JPH06102197A - Surface flaw detection method - Google Patents

Surface flaw detection method

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JPH06102197A
JPH06102197A JP25150292A JP25150292A JPH06102197A JP H06102197 A JPH06102197 A JP H06102197A JP 25150292 A JP25150292 A JP 25150292A JP 25150292 A JP25150292 A JP 25150292A JP H06102197 A JPH06102197 A JP H06102197A
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JP
Japan
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image
pattern
defect
correlation
correlation amount
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP25150292A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Satoshi Maruyama
智 丸山
Osamu Sonobe
治 園部
Masakazu Yokoo
雅一 横尾
Hiroyuki Uchida
洋之 内田
Susumu Moriya
進 守屋
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
JFE Steel Corp
Original Assignee
Kawasaki Steel Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Kawasaki Steel Corp filed Critical Kawasaki Steel Corp
Priority to JP25150292A priority Critical patent/JPH06102197A/en
Publication of JPH06102197A publication Critical patent/JPH06102197A/en
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  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Abstract

PURPOSE:To clearly grasp the flaw on the surface of running steel separately from noise. CONSTITUTION:A casting pattern 4 of grid is irradiated from a pattern casting device 2 on the steel plate 1 surface and the surface image is taken with a photographing device 5 and stored in an image memory 11. Interimage correlation amount and intraimage correlation amount are calculated and stored in memories 13 and 14. A flaw judgment device 15 judges the existence and the kind of flaw on the steel plate 1 surface from these correlation amounts.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、材料の表面欠陥、特に
熱延鋼板の表面欠陥を検出する方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for detecting surface defects of materials, particularly surface defects of hot rolled steel sheet.

【0002】[0002]

【従来の技術】工業製品の表面の欠陥を検出する方法は
多く開発されているが、鉄鋼の熱延プロセスでの熱延鋼
板の欠陥を検出する方法は、高熱であること、対象であ
る熱延鋼板が高速で移動していること、水蒸気などの表
面の観察に対してノイズとなる成分が多いことなどか
ら、実現が困難とされている。
2. Description of the Related Art Although many methods for detecting defects on the surface of industrial products have been developed, the method for detecting defects on hot-rolled steel sheets in the hot-rolling process of steel requires high heat and the target heat. It is considered to be difficult to realize because the rolled steel sheet is moving at a high speed and there are many components such as water vapor that cause noise when observing the surface.

【0003】従来、表面観察結果から欠陥を検出する方
法としては例えば特開平02−108948号公報で開
示されている方法がある。これは撮像する所定範囲内の
明るさが一定となるようにシャッター速度を制御するこ
とにより、検出のための新たな冷却手段を講じる必要の
ない、連続的な圧延材の欠陥を検出可能にする方法であ
る。
Conventionally, as a method for detecting a defect from the result of surface observation, there is a method disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 02-108948. This is because by controlling the shutter speed so that the brightness within a predetermined range to be imaged is constant, it is possible to detect continuous rolling material defects without the need for new cooling means for detection. Is the way.

【0004】また、特開平02−298842号公報に
は、テレビカメラが撮影した原画像信号から平滑画像信
号を生成し、さらに原画像信号と平滑画像信号から差分
画像信号を生成することにより、被検材料に加えた処理
の影響をなくし、高精度で表面欠陥を検出する方法が開
示されている。
In Japanese Patent Laid-Open No. 02-298842, a smooth image signal is generated from an original image signal captured by a television camera, and a differential image signal is generated from the original image signal and the smooth image signal. A method for detecting a surface defect with high accuracy by eliminating the influence of the treatment applied to the inspection material is disclosed.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】上記シャッター速度を
制御する方法では、画面全体の明るさを制御することは
できても、雑音部分と欠陥を表わす信号の分離は難し
い。これは雑音が多い、明るさのムラ(シェーディン
グ)がある、などの理由による。別の欠点としては、シ
ャッター開放時間内で被検物が移動する距離が異なって
しまうために、再現性のある画像が得られず、測定結果
に大きな誤差が生じてしまうことである。
According to the above method of controlling the shutter speed, the brightness of the entire screen can be controlled, but it is difficult to separate the noise portion and the signal representing the defect. This is due to a lot of noise, uneven brightness (shading), etc. Another drawback is that a reproducible image cannot be obtained and a large error occurs in the measurement result because the moving distance of the test object differs within the shutter opening time.

