JPH0238952A - Surface defect inspection device - Google Patents

Surface defect inspection device

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JPH0238952A
JPH0238952A JP18989888A JP18989888A JPH0238952A JP H0238952 A JPH0238952 A JP H0238952A JP 18989888 A JP18989888 A JP 18989888A JP 18989888 A JP18989888 A JP 18989888A JP H0238952 A JPH0238952 A JP H0238952A
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defect
surface defect
defects
computer
camera
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Hidekazu Miyake
秀和 三宅
Yasuhiko Masuno
増野 豈彦
Setsuo Mejika
女鹿 節男
Takashi Senba
銭場 敬
Mamoru Yoshida
守 吉田
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JFE Steel Corp
Mitsubishi Electric Corp
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Mitsubishi Electric Corp
Kawasaki Steel Corp
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Abstract

PURPOSE:To efficiently inspect a surface defect with high accuracy by computing the kind and grade of the surface defect by a computer, and then photographing a necessary defect by a camera with a proper visual field and obtaining a still image. CONSTITUTION:A detector 12 projects light on the surface of a steel late 10 to detects the defect from its reflection state, and then outputs surface defect information to the computer 16 through a defect detecting circuit 14. The computer 16 decides (primarily) the kind and grade of the surface defect according to the signal. A control circuit 22 selects a narrow-field camera 20B for a spot defect or a wide-field camera 20A for a linear or planar defect according to the surface defect information from the computer 16 and makes a stroboscopic device emit light when the surface defect reaches a photographic point Xa to photograph the surface defect. The photographed surface defect is displayed as the still image on a motor 30 through an image input/output circuit 28 and an image processing circuit 26.

Description

【発明の詳細な説明】[Detailed description of the invention] 【産業上の利用分野】[Industrial application field]

この発明は圧延鋼板等の移動する被検材の表面欠陥を効
率良く、且つ、高精度で検査することができるようにし
た表面欠陥検査装置の改良に関する。
The present invention relates to an improvement in a surface defect inspection device that can efficiently and accurately inspect surface defects on a moving object to be inspected, such as a rolled steel plate.

【従来の技術】[Conventional technology]

圧延ラインの鋼板等の、移送中の被検材の表面欠陥の検
査は、従来、オペレータによる目視検査、レーザー光等
を被検付表゛面に照射して、その反射を利用して欠陥を
検査する方法、例えば、特開昭53−12383、特開
昭54−118289、特公昭58−14984等の各
号報に開示されているように、カメラとストロボにより
被検材の表面の静止画像を捕らえ、これから欠陥検査を
行う方法等がある。
Inspection of surface defects in materials to be inspected during transportation, such as steel plates on rolling lines, has conventionally been carried out by visual inspection by an operator, or by irradiating a laser beam or the like onto the surface of the object to be inspected and using its reflection to inspect for defects. For example, as disclosed in JP-A-53-12383, JP-A-54-118289, JP-B-58-14984, etc., a still image of the surface of the specimen is captured using a camera and a strobe. There are ways to capture the defects and then conduct defect inspections.

【発明が解決しようとする課!a】[The problem that the invention tries to solve! a]

上記目視検査は、被検材のラインスピードが一定値以上
となると見逃しが増加し、未検査の状態に近くなるとい
う問題点がある。 又、レーザー光等の反射を利用した欠陥検査装置は、被
検材の表面欠陥の種類によっては、必ずしも目視検査と
比較して優れた合致率を示すものではなく、ある程度の
誤判定を許容しながら使用しなければならないという問
題点がある。 又、前記カメラとストロボを利用した表面欠陥検査方法
は、これのみでは被検材の表面における欠陥の有無が不
明であるため、被検材の全長に渡って検査する必要があ
り、表面欠陥がある部分のみを抽出して表面欠陥検査を
行うことができないという問題点がある。
The above-mentioned visual inspection has a problem in that when the line speed of the material to be inspected exceeds a certain value, the number of missed inspections increases and the inspection becomes close to an uninspected state. Additionally, defect inspection equipment that uses reflection of laser light, etc. does not necessarily show a superior match rate compared to visual inspection, depending on the type of surface defect on the material being inspected, and may allow a certain degree of misjudgment. There is a problem in that it has to be used while In addition, with the surface defect inspection method using a camera and a strobe, it is not clear whether there are defects on the surface of the material to be inspected, so it is necessary to inspect the entire length of the material to be inspected. There is a problem in that it is not possible to extract only a certain portion and perform a surface defect inspection.

