JPH0240552Y2 - - Google Patents
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- JPH0240552Y2 JPH0240552Y2 JP1982142161U JP14216182U JPH0240552Y2 JP H0240552 Y2 JPH0240552 Y2 JP H0240552Y2 JP 1982142161 U JP1982142161 U JP 1982142161U JP 14216182 U JP14216182 U JP 14216182U JP H0240552 Y2 JPH0240552 Y2 JP H0240552Y2
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- magnetic
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Landscapes
- Measuring Magnetic Variables (AREA)
Description
本考案は磁気抵抗素子を利用した磁気検出器の
改良に関するものである。 InSb,InSb−NiSb,InAs等のキヤリヤ移動度
が高い半導体又はNi−Co,Ni−Fe,Ni−Fe−
Co等の強磁性体はこれに磁界を作用させたとき
抵抗値が変化するという性質を有し、この性質を
利用して磁気の存在,磁性体の存在,移動の検出
を行う磁気検出器が実用化されている。 第1図は従来の磁気検出器を示す正面断面図で
あり、図中21は筺体を示している。筺体21は
プラスチツク成形品であつて、上面に形成した開
口部21aはベリリウム−銅製の薄膜よりなる保
護板22にて閉鎖されている。保護板22は筺体
21に一体にモールドされており、その外面には
耐摩耗性向上のために心要に応じてクロムメツキ
が施される。 筺体21内にはこの保護板22と適当な間隙を
隔ててセンサユニツト23が配設されている。セ
ンサユニツト23は第2図に模式的に拡大して示
すようにフエライト製の磁性体基板24上に接着
用樹脂25を用いて磁気抵抗素子26,27を並
設したものであり、この磁性体基板24はプラス
チツク製のマウント基板28に穿設した穴に嵌合
され、マウント基板28の下面のリン青銅製の底
板28′を介して、磁性体基板24の下面をFe−
Cr−Co磁石等で形成されたバイアス用の永久磁
石29に対向させてある。マウント基板28上に
はセンサユニツト23を囲繞する環状スペーサ3
0が設けられており、開口部21aの周縁に該ス
ペーサ30の上面を接触させて保護板22と磁気
抵抗素子26,27との間隔が所定値になるよう
にしてある。各磁気抵抗素子26,27から引き
出されたリード線31はマウント基板28上のプ
リント配線を経て外部へ引出されている。 ところで従来の磁気検出器にあつては、永久磁
石29として鉄−クロム−コバルト等の合金磁石
が用いられているが、可逆透磁率が6.2程度と大
きいために外乱磁界が存在するとき、その磁力線
を第2図に示す如く永久磁石29側、換言すれば
センサユニツト23を構成する磁気抵抗素子2
6,27周辺に引き込み永久磁石29本来の磁束
密度分布を変化せしめる結果、これが雑音として
捉えられるS/N比(信号対雑音比)が低くなる
という難点があつた。 本考案はかかる事情に鑑みなされたものであつ
て、その目的とするところは複数の磁気抵抗素子
に対してバイアス磁界を与える磁石を可逆透磁率
1.5以下の希土類金属を用いて形成することによ
り、外乱磁界の磁力線に対しての引き込みがなく
磁気抵抗素子前方の磁束密度分布に与える影響を
低減し、S/N比の大幅な向上を図り得るように
した磁気検出器を提供するにある。 以下本考案をその実施例を示す図面に基いて具
体的に説明する。第3図は本考案に係る磁気検出
器(以下本案品という)の正面断面図であり、図
中1は筺体、11は筺体1を構成する本体部分、
12は同じくキヤツプ部分、13は底板部分を示
している。本体部分11は黄銅板を絞り加工して
形成してあつて、四隅部に若千丸味を与えた肉厚
0.5mmの四角筒状に形成されており、その上端部
はここに嵌着したキヤツプ部分12によつて、ま
た下端部は同じくここに嵌着した底板部分13に
て夫々閉鎖され、内部にはマウント基板2、セン
サユニツト3、永久磁石4等が配設され、それ以
外の空間部14には合成樹脂が充填せしめられて
いる。 本体部分11はその下側過半部分の範囲は断面
一様な矩形状をなし、またキヤツプ部分12を嵌
着すべき上端部は肉厚を同じにした状態で断面形
