JPH022942A - プローブ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的Ｊ （産業上の利用分ツｆ） 本発明は、ＬＣＤ　（液晶デイスプレー）基板、Ｌの各
液晶駆動素子の機能検査を行うためのプローブ装置に関
する。

（従来の技術） 近年、電子機器の小型化に伴い、表示パネルとしてＬＣ
Ｄのニーズが大きくなっている。

そして、この種のＬＣＤに液晶を封入する前に、液晶駆
動素子である例えば’Ｉ’　Ｆ　Ｔの電気的機能検査あ
るいはマトリックス状に形成される横方向の走査ライン
及び縦方向の信号ラインまたはその交点のショート、オ
ープン検査あるいは液晶駆動素子の機能検査等が不可欠
となっている。

ここで、上記液晶駆動素子の機能検査を行うためには、
少なくとも３箇所の電極にプローブ針等を接触させる必
要がある９例えば、液晶駆動素子をＨＯ８型’ｒ’　Ｆ
　Ｔで構成した場合には、ソース、ゲート、ドレインの
各電極である。

（発明が解決しようとする問題点） ＬＣＤの場合、上記液晶駆動素子であるＴＰＴをマトリ
ックス状に多数配置し、その各列毎にＴ　Ｆ　’１’の
ソースを横方向に配線した共通のソースライン（画面の
走査ラインに対応する）に接続し、このラインを基板の
横方向の端部に設けたソースリード電極に接続している
。

一方、各行毎に’Ｉ’　Ｆ　’Ｉ’のゲートを縦方向に
配線した共通のゲートライン（画面の信号ラインに対応
する）に接続し、このラインを基板の縦方向の端部に設
けたゲートリード電極に接続している。

したがって、Ｔ　Ｐ　Ｔのゲート、ソースとプローブ針
との電気的接続を行うためには、上記基板端部に存在す
るソースリード＄極、ゲートリード電極にそれぞれプロ
ーブ針を接触させる必要がある。

ところか、Ｔ　Ｆ　’Ｔ”のゲートは画面を構成する各
画素内の透明電極に接続されているため、任意のＴ　Ｆ
　ｉ’の機能検査を行うためには、そのＴＰＴの存在す
る画素上の透明電極にプローブ針を接触させる必要があ
る。

このように、液晶駆動素子の機能検査を実行するために
は、ＬＣＤの各ライン、ライン間又はライン交点の短絡
、断線を検査する場合に比べて煩雑であり、このような
液晶駆動素子の機能検査に１＆適なプローブ装置が切望
されていた。

そこで、本発明の目的とするところは上述した従来の問
題点を解決し、ＬＣＤ基板の走査ラインｆ、極、信号ラ
イン電極及び画素電極にプローブ針を接触させて液晶駆
動素子の機能検査を行うにあったで最適なプローブ装置
を提供することにある。

［発明の構成」 （問題点を解決するための手段） 本発明は、多数の液晶駆動素子をマトリックス状に配線
した基板の、信号ライン電極、走査ライン電極及び画素
電極にそれぞれプローブ針を接触させ、上記液晶駆動素
子の機能検査を行うプローブ装置において、 ＬＣＤ基板を支持し、少なくともａＮ面の直交２軸であ
るｘ、Ｙ軸方向及びこの２軸に直交するＺ方向に移動自
在なステージと、 ステージ上方にて固定され、上記画素＄極に接触するプ
ローブ針を支持した第１のマニピュレータと、 Ｘ及びＹ方向にそれぞれ移動自在に支持され、上記信号
ライン電極、走査ライン電極にそれぞれ接触するプロー
ブ針を支持した第２．第３のマニピュレータとを設けた
構成としている。

（作用） 本発明では、ＬＣＤ基板上の所定の液晶駆動素子の機能
検査を行う場合には、まず、ＬＣＤ基板を支持している
ステージをＸ、Ｙ方向に駆動し、固定されている第１の
マニピュレータのプローブ針下方に検査対象となる液晶
駆動素子の透明電極を配置する。

また、上記のステージ駆動によってブロービング位置か
設定された後に、上記検査対象である液晶駆動素子に接
続された信号ライン電極、走査ライン電極上方に、第２
．第３のマニピュレータのプローブ針がセットされるよ
うに、第２．第３のマニピュレータをそれぞれ駆動する
。

この後に、ステージを上昇させて各電極に上記プローブ
針が接触させることで、液晶駆動素子の機能検査を開始
することができる。

なお、一般にＬＣＤ基板上の全液晶駆動素子について機
能検査を実行すると膨大な時間を要するので、予め定め
られた画素のみについて実行される。

（実施例） 以下、本発明をＬＣＤ基板の検査・リペア装置に適用し
た一実施例について、図面を参照して具体的に説明する
。

このＬＣＤ基板の検査・リペア装置は、第１図に示すよ
うに、筐体の右側面側に配置されたローダ装置１と、ロ
ーダ装置ｔ１の左側であって筐体のフロント面側に配置
されたプローブ装置２と、その後方に配置されたレーザ
ーリペア装置３とから構成され、プローブ装置２のフロ
ント側にはプローブ装置用の操作パネル４が、筐体の左
側面側にはレーザーリペア装置用の操作パネル５が、そ
の後方にはモニターＴ　Ｖ　６がそれぞれ配置されてい
る。