【0006】また原画像信号と平滑画像信号を利用する
方法では、欠陥の大きさによって平滑化させる度合を変
化させる必要があるため、事前に欠陥の大きさを知るこ
とができない状況では欠陥を検出することは難しい。本
発明は、雑音が多くてもこれを克服することができ、明
るさのムラに対応することができ、しかも事前に欠陥の
大きさを知ることができない状況でも欠陥検出が可能と
なる手段を提供することを目的とする。
In the method using the original image signal and the smoothed image signal, it is necessary to change the degree of smoothing depending on the size of the defect, so that the defect is detected in a situation where the size of the defect cannot be known in advance. Difficult to do. The present invention provides means for overcoming this even if there is a lot of noise, being able to deal with uneven brightness, and enabling defect detection even in situations where the size of the defect cannot be known in advance. The purpose is to provide.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明は、適切な2次元
のパターンをもつ光線を鋼板表面に照射したときに、反
射したパターンの形状の規則性、又はその反射パターン
の時系列の規則性が、それぞれ、欠陥の有無によって変
化する現象、および欠陥がある場合はその形状によって
変化する現象を利用するものである。
According to the present invention, when the surface of a steel sheet is irradiated with a light beam having an appropriate two-dimensional pattern, the regularity of the shape of the reflected pattern or the regularity of the reflection pattern in time series is obtained. However, it utilizes a phenomenon that changes depending on the presence or absence of a defect and a phenomenon that changes depending on the shape of the defect.

【0008】本発明は、鋼板の表面に2次元パターンを
もつ光線を照射して撮像し、得られた表面像に関する画
像内相関量を演算し、または/及び得られた表面像を時
系列として記憶して時系列表面像間の画像間相関量を演
算し、前記画像内相関量、前記画像間相関量、及び画像
内相関の時系列相関量の3者の内、1以上の相関量から
疵の有無及び種類を判別することを特徴とする表面欠陥
検出方法である。
According to the present invention, a surface of a steel sheet is irradiated with a light beam having a two-dimensional pattern to be imaged, an intra-image correlation amount relating to the obtained surface image is calculated, and / or the obtained surface image is set as a time series. The inter-image correlation amount between the time-series surface images is stored and calculated, and from one or more of the three of the intra-image correlation amount, the inter-image correlation amount, and the time-series correlation amount of the intra-image correlation, A surface defect detection method characterized by determining the presence and type of a flaw.

【0009】この場合に、2次元パターンは格子状であ
ると好ましく、撮像には2次元TVカメラを用いるとよ
い。また撮像された画像の輝度は、フィードバック感度
調整により一定に保たれるようにする。本発明方法を実
施するための好適な装置は、 (1)鋼板の表面に2次元パターンをもつ光線を照射す
る手段 (2)前記光線が照射した表面を撮像する手段 (3)前記撮像手段で得られた表面像に関する画像内相
関量を演算する手段 (4)前記撮像手段で得られた表面像を時系列として記
憶する手段 (5)前記時系列表面像間の画像間相関量を演算する手
段 (6)前記画像内相関量、前記画像間相関量、及び画像
内相関の時系列相関量の3者の内、1以上の相関量から
疵の有無及び種類を判別する手段 を備えた装置とすればよい。
In this case, the two-dimensional pattern is preferably in a grid pattern, and a two-dimensional TV camera may be used for image pickup. The brightness of the captured image is kept constant by adjusting the feedback sensitivity. A preferred apparatus for carrying out the method of the present invention is (1) means for irradiating the surface of a steel sheet with a light beam having a two-dimensional pattern (2) means for imaging the surface irradiated by the light beam (3) with the imaging means Means for calculating the intra-image correlation amount relating to the obtained surface image (4) Means for storing the surface image obtained by the imaging means as a time series (5) Calculation of the inter-image correlation amount between the time series surface images Means (6) An apparatus comprising a means for determining the presence / absence and type of a flaw from one or more of the three correlation amounts, namely, the intra-image correlation amount, the inter-image correlation amount, and the intra-image correlation time-series correlation amount And it is sufficient.

