JPH0233863Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0233863Y2 JPH0233863Y2 JP1984076350U JP7635084U JPH0233863Y2 JP H0233863 Y2 JPH0233863 Y2 JP H0233863Y2 JP 1984076350 U JP1984076350 U JP 1984076350U JP 7635084 U JP7635084 U JP 7635084U JP H0233863 Y2 JPH0233863 Y2 JP H0233863Y2
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- Japan
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- waste gas
- valve plate
- adsorption
- desorption
- annular groove
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- Expired
Links
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Landscapes
- Multiple-Way Valves (AREA)
- Separation Of Gases By Adsorption (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本考案は廃ガスの吸着浄化装置における切替ダ
ンパー装置に関し、特に廃ガスの吸着浄化装置に
廃ガスを導入する廃ガス導入口と該浄化装置から
押出される脱着済みガスの脱着ガス出口が対向し
て形成された通路切替室に設ける改良された切替
ダンパー装置に関するものである。
ンパー装置に関し、特に廃ガスの吸着浄化装置に
廃ガスを導入する廃ガス導入口と該浄化装置から
押出される脱着済みガスの脱着ガス出口が対向し
て形成された通路切替室に設ける改良された切替
ダンパー装置に関するものである。
本出願人は先に「組み合せ吸脱着装置」(特開
昭53−82663)を提案した。該装置は廃ガス中に
含まれる有害物質若しくは特定の成分を吸着する
装置で、複数の同一形ユニツトで構成され、ユニ
ツト数を処理ガス量若しくは吸着ガスの濃度に応
じて増減できると共に順次若しくは選択的に吸着
および脱着を行なう様に構成されている。以下に
本考案装置を適用する廃ガスの吸着浄化装置の一
例として前記装置、及び前記装置に設けられた従
来の切替ダンパー装置について説明する。第1図
は前記廃ガスの吸着浄化装置を例示する断面模式
図、第2図は第1図の吸着浄化装置に設けられた
従来の切替ダンパー装置を拡大して示す断面説明
図である。第1図において1は吸着浄化装置を例
示しその頂部に空気排出口2を設けている。3は
該吸着浄化装置の要部を構成する吸脱着ユニツト
で該ユニツト3は箱型枠14にその多数が隣接し
て配置される様に構成されている。そしてその内
部には有孔円筒の外周面に炭素繊維の吸着層を設
けた吸着エレメント33を着脱可能に設けてい
る。吸着エレメント33の開口フランジ部33a
は箱型枠14の頂面に固設された開口取付座15
に装着している。尚吸着エレメント33の底部は
閉鎖されている。そして吸着エレメント33の開
口部には脱着用ガス供給源に接続されるノズル2
0が設けられ、ガス導入パイプ19が電磁開放弁
22を介してノズル20に接続されている。箱型
枠14の非対面面側に面して外側に設けた通路切
替室32は廃ガスを箱型枠14内に導くと共に脱
着時は吸着物を脱着用ガスと共に排出する兼用通
路切替室を形成する。そして通路切替室32内に
は切替ダンパー装置10および廃ガス導入口の分
岐ダクト7並びに脱着済みガス出口の分岐パイプ
13が設けられている。
昭53−82663)を提案した。該装置は廃ガス中に
含まれる有害物質若しくは特定の成分を吸着する
装置で、複数の同一形ユニツトで構成され、ユニ
ツト数を処理ガス量若しくは吸着ガスの濃度に応
じて増減できると共に順次若しくは選択的に吸着
および脱着を行なう様に構成されている。以下に