状をキヤツプ部分12の肉厚相当部分だけ縮小形
成され、そして上端末はその周縁部を中心線側に
向けて断面円弧状をなす肩部11aを形成するよ
う絞り込み、中央部に縮小された矩形状の開口部
11bを形成せしめてある。 キヤツプ部分12はリン青銅板を絞り加工して
肉厚が0.1mmの四角形の皿鉢状に形成してあつて、
前記本体部分11の開口部11bと対向する部分
は平坦面に、また肩部11aと対向する部分はこ
れと面接触するよう同様の曲率をもつ円弧状の肩
部12aが形成されており、本体部分11の上端
に密接状態で外嵌され、全周にわたつて、或いは
適数個所をスポツト的に本体部分11に溶接され
ている。底板部分13は例えばプラスチツク成形
品であつて、本体部分11の下端開口部に嵌合固
定されている。 マウント基板2は前記した各部材によつて形成
される筺体1内に本体部分11の開口部11bに
面して位置し、スペーサ5を介してキヤツプ部分
12の下方にこれと所要の間隔を隔てて配設さ
れ、中央には上下に貫通する穴が穿設され、下面
には穴を閉鎖する態様でリン青銅製の底板2′が
固定されており、上面側から前記穴にセンサユニ
ツト3が挿入固定され、また下面の底板2′には
センサユニツト3と対応させてその直下に
SmCo5,Sm2CO17等の希土類金属の低透磁率材
料を用いて形成した円柱状の永久磁石4の一磁極
端面が固定されている。センサユニツト3は第4
図に示す如くマウント基板2の穴内に固定したシ
リコン等の非磁性体基板6上に合成樹脂接着剤6
aを用いて2個の磁気抵抗素子7,8を並列固定
して形成され、各磁気抵抗素子7,8から引き出
したリードはマウント基板2に穿つた孔を通して
その下面に導かれ、ここでリード板9aの一端に
接続されており、その他端は底板部分13に穿つ
た孔を通してその下方に所要長にわたつて延在さ
れている。9bは筺体1の本体部分11内面に一
端を接続されたアース用のリード板であつてその
他端は同じく底板部分13に穿つた孔を通してそ
の下方に延在せしめられている。 而して上述の如く構成した本案品にあつては永
久磁石4は希土類磁石等を用いた低透磁率の材料
にて形成されているから、外乱磁界が存在してい
ても、その磁力線を磁気抵抗素子7,8前方に引
き込むことがなく、第4図に示す如く外乱磁界に
よる磁力線はセンサユニツト3の周辺においても
略均一に分布する結果、バイアス磁界の磁束密度
分布に与える影響が著しく低減され、雑音に煩わ
されることなく磁気抵抗素子の抵抗値変化を的確
に捉え得、S/N比が大幅に向上し得ることとな
る。ちなみに永久磁石4として可逆透磁率1.1の
SmCo5磁石を用いた場合には可逆透磁率6.2のFe
−Cr−Co磁石を用いた場合に比較してS/N比
が1.5倍向上し得ることが確認された。 なお上記希土類磁石は希土類金属(Y,La,
Pr,Nd,Sm,Gd)Rと遷移金属(Fe,Co,Ni
等)Rとの金属間化合物、例えばRT2,RT3,
RT5,R2T7,R2T17,R3T,R5T19,R9T4等を
素材とする磁石を含むものである。ちなみに各種
永久磁石と可逆透磁率,S/N比の関係を表すと
表1の如くになる。
改良に関するものである。 InSb,InSb−NiSb,InAs等のキヤリヤ移動度
が高い半導体又はNi−Co,Ni−Fe,Ni−Fe−
Co等の強磁性体はこれに磁界を作用させたとき
抵抗値が変化するという性質を有し、この性質を
利用して磁気の存在,磁性体の存在,移動の検出
を行う磁気検出器が実用化されている。 第1図は従来の磁気検出器を示す正面断面図で
あり、図中21は筺体を示している。筺体21は
プラスチツク成形品であつて、上面に形成した開
口部21aはベリリウム−銅製の薄膜よりなる保
護板22にて閉鎖されている。保護板22は筺体
21に一体にモールドされており、その外面には
耐摩耗性向上のために心要に応じてクロムメツキ
が施される。 筺体21内にはこの保護板22と適当な間隙を
隔ててセンサユニツト23が配設されている。セ
ンサユニツト23は第2図に模式的に拡大して示
すようにフエライト製の磁性体基板24上に接着
用樹脂25を用いて磁気抵抗素子26,27を並
設したものであり、この磁性体基板24はプラス
チツク製のマウント基板28に穿設した穴に嵌合
され、マウント基板28の下面のリン青銅製の底
板28′を介して、磁性体基板24の下面をFe−
Cr−Co磁石等で形成されたバイアス用の永久磁
石29に対向させてある。マウント基板28上に
はセンサユニツト23を囲繞する環状スペーサ3
0が設けられており、開口部21aの周縁に該ス
ペーサ30の上面を接触させて保護板22と磁気
抵抗素子26,27との間隔が所定値になるよう
