JPH0241108U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0241108U JPH0241108U JP11931388U JP11931388U JPH0241108U JP H0241108 U JPH0241108 U JP H0241108U JP 11931388 U JP11931388 U JP 11931388U JP 11931388 U JP11931388 U JP 11931388U JP H0241108 U JPH0241108 U JP H0241108U
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- JP
- Japan
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- slider
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- transparent material
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 claims 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Supporting Of Heads In Record-Carrier Devices (AREA)
Description
第1図は本考案の一実施例の光学系を示す図、
第2図は測定装置の概略構成を示す図、第3図a
は入射光の説明図、bは戻り干渉光の説明図であ
る。 1……レーザ発振器等でなる光源、2……戻り
干渉光検出用の偏向ビームスプリツタ、21……
戻り干渉光の光源への再入射防止用の偏向ビーム
スプリツタ、3……1/4λ板、4……擬似媒体
、5……スライダ、6……受光素子、7……A/
D変換器、8……デイスクトツプコンピユータ。
第2図は測定装置の概略構成を示す図、第3図a
は入射光の説明図、bは戻り干渉光の説明図であ
る。 1……レーザ発振器等でなる光源、2……戻り
干渉光検出用の偏向ビームスプリツタ、21……
戻り干渉光の光源への再入射防止用の偏向ビーム
スプリツタ、3……1/4λ板、4……擬似媒体
、5……スライダ、6……受光素子、7……A/
D変換器、8……デイスクトツプコンピユータ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 媒体と該媒体に対して微小隙間で浮上するスラ
イダの少なくとも一方を透明材とし、該透明材の
側から単一波長光を照射して、上記スライダと上
記媒体の各々の対向面での反射光の干渉光量を検
出して、上記スライダの上記媒体に対する浮上隙
間を測定する装置において、 上記単一波長光発生手段と上記透明材との間の
光軸に沿つて、複数個の偏向ビームスプリツタを
配したことを特徴とする浮動ヘツドスライダ浮上
隙間測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11931388U JPH0241108U (ja) | 1988-09-13 | 1988-09-13 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11931388U JPH0241108U (ja) | 1988-09-13 | 1988-09-13 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0241108U true JPH0241108U (ja) | 1990-03-22 |
Family
ID=31364434
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11931388U Pending JPH0241108U (ja) | 1988-09-13 | 1988-09-13 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0241108U (ja) |
-
1988
- 1988-09-13 JP JP11931388U patent/JPH0241108U/ja active Pending
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