本考案装置を適用する廃ガスの吸着浄化装置の一
例として前記装置、及び前記装置に設けられた従
来の切替ダンパー装置について説明する。第1図
は前記廃ガスの吸着浄化装置を例示する断面模式
図、第2図は第1図の吸着浄化装置に設けられた
従来の切替ダンパー装置を拡大して示す断面説明
図である。第1図において1は吸着浄化装置を例
示しその頂部に空気排出口2を設けている。3は
該吸着浄化装置の要部を構成する吸脱着ユニツト
で該ユニツト3は箱型枠14にその多数が隣接し
て配置される様に構成されている。そしてその内
部には有孔円筒の外周面に炭素繊維の吸着層を設
けた吸着エレメント33を着脱可能に設けてい
る。吸着エレメント33の開口フランジ部33a
は箱型枠14の頂面に固設された開口取付座15
に装着している。尚吸着エレメント33の底部は
閉鎖されている。そして吸着エレメント33の開
口部には脱着用ガス供給源に接続されるノズル2
0が設けられ、ガス導入パイプ19が電磁開放弁
22を介してノズル20に接続されている。箱型
枠14の非対面面側に面して外側に設けた通路切
替室32は廃ガスを箱型枠14内に導くと共に脱
着時は吸着物を脱着用ガスと共に排出する兼用通
路切替室を形成する。そして通路切替室32内に
は切替ダンパー装置10および廃ガス導入口の分
岐ダクト7並びに脱着済みガス出口の分岐パイプ
13が設けられている。
開口装置23は吸脱着ユニツト3の開口部を大
気と遮断するものであつて、作動シリンダー25
とピストン27の下端には夫々開閉板30を保持
している。そして作動シリンダー25には図示し
ない圧力媒体導入パイプが配設され、適当な集中
制御手段によつて作動弁を介して作動され、その
作動は順次若しくはグループ毎或は適当に選択し
て作動される。図の左側に設けた吸脱着ユニツト
3は吸着作用中を示し、開閉板30は開口取付座
15を離れているから吸着エレメント33を通過
した清浄空気が白抜き矢印の様に大気中へ排出さ
れる状態を示している。右側に位置する吸脱着ユ
ニツト3は脱着状態を示し、前記ノズル20から
脱着用ガス例えば加熱蒸気を噴出して吸着エレメ
ント33を再生する状態を示したものである。そ
して加熱蒸気との接続については吸脱着ユニツト
3に設けられたノズル20とガス導入パイプ19
とが夫々電磁開閉弁22を介して連結される。一
方通路切替室32には前記切替ダンパー装置10
が設けられる。この切替ダンパー装置10は第2
図に示す様に、廃ガスを前記吸脱着ユニツト3の
箱型枠14内に導入若しくは遮断するものであ
り、しかもこの遮断と関連して脱着ガスの吸引排
出を行なうものである。即ち通路切替室32の下
部には箱型枠14の下部に配設した導入ダクト6
からそれぞれ分岐ダクト7が分岐して配設され、
該分岐ダクト7は通路切替室32内に突出して開
口する。一方通路切替室32の上部には作動シリ
ンダー11を取り付け、該作動シリンダー11の
ピストン34の先端には弁板12を固定する。又
通路切替室32の上部には吸気パイプ9が配設さ
れ、該吸気パイプ9から分岐された分岐パイプ1
3がそれぞれ通路切替室32の作動シリンダー1
1側に配置され、該分岐パイプ13は前記弁板1
2の上部に向けて突出開口される。従つて左側の
切替ダンパー装置10の様に作動シリンダー11
が弁板12を引き上げて保持するときは、分岐ダ
クト7を開口し吸気用の分岐パイプ13を閉塞す
る。従つてダクト6から圧送される廃ガスは矢印
で示すように左側の通路切替室32を通過して吸
脱着ユニツト3に導びかれ吸着エレメント33を
通過して吸着物がこれに吸着され、清浄空気は開
閉装置23が開口されて白抜矢印で示すように排
出口2から排出される。一方脱着時は開閉装置2
3が吸着エレメント33の開口部を塞ぎ、かつ切
替ダンパー装置10は図の右側に示すようにその
作動シリンダー11が弁板12を下方へ押圧して
分岐パイプ7からの空気取り入れを遮断し、吸気
パイプ9の分岐パイプ13を開口する。従つて分
岐パイプ13の開口部には吸引作用が働らき、前
記した脱着用ガス吸着エレメントの吸着物を気体
と共に切替ダンパー装置10を介して排出させ
る。そしてこれらの脱着用ガスは第1図に例示し
たように吸気パイプ9、コンデンサー8、セパレ
ーター39或は図示しないアフタークーラーを通
過して吸着物が回収される。尚セパレーター39