【0010】[0010]

【作用】本発明による方法を図1を用いて説明する。ま
ず熱延鋼板の表面に適切な2次元のパターンをもつ光線
を照射する。同時に、前記光線が照射した表面を撮像す
る。このとき撮像した画像には元来の表面の輝度パター
ンと、照射した2次元パターンの反射パターンが重畳し
ている。
The method according to the present invention will be described with reference to FIG. First, the surface of the hot rolled steel sheet is irradiated with a light beam having an appropriate two-dimensional pattern. At the same time, the surface illuminated by the light beam is imaged. The original brightness pattern of the surface and the illuminated two-dimensional reflection pattern are superimposed on the image captured at this time.

【0011】この重畳した画像内で画像内相関量を求め
る演算を行う。これは輝度パターンの照射した2次元パ
ターンの変化から、特徴量を求めることである。一方、
前記の重畳した画像を時系列として格納する。これは、
鋼板の走行方向に長く伸びている欠陥に関しては撮影時
刻の異なる画像の間で相関があることが予想されるの
で、その画像の時間変化を観察するためである。
In the superposed image, calculation for obtaining the intra-image correlation amount is performed. This is to obtain the feature amount from the change in the two-dimensional pattern irradiated with the brightness pattern. on the other hand,
The superimposed images are stored as a time series. this is,
This is because it is expected that there is a correlation between images having different photographing times regarding a defect that extends long in the running direction of the steel sheet, so that the time change of the images is observed.

【0012】これらの時系列画像に関して画像間相関量
の演算を行う。これは先に述べたように、走行方向に伸
びた欠陥に関して特に検出を行うためである。また、時
系列の画像だけでなく、画像内の相関量の時系列相関量
を求める。これは、直接時系列画像の画像間の相関量を
求めると、膨大な量の演算を行う必要があるので、一部
については、画像内相関量の時系列の相関量演算でも十
分であると判断されるからである。
The inter-image correlation amount is calculated for these time-series images. This is because the defect extending in the traveling direction is particularly detected as described above. Further, not only the time-series images but also the time-series correlation amount of the correlation amount in the image is obtained. This is because it is necessary to perform an enormous amount of calculation when the correlation amount between images of the time-series image is directly calculated. Therefore, for some, it is sufficient to calculate the time-series correlation amount of the intra-image correlation amount. This is because it is judged.

【0013】最後に、以上の前記画像内相関量の演算結
果、画像間相関量の演算結果、画像内相関量の時系列相
関量から欠陥の有無を判定する。欠陥があると判定され
た場合はその欠陥に関する情報を複数の特徴量から得
る。
Finally, the presence or absence of a defect is determined from the above-mentioned calculation result of the intra-image correlation amount, the calculation result of the inter-image correlation amount, and the time-series correlation amount of the intra-image correlation amount. When it is determined that there is a defect, information regarding the defect is obtained from a plurality of feature quantities.

【0014】[0014]

【実施例】本発明方法の実施に係る構成になる一実施例
を示す。図2に本発明のフローチャートを示した。以下
この図に沿って説明する。熱延鋼板1の上部にパターン
投影装置2が投影装置架台3の上部に保持されている。
このパターン投影装置による投影パターン4が熱延鋼板
1上に現われている。この投影パターンは撮像装置5に
より像としてとらえられる。撮像装置5は撮像装置架台
6により支えられている。撮像装置5によりとらえられ
た画像信号は時系列としての順序を保ちつつ画像メモリ
11に格納される。格納された画像メモリ11は画像処
理装置12によって画像内の相関パターンとして変換さ
れる。この相関パターンは画像内相関メモリ13に格納
される。同時に画像メモリに時系列として存在する複数
の時間の画像メモリ11から画像処理装置12により画
像間相関量を求める。この結果を、画像間相関メモリ1
4に格納する。画像間相関メモリ14からも欠陥判定認
識手段15により、欠陥が存在するかどうかの判定、お
よび欠陥が存在する場合はその位置や大きさ、形状とい
った情報の認識がなされる。欠陥判定認識手段15によ
り得られた情報は、表示装置16に表示され、その結果
により操業条件を変更したり、後工程でさらに詳しい表
面の検査が行われたりする。同時に記憶装置17に欠陥
情報が格納され、製品や操業の解析に用いられる。
[Embodiment] An embodiment will be shown, which is configured to implement the method of the present invention. FIG. 2 shows a flowchart of the present invention. A description will be given below with reference to this figure. The pattern projection device 2 is held on the upper part of the hot-rolled steel plate 1 and on the projection device stand 3.
A projected pattern 4 by this pattern projection device appears on the hot-rolled steel sheet 1. This projection pattern is captured as an image by the imaging device 5. The image pickup device 5 is supported by an image pickup device mount 6. The image signal captured by the imaging device 5 is stored in the image memory 11 while maintaining the order as a time series. The stored image memory 11 is converted by the image processing device 12 as a correlation pattern in the image. This correlation pattern is stored in the intra-image correlation memory 13. At the same time, the inter-image correlation amount is obtained by the image processing device 12 from the image memories 11 existing in the image memory as a time series for a plurality of times. This result is stored in the inter-image correlation memory 1
Store in 4. From the inter-image correlation memory 14, the defect determination recognition means 15 also determines whether or not there is a defect, and if there is a defect, recognizes information such as its position, size, and shape. The information obtained by the defect judgment recognizing means 15 is displayed on the display device 16, and the operating condition is changed according to the result, or more detailed surface inspection is performed in a post process. At the same time, the defect information is stored in the storage device 17 and used for analysis of products and operations.