【発明の目的】[Purpose of the invention]

この発明は上記従来の問題点に鑑みてなされたものであ
って、移動する鋼板等の被検材の表面欠陥を高速で、且
つ;5精度に検査することができるようにした表面欠陥
情報装!を提供することを目的とする。
This invention was made in view of the above-mentioned conventional problems, and is a surface defect information system that can inspect surface defects of moving materials such as steel plates at high speed and with an accuracy of 5. ! The purpose is to provide

【課題を解決するための手段】[Means to solve the problem]

この発明は、移動する被検材の表面に光線を照射し、そ
の反射状態に基づき該被検材の表面欠陥を検出する検出
器と、この検出器により得られた表面欠陥検出信号に基
づき、該表面欠陥の種類及びグレードを計算するための
計算機と、この計算機から出力される表面欠陥の種類及
びグレード信号に基づいて、撮影が必要な欠陥に光を照
射する投光器及びその照射タイミングで該欠陥を撮影す
る異なる視野の複数のカメラと、を有してなり、前記計
X機からの表面欠陥情報に基づき、該欠陥の撮影に適し
た視野のカメラが少なくとも1台選択され、これにより
表面欠陥を撮影する表面欠陥検査装置を構成することに
よって上記目的を達成するものである。
This invention is based on a detector that irradiates the surface of a moving test material with a light beam and detects surface defects of the test material based on the state of reflection, and a surface defect detection signal obtained by this detector. A calculator for calculating the type and grade of the surface defect; a light projector that irradiates light onto the defect that needs to be photographed based on the type and grade signal of the surface defect output from the computer; a plurality of cameras with different fields of view for photographing the defect, and based on the surface defect information from the total X machines, at least one camera with a field of view suitable for photographing the defect is selected, thereby The above object is achieved by configuring a surface defect inspection device that takes images of the surface defects.

【作用】[Effect]

この発明においては、先ず、被検材の表面欠陥を検出器
によって検出し、その検出信号に基づいて計X、機によ
り表面欠陥の種類及びグレードを計算し、然る後、撮影
が必要な表面欠陥のみこれに適した視野を有するカメラ
を利用して撮影し、静止画像を得て、検査員により、能
率良く、且つ高精度に表面欠陥を検査することができる
In this invention, first, the surface defect of the material to be inspected is detected by a detector, and based on the detection signal, the type and grade of the surface defect is calculated by the machine. Only the defects are photographed using a camera having a field of view suitable for this, a still image is obtained, and the surface defects can be efficiently and precisely inspected by an inspector.