ロータ装置１は、キャリアカセット内に収容したＬＣＤ
基板を一枚ずつ収り出してプローブ装置２に供給し、こ
のプローブ装置２より搬出される検査又は修理、再検査
済みのＬＣＤをキャリアカセットに戻し搬送するもので
ある。

−上記プローブ装置２は、本実施例の場合ＬＣＤ基板の
液晶駆動素子の機能検査を実施するように構成されてい
る。

このプローブ装置の構成を説明する前に、ここでＬＣＤ
基板の構成について、基板面を模式化して表した第８図
を参照して説明する。

アクデイプマトリックス方式の液晶基板上には、透明電
極、パッジベイト膜、配向膜などを備えた多数のピクセ
ル８０が形成されている。

これらのビクセル８０には、それぞれれＨＯＳ型Ｔ’Ｆ
ｉ’８１が配置されており、コノＭＯ３型Ｔ　Ｆ　Ｔａ
２のゲートは、それぞれゲートライン（信号ラインとも
称する）８２ａ、８２ｂ、８２ｃｍに、ソースは、それ
ぞれソースライン（走査ラインとも称する）８３ａ、８
３ｂ、８３ｃ・・・に接続されている。ｔた、ＭＯ８型
’Ｉ”Ｆ’ｒ’８１１７）ドレインは、それぞれビクセ
ル８０内の透明電極に接続されている。

さらに、前記ゲートライン８３ａ、８３ｂ、８３ｃ・・
・は、基板１０の端部に形成したゲートリード？ｒ：、
ｆｔ８４ａ、８４ｂ、８４ｃｍ　と、その対向電極８４
ａ−，８４ｂ−，８４ｃｍ・−にそれぞれ接続されてい
る。また、前記ソースライン８３ａ。

８３ｂ、８３ｃも同様に、ソースリード電極８５ａ　、
　８５　ｂ　、　８５　ｃ−と、その対向電に８５ａ８
５ｂ　　８５ｃｍ・・・にそれぞれ接続されている。

なお、上記対向電極は各ライン、ライン間の短絡、断線
を検査するために用いるもので、本実施例のように’ｒ
　Ｆ　Ｔの機能検査の場合には使用されない。

そして、Ｔ　Ｆ　’Ｉ”の機能検査に使用する電極とし
ては、Ｔ　Ｐ　Ｔのゲート、ソース、ドレインに接続さ
れた各電極であり、すなわちゲートリード電極８４ａ、
８４ｂ、８４ｃｍ−−、ソースリード電極８５ａ、８５
ｂ、８５ｃ・・・及び透明電極である。

このために、上記プローブ装置ｆ２は、第２図に示すよ
うに３つのマニピュレータ２０を配置している。

第１のマニピュレータ２０ａは、上記透明電極に接触し
、すなわちＴ　Ｐ　Ｔのドレインと導通するプローブ針
を有するもので、この第１のマニピュレータ２０ａは後
述するステージ４０の上方位置に固定されている。

第２のマニピュレータ２０ｂは、前記ゲートリード電極
８４に接触し、すなわちＴＰＴのゲートと導通ずるプロ
ーブ針を有している。そして、上記第２のマニピュレー
タ２０ｂはＸ軸２１ａに沿って移動自在であると共に、
アーム２２ａがＹ方向に伸縮自在となっている。

第３のマニピュレータ２０ｃは、前記ソースリード電極
８５に接触するもので、すなわちＴ　Ｐ　Ｔのソースに
導通するプローブ針を有している。そして、第３のマニ
ピュレータ２０　ｃはＹ軸２１ｂに沿って移動自在であ
ると共に、アーム２２ｂがＸ方向に伸縮自在となってい
る。

したかって、第１のマニピュレータ２０ａはその位置が
不動であるが、第２．第３のマニピュレータ２０ｂ、２
０ｃは共にＸ、Ｙ軸方向に移動可能となっている。

次に、第１〜第３のマニピュレータ２０ａ〜２０ｃに共
通するマニピュレータ構造について、第３図を参照して
説明する。

このマニピュレータは、プローブ針２３の位置をＸ、Ｙ
、Ｚ方向に＠調整可能であり、Ｘ方向スライダー２４は
Ｘ方向調整ねじ２５と螺合するナンド部２４ａを有し、
上記ねじ２５と一体回転可能な調整ツマミ２５ａにより
Ｘ方向に移動可能である。Ｙ方向スライダー２６は上記
Ｘ方向スライダー２４に対してＹ方向にスライド可能と
なっていて、同様に調整ツマミ２７ａによりＹ方向調整
ねじ２７と螺合するナツト部２６ａを有している。