の上部から排出されるのは分離排水、下部から取
り出されるのは回収溶剤である。この切替ダンパ
ー10の大きな特徴の1つは弁板12がどの位置
にあつてもユニツト3は密閉状態にならないとい
う点にある。尚第1図に示した4は廃ガスの吸気
パイプであり、5は送風機である。また導入ダク
ト6はそれぞれ単位ユニツト毎に結合して構成さ
れる。また前記開閉装置23の作動並びに切替ダ
ンパー装置は互いに集中制御盤40で関連させつ
つ作動し、これの作動は前記した様に順次若しく
は選択的に作動されるものである。第2図は第1
図の切替ダンパー装置10を拡大して示す断面説
明図である。作動シリンダー11をはさんで分岐
パイプ13と相対する位置には、バランスパイプ
13′が設けられてあつて、シリンダー11が弁
板12を引き上げた際にバランス良く弁板が保持
できるように構成されている。弁板12をピスト
ン34に取付けるに際しては、まずドーナツ型の
ゴム板35を分岐パイプ13側の面上に置き、そ
の上からゴム板35の外周をリング状の止め具4
4で押えボルト等で弁板12に固定する。一方ク
ツシヨン用のワツシヤー41及びデイスク型ブラ
ケツト42をその順にピストン34に嵌め、その
後取付螺子43を嵌めて螺合する。次いでデイス
ク型ブラケツト42に前記弁板12を当接して弁
板12の分岐ダクト7側からボルト等によりゴム
板35と共に固定する。一方分岐ダクト7からの
廃ガス導入口には破線で示す弁板12の下降位置
の当接面に環状溝37を設けると共にその中にO
−リング38を嵌設している。
気と遮断するものであつて、作動シリンダー25
とピストン27の下端には夫々開閉板30を保持
している。そして作動シリンダー25には図示し
ない圧力媒体導入パイプが配設され、適当な集中
制御手段によつて作動弁を介して作動され、その
作動は順次若しくはグループ毎或は適当に選択し
て作動される。図の左側に設けた吸脱着ユニツト
3は吸着作用中を示し、開閉板30は開口取付座
15を離れているから吸着エレメント33を通過
した清浄空気が白抜き矢印の様に大気中へ排出さ
れる状態を示している。右側に位置する吸脱着ユ
ニツト3は脱着状態を示し、前記ノズル20から
脱着用ガス例えば加熱蒸気を噴出して吸着エレメ
ント33を再生する状態を示したものである。そ
して加熱蒸気との接続については吸脱着ユニツト
3に設けられたノズル20とガス導入パイプ19
とが夫々電磁開閉弁22を介して連結される。一
方通路切替室32には前記切替ダンパー装置10
が設けられる。この切替ダンパー装置10は第2
図に示す様に、廃ガスを前記吸脱着ユニツト3の
箱型枠14内に導入若しくは遮断するものであ
り、しかもこの遮断と関連して脱着ガスの吸引排
出を行なうものである。即ち通路切替室32の下
部には箱型枠14の下部に配設した導入ダクト6
からそれぞれ分岐ダクト7が分岐して配設され、
該分岐ダクト7は通路切替室32内に突出して開
口する。一方通路切替室32の上部には作動シリ
ンダー11を取り付け、該作動シリンダー11の
ピストン34の先端には弁板12を固定する。又
通路切替室32の上部には吸気パイプ9が配設さ
れ、該吸気パイプ9から分岐された分岐パイプ1
3がそれぞれ通路切替室32の作動シリンダー1
1側に配置され、該分岐パイプ13は前記弁板1
2の上部に向けて突出開口される。従つて左側の
切替ダンパー装置10の様に作動シリンダー11
が弁板12を引き上げて保持するときは、分岐ダ
クト7を開口し吸気用の分岐パイプ13を閉塞す
る。従つてダクト6から圧送される廃ガスは矢印
で示すように左側の通路切替室32を通過して吸
脱着ユニツト3に導びかれ吸着エレメント33を
通過して吸着物がこれに吸着され、清浄空気は開
閉装置23が開口されて白抜矢印で示すように排
出口2から排出される。一方脱着時は開閉装置2
3が吸着エレメント33の開口部を塞ぎ、かつ切
替ダンパー装置10は図の右側に示すようにその
作動シリンダー11が弁板12を下方へ押圧して
分岐パイプ7からの空気取り入れを遮断し、吸気
パイプ9の分岐パイプ13を開口する。従つて分
岐パイプ13の開口部には吸引作用が働らき、前
記した脱着用ガス吸着エレメントの吸着物を気体
と共に切替ダンパー装置10を介して排出させ
る。そしてこれらの脱着用ガスは第1図に例示し