【実施例】【Example】

以下本発明の実施例を図面を参照して説明する。 この実施例は、第1図に示されるように、圧延ラインに
おける鋼板10の表面にレーザー又は光を照射し、その
反射光を受光する投受光器を含み、前記反射光に基づい
て鋼板10の表面欠陥を検出する検出器12と、この検
出器12により得られた表面欠陥検出信号をハード的に
処理するための欠陥検出回路14と、この欠陥検出回路
14からの信号を取込み、ソフト的に処理し、表面欠陥
の種類及びグレードの判定を行う計!11116と、こ
の計算機16から出力され、る表面欠陥の種類及びグレ
ード信号に基づいて、撮影が必要な欠陥に光を照射する
ストロボ18及びその照射タイミングで該欠陥を撮影す
る広視野カメラ2OA及び狭視野カメラ20B、これら
を制御する制御回路22を含む欠陥検査装置24と、を
含んで構成されている。 この欠陥検査装置24は、池に、画像処理回路26、画
像入出力回路28、タイミング制御回路18A及び21
と、モニタ30とキーボード32が含まれている。 又前記計算116には該計算機で判定された表面欠陥の
情報を表示するためのCRT16A及びこのCRT16
Aに表示された表面欠陥の情報に対して欠陥検査装置2
4で検査するか否かを検査員が入力するためのキーボー
ド16Bとが接続されている。 更に、計算8116には、パルス発生器34から出力さ
れるパルス信号が゛入力されるようになっている。 このパルス発生器34は、回教10に対してスリップが
発生しないように転接するロール36に連結され、該ロ
ール36の回転数に対応してパルス信号を出力するもの
である。 前記欠陥検査装置24における#J御回路22は、計x
、8116から入力される表面欠陥情報及び、計X機1
6が、パルス発生器34からのパルス信号に基づいて、
検出器12で検出された表面欠陥のトラッキングにより
、該表面欠陥がストロボ18及びカメラ2OA、20B
の位置に到達しなというタイミング信号に基づいて、タ
イミング制御回路18A、2OAを介してストロボ18
及び広視野カメラ20A又は狭視野カメラ20Bを作動
させるものである。 ここで、制御回路22は、計算fi16からの表面欠陥
情報に基づき、該表面欠陥の撮影にt&適な視野のカメ
ラを広視野カメラ2OA又は狭視野カメラ20Bから選
択するようにされている。 即ち、第3図に示される基準により、表面欠陥が点状欠
陥の場合は、狭視野カメラ20Bが、線状欠陥又は面状
欠陥の場合は広視野カメラ2OAが、それぞれ選択され
るように設定されている。 前記画像入出力回路28は、カメラ2OA又は20Bに
よって得られた鋼板10の表面欠陥の画像情報を取込む
ものである。 又画像処理回路26は、画像入出力回路28に取込まれ
た画像信号に基づき、欠陥判定等の画像処理を行うと共
に、モニタ30に欠陥画像を静止画像として表示させる
ものである。 前記キーボード32は、モニタ30に表示された欠陥画
像により、表面欠陥の種類グレード等の2次判定がなさ
れた後、その判定結果を、検査員により画像処理回路2
6、制御回路22を経て計算機16に入力させるもので
ある。 次に上記実施例に係る表面欠陥検査装置により銅板10
の表面欠陥を検査する過程につき説明する。 鋼板10が、圧延ラインにおいて第1図の左方に移動し
ている間、検出器12はその表面にレーザー又は光を投
光し、且つ、その反射光を受光器により受光して、反射
状態から、鋼板10の表面にある欠陥を検出し、欠陥検
出回路14を経て計算11116に表面欠陥情報を出力
する。 計$t1116は、欠陥検出回路14からの信号を処理
し、検出した表面欠陥の種類及びグレードの判定(1次
判定)を行う。 一方、計Xal16は、パルス発生器34で入力される
パルス信号に基づき、検出器12が検出した表面欠陥が
、検出点XOから、カメラ2OA、20Bの撮影ポイン
トXcLに到達するまでの距離×の開トラッキングし、
カメラ2OA、20Bとストロボ18のタイミング合わ
せ時間を考慮して、該表面欠陥が前記撮影ポイントXα
の少し前に到達した時点で、欠陥検査装置24における
制御回路22にタイミング信号を出力する。 ここで、計算機16で1次判定された表面欠陥の情報は
、CRT16Aに表示され、CRT16Aに表示された
表面欠陥情報に対して、検査員が、予めキーボード16
Bにより設定しである条件に基づき計算fi16から制
御回路22に送られる。 制御回路22は、計算機216から入力される表面欠陥
情報に基づいて、例えば第5図に示されるような点状欠
陥の場合は、狭視野カメラ20Bを、又、第6図又は第
7図に示されるような線状又は面状欠陥の場合は広視野
カメラ2OAをそれぞれ選択すると共に、入力されるタ
イミング信号に基づき、当該表面欠陥が撮影ポイントX
(Lに到達した時点で、タイミング制御回路18A、2
1を介して、ストロボ18を発光させ、同時に、カメラ
2OA又は20Bにより、鋼板10の表面欠陥を撮影さ
せる。 撮影された鋼板10の表面欠陥情報は、画像として画像
入出力回路28に取込まれ、この画像入出力回路28に
取込まれな画像は画像処理回路26で欠陥判定等の画像
処理が行われ、更にモニタ30に表面欠陥が静止画像と
して表示される。 このようにして、モニタ30に静止画像として表示され
た表面欠陥画像は、検査員により表面欠陥の種類、グレ
ード等の2次判定を受ける。 検査員はその2次判定の結果を、キーボード32から正
確な表面欠陥情報として、再度針3Efi16に入力す
る。この入力された表面欠陥情報は、事前に計算116
で1次判定された表面欠陥情報とを突合わせがなされる
。 前記計算機16の1次判定結果は、例えば第4図に示さ
れるように、CRT16Aに表示される。 即ち、第4図のマトリックスは、縦軸に欠陥グレード、
横軸に欠陥種類を表示するもので、マトリックス中のY
ES、Noは、計算機16がらカメラ2OA、20B及
びストロボ18を利用した欠陥検査装置24に対して検
出した欠陥を出力する(YES)か否(NO)かを表示
するものである。 第4図の表示例では、計算機16による判定が、点状欠
陥イ、欠陥グレードがC1とされ、マトリックスに従い
欠陥情報は出力される(YES)こととなる。 ここで、前記マトリックス内のYES又はNOの判定は
、検査員による目視の判定結果と一致するように設定す
る。 例えばマトリックス内を、全てYESと設定すると、検
出器12によって検出された全ての表面欠陥の情報が制
御回路22に送られて、カメラ20A、20Bによって
撮影され、モニタ30に表示される。逆にマトリックス
内を全てNOと設定すれば、全ての欠陥情報が送られな
いので、カメラ2OA、20Bによって撮影されること
はない。 ところで、一般に、冷延鋼板等の欠陥は、形態的には、
前記のような点状欠陥、線状欠陥及び面状欠陥の3つに
大きく分類される。 点状欠陥としては押疵及びタルハゲがあり、線状欠陥と
しては、スケール及びスリーバ、又は面状欠陥としては
油染、汚れ等の種類がある。 前記実施例においては、1次判定による欠陥の形態的分
類、即ち点状欠陥、線状欠陥又は面状欠陥の分類に従っ
て、カメラ2OA、20Bが選択されるものであるが、
本発明はこれに限定されるものでなく、上記のような欠
陥種類、即ち押疵、タルハゲ、スケール、スリーバ、油
染あるいは汚れによって、カメラ20A、20Bを選択
するようにしてもよい。 ス、点状欠陥、線状欠陥及び面状欠陥を、広視野カメラ
2OAで撮影した場合は、第5図(A)、第6図(A)
、第7図(A)に示されるようになり、又、狭視野カメ
ラ20B″′c撮影した場合は、第5図(B)、第6図
(B)及び第7図(B)にそれぞれ示されるようになる
。 これらの例から明らかなように、点状欠陥は欠陥部の面
積が小さいため、狭視野カメラ20Bによって撮影した
ほうが、モニタ30上で検査員が欠陥を判定する場合、