【0015】ここで投影パターンは、相関をとる都合
上、規則的であることが望ましい。そこで投影パターン
を格子状にすることが相関から欠陥情報を得る上で好ま
しいことがわかる。また、投影パターンを投影して鋼板
上で得られた表面像を解析するためには、2次元で直接
高速に画像が得られることが望ましい。そこで撮像手段
は2次元テレビカメラを用いることが好ましい。
Here, it is desirable that the projection pattern is regular for the sake of correlation. Therefore, it is found that it is preferable to form the projection pattern in a grid shape in order to obtain the defect information from the correlation. Further, in order to project the projection pattern and analyze the surface image obtained on the steel plate, it is desirable that a two-dimensional image can be directly obtained at high speed. Therefore, it is preferable to use a two-dimensional television camera as the imaging means.

【0016】さらに、解析時の条件としては、時刻ごと
に明るさが極端に変化しては相関をとっても欠陥検出が
困難になる。そこで、輝度をフィードバックして、カメ
ラの感度を調整する方法が考えられる。現在では固体撮
像素子で、感度を容易に変更できる装置が数多くあり、
シャッター速度を変化させる方法に比べて、シャッター
時間内で被検物が移動する距離が一定となり、再現性の
ある画像が得られることになる。
Further, as a condition at the time of analysis, if the brightness changes drastically at each time, it becomes difficult to detect a defect even if correlation is obtained. Therefore, a method of feeding back the brightness to adjust the sensitivity of the camera can be considered. Currently, there are many solid-state image sensors that can easily change the sensitivity.
Compared with the method of changing the shutter speed, the distance that the object moves within the shutter time becomes constant, and a reproducible image can be obtained.

【0017】ここで実際に格子状パターンをパターン投
影装置2により投影したときの投影パターン4について
説明する。熱延鋼板1に欠陥がない場合の投影パターン
を図3に掲げる。欠陥がないパターンであるので、全体
に格子を構成するほかは際だったコントラストがない。
一方熱延鋼板1に欠陥がある場合の投影パターンを図4
に掲げる。このとき投影パターン4と重畳して欠陥21
が観察されている。この欠陥21は実際にはバックグラ
ウンドとの明るさの差はほとんどなく、通常の画像処理
手法、たとえば二値化による方法などでは欠陥の判別が
難しい。
Here, the projection pattern 4 when the grid pattern is actually projected by the pattern projection device 2 will be described. A projected pattern when the hot-rolled steel sheet 1 has no defect is shown in FIG. Since it is a defect-free pattern, there is no noticeable contrast other than forming the entire grid.
On the other hand, the projected pattern when the hot-rolled steel sheet 1 has a defect is shown in FIG.
Listed. At this time, the defect 21 is superimposed on the projected pattern 4.
Has been observed. In reality, the defect 21 has almost no difference in brightness from the background, and it is difficult to discriminate the defect by a normal image processing method, for example, a binarization method.