たように吸気パイプ9、コンデンサー8、セパレ
ーター39或は図示しないアフタークーラーを通
過して吸着物が回収される。尚セパレーター39
の上部から排出されるのは分離排水、下部から取
り出されるのは回収溶剤である。この切替ダンパ
ー10の大きな特徴の1つは弁板12がどの位置
にあつてもユニツト3は密閉状態にならないとい
う点にある。尚第1図に示した4は廃ガスの吸気
パイプであり、5は送風機である。また導入ダク
ト6はそれぞれ単位ユニツト毎に結合して構成さ
れる。また前記開閉装置23の作動並びに切替ダ
ンパー装置は互いに集中制御盤40で関連させつ
つ作動し、これの作動は前記した様に順次若しく
は選択的に作動されるものである。第2図は第1
図の切替ダンパー装置10を拡大して示す断面説
明図である。作動シリンダー11をはさんで分岐
パイプ13と相対する位置には、バランスパイプ
13′が設けられてあつて、シリンダー11が弁
板12を引き上げた際にバランス良く弁板が保持
できるように構成されている。弁板12をピスト
ン34に取付けるに際しては、まずドーナツ型の
ゴム板35を分岐パイプ13側の面上に置き、そ
の上からゴム板35の外周をリング状の止め具4
4で押えボルト等で弁板12に固定する。一方ク
ツシヨン用のワツシヤー41及びデイスク型ブラ
ケツト42をその順にピストン34に嵌め、その
後取付螺子43を嵌めて螺合する。次いでデイス
ク型ブラケツト42に前記弁板12を当接して弁
板12の分岐ダクト7側からボルト等によりゴム
板35と共に固定する。一方分岐ダクト7からの
廃ガス導入口には破線で示す弁板12の下降位置
の当接面に環状溝37を設けると共にその中にO
−リング38を嵌設している。
ところが前記の如き通路切替室32内に設けら
れた弁板のゴム板は操業条件の苛酷さにもよるが
頻繁に交換する必要が生じる。その時前述した手
順で取付け固定されたゴム板35を弁板12上か
ら抜取ることは非常に困難で、その交換作業は大
へん手間がかかつて不便である。一方ゴム板35
には通常天然ゴム又は合成ゴム等が用いられる
が、その材質によつては高価で、バランスパイプ
13′の様にシール不要箇所までゴム板を用いる
形状にしておくことは経済的でない。一方分岐ダ
クト7からの廃ガス導入口に設けたO−リング3
8にしてもゴム板35と同じ様に頻繁と交換する
必要があるから、ゴム板35の交換作業ほどでは
ないにしても手間がかかる。
れた弁板のゴム板は操業条件の苛酷さにもよるが
頻繁に交換する必要が生じる。その時前述した手
順で取付け固定されたゴム板35を弁板12上か
ら抜取ることは非常に困難で、その交換作業は大
へん手間がかかつて不便である。一方ゴム板35
には通常天然ゴム又は合成ゴム等が用いられる
が、その材質によつては高価で、バランスパイプ
13′の様にシール不要箇所までゴム板を用いる
形状にしておくことは経済的でない。一方分岐ダ
クト7からの廃ガス導入口に設けたO−リング3
8にしてもゴム板35と同じ様に頻繁と交換する
必要があるから、ゴム板35の交換作業ほどでは
ないにしても手間がかかる。
本考案は以上の様に事情に着眼してなされたも
のであつて、廃ガス導入口と脱着ガス出口の間を
往復して夫々を交互に封鎖及び開放する弁板に、
シール性が良好で交換作業が容易、且つ経済的な
シール部を設けた廃ガスの吸着浄化装置における
切替ダンパー装置を提供しようとするものであ
る。
のであつて、廃ガス導入口と脱着ガス出口の間を
往復して夫々を交互に封鎖及び開放する弁板に、
シール性が良好で交換作業が容易、且つ経済的な
シール部を設けた廃ガスの吸着浄化装置における
切替ダンパー装置を提供しようとするものであ
る。
即ち上記目的を達成し得た本考案の構成とは、
廃ガスの吸着浄化装置に廃ガスを導入する廃ガス
導入口と該浄化装置から排出される脱着済みガス
の脱着ガス出口が対向して形成された通路切替室
に設ける切替ダンパー装置であつて、脱着ガス出
口側に設けられた複動型作動用シリンダーのピス
トン先端部に固設され、前記廃ガス導入口と脱着
ガス出口の間を往復して夫々を交互に封鎖及び開
放する弁板の両面上に環状溝を設け、上記脱着ガ
ス出口側の面に設けられる環状溝の径は、前記廃
ガス導入口側の面に設けられる環状溝の径より小
さく形成し、前記各環状溝中にO−リングを装着