又、画像処理により自動的に判定する場合に有利である
。 反対に、線状欠陥及び面状欠陥については広視野カメラ
2OAにより撮影したほうが有利である。 しかしながら、本発明はこれに限定されるものでなく、
例えば、広視野カメラ2OAと狭視野カメラ20Bによ
り同時に同じ欠陥を撮影して、得られた画像から欠陥の
認識の容易な画面を選択するようにしても良い。 更に、上記実施例は、鋼材10の進行方向に2つのカメ
ラ20A、20Bを配置し、且つ、照明用のストロボ1
8を配置したものであるが、本発明はこれに限定される
ものでなく、カメラは、3台以上の視野の異なるカメラ
であっても良く、又、カメラを鋼材10の幅方向に配列
しても良く、更には、ストロボ以外の照明手段を用いる
ようにしても良い。 又、上記実施例において、第4図に示されるマトリック
スにおける欠陥グレードの例として、軽欠陥から重大欠
陥を、A〜Eの順序で表示するようにしたが、一般的に
、重大欠陥は検出器12、欠陥検出回路14の検出に基
づき、計Xfi16の1次判定でほぼ検出す゛ることが
でき、該計算機16の判定も比較的正確である。 従って外観基準が比較的緩い場合このような重大欠陥は
、通常検査員による2次判定の頻度を少なくすることが
できる。 しかしながら、外観検査基準が厳しい場合微少欠陥等の
、第4図のマトリックスにおいてはグレードA、Bの軽
欠陥の場合、製品の品質保証上必ず判定を要するもので
あり、計算機16による1次判定結果は参考として、最
終的に検査員の2次判定が必要となる。 従って、このような場合は、第4図のマトリックスのよ
うに、CRT16Aを設定しておけば、計算機16によ
る1次判定に曖昧さを多く含んだ欠陥について欠陥画像
を撮影し、検査員による2次判定結果を最終判定とした
検査を行うことができる。 又この実施例においては、モニタ30に表示された欠陥
画像に基づく、検査員の2次判定結果が、キーボード3
2から制御回路22を経て計算機16に送られるので、
これと1次判定結果を突合わせることにより、オンライ
ンで学習することにより1次判定結果の向上を図ること
ができる。 なお上記実施例は圧延ラインにおける鋼板10の表面欠
陥を検査する場合についてのものであるが、本発明はこ
れに限定されるものでなく、鋼板以外の移動する被検材
め表面における表面欠陥を検査する場合につき一般的に
適用されるものである。 【発明の効果1 本発明は上記のように構成したので、計X機からの欠陥
情報出力時のみ投光器及びカメラにより表面欠陥の画像
を撮影し、検査員がこの画像を検査するだけで足りるの
で、能率の良い検査を行うことができ、又検査員は表面
欠陥を現す静止画像のみをチエツクするので、検査可能
なラインスピードの制限を解除することができ、更に、
2次判定で検査員による静止画像に基づく正確な表面欠
陥検査を得られるのみならず、計X81により学習する
ことで1次判定の精度向上を図ることができ、又、i&
週視野のカメラを用いて撮影することにより、微少欠陥
の検出、判定が容易となると共に、その池の欠陥につい
ても、検査員の判定効率を向上させることができ、その
結果、連続焼鈍ラインのような中間工程で、従来、外観
検査基準の厳しい製品を精整等の次工程に送って検査し
ていたものを、送る必要がなくなり、工程の短縮、歩留
りの向上、次工程の節時化、省力等の優れた効果を有す
る。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. As shown in FIG. 1, this embodiment includes a light emitter/receiver that irradiates a laser or light onto the surface of a steel plate 10 in a rolling line and receives the reflected light. A detector 12 for detecting surface defects, a defect detection circuit 14 for processing the surface defect detection signal obtained by this detector 12 in a hardware manner, and a signal from the defect detection circuit 14 is taken in and processed in a software manner. A device that processes and determines the type and grade of surface defects! 11116, and a strobe 18 that irradiates light onto a defect that needs to be photographed based on the type and grade signal of the surface defect output from this computer 16, and a wide-field camera 2OA and a narrow-field camera that photographs the defect at the timing of the strobe light. It is configured to include a visual field camera 20B and a defect inspection device 24 including a control circuit 22 that controls these. This defect inspection device 24 mainly includes an image processing circuit 26, an image input/output circuit 28, and timing control circuits 18A and 21.
, a monitor 30 and a keyboard 32. The calculation unit 116 also includes a CRT 16A and a CRT 16 for displaying information on surface defects determined by the computer.
Defect inspection device 2 detects the surface defect information displayed in A.
A keyboard 16B is connected to the keyboard 16B for the inspector to input whether or not to perform the inspection in step 4. Further, the calculation 8116 is configured to receive the pulse signal output from the pulse generator 34 as input. This pulse generator 34 is connected to a roll 36 that rolls into contact with the converter 10 so that no slip occurs, and outputs a pulse signal in accordance with the rotational speed of the roll 36. The #J control circuit 22 in the defect inspection device 24 has a total of x
