JPH0231652U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の研磨装置の一実施例を示す全
体の構成説明図、第２図は第１図の要部拡大図、
第３図は第２図の右側面図、第４図は第２図の研
削ヘツドの拡大図、第５図は第１図の装置の駆動
系の回路図、第６図は従来の研磨装置の概略説明
図、第７図は第６図の装置で加工した加工面の拡
大図である。 １…クロスビーム、４…キヤリア、５…スライ
ダ、６…金型、６ａ…金型表面、９…アツパーア
ーム、１０…ロアアーム、１１…アーム、１２…
研削ヘツド、１５…モータ、１８…モータ、２３
…歯付ベルト、２７…シリンダ、２８…押し込み
量センサとしてのポテンシヨメータ、２９…砥石
、３８，３９…傾斜角センサとしてのポテンシヨ
メータ、４１，４２…補正制御回路。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 直交３軸の自由度をもつ母機に、フローテイン
   グ可能な回転型の砥石をもつ研削ヘツドを取り付
   け、砥石を金型表面に押付けながら予め設定され
   た位置データに基づいて研削ヘツドを移動させて
   研磨作業を行う装置において、前記母機に支持さ
   れて直交２軸の回転方向の自由度をもつアームと
   、アームの先端に取り付けられて砥石押付方向の
   送りが与えられる研削ヘツドと、金型表面に押付
   けられた砥石の傾きを検出する傾斜角センサと、
   傾斜角センサの出力に応じて研削ヘツドの押付方
   向軸線が金型表面の法線方向と一致するように前
   記アームを駆動するアーム駆動手段と、金型表面
   に対する研削ヘツドの押し込み量を検出する押し
   込み量センサと、前記傾斜角センサおよび押し込
   み量センサの出力に応じて母機の位置を補正する
   補正制御手段とを備えたことを特徴とする金型の
   研磨装置。