すると共に、少なくとも上記脱着ガス出口側には
前記弁板より大きな蓋板が着脱自在に取付けられ
てなることを要旨とするものである。
廃ガスの吸着浄化装置に廃ガスを導入する廃ガス
導入口と該浄化装置から排出される脱着済みガス
の脱着ガス出口が対向して形成された通路切替室
に設ける切替ダンパー装置であつて、脱着ガス出
口側に設けられた複動型作動用シリンダーのピス
トン先端部に固設され、前記廃ガス導入口と脱着
ガス出口の間を往復して夫々を交互に封鎖及び開
放する弁板の両面上に環状溝を設け、上記脱着ガ
ス出口側の面に設けられる環状溝の径は、前記廃
ガス導入口側の面に設けられる環状溝の径より小
さく形成し、前記各環状溝中にO−リングを装着
すると共に、少なくとも上記脱着ガス出口側には
前記弁板より大きな蓋板が着脱自在に取付けられ
てなることを要旨とするものである。
第3図は本考案の切替ダンパー装置10dを例
示する断面図である。吸着浄化装置1の通路切替
室32に相当する通路切替室3dの下方には廃ガ
ス導入用の分岐ダクト7dが設けられ、該通路切
替室32dの上方には脱着済みガス出口の分岐パ
イプ13dが配設されている。そして分岐パイプ
13d側に設けられた複動型の作動用シリンダー
11dのピストン34dの先端部にはブラケツト
42dを介して弁板12dが設けられている。弁
板12dの分岐パイプ13d側の面上にはその外
周に沿つて本考案装置のポイントである環状溝3
7dを設けると共に、環状溝37d中にO−リン
グ38dを装着している。一方分岐ダクト7d側
の弁板12dの面上にはその外周に沿つて環状溝
37eを設けてその中にO−リング38eを嵌設
している。
示する断面図である。吸着浄化装置1の通路切替
室32に相当する通路切替室3dの下方には廃ガ
ス導入用の分岐ダクト7dが設けられ、該通路切
替室32dの上方には脱着済みガス出口の分岐パ
イプ13dが配設されている。そして分岐パイプ
13d側に設けられた複動型の作動用シリンダー
11dのピストン34dの先端部にはブラケツト
42dを介して弁板12dが設けられている。弁
板12dの分岐パイプ13d側の面上にはその外
周に沿つて本考案装置のポイントである環状溝3
7dを設けると共に、環状溝37d中にO−リン
グ38dを装着している。一方分岐ダクト7d側
の弁板12dの面上にはその外周に沿つて環状溝
37eを設けてその中にO−リング38eを嵌設
している。
又弁板12dをピストン34dに取付けるに際
しても、本考案装置では従来装置の様なゴム板を
採用するものではないので、ブラケツト42dを
弁板12dと一体的に設けることができる。そし
てブラケツト42dの内周に螺合された取付螺子
43dの下端部がピストン34dに螺合された球
面螺子47dの背面を押える構成になつている。
尚46dはロツクナツトである。従つて装置組立
時の水平度が不充分な場合であつても、作動シリ
ンダー11dの作動によつて引き上げたり下方に
押圧される弁板12dは左右方向に傾いてO−リ
ングを周方向に対して均圧に当接させることがで
きる。作動シリンダー11dが弁板12dを引き
上げて保持するときは、分岐ダクト7dを開放す
ると共に弁板12dとO−リング38dが分岐パ
イプ13dを封鎖するからダタト6(第1図)か
ら圧送される廃ガスは完全に遮断シールされて分
岐パイプ13d中には侵入しない。又作動シリン
ダー11dが弁板12dを下方に押圧して分岐ダ
クト7dからの廃ガス導入を遮断する際には、弁
板12d上の分岐ダクト7d側の面に設けたO−
リング38eが分岐ダクト7dを封鎖するから廃
ガスは完全に遮断シールされ、開放された分岐パ
イプ13d中に廃ガスが混入することはない。又
逆に脱着ガスが分岐ダクト7d中に侵入すること
もない。さらに作動用シリンダー11dを配設し
た分岐パイプ13d側の蓋板50はボルトナツト
51によつて箱型枠14に着脱自在に取付けら
れ、該箱型枠14と蓋板の間には密閉用のパツキ
ン52が設けられる。従つてO−リングの交換に
際しては、上記蓋板50を取外すことにより環状
溝37dに嵌着したO−リング38dの脱着が容
易であり、従来の切替ダンパー装置10の様に交
換時に弁板12dをピストン34dから取り外す
必要は全く無くなり交換作業が容易で極めて短時
間内にできる様になつた。又分岐ダクト7d側の