, 8116, and a total of X machine 1
6 is based on the pulse signal from the pulse generator 34,
By tracking the surface defects detected by the detector 12, the surface defects are detected by the strobe 18 and the cameras 2OA and 20B.
Based on the timing signal indicating that the strobe 18 should not reach the position of
and operates the wide-field camera 20A or the narrow-field camera 20B. Here, the control circuit 22 selects a camera with a field of view suitable for photographing the surface defect from the wide-field camera 2OA or the narrow-field camera 20B, based on the surface defect information from the calculation fi16. That is, according to the criteria shown in FIG. 3, the narrow-field camera 20B is selected when the surface defect is a point defect, and the wide-field camera 2OA is selected when the surface defect is a linear defect or a planar defect. has been done. The image input/output circuit 28 takes in image information of surface defects on the steel plate 10 obtained by the camera 2OA or 20B. Further, the image processing circuit 26 performs image processing such as defect determination based on the image signal taken in by the image input/output circuit 28, and displays the defective image as a still image on the monitor 30. The keyboard 32 performs a secondary judgment such as the type and grade of the surface defect based on the defect image displayed on the monitor 30, and then transmits the judgment result to the image processing circuit 2 by the inspector.
6. The data is input to the computer 16 via the control circuit 22. Next, the copper plate 10 is inspected by the surface defect inspection apparatus according to the above embodiment.
The process of inspecting for surface defects will be explained. While the steel plate 10 is moving to the left in FIG. 1 on the rolling line, the detector 12 projects a laser or light onto the surface of the steel plate 10 and receives the reflected light with a light receiver to detect the reflected state. , detects defects on the surface of the steel plate 10 and outputs surface defect information to the calculation 11116 via the defect detection circuit 14 . A total of $t1116 processes the signal from the defect detection circuit 14 and determines the type and grade of the detected surface defect (primary determination). On the other hand, the total Xal16 is calculated based on the pulse signal inputted by the pulse generator 34, and the distance x the surface defect detected by the detector 12 from the detection point XO to the photographing point XcL of the cameras 2OA and 20B. open tracking,
Considering the timing adjustment time of cameras 2OA, 20B and strobe 18, the surface defect is located at the photographing point Xα.
When the timing reaches a point slightly before , a timing signal is output to the control circuit 22 in the defect inspection device 24 . Here, the surface defect information that has been primarily determined by the computer 16 is displayed on the CRT 16A.
It is sent from the calculation fi 16 to the control circuit 22 based on certain conditions set by B. Based on the surface defect information input from the computer 216, the control circuit 22 controls the narrow field camera 20B in the case of a point defect as shown in FIG. In the case of a linear or planar defect as shown, the wide-field camera 2OA is selected, and based on the input timing signal, the surface defect is located at the shooting point X.
