JPH02308984A - クライオポンプ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、超高真空を得るために使用するクライオポン
プに関する。

（従来の技術） 従来、この種クライオポンプは、例えば、実開昭１３３
−１４８７８号公報に記載されているごとく、ポンプケ
ースと、該ケースに内装される第１クライオパネルと、
この第１パネルに内装される第２クライオパネルとを備
え、前記第１パネルをヘリウム冷凍機から延びる第１冷
却筒の第１ヒートステージに結合すると共に、前記第２
パネルを前記第１冷却筒から延びる第２冷却筒の第２ヒ
ートステージに結合する一方、前記第２パネルの内面側
に活性炭などのガス吸着層を設け、また、前記第１パネ
ルの空気取入側には、バッフルを一体に取付けている。

また、前記第２クライオパネルの外表面には、ニッケル
鍍金などを施して鏡面となし、外部からの輻射負荷を低
減させて、前記第２パネルのガス凝縮効率を高めるよう
にしている。

（発明が解決しようとする課題） 所で、以上のクライオポンプでは、前記第２タライオバ
ネルの外表面が鏡面とされているため、鏡面状態が維持
されている間は問題ないが、この外表面へのガス凝縮に
伴い輻射負荷が増加することになり、このため鏡面をも
とに設計した冷凍機の負荷条件が変動することになり、
この結果ポンプ能力が変化し、安定した運転ができない
問題があった。

本発明は以上のような問題に鑑みてなしたもので、その
目的は、第２クライオパネルにおけるガス凝縮層の変動
には関係なく、その輻射負荷をはメ一定として、安定し
た運転を行うことができるクライオポンプを提供するこ
とにある。

（課題を解決するための手段） 」１記目的を達成するために、本発明では、第１ヒート
ステージ（５１）にバッフル（８）　をもつ第１クライ
オパネル（２）を結合し、この第１タライオパネル（２
）に内装する第２ヒートステージ（６１）に第２タライ
オパネル（３）を結合したクライオポンプにおいて、前
記第２タライオパネル（３）の表面を黒色としたことを
特徴とするものである。

（作用） 第２クライオパネル（３）の表面が黒色とされているた
め、例えガス凝縮層が成長しても、輻射負荷は増加する
ことなく、むしろ低くなって輻射効率が向上することに
なり、換言すると輻射負荷をはメ一定にでき安定した運
転が行われる。

（実施例） 第１図に示したクライオポンプは、ポンプケース（１）
の内部に、上部側を開放した有底筒状の第１クライオパ
ネル（２）を配設し、この第１パネル（２）の内部に、
下部側を開放した有底筒状の第２タライオパネル（３）
を配設すると共に、前記第１パネル（２）の底壁中央部
を、ヘリウム冷凍機（４）から延びる第１冷却筒（５）
の第１ヒートステージ（５１）に結合し、かつ、前記第
２パネル（３）の土壁中火部を、前記第１冷却筒（５）
から延びる第２冷却筒（６）の第２ヒートステージ（６
１）に結合する一方、前記第２パネル（２）の内面に活
性炭などのガス吸着層（７）を設け、また、前記第１パ
ネル（２）の上部空気取入側には、バッフル（８）を一
体状に取付けている。

斯くして、前記冷凍機（４）の運転で、前記第１クライ
オパネル（２）を約５０〜８０に程度にまで冷却させ、
該パネル（２）に取付ける前記バッフル（８）も同程度
にまで冷却して、このバッフル（８）の通過時に排気気
体中の水分を凍結凝縮させ、また、前記第２クライオパ
ネル（３）を約１０〜２０　Ｋ程度にまで冷却させ、該
第２パネル（３）においてυト気気体中の窒素、酸素及
びアルゴンなどのガスを凍結凝縮させ、更に、以上の極
低温で凍結凝縮しない水素やヘリウムなとのガスは、前
記第２パネル（３）の内面に設けた吸着層（７）に吸着
させて、超高真空を得るようにしている。

しかして、以上のクライオポンプにおいて、前記第２ク
ライオパネル（３）の外表面に、赤外線吸収係数穴とし
た黒色の処理層（９）を設けて、ガス凝縮層の多少に拘
わりなく、輻射負荷をは＼一定にできるようにしたので
ある。即ち、前記黒色の処理層（９）に気体分子が凝縮
した場合、前記処理層（９）は黒色から灰色傾向の黒色
になるが、輻射効率としてはむしろ向上することになる
のであるから、ポンプ能力が低下することはないのであ
って、それだけ性能の安定性が良好となるのである。

前記黒色処理層（９）は、例えば、熱吸収性塗料を用い
て前記第２パネル（３）の外表面に塗布するか、又は、
該第２パネル（３）に化学的な表面処理を施して形成す
る。

また、前記黒色処理層（９）は、前記第１クライオパネ
ル（２）に一体伏に取付けた前記バ・ソフル（８）の表
面にも設けて、該バッフル（８）における水分凝縮層の
多少に関係なく、その輻射負荷を一定となすようにして
もよい。

尚、同図中、（１０）（１１）は高圧及び低圧ヘリウム
の接続口である。

（発明の効果） 以上説明したように、本発明のタライオポンプでは、第
１クライオパネル（２）に内装され、第２ヒートステー
ジ（６１）に結合される第２クライオパネル（３）の表
面を黒色としたから、この第２パネル（３）におけるガ
ス凝縮層の変動には関係なく、その輻射負荷を常に一定
となすことができて、冷凍機の安定した運転を行い得る
に至ったのである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明にかかるクライオポンプの断面図である
。 （２）・・φ・・第１クライオパネル （３）・串・・働第２クライオパネル （５１）・・−・第１ヒートステージ （６１）・・・φ第２ヒートステージ （８）φ・・・・バッフル

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １）第１ヒートステージ（５１）にバッフル（８）をも
   つ第１クライオパネル（２）を結合し、この第１クライ
   オパネル（２）に内装する第２ヒートステージ（６１）
   に第２クライオパネル（３）を結合したクライオポンプ
   において、前記第２クライオパネル（３）の表面を黒色
   としたことを特徴とするクライオポンプ。