【0018】そこで2次元画像の相関をとる手法を用い
ると欠陥を顕在化させることができる。2次元画像の相
関とは次の通りである。座標(i,j)で表される画像
の単位を画素と呼ぶと、画像は離散的な整数の座標
(i,j)の関数として、f(i,j)と表されている
とする。ここではf(i,j)は画素(i,j)の強度
を表す。i,jのとり得る範囲はそれぞれ0≦i<I、
0≦j<Jとする。このとき2次元自己相関画像g
(m,n)は次の式で表される。
Therefore, a defect can be revealed by using a method of correlating two-dimensional images. The two-dimensional image correlation is as follows. When the unit of the image represented by the coordinates (i, j) is called a pixel, the image is represented by f (i, j) as a function of the discrete integer coordinates (i, j). Here, f (i, j) represents the intensity of the pixel (i, j). The possible ranges of i and j are 0 ≦ i <I,
0 ≦ j <J. At this time, the two-dimensional autocorrelation image g
(M, n) is represented by the following equation.

【0019】[0019]

【数1】 [Equation 1]

【0020】このようなg(m,n)もまた画像として
表すことができる。この相関画像を図5に示す。なお、
g(m,n)=g(n,m)であるから、図5でm<n
にあたる箇所は図示していない。格子状パターンによる
高相関点22のほかに、欠陥による高相関点23が生じ
ていることがわかる。格子状パターンによる高相関点2
2は位置が投影パターンから特定できるので、欠陥によ
る高相関点23を探すのは容易である。上記方法では、
自己相関をとるために1画素ずつずらす方法を示した
が、ずらす位置を格子パターンの相関が最大となるよう
に調整する方法もある。
Such g (m, n) can also be represented as an image. This correlation image is shown in FIG. In addition,
Since g (m, n) = g (n, m), m <n in FIG.
The corresponding part is not shown. It can be seen that, in addition to the high correlation points 22 due to the grid pattern, the high correlation points 23 due to the defects occur. Highly correlated points with a grid pattern 2
Since the position of 2 can be specified from the projection pattern, it is easy to find the high correlation point 23 due to the defect. In the above method,
Although the method of shifting by one pixel for autocorrelation has been described, there is also a method of adjusting the shifting position so that the correlation of the lattice pattern is maximized.

【0021】上記は単一の画像にのみに対して行った結
果であるが、時系列的に変化する画像間の相関関係を利
用して欠陥の検出と認識を行うこともできる。この方法
を以下説明する。図6は微小欠陥24aにより格子パタ
ーンに微小なひずみが生じている微小欠陥のある画像を
示している。このひずみも、全体のバックグラウンドか
らは非常に小さく、単一画像から検出することは難し
い。そこで時間をおいてとった画像から検出することを
試みる。図7、図8は微小欠陥24b、24cがそれぞ
れ動いている様子を表している。そこで微小欠陥の相関
をとればその認識が可能である。
Although the above is the result of performing only on a single image, it is also possible to detect and recognize defects by utilizing the correlation between images that change in time series. This method will be described below. FIG. 6 shows an image with minute defects in which a minute strain is generated in the lattice pattern by the minute defects 24a. This distortion is also very small from the overall background and difficult to detect from a single image. Therefore, we try to detect it from images taken at a later time. 7 and 8 show how the minute defects 24b and 24c are moving, respectively. Therefore, it is possible to recognize the small defects by correlating them.

【0022】図6、図7、図8においてそれぞれ欠陥の
ない投影パターン(図3)との間で絶対値差分画像(図
示せず)をとり、欠陥を明確にさせる。このとき投影パ
ターンは時刻ごとに表面の凹凸の影響で微妙に変化して
いるので、必要があればそのパターンを利用して絶対値
をとる演算を近傍ごとに変化させることもできる。各差
分画像を重ね合わせて示したのが図9である。差分によ
り明かになった微小欠陥25a,25b,25cが空間
上で規則的に並んでいるのがわかる。そして各差分画像
の間で、相関をとることができる。
In FIG. 6, FIG. 7, and FIG. 8, absolute value difference images (not shown) are taken with respect to the projection pattern without defects (FIG. 3) to clarify the defects. At this time, the projection pattern changes subtly at each time due to the influence of surface irregularities, and therefore, if necessary, the calculation of the absolute value can be changed for each neighborhood by using the pattern. FIG. 9 is a diagram in which the respective difference images are superimposed and shown. It can be seen that the minute defects 25a, 25b, 25c which are revealed by the difference are regularly arranged in space. Then, correlation can be obtained between the difference images.

