JPH0236350A - 化学センサ - Google Patents

化学センサ

Info

Publication number
JPH0236350A
JPH0236350A JP63187560A JP18756088A JPH0236350A JP H0236350 A JPH0236350 A JP H0236350A JP 63187560 A JP63187560 A JP 63187560A JP 18756088 A JP18756088 A JP 18756088A JP H0236350 A JPH0236350 A JP H0236350A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
film
adsorbed
converter
chemical sensor
substance
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP63187560A
Other languages
English (en)
Inventor
Hikari Ishimoto
光 石本
Michihiro Onishi
通博 大西
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sony Corp filed Critical Sony Corp
Priority to JP63187560A priority Critical patent/JPH0236350A/ja
Publication of JPH0236350A publication Critical patent/JPH0236350A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野] 本発明は、微量の化学物質の吸脱着を検出できる化学セ
ンサに関する。
〔従来の技術〕
近年、化学センサのひとつとして水晶振動子や表面弾性
波素子の上に有機超薄膜を形成し、該有機超薄膜への化
学物質の吸着量を測定する形式のものに関する研究が行
われている。
まず水晶振動子を利用した化学センサとしては、例えば
におい物質を吸着する高分子膜を水晶振動子の表面に形
成したもの(「センサ技術」情報調査会発行、 198
8年5月号、第7ページ)、スルホンポリマーと4級ア
ミンの複合体からなるポリイオンコンプレックス型脂質
膜をキャスト法により形成したもの(日本化学会昭和6
3年春季年会講演予稿集、第899ページ、講演番号3
IIF30)、また高分子キャストフィルムを使用した
もの(電子情報通信学会技術研究報告OME−87−5
6,1988年)等が報告されている。
一方、表面弾性波素子を利用した化学センサとしては、
無金属フタロシアニン薄膜を形成してNO□ガスを検出
するもの(「センサ技術」情報調査会発行、 1988
年6月号、第52ページ)の他、検出すべきガスの種類
に応して各種の有機半導体膜を形成したもの(「センサ
技術」情報調査会発行、 1988年5月号、第39ペ
ージ)等が知られてい〔発明が解決しようとする課題〕 ところで、これらの化学センサに使用されている各種の
膜は膜厚が比較的厚く、たとえばイオンコンプレ・クス
型脂質膜の場合で0.5μm(重1としては約10μg
付着している。)、高分子キャストフィルムの場合で0
.2〜0,3μmである。いま、これらの脂質膜あるい
はフィルムにその重量の1%に相当する化学′+!IJ
wが吸着したとすると、単位面積(1cm”)当たりの
吸着量は通常のフィルムの面積や重量を考慮しておよそ
0.2〜0.5μgとなる。
しかしながら、これらの比較的厚い膜には、膜の表面に
到達した化学物質が内部へ拡散して吸着平衡が達成され
るのに時間がかかること、膜厚の一部しか吸着に使用さ
れていないので不経済であること、吸着量の定置的制御
が困難であること、イオン的相互作用にもとづくような
微小変化を検出するには感度が不十分であること等の問
題がある。膜厚を減少させればこれらの問題の多くは解
決されるが、キャスティング等の手法により従来以上に
膜厚を残少させることは不可能であり、したがって応答
速度を向上させることも困難である。
そこで本発明は、応答速度の速い化学センサの提供を目
的とする。
〔課題を解決するための手段〕
本発明者らは、従来の比較的厚い膜に代わってラングミ
ュア・ブロジェット膜を採用することにより上述の課題
が解決されることを見出し、本発明に至ったものである