O−リング38eも前記O−リング38dと同時
に簡単に交換できるから交換の手間も省けるし通
路切替室32d下部のシール部を簡略化できる。
そしてバランスパイプ13′の様に必要以上のシ
ール面積を有しないO−リング38dを設けた本
考案装置は経済的にも優れているといえる。又従
来は弁板12と分岐パイプ13の間のシールに対
する押圧力と弁板12と分岐ダクト7の間のシー
ルに対する押圧力が異なつていたが、本考案の上
記実施例装置ではこの点を功みに逆利用してい
る。第4図は複動型作動シリンダー11における
下方へ向かう押圧力F1と上方へ向かう押圧力F2
のちがいを示す模式断面図である。即ち押圧力
F1の作用面積S1と押圧力F2の作用面積S2を比較
すると、押圧力F2の作用側に設けられたピスト
ン34の占める面積分だけS2が小さく、即ちS1>
S2となるから押圧力はF1>F2となつて上方向へ
の押圧力が小さい。この様な上方への押圧力不足
に対しては従来では作動シリンダーのパワーアツ
プを考慮する必要があつた。ところが本実施例装
置においては、環状溝37dの径を環状溝37e
より小径とすることにより、弁板12dの上側に
設けたO−リング38dの径を下側のO−リング
38eの径よりも小さく形成したので、上記作動
用シリンダーにおける押圧力の差を補い、O−リ
ング38dとO−リング38eのシール性を同程
度に保つことができる様になつた。その結果作動
シリンダーも普通サイズで充分であり、O−リン
グ38dとO−リング38eの交換周期も同程度
に維持できる様になつた。
しても、本考案装置では従来装置の様なゴム板を
採用するものではないので、ブラケツト42dを
弁板12dと一体的に設けることができる。そし
てブラケツト42dの内周に螺合された取付螺子
43dの下端部がピストン34dに螺合された球
面螺子47dの背面を押える構成になつている。
尚46dはロツクナツトである。従つて装置組立
時の水平度が不充分な場合であつても、作動シリ
ンダー11dの作動によつて引き上げたり下方に
押圧される弁板12dは左右方向に傾いてO−リ
ングを周方向に対して均圧に当接させることがで
きる。作動シリンダー11dが弁板12dを引き
上げて保持するときは、分岐ダクト7dを開放す
ると共に弁板12dとO−リング38dが分岐パ
イプ13dを封鎖するからダタト6(第1図)か
ら圧送される廃ガスは完全に遮断シールされて分
岐パイプ13d中には侵入しない。又作動シリン
ダー11dが弁板12dを下方に押圧して分岐ダ
クト7dからの廃ガス導入を遮断する際には、弁
板12d上の分岐ダクト7d側の面に設けたO−
リング38eが分岐ダクト7dを封鎖するから廃
ガスは完全に遮断シールされ、開放された分岐パ
イプ13d中に廃ガスが混入することはない。又
逆に脱着ガスが分岐ダクト7d中に侵入すること
もない。さらに作動用シリンダー11dを配設し
た分岐パイプ13d側の蓋板50はボルトナツト
51によつて箱型枠14に着脱自在に取付けら
れ、該箱型枠14と蓋板の間には密閉用のパツキ
ン52が設けられる。従つてO−リングの交換に
際しては、上記蓋板50を取外すことにより環状
溝37dに嵌着したO−リング38dの脱着が容
易であり、従来の切替ダンパー装置10の様に交
換時に弁板12dをピストン34dから取り外す
必要は全く無くなり交換作業が容易で極めて短時
間内にできる様になつた。又分岐ダクト7d側の
O−リング38eも前記O−リング38dと同時
に簡単に交換できるから交換の手間も省けるし通
路切替室32d下部のシール部を簡略化できる。
そしてバランスパイプ13′の様に必要以上のシ
ール面積を有しないO−リング38dを設けた本
考案装置は経済的にも優れているといえる。又従
来は弁板12と分岐パイプ13の間のシールに対
する押圧力と弁板12と分岐ダクト7の間のシー
ルに対する押圧力が異なつていたが、本考案の上
記実施例装置ではこの点を功みに逆利用してい
る。第4図は複動型作動シリンダー11における
下方へ向かう押圧力F1と上方へ向かう押圧力F2
のちがいを示す模式断面図である。即ち押圧力
F1の作用面積S1と押圧力F2の作用面積S2を比較
すると、押圧力F2の作用側に設けられたピスト
ン34の占める面積分だけS2が小さく、即ちS1>
S2となるから押圧力はF1>F2となつて上方向へ