【0023】演算手段として、例えば図9を一種のグラ
フと見立てて、回帰演算を施すことが考えられる。また
特に方法は示さないが、例えばコンピュータビジョンの
世界で知られている、オプティカルフローの考え方を適
用することもできる。このオプティカルフローを計算す
ることにより、移動物体に関する情報(位置、大きさ、
移動速度)を得ることができる。この方法の利点は、オ
プティカルフローから導かれる移動速度が、ラインで計
測される移動速度と大きく異なるときは、実際の欠陥で
はなくにせの欠陥であると言うことがわかるので、デー
タの信用性が増すことである。
As a calculation means, it is conceivable that the regression calculation is performed by regarding FIG. 9 as a kind of graph. Further, although no particular method is shown, for example, the concept of optical flow known in the world of computer vision can be applied. By calculating this optical flow, information about the moving object (position, size,
The moving speed) can be obtained. The advantage of this method is that if the moving speed derived from the optical flow is significantly different from the moving speed measured on the line, then it is not a real defect but a false defect, so the reliability of the data is Is to increase.

【0024】本方法の実施に係る図2の装置を実際にラ
インに据え付け、データを収集した。同時にオフライン
で同一箇所に当る場所で作業者の目視検査を行い、本方
法によるデータと比較した。その結果を表1に示す。従
来方法としては二値化による方法を採用した。作業者に
より欠陥であると確認された50例のうち、一致してい
るのは従来方法では10例のみであり、また平滑法では
20例のみであった。一方、本方法では45例まで一致
した。一方欠陥でない表面の場所を欠陥であると誤認し
た例は、二値化法では30例、平滑化法では20例あっ
たのに対し、本方法ではわずかに2例のみであった。こ
のことから、本方法が優れていることがわかる。
The apparatus of FIG. 2 for carrying out the method was actually installed in a line and data was collected. At the same time, a visual inspection of the workers was performed offline at the same place, and compared with the data obtained by this method. The results are shown in Table 1. As a conventional method, a method based on binarization is adopted. Of the 50 cases confirmed to be defective by the operator, only 10 cases were matched by the conventional method and only 20 cases were smoothed by the smoothing method. On the other hand, in this method, up to 45 cases were matched. On the other hand, there were 30 cases of erroneously recognizing a non-defect surface location as a defect, while there were 30 cases with the binarization method and 20 cases with the smoothing method, but only 2 cases with this method. This shows that this method is excellent.

【0025】[0025]

【表1】 ──────────────────────────────────── 本方法 二値化 平滑化法 検出位置と実測位置が一致 45 10 20 欠陥ではない位置を検出 2 30 20 検出できず 5 40 30 ────────────────────────────────────[Table 1] ──────────────────────────────────── This method Binarization Smoothing method Detection position 45 10 20 Detects a position that is not a defect 2 30 20 Cannot detect 5 40 30 ──────────────────────────── ─────────

【0026】[0026]

【発明の効果】本発明は、原画像と投影パターンの反射
画像との重畳画像から、画像の規則性を判定するように
したので、雑音から欠陥信号の分離が容易にできるよう
になった。また、重畳画像の時系列データを蓄え、この
相関をとるようにしたので、雑音と欠陥を明瞭に区別で
きるという効果もある。
As described above, according to the present invention, the regularity of the image is judged from the superposed image of the original image and the reflection image of the projection pattern, so that the defect signal can be easily separated from the noise. Further, since time series data of the superimposed image is stored and this correlation is taken, there is also an effect that noise and defect can be clearly distinguished.

【0027】以上の効果から産業上に寄与するところが
極めて大きい。
From the above effects, the industrial contribution is extremely large.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明方法のフローチャートである。1 is a flow chart of the method of the present invention.

【図2】本発明方法の実施例に係る装置のブロック図で
ある。
FIG. 2 is a block diagram of an apparatus according to an embodiment of the method of the present invention.