すなわち本発明にかかる化学センサは、化学物質を選択
的に吸脱着するラングミュア・ブロジェット膜(以下、
LB膜と称する。)が成膜された周波数変換素子を有し
、化学物質の吸脱着を該周波数変換素子の発振周波数の
定量的な変化と1で検出することを特徴とするものであ
る。
本発明においてLB膜の形成に使用される膜形成分子と
しては、アルキル基の炭素数が15−24の脂肪酸およ
びそのメチルエステル3エチルエステル等の脂肪酸エス
テル、アルキル基の炭素数が15〜24の脂肪族アミン
、アルキル基の炭素数が15〜24の脂肪族アルコール
、ホスファチジルコリン。
ホスファチジルエタノールアミン等のリン脂質、アルキ
ル基の炭素数が15〜24のジメチルジアルキルアンモ
ニウムクロリド等である。上記の各膜形成分子のアルキ
ル基には不飽和結合が含まれていても良い。
一方、LB膜に吸着される化学物質1よ特に限定される
ものではなく、アルコール、アルデヒドアミド、アミン
、エーテル、ケトン、カルボン酸等の各種の有機物質、
ハロゲンガス等の竿体元素分子等から広く選択すること
ができる。
LB膜を形成する際には、膜形成分子や吸着される化学
物質の極性、イオン性等の化学的性質を考慮して、上述
の膜形成分子を適宜選択するかあるいは組み合わせて使
用する。これにより、本発明にかかる化学セン廿の化学
物質に対する識別能力を種々に変化、きせることが可能
である。たとえば掻性物質に対する感度の高い化学セン
サを作成したい場合には、膜形成分子としてカルボン酸
やアミンを使用することにより電子供与性または電子吸
引性を大きくするか、あるいは疎水基の鎖長を短くして
疎水性を減少させること等が考えられる。逆に低極性物
質ないし無極性物質に対する感度の高い化学センサを作
成したい場合には、膜形成分子として脂肪酸エステル等
を使用して親水基の親水性を減少させるか、あるいは疎
水基の鎖長を長くして疎水性を増大させること等が考え
られる。あるいは、複数の膜形成分子を組み合わせ、L
B膜全全体しての親水性あるいは疎水性を制御しても良
い。
イオン性についても同様の制御が可能であり、たとえば
正のイオン性を有する化学物質を高感度に検出したい場
合には膜形成分子としてカルボン酸等のように負のイオ
ン性を有する分子を使用し、また負のイオン性を有する
化学物質を高感度に検出したい場合には膜形成分子とし
てアミン等のように正のイオン性を有する分子を使用す
れば良い。
あるいは、複数の膜形成分子を組み合わせたり、イオン
性を持たない分子を混合してLB膜全全体してのイオン
性を制御しても良い。
LB膜は典型的には水槽を使用して作成され、まず気水
界面に展開した単分子膜にバリアによって一定の表面圧
をかけ、次に該気水界面を垂直に横切るように適当な固
体基板を上下させて上記単分子膜を該固体基板上に移し
取る。この方法は、いわゆる垂直浸漬法と呼ばれる方法
の一種である。
最も安定なLB膜は2分子層をひとつの単位とするいわ
ゆるY型と呼ばれるものであるが、固体基板の浸漬時に
のみ単分子膜が移行するX型、あるいは固体基板の引き
上げ時にのみ単分子膜が移行するZ型であっても良い。
LB膜の作成に関しては上述の方法の他にも種々の改良
法が提案されているので、目的に応じて適宜選択すれば
良い。
また、上記LB腹膜中単分子膜は常に単一の種類の膜形
成分子によって形成されている必要はなく、異種の膜形
成分子を含む混合分子膜とされても良い。さらに、上記
単分子膜をいくつか積層して累積膜としても良く、この
時の積層数は1〜20層程度に選ばれる。前述の膜形成
分子により形成される単分子膜の膜厚は20〜30人程
度であるので、仮に20層積層しても全厚は600人程
度であり、従来のキャスト法による膜あるいはフィルム
よりも遥かに薄く形成することができる。
本発明では、上述の固体基板として水晶発振子あるいは
表面弾性波素子等の周波数変換素子を使用する。このよ
うにLB膜の形成された上記周波数変換素子を適当な発
振回路に組み込み、必要に応じて増幅器等を介してユニ
バーサル・カウンタ等の周波数カウンタに接続する。こ
のようにして、該LB膜に対する化学物質の吸脱着量に
応した発振周波数の変化を検出することができる。
〔作用] 本発明にかかる化学センサにおいては、周波数変換素子
の表面に形成されたLB膜に化学物質が吸着されると、
LB膜の重量の変化に起因して該周波数変換素子の組み
込まれた発振回路の発振周波数が変化する。
たとえば、圧電素子である水晶発振子の上に形成された
