、従来の直線型変位測定機の一例の構
成を示す横断面図、第２図は、第１図の−線
に沿う縦断面図、第３図は、同じく第１図の−
線に沿う縦断面図、第４図は、本発明の原理を
説明するための、メインスケールと細長ケースの
圧接・保持状態を示す平面図、第５図は、同じく
横断面図、第６図は、本発明に係る直線型変位測
定機の実施例におけるメインスケールの保持状態
を示す要部断面図である。 １……細長ケース、９……溝、１０……メイン
スケール、１１Ｂ……ゴム弾性部材、１４……イ
ンデツクススケール、２０……弾性部材非接合
部。
成を示す横断面図、第２図は、第１図の−線
に沿う縦断面図、第３図は、同じく第１図の−
線に沿う縦断面図、第４図は、本発明の原理を
説明するための、メインスケールと細長ケースの
圧接・保持状態を示す平面図、第５図は、同じく
横断面図、第６図は、本発明に係る直線型変位測
定機の実施例におけるメインスケールの保持状態
を示す要部断面図である。 １……細長ケース、９……溝、１０……メイン
スケール、１１Ｂ……ゴム弾性部材、１４……イ
ンデツクススケール、２０……弾性部材非接合
部。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 相対変位を測定されるべき２つの被測定物の
一方に連結された中空の細長ケースと、 該細長ケース内に収納・保持された、前記細長
ケースと熱膨脹係数が異なり、熱膨脹量の差が問
題となる材料からなるメインスケールと、 該メインスケールと細長ケースを接合して、メ
インスケールを細長ケース内に保持するための、
メインスケール長手方向に配置された弾性部材
と、 前記被測定物の他方に連結され、メインスケー
ルに沿つて移動されるインデツクススケールとを
有し、 前記メインスケールとインデツクススケールの
相対移動から前記２つの被測定物間の相対変位を
測定するようにした直線型変位測定機において、 前記メインスケールの長手方向に、メインスケ
ール、細長ケース及び弾性部材の材質、並びに、
メインスケールの長さによつて決定されるピツチ
及び長さの弾性部材非接合部を設け、 温度変化時に弾性部材を介してメインスケール
に加わる熱応力を軽減することを特徴とする直線
型変位測定機。 ２ 前記メインスケールの材質がガラス、細長ケ
ースの材質がアルミニウム合金、弾性部材の材質
がニトリルゴムであり、前記メインスケールの長
さが５ｍ以内である時、 前記メインスケールの弾性部材接合部長さと非
接合部長さの比が、１：15〜１：20とされている
特許請求の範囲第１項に記載の直線型変位測定
機。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57057604A JPS58174806A (ja) | 1982-04-07 | 1982-04-07 | 直線型変位測定機 |
| US06/481,788 US4492033A (en) | 1982-04-07 | 1983-04-04 | Linear scale type displacement measuring instrument |
| GB08309429A GB2117908B (en) | 1982-04-07 | 1983-04-07 | Linear scale type displacement measuring instrument |
| DE19833312534 DE3312534A1 (de) | 1982-04-07 | 1983-04-07 | Laengenskala-wegmessgeraet |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57057604A JPS58174806A (ja) | 1982-04-07 | 1982-04-07 | 直線型変位測定機 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58174806A JPS58174806A (ja) | 1983-10-13 |
| JPH021242B2 true JPH021242B2 (ja) | 1990-01-10 |
Family
ID=13060455
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57057604A Granted JPS58174806A (ja) | 1982-04-07 | 1982-04-07 | 直線型変位測定機 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4492033A (ja) |
| JP (1) | JPS58174806A (ja) |
| DE (1) | DE3312534A1 (ja) |
| GB (1) | GB2117908B (ja) |
Families Citing this family (15)
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Family Cites Families (9)
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- 1983-04-07 DE DE19833312534 patent/DE3312534A1/de not_active Withdrawn
- 1983-04-07 GB GB08309429A patent/GB2117908B/en not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| GB2117908B (en) | 1985-11-20 |
| US4492033A (en) | 1985-01-08 |
| DE3312534A1 (de) | 1983-10-13 |
| GB2117908A (en) | 1983-10-19 |
| JPS58174806A (ja) | 1983-10-13 |
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