の押圧力が小さい。この様な上方への押圧力不足
に対しては従来では作動シリンダーのパワーアツ
プを考慮する必要があつた。ところが本実施例装
置においては、環状溝37dの径を環状溝37e
より小径とすることにより、弁板12dの上側に
設けたO−リング38dの径を下側のO−リング
38eの径よりも小さく形成したので、上記作動
用シリンダーにおける押圧力の差を補い、O−リ
ング38dとO−リング38eのシール性を同程
度に保つことができる様になつた。その結果作動
シリンダーも普通サイズで充分であり、O−リン
グ38dとO−リング38eの交換周期も同程度
に維持できる様になつた。
尚第3図にはそれぞれ円形の環状溝37d及び
37eを設けた例を示したが夫々各コーナの角を
おとした方形の環状溝としてもよい。
37eを設けた例を示したが夫々各コーナの角を
おとした方形の環状溝としてもよい。
本考案装置は以上の様に構成されているので、
廃ガス導入口と脱着ガス出口の間を往復して夫々
を交互に封鎖及び開放する弁板に、シール性が良
好で交換作業が容易、且つ経済的なシール部を設
けた切替ダンパー装置を提供することができた。
廃ガス導入口と脱着ガス出口の間を往復して夫々
を交互に封鎖及び開放する弁板に、シール性が良
好で交換作業が容易、且つ経済的なシール部を設
けた切替ダンパー装置を提供することができた。
第1図は本考案装置を適用する廃ガスの吸着浄
化装置を例示する断面模式図、第2図は第1図の
吸着浄化装置における従来の切替ダンパー装置の
拡大断面図、第3図は本考案装置を例示する断面
図、第4図は作動説明用の模式断面図である。 1……吸着浄化装置、2……空気排出口、3…
…吸脱着ユニツト、4……吸引パイプ、5……送
風機、6……導入ダクト、7,7d……分岐ダク
ト、8……コンデンサー、9……吸気パイプ、1
0,10d……切替ダンパー装置、11,11d
……作動シリンダー、12,12d……弁板、1
3,13d……分岐パイプ、14……箱型枠、1
5……開口取付座、16……有孔円筒、17……
分岐ダクト、18……吸着層、19……ガス導入
パイプ、20……ノズル、22……電磁開放弁、
23……開閉装置、25……作動シリンダー、2
6……取付座、27……ピストン、28……腕
杆、29……支軸、30……開閉板、31……コ
イルばね、32,32d……通路切替室、33…
…吸着エレメント、34,34d……ピストン、
35……ゴム板、37,37d,37e……環状
溝、38,38d,38e…O−リング、39…
…セパレータ、40……集中制御盤、41……ワ
ツシヤー、42……デイスク型ブラケツト、42
d……ブラケツト、43,43d……取付螺子、
44……止め具、46d……ロツクナツト、47
d……球面螺子。
化装置を例示する断面模式図、第2図は第1図の
吸着浄化装置における従来の切替ダンパー装置の
拡大断面図、第3図は本考案装置を例示する断面
図、第4図は作動説明用の模式断面図である。 1……吸着浄化装置、2……空気排出口、3…
…吸脱着ユニツト、4……吸引パイプ、5……送
風機、6……導入ダクト、7,7d……分岐ダク
ト、8……コンデンサー、9……吸気パイプ、1
0,10d……切替ダンパー装置、11,11d
……作動シリンダー、12,12d……弁板、1
3,13d……分岐パイプ、14……箱型枠、1
5……開口取付座、16……有孔円筒、17……
分岐ダクト、18……吸着層、19……ガス導入
パイプ、20……ノズル、22……電磁開放弁、
23……開閉装置、25……作動シリンダー、2
6……取付座、27……ピストン、28……腕
杆、29……支軸、30……開閉板、31……コ
イルばね、32,32d……通路切替室、33…
…吸着エレメント、34,34d……ピストン、
35……ゴム板、37,37d,37e……環状
溝、38,38d,38e…O−リング、39…
…セパレータ、40……集中制御盤、41……ワ
ツシヤー、42……デイスク型ブラケツト、42
d……ブラケツト、43,43d……取付螺子、
44……止め具、46d……ロツクナツト、47
d……球面螺子。
Claims (1)
- 廃ガスの吸着浄化装置に廃ガスを導入する廃ガ
ス導入口と該浄化装置から排出される脱着済みガ
スの脱着ガス出口が対向して形成された通路切替
室に設ける切替ダンパー装置であつて、脱着ガス