LB膜に異種の化学物質が吸着すると、LB膜の重量の
増大により発振周波数が低下する。
また、表面弾性波素子の上に形成されたLB膜に異種の
化学物質が吸着すると、同様の理由により位相速度が低
下して遅延時間が長くなり、やはり発振周波数が低下す
る。ここで使用されているLB膜は極めて膜厚が薄いた
め、吸着した化学物質の膜内部への拡散速度が著しく速
い。したがって、従来の膜において長かった応答時間も
LB膜によれば数lOミリ秒まで短縮することができる
上、膜厚全体が吸着に関与するので経済的である。また
、膜自身の重量が極めて小さいため、検出限界である1
%吸着を考える場合、吸着される化学物質の重量は従来
の100分の1の単位面積当たり0.002μgで済み
、したがって感度が100倍に向上する。
この感度は、単分子膜の積層数により任意に設定するこ
とが可能である。さらに、LBgにおいては親水性基と
長鎖状の疎水性基から構成される膜形成分子が一定の配
向状態をとっているために、LB膜全全体してみた場合
にも親水部と疎水部とが規則正しく配列されている。し
たがって、I、B膜内部のミクロな極性分布の差異を利
用することにより、たとえば極性を有する気体分子を高
感度に識別することも可能となる。
〔実施例〕
以下、本発明の好適な実施例について図面を参照しなが
ら説明する。
第1の実施例 本実施例は、アラキン酸からなるLB膜を表面弾性波素
子上に形成して化学センサを作成し、これをガスセンサ
としてシトラール庫気の検出に使用した例である。
第1図に本発明にかかる化学センサの概略を示す。上記
化学センサは、表面弾性波を遅延線として利用する表面
弾性波素子(1)と、高周波増幅器(2)および周波数
カウンタ(3)を主な構成要素とl+ する。上記表面弾性波素子(1)は、水晶基板(4)−
トにエツチングと蒸着により一対のトランスデユーサ−
・すなわち人力変換器(5)と出力変換器(6)が所定
の間隔をもって形成されたものである。これらの入力変
換器(5)および出力変換器(6)は、具体的にはエツ
チングと原着により形成されたアルミニウム電極(7)
であり、その形式は高周波帯において電気音響効率に優
れる交差指(すだれ)状電極である。上記アルミニウム
電極(7)の幅、および弾性波の伝播方向(図中、矢印
Xで表す。)に沿って見た電極間のスペースは共に10
μmであり、したがってこの交差指状電極の周期は40
μmである。また交差長は3.2mmである。上記人力
変換器(5)と出力変換器(6)の距離は12mmとさ
れ、これらの間に3層構造のいわゆるY型のアラキン酸
LB膜(8)が形成されている。このアラキン酸LB膜
(8)が水晶基板(4)上に形成されている様子を模式
的に示したのが第2図である。この図において、隣接す
る層内のアラキン酸分子(9)は互いに極性基(9a)
同士、あるいは疎水性基(9b)を接触させるように配
列している。
上記アラキン酸LB膜(8)は純水表面に展開したアラ
キン酸の膜に20°Cにて25mN/mの表面圧をかけ
、上記水晶基板(4)を浸漬することにより形成した。
上記入力変換器(5)と出力変換器(6)には各々2個
ずつの端子があり、人力変換器(5)の一方の端子と出
力変換器(6)の一方の端子は増幅率40dBの高周波
増幅器(2)を介して結線されて発振周波数78.9M
 Hzのループを形成し、さらに周波数カウンタ(3)
に接続されている。上記ループの形成に使用されなかっ
た他方の各端子は接地用である。
上述のような化学センサにおいては、入力信号は入力変
換器(5)により表面弾性波に変換され、これが水晶基
板(4)の表面を伝播し、所望の遅延時の距離だけ離れ
た出力変換器(6)によって電気信号に戻される。
いま、アラキン酸LB膜(8)に異種の化学物質が被吸
着物質(10) (第2図参照。)として取り込まれる
と、膜全体の重量が増加するために表面弾性波の位相速
度が遅くなり、吸着量に比例してループの発振周波数が
低下する。被吸着物質(10)が脱着すれば、発振周波
数は元の値に戻る。このような発振周波数の変化を周波
数カウンタ(9)で測定すれば、アラキン酸LB膜(8
)に対する被吸着物質(10)の吸着量および吸脱着挙
動をモニターすることができる。
この化学センサを用いてシトラールを検出する実験を行
った。まず、適当な密閉容器内にシトシルを含浸させた
濾紙を入れ、温度を20’Cに保って該密閉容器内をシ
トラール蒸気で飽和させた。
次に、上記化学センサを上記密閉容器内に放置する操作
と、該密閉容器から出して空気中に放置する操作とを一