にしてある。各磁気抵抗素子26,27から引き
出されたリード線31はマウント基板28上のプ
リント配線を経て外部へ引出されている。 ところで従来の磁気検出器にあつては、永久磁
石29として鉄−クロム−コバルト等の合金磁石
が用いられているが、可逆透磁率が6.2程度と大
きいために外乱磁界が存在するとき、その磁力線
を第2図に示す如く永久磁石29側、換言すれば
センサユニツト23を構成する磁気抵抗素子2
6,27周辺に引き込み永久磁石29本来の磁束
密度分布を変化せしめる結果、これが雑音として
捉えられるS/N比(信号対雑音比)が低くなる
という難点があつた。 本考案はかかる事情に鑑みなされたものであつ
て、その目的とするところは複数の磁気抵抗素子
に対してバイアス磁界を与える磁石を可逆透磁率
1.5以下の希土類金属を用いて形成することによ
り、外乱磁界の磁力線に対しての引き込みがなく
磁気抵抗素子前方の磁束密度分布に与える影響を
低減し、S/N比の大幅な向上を図り得るように
した磁気検出器を提供するにある。 以下本考案をその実施例を示す図面に基いて具
体的に説明する。第3図は本考案に係る磁気検出
器(以下本案品という)の正面断面図であり、図
中1は筺体、11は筺体1を構成する本体部分、
12は同じくキヤツプ部分、13は底板部分を示
している。本体部分11は黄銅板を絞り加工して
形成してあつて、四隅部に若千丸味を与えた肉厚
0.5mmの四角筒状に形成されており、その上端部
はここに嵌着したキヤツプ部分12によつて、ま
た下端部は同じくここに嵌着した底板部分13に
て夫々閉鎖され、内部にはマウント基板2、セン
サユニツト3、永久磁石4等が配設され、それ以
外の空間部14には合成樹脂が充填せしめられて
いる。 本体部分11はその下側過半部分の範囲は断面
一様な矩形状をなし、またキヤツプ部分12を嵌
着すべき上端部は肉厚を同じにした状態で断面形
状をキヤツプ部分12の肉厚相当部分だけ縮小形
成され、そして上端末はその周縁部を中心線側に
向けて断面円弧状をなす肩部11aを形成するよ
う絞り込み、中央部に縮小された矩形状の開口部
11bを形成せしめてある。 キヤツプ部分12はリン青銅板を絞り加工して
肉厚が0.1mmの四角形の皿鉢状に形成してあつて、
前記本体部分11の開口部11bと対向する部分
は平坦面に、また肩部11aと対向する部分はこ
れと面接触するよう同様の曲率をもつ円弧状の肩
部12aが形成されており、本体部分11の上端
に密接状態で外嵌され、全周にわたつて、或いは
適数個所をスポツト的に本体部分11に溶接され
ている。底板部分13は例えばプラスチツク成形
品であつて、本体部分11の下端開口部に嵌合固
定されている。 マウント基板2は前記した各部材によつて形成
される筺体1内に本体部分11の開口部11bに
面して位置し、スペーサ5を介してキヤツプ部分
12の下方にこれと所要の間隔を隔てて配設さ
れ、中央には上下に貫通する穴が穿設され、下面
には穴を閉鎖する態様でリン青銅製の底板2′が
固定されており、上面側から前記穴にセンサユニ
ツト3が挿入固定され、また下面の底板2′には
センサユニツト3と対応させてその直下に
SmCo5,Sm2CO17等の希土類金属の低透磁率材
料を用いて形成した円柱状の永久磁石4の一磁極
端面が固定されている。センサユニツト3は第4
図に示す如くマウント基板2の穴内に固定したシ
リコン等の非磁性体基板6上に合成樹脂接着剤6
aを用いて2個の磁気抵抗素子7,8を並列固定
して形成され、各磁気抵抗素子7,8から引き出
したリードはマウント基板2に穿つた孔を通して
その下面に導かれ、ここでリード板9aの一端に
接続されており、その他端は底板部分13に穿つ
た孔を通してその下方に所要長にわたつて延在さ
れている。9bは筺体1の本体部分11内面に一
端を接続されたアース用のリード板であつてその
他端は同じく底板部分13に穿つた孔を通してそ
の下方に延在せしめられている。 而して上述の如く構成した本案品にあつては永
久磁石4は希土類磁石等を用いた低透磁率の材料
にて形成されているから、外乱磁界が存在してい
ても、その磁力線を磁気抵抗素子7,8前方に引
き込むことがなく、第4図に示す如く外乱磁界に
よる磁力線はセンサユニツト3の周辺においても
略均一に分布する結果、バイアス磁界の磁束密度
分布に与える影響が著しく低減され、雑音に煩わ
されることなく磁気抵抗素子の抵抗値変化を的確
に捉え得、S/N比が大幅に向上し得ることとな
る。ちなみに永久磁石4として可逆透磁率1.1の
SmCo5磁石を用いた場合には可逆透磁率6.2のFe
−Cr−Co磁石を用いた場合に比較してS/N比