出口側に設けられた複動型作動用シリンダーのピ
ストン先端部に固設され、前記廃ガス導入口と脱
着ガス出口の間を往復して夫々を交互に封鎖及び
開放する弁板の両面上に環状溝を設け、上記脱着
ガス出口側の面に設けられる環状溝の径は、前記
廃ガス導入口側の面に設けられる環状溝の径より
小さく形成し、前記各環状溝中にO−リングを装
着すると共に、少なくとも上記脱着ガス出口側に
は前記弁板より大きな蓋板が着脱自在に取付けら
れてなることを特徴とする廃ガスの吸着浄化装置
における切替ダンパー装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7635084U JPS60189317U (ja) | 1984-05-23 | 1984-05-23 | 廃ガスの吸着浄化装置における切替ダンパ−装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7635084U JPS60189317U (ja) | 1984-05-23 | 1984-05-23 | 廃ガスの吸着浄化装置における切替ダンパ−装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60189317U JPS60189317U (ja) | 1985-12-14 |
JPH0233863Y2 true JPH0233863Y2 (ja) | 1990-09-11 |
Family
ID=30618405
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7635084U Granted JPS60189317U (ja) | 1984-05-23 | 1984-05-23 | 廃ガスの吸着浄化装置における切替ダンパ−装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS60189317U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2006132318A1 (ja) * | 2005-06-10 | 2006-12-14 | Tokyo Electron Limited | 弁体、バルブ、切替えバルブおよびトラップ装置 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5310431B2 (ja) * | 1975-02-27 | 1978-04-13 | ||
JPS5382663A (en) * | 1976-12-28 | 1978-07-21 | Toyobo Co Ltd | Combinated adsorption and desorption apparatus |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5310431U (ja) * | 1976-07-09 | 1978-01-28 |
-
1984
- 1984-05-23 JP JP7635084U patent/JPS60189317U/ja active Granted
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5310431B2 (ja) * | 1975-02-27 | 1978-04-13 | ||
JPS5382663A (en) * | 1976-12-28 | 1978-07-21 | Toyobo Co Ltd | Combinated adsorption and desorption apparatus |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2006132318A1 (ja) * | 2005-06-10 | 2006-12-14 | Tokyo Electron Limited | 弁体、バルブ、切替えバルブおよびトラップ装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS60189317U (ja) | 1985-12-14 |
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