定時間ごとに繰り返し、シトラールの吸脱着挙動を周波
数カウンタでモニターした。
この実験結果を第3図に示す。図中、縦軸は周II数変
化(Hz)、横軸は時間(秒)を示す、また矢印Aは化
学センサを密閉容器内に入れてシトラール飽和空気と接
触させるタイミング、矢印Bは化学センサを密閉容器か
ら出して空気と接触させるタイミングをそれぞれ表す。
この図より、この化学センサはシトラールを吸着するに
つれて徐々に発振周波数を下げ、脱着するにつれて徐々
ζこ当初の発振周波数を回復する挙動を示すことがわか
る。
また、この吸脱着挙動は極めて鋭敏で再現性に優れてい
ることが明らかである。
第2の実施例 次に、本発明の化学センサが極性の異なる被吸着物質に
対して示す吸脱着挙動について検討した。
本実施例で使用した化学センサは第1の実施例で使用し
たものと同じである。また、被吸着物質としては極性分
子であるn−ブタノール(分子量=74.12)、およ
び無極性分子であり分子量の近いnペンタン(分子l 
: 72.15)を使用した。実験方法も上述の第1の
実施例の場合と同様である。
n−ブタノールの吸脱着挙動を第4図に、またn−ペン
タンの吸脱着挙動を第5図に示す。矢印Aおよび矢印B
は、それぞれ化学センサを密閉容器に入れるタイミング
と密閉容器から出すタイミ二/グを示す。
これらの図をみると、この化学センサは極性分子である
n−ブタノールの吸脱着は行うが、無極性分子であるn
−ペンタンにはほとんど感応しないことがわかる。これ
ら両物質は分子量が極めて近いため、吸着量と発振周波
数の変化はほぼ同様であると考えられる。したがって、
本発明の化学センサは、被吸着物質の極性の差異を高感
度に識別していることがわかる。
第3の実施例 次に、本発明の化学センサがイオン性の異なる被吸着物
質に対して示す吸脱着挙動について検討した。本実施例
で使用した化学センサは第1の実施例で使用したものと
同しである。また、被吸着物質としては負のイオン性を
有するプロピオン酸(分子m : 74.08)および
正のイオン性を有する分子であり分子量の近いn−ブチ
ルアミン(公刊173.14)を使用した。実験方法も
上述の第1の実施例の場合と同様である。
プロピオン酸の吸脱着挙動を第6図に、またnブチルア
ミンの吸脱着挙動を第7図に示す。矢印Aおよび矢印B
は、それぞれ化学センサを密閉容器に入れるタイミング
と密閉容器から出すタイミングを示す。
これら両物質の吸脱着挙動は掻めて異なるものであった
。第6図をみると、吸着は遅く、脱着は速く進行する傾
向が明らかであり、プロピオン酸とLB膜形成分子であ
るアラキン酸との相互作用は比較的小さいことがわかる
。これに対し第7図をみると、吸着は速く、脱着は遅く
進行する傾向が明らかである。これは、n−ブチルアミ
ンのアミノ基カ月−[3膜形成分子であるアラキン酸の
カルボキシル基とが反応してカルボン酸アンモニウム塩
を形成する反応が速やかに進行し、生成したカルボン酸
アンモニウム塩が安定に保持される結果であると考えら
れる。
このように、本発明の化学センサは、被吸着物質のイオ
ン性の差異も高感度に識別できることがわかる。
〔発明の効果〕
以上の説明からも明らかなように、本発明にががる分子
識別素子においては、膜厚の極めて薄いL B膜が周波
数変換素子の上に形成されているため、極めて微量の吸
着分子に対して高感度で再現性の高い応答が可能となる
。LB膜に使用される膜形成分子の種類を変えれば、特
定の物質の特異的な吸脱着挙動を知ることが可能である
。本化学センサは、各種の高感度センサの提供を可能と
する意味で有効であるのみならず、生体膜の機能や相転
移を研究するためのモデルとしても有意義なものである
【図面の簡単な説明】
第1図は表面弾性波素子を利用した化学センサの構成を
示す概略平面図である。第2図は本発明の化学センサに
おけるLB膜の形成状態の一例を示す模式的断面図であ
る。第3図ないし第7図は本発明の化学センサを種々の
化学物質の検出に適用した場合の周波数変化を示す特性
図であり、第3図はシトラール、第4図はn−ブタノー
ル、第5図はn−ペンタン、第6図はプロピオン酸、第
7図はn−ブチルアミンを使用した場合にそれぞれ対応
するものである。 1 ・・・ 2 ・・・ 3  ・ 4 ・・・ 5 ・・・ 6 ・・・ 7 ・・・ 8 ・ ・ 9 ・・ 10 ・・・ 表面弾性波素子 高周波増幅器 周波数カウンタ 水晶基板 入力変換器 出力変換器 アルミニウム電極 アラキン酸LB膜 アラキン酸分子 異種の分子