が1.5倍向上し得ることが確認された。 なお上記希土類磁石は希土類金属(Y,La,
Pr,Nd,Sm,Gd)Rと遷移金属(Fe,Co,Ni
等)Rとの金属間化合物、例えばRT2,RT3,
RT5,R2T7,R2T17,R3T,R5T19,R9T4等を
素材とする磁石を含むものである。ちなみに各種
永久磁石と可逆透磁率,S/N比の関係を表すと
表1の如くになる。
【表】
表1から明らかな如く可逆透磁率が低い程、誘
導ノイズが小さく、従つてまたS/N比が高いこ
とが解る。 以上の如く本考案にあつてはバイアス磁界用の
永久磁石を可逆透磁率の低い希土類磁石を用いて
形成したことによつて外乱磁界が永久磁石それ自
体の磁束密度分布に与える影響を可及的に低減し
得、磁気検出を高S/N比で行なえる優れた効果
を奏するものである。
導ノイズが小さく、従つてまたS/N比が高いこ
とが解る。 以上の如く本考案にあつてはバイアス磁界用の
永久磁石を可逆透磁率の低い希土類磁石を用いて
形成したことによつて外乱磁界が永久磁石それ自
体の磁束密度分布に与える影響を可及的に低減し
得、磁気検出を高S/N比で行なえる優れた効果
を奏するものである。
第1図は従来の磁気検出器を示す正面断面図、
第2図は外乱磁界の磁力線の状態を示す説明図、
第3図は本案品の正面断面図、第4図は本案品に
おける外乱磁界の磁力線の状態を示す説明図であ
る。 1……筺体、2……マウント基板、3……セン
サユニツト、4……永久磁石、5……スペーサ、
6……磁性体基板、7,8……磁気抵抗素子、9
a,9b……リード板。
第2図は外乱磁界の磁力線の状態を示す説明図、
第3図は本案品の正面断面図、第4図は本案品に
おける外乱磁界の磁力線の状態を示す説明図であ
る。 1……筺体、2……マウント基板、3……セン
サユニツト、4……永久磁石、5……スペーサ、
6……磁性体基板、7,8……磁気抵抗素子、9
a,9b……リード板。
Claims (1)
- 複数の磁気抵抗素子に対してバイアス磁界を与
える磁石を、希土類金属(Y、La、Pr、Nd、
Sm、Gd)と遷移金属(Fe、Co、Ni)との金属
間化合物を用いて形成したことを特徴とする磁気
検出器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14216182U JPS5945578U (ja) | 1982-09-20 | 1982-09-20 | 磁気検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14216182U JPS5945578U (ja) | 1982-09-20 | 1982-09-20 | 磁気検出器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5945578U JPS5945578U (ja) | 1984-03-26 |
JPH0240552Y2 true JPH0240552Y2 (ja) | 1990-10-29 |
Family
ID=30317733
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP14216182U Granted JPS5945578U (ja) | 1982-09-20 | 1982-09-20 | 磁気検出器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5945578U (ja) |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5178647A (ja) * | 1974-12-29 | 1976-07-08 | Sony Corp |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6245182Y2 (ja) * | 1981-01-06 | 1987-12-02 |
-
1982
- 1982-09-20 JP JP14216182U patent/JPS5945578U/ja active Granted
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5178647A (ja) * | 1974-12-29 | 1976-07-08 | Sony Corp |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS5945578U (ja) | 1984-03-26 |
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