(When reaching L, the timing control circuits 18A, 2
1, the strobe 18 is made to emit light, and at the same time, the surface defects of the steel plate 10 are photographed by the camera 2OA or 20B. The photographed surface defect information of the steel plate 10 is taken as an image into the image input/output circuit 28, and the image not taken into the image input/output circuit 28 is subjected to image processing such as defect determination in the image processing circuit 26. Furthermore, the surface defect is displayed as a still image on the monitor 30. In this way, the surface defect image displayed as a still image on the monitor 30 is subjected to secondary determination of the type, grade, etc. of the surface defect by an inspector. The inspector inputs the result of the secondary determination into the needle 3Efi 16 again from the keyboard 32 as accurate surface defect information. This input surface defect information is calculated 116 in advance.
A comparison is made with the surface defect information that was first determined in . The primary determination result of the computer 16 is displayed on the CRT 16A, as shown in FIG. 4, for example. In other words, the matrix in Figure 4 has the defect grade on the vertical axis,
The defect type is displayed on the horizontal axis, and Y in the matrix
ES and No indicate whether the detected defect is to be output from the computer 16 to the defect inspection device 24 using the cameras 2OA, 20B and the strobe 18 (YES) or not (NO). In the display example of FIG. 4, the computer 16 determines that the point defect is A, the defect grade is C1, and the defect information is output according to the matrix (YES). Here, the YES or NO determination in the matrix is set to match the visual determination result by the inspector. For example, if everything in the matrix is set to YES, information on all surface defects detected by the detector 12 is sent to the control circuit 22, photographed by the cameras 20A and 20B, and displayed on the monitor 30. On the other hand, if everything in the matrix is set to NO, all defect information will not be sent and will not be photographed by the cameras 2OA and 20B. By the way, defects in cold-rolled steel sheets generally have the following morphology:
Defects are broadly classified into three types: point defects, linear defects, and planar defects as described above. Point defects include dents and flaking, linear defects include scale and slivers, and planar defects include oil stains and stains. In the embodiment described above, the cameras 2OA and 20B are selected according to the morphological classification of defects based on the primary determination, that is, the classification of point defects, linear defects, or planar defects.
The present invention is not limited thereto, and the cameras 20A and 20B may be selected depending on the type of defect as described above, that is, dent, chipping, scale, sliver, oil stain, or stain. 5 (A) and 6 (A) when photographing spot defects, point defects, linear defects, and planar defects using a wide-field camera 2OA.
, as shown in FIG. 7(A), and when photographed by the narrow-field camera 20B''c, as shown in FIG. 5(B), FIG. 6(B), and FIG. 7(B), respectively. As is clear from these examples, since the area of a point defect is small, it is better to take an image with the narrow field camera 20B when the inspector judges the defect on the monitor 30.