【図3】表面欠陥のない状態での投影パターンである。FIG. 3 is a projection pattern in a state where there are no surface defects.

【図4】表面欠陥のある状態での投影パターンである。FIG. 4 is a projection pattern in a state with surface defects.

【図5】相関画像である。FIG. 5 is a correlation image.

【図6】微小欠陥のある画像である。FIG. 6 is an image with small defects.

【図7】微小欠陥のある画像である。FIG. 7 is an image with small defects.

【図8】微小欠陥のある画像である。FIG. 8 is an image with small defects.

【図9】差分画像の重ね合わせ画像である。FIG. 9 is a superimposed image of difference images.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 熱延鋼板 2 パターン
投影装置 3 投影装置架台 4 投影パタ
ーン 5 撮像装置 6 撮影装
置架台 11 画像メモリ 12 画像処
理装置 13 画像内相関メモリ 14 画像間
相関メモリ 15 欠陥判定認識手段 16 表示装
置 17 記憶装置 21 欠陥 22 格子状パターンによる高相関点 23 欠陥に
よる高相関点 24a,24b,24c 微小欠陥 25a,25b,25c 差分による微小欠陥
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Hot-rolled steel plate 2 Pattern projection device 3 Projection device mount 4 Projection pattern 5 Imaging device 6 Imaging device mount 11 Image memory 12 Image processing device 13 Intra-image correlation memory 14 Inter-image correlation memory 15 Defect determination recognition means 16 Display device 17 Storage device 21 Defects 22 High correlation points due to lattice pattern 23 High correlation points due to defects 24a, 24b, 24c Small defects 25a, 25b, 25c Small defects due to difference

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 横尾 雅一 千葉市中央区川崎町1番地 川崎製鉄株式 会社技術研究本部内 (72)発明者 内田 洋之 千葉市中央区川崎町1番地 川崎製鉄株式 会社技術研究本部内 (72)発明者 守屋 進 千葉市中央区川崎町1番地 川崎製鉄株式 会社技術研究本部内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Masakazu Yokoo 1 Kawasaki-cho, Chuo-ku, Chiba City Kawasaki Steel Co., Ltd. Technical Research Division (72) Inventor Hiroyuki Uchida 1 Kawasaki-cho, Chuo-ku, Chiba Kawasaki Steel Co., Ltd. Technical Research Headquarters (72) Inventor Susumu Moriya 1 Kawasaki-cho, Chuo-ku, Chiba City Kawasaki Steel Co., Ltd. Technical Research Headquarters

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 鋼板の表面に2次元パターンをもつ光線
を照射して撮像し、得られた表面像に関する画像内相関
量を演算し、または/及び得られた表面像を時系列とし
て記憶して時系列表面像間の画像間相関量を演算し、前
記画像内相関量、前記画像間相関量、及び画像内相関の
時系列相関量の3者の内、1以上の相関量から疵の有無
及び種類を判別することを特徴とする表面欠陥検出方
法。
1. A surface of a steel sheet is irradiated with a light beam having a two-dimensional pattern to be imaged, an intra-image correlation amount relating to the obtained surface image is calculated, and / or the obtained surface image is stored as a time series. Then, the inter-image correlation amount between the time-series surface images is calculated, and among the three of the intra-image correlation amount, the inter-image correlation amount, and the time-series correlation amount of the intra-image correlation, one or more correlation amount A method for detecting surface defects, characterized by determining the presence and type.
【請求項2】 2次元パターンは格子状であることを特
徴とする請求項1記載の表面欠陥検出方法。
2. The surface defect detecting method according to claim 1, wherein the two-dimensional pattern has a lattice shape.
【請求項3】 撮像には2次元TVカメラを用いること
を特徴とする請求項1記載の表面欠陥検出方法。
3. The surface defect detecting method according to claim 1, wherein a two-dimensional TV camera is used for image capturing.
【請求項4】 撮像された画像の輝度は、フィードバッ
ク感度調整により一定に保たれていることを特徴とする
請求項1記載の表面欠陥検出方法。
4. The surface defect detection method according to claim 1, wherein the brightness of the captured image is kept constant by feedback sensitivity adjustment.
JP25150292A 1992-09-21 1992-09-21 Surface flaw detection method Withdrawn JPH06102197A (en)

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