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1.  化学物質を選択的に吸脱着するラングミュア・ブロジ
    ェット膜が成膜された周波数変換素子を有し、化学物質
    の吸脱着を該周波数変換素子の発振周波数の定量的な変
    化として検出することを特徴とする化学センサ。
JP63187560A 1988-07-27 1988-07-27 化学センサ Pending JPH0236350A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP63187560A JPH0236350A (ja) 1988-07-27 1988-07-27 化学センサ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP63187560A JPH0236350A (ja) 1988-07-27 1988-07-27 化学センサ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0236350A true JPH0236350A (ja) 1990-02-06

Family

ID=16208220

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP63187560A Pending JPH0236350A (ja) 1988-07-27 1988-07-27 化学センサ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0236350A (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04310842A (ja) * 1991-04-09 1992-11-02 Seiko Instr Inc 電気化学測定システム
JP2010014587A (ja) * 2008-07-04 2010-01-21 Japan Radio Co Ltd 被測定物特性測定装置
DE102010000450A1 (de) 2009-02-25 2010-09-02 Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha, Toyota-shi Vefahren zur Herstellung eines hohlen Gussteils und Verfahren zur Herstellung eines hohlraum-bildenden Elements zur Verwendung dafür
JP2015138016A (ja) * 2014-01-24 2015-07-30 日本無線株式会社 弾性表面波センサ

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04310842A (ja) * 1991-04-09 1992-11-02 Seiko Instr Inc 電気化学測定システム
JP2010014587A (ja) * 2008-07-04 2010-01-21 Japan Radio Co Ltd 被測定物特性測定装置
DE102010000450A1 (de) 2009-02-25 2010-09-02 Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha, Toyota-shi Vefahren zur Herstellung eines hohlen Gussteils und Verfahren zur Herstellung eines hohlraum-bildenden Elements zur Verwendung dafür
JP2015138016A (ja) * 2014-01-24 2015-07-30 日本無線株式会社 弾性表面波センサ

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Harsányi Polymer films in sensor applications: a review of present uses and future possibilities
CN1894583B (zh) 利用具有功能化表面的谐振器的生物传感器
US7148611B1 (en) Multiple function bulk acoustic wave liquid property sensor
CN101477029B (zh) 提高谐振式超薄悬臂梁传感器灵敏度的表面应力敏感方法
JP2002503332A (ja) ポリマ材料と相互作用するリガンドの検出
JP2008122105A (ja) 弾性波センサ及び検出方法
GB2407384A (en) Humidity sensor element
US10801906B2 (en) Hydrogel microphone
Hoffmann et al. The concept of thin film bulk acoustic resonators as selective CO 2 gas sensors
Anzai et al. Penicillin sensors based on an ion-sensitive field effect transistor coated with stearic acid Langmuir-Blodgett membrane
JPH0236350A (ja) 化学センサ
Anderson Mechanism for the behavior of hydroactive materials used in humidity sensors
CN108344496A (zh) 压电式mems矢量振动传感器
Toda et al. A planar gas sensor combined with interdigitated array electrodes
Johnson et al. An acoustically driven Kelvin probe for work‐function measurements in gas ambient
Tvarožek et al. Thin-film microsystem applicable in (bio) chemical sensors
Barhoumi et al. EIS field effect structures functionalized by p-tert-butylcalix [6] arene for Ni2+ detection
Wen et al. A novel dual track SAW gas sensor using three-IDT and two-MSC
Ikariyama et al. Micro-enzyme electrode as a high-performance detector of flow injection analysis.
JPH0252250A (ja) 化学センサ
Yuquan et al. SAW gas sensor with proper tetrasulphonated phthalocyanine film
Nomura et al. Surface acoustic wave vapor sensor using ultrathin multilayer films
Barauskas et al. Capacitive micromachined ultrasound transducers (CMUT) for resonant gravimetric immunosensing
JP2841651B2 (ja) ガス感応素子
Nomura et al. Surface acoustic wave gas phase sensor using self-assembled monolayer film