It is also advantageous when automatically determining by image processing. On the contrary, it is more advantageous to photograph linear defects and planar defects using the wide-field camera 2OA. However, the present invention is not limited to this,
For example, the same defect may be photographed simultaneously by the wide-field camera 2OA and the narrow-field camera 20B, and a screen from which the defect can be easily recognized may be selected from the obtained images. Further, in the above embodiment, two cameras 20A and 20B are arranged in the direction of movement of the steel material 10, and a strobe light 1 for illumination is provided.
However, the present invention is not limited to this, and the cameras may be three or more cameras with different fields of view, or the cameras may be arranged in the width direction of the steel material 10. Further, illumination means other than a strobe may be used. Furthermore, in the above embodiment, as an example of the defect grades in the matrix shown in FIG. 4, minor defects to major defects are displayed in the order of A to E, but generally, major defects are detected by the detector. 12. Based on the detection by the defect detection circuit 14, it can be almost detected by the primary judgment of the total Xfi 16, and the judgment by the computer 16 is also relatively accurate. Therefore, when appearance standards are relatively lenient, the frequency of secondary judgment by normal inspectors for such serious defects can be reduced. However, if the appearance inspection standards are strict, minor defects such as minor defects, grade A or B in the matrix of FIG. As a reference, a secondary judgment by the inspector is ultimately required. Therefore, in such a case, if the CRT 16A is set up as shown in the matrix in FIG. 4, defect images are taken for defects that have a lot of ambiguity in the primary judgment by the computer 16, and the second judgment by the inspector is performed. An inspection can be performed with the next determination result as the final determination. Further, in this embodiment, the inspector's secondary judgment result based on the defect image displayed on the monitor 30 is displayed on the keyboard 3.
2 to the computer 16 via the control circuit 22,
By comparing this with the primary determination result, it is possible to improve the primary determination result through online learning. Although the above embodiment is for inspecting surface defects on a steel plate 10 in a rolling line, the present invention is not limited thereto, and is applicable to inspecting surface defects on the surface of a moving test material other than a steel plate. This is generally applicable to inspections. [Effect of the invention 1] Since the present invention is configured as described above, it is sufficient for the inspector to take an image of the surface defect using the projector and camera only when defect information is output from the total X machines, and to inspect this image. , it is possible to carry out efficient inspections, and since inspectors only check still images showing surface defects, restrictions on the line speed that can be inspected can be lifted, and furthermore,
In the secondary judgment, not only can inspectors obtain accurate surface defect inspection based on still images, but also the accuracy of the primary judgment can be improved by learning from Total X81.
By taking pictures using a camera with a wide field of view, it becomes easy to detect and judge minute defects, and it also improves the efficiency of the inspector's judgment regarding defects in the pond. Traditionally, products with strict visual inspection standards were sent to the next process such as finishing for inspection in intermediate processes such as finishing, but there is no longer a need to send them for inspection, shortening the process, improving yield, and saving time for the next process. , has excellent effects such as labor saving.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明に係る表面欠陥検査装置の実施例を示す
ブロック図、第2図は同実施例におけるカメラの配置状
慇を示す斜視図、第3図は検出された欠陥形態と選択す
るカメラとの関係を示す線図、第4図は同実施例におけ
る計算機の判定結果を示す線図、第5図乃至第7図は、
点状欠陥、線状欠陥及び面状欠陥を広視野カメラ及び狭
カメラにより撮影した画像を示す平面図である。 10・・・鋼板、 12・・・検出器、 14・・・欠陥検出回路、 16・・・計算機、 18・・・ストロボ、 2OA・・・広視野カメラ、 20B・・・狭視野カメラ、 22・・・制御回路、 24・・・欠陥検出装置、 26・・・画像処理回路、 28・・・画像入出力回路、 34・・・パルス発生器。
Fig. 1 is a block diagram showing an embodiment of the surface defect inspection device according to the present invention, Fig. 2 is a perspective view showing the arrangement of cameras in the same embodiment, and Fig. 3 is a detected defect type and selection. A diagram showing the relationship with the camera, FIG. 4 is a diagram showing the judgment results of the computer in the same example, and FIGS. 5 to 7 are:
FIG. 3 is a plan view showing images of point defects, linear defects, and planar defects taken by a wide-field camera and a narrow camera. DESCRIPTION OF SYMBOLS 10... Steel plate, 12... Detector, 14... Defect detection circuit, 16... Computer, 18... Strobe, 2OA... Wide field of view camera, 20B... Narrow field of view camera, 22 ...Control circuit, 24...Defect detection device, 26...Image processing circuit, 28...Image input/output circuit, 34...Pulse generator.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)移動する被検材の表面に光線を照射し、その反射
状態に基づき該被検材の表面欠陥を検出する検出器と、
この検出器により得られた表面欠陥検出信号に基づき、
該表面欠陥の種類及びグレードを計算するための計算機
と、この計算機から出力される表面欠陥の種類及びグレ
ード信号に基づいて、撮影が必要な欠陥に光を照射する
投光器及びその照射タイミングで該欠陥を撮影する異な
る視野の複数のカメラと、を有してなり、前記計算機か
らの表面欠陥情報に基づき、該欠陥の撮影に適した視野
のカメラが少なくとも1台選択され、これにより表面欠
陥を撮影することを特徴とする表面欠陥検査装置。
(1) A detector that irradiates the surface of a moving test material with a light beam and detects surface defects of the test material based on the state of reflection;
Based on the surface defect detection signal obtained by this detector,
A calculator for calculating the type and grade of the surface defect; a light projector that irradiates light onto the defect that needs to be photographed based on the type and grade signal of the surface defect output from the computer; a plurality of cameras with different fields of view for photographing the defect, and based on the surface defect information from the computer, at least one camera with a field of view suitable for photographing the defect is selected, thereby photographing the surface defect. A surface defect inspection device characterized by:
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US5331178A (en) * 1991-07-05 1994-07-19 Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho Optical surface inspecting system for inspecting the surface of a rolling roll having mechanism for keeping clean a window through which a camera detects a condition of the rolling roll
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