Ｚ方向スライダー２８も同様に、上記Ｙ方向スライダー
２６に対してＺ方向にスライド可能となっていて、同様
に調整ツマミ２９ａによりＹ方向調整ねじ２９と螺合す
るナツト部２８ａを有している。そして、上記Ｚ方向ス
ライター２８に収り付けた針支持部材２３ａによって上
記プローブ針２３を斜めに支持するように構成している
。

ここで、本実施例では３インチ〜８インチの液晶′ｒＶ
画面を持つＬＣＤ基板に対応でき、このため、第９図に
示すように第２のマニピュレータ２０ｂのコンタクト領
域は３インチ基板１００から８インチ基板１０２の電極
領域を包合する１２４示の領域１０４と成っていて、こ
の範囲でコンタクト可能なように移動することになる。

同様に、第３のマニピュレータ２０　ｃのコンタクト領
域は領域１０６と成っていて、この範囲でコンタクト可
能なように移動することになる。

上記のような各マニピュレータに支持されたプローブ針
２３は、第４Ｉ２１に示すテスター３０に接続されてい
る。

このプローブ装置２では、上記ＬＣＤｌ０を載置支持す
るステージ４０を、そのａｖ、面の直交２軸であるＸ、
Ｙ軸と、この両軸に直交する高さ方向であるＺ軸と、こ
のＺ軸の周りの回転方向であって上記Ｘ−Ｙ平面を回転
する方向であるθ方向に移動可能となっていて、しかも
、ステージ４０はプローブ装ｖ２内のプロービング位ｉ
ＪＡの他に、前述したりベア装置３でリペアが実行され
るリペア位ｙＢにも移動可能となっている。そして、こ
のステージ４０の駆動はコントローラ４２によって制御
されている。

また、このプローブ装置２での特徴として、］二記ブロ
ービング位１１ｆＡ″Ｃ″ＬＣＤｌ０のアライメントを
実行可能となっている。すなわち、に記テスト位置Ａの
１４方には第１図に示すマイクロスコープ８が設けられ
、この接眼部にマウントを介することで、第４図に示す
ＣＯＤカメラ等のアライメントカメラ４Ｉが配置されて
いる。そして、上記マイクロスコープ８を介してＬＣＤ
ｌ０の一部の拡大された像をアライメントカメラ４１に
結像し、このアライメントカメラ４１の撮影情報は、第
４図のコントローラ４２に入力され、ビデオ切り換えに
よってモニターＴ　Ｖ　６に影像表示可能となっている
。

そして、この画面を見ながら操作パネル４のジョイステ
ィックなどを操作してアライメントを行うか、あるいは
アライメントの自動化のために、上記影像パターン（例
えば走査ライン、信号ラインのマトリックスパターン）
をコントローラ４２に送出し、メモリ４６で記憶してい
る正規の位置にある場合のパターンと比鮫し、この比敦
結果に基づきステージ４０のアライメント駆動を自動制
御することができる。

このように、ブロービングポジションとアライメントポ
ジションとを」（通とすることで、従来のようにアライ
メントを別の場所で実行した後の移動系の機械的誤差に
起因する位置すれを防止することができ、探針位置精度
を向上することができる。

なお、上記テスタ３０での測定結果は、コントローラ４
２を介して上記メモリ４６に記憶され、不良内容及びそ
のアドレスがリペア情報として記憶されることになる。

なお、上記リペア情報を後述するホスＪ−ＣＰ　Ｕ　４
４に記憶するものであってもよい。

次に、前記レーサーリペア装置３について説明する。

本実施例では、プローブ装置２に使用されるステージ４
０をリペア装置３でも共用し、ＬＣＤｌ０をステージ４
０の駆動によって移動可能とすると共に、この上方に固
定されたレーザーリペアユニット５０を設けている。

このレーザリペアユニット５０は、ＬＣＤｌ０」−のシ
コートパターンをトリミングするためのレーザーを発す
るレーザ発振器５１と、ＬＣＤｌ０のアライメント用の
悄慴又はオペレータのモニタ情報を収集するためのＣＯ
Ｄカメラなどで構成されるオートフォーカス機能付きの
りベアモニタカメラ６０とが設けられ、レーザー光軸と
アライメント用及びモニタ用の光軸は、基板上方で一致
するように構成されている。

すなわち、レーザー発振器５１より発ぜ°られたレーザ
ー光は、Ｎ、Ｄフィルター５２．アパチャ−５３を介し
て反射ミラー５４で直角に反射され、さらにシャッター
５５及びレンズ５６を介して、上記リペアモニタカメラ
６０の光軸上に配置されたビームスプリッタ５７に導か
れる。そして、このビームスプリッタ５７によって反射
されることで、同一光軸−Ｆに配置された対物レンズ５
８を介してＬＣＤｌ０上にレーザー光が照射されるよう
になっている。

一方、上記レーザーリペアユニット５０内には、照明用
のランプ６１が配置され、この照明ランプ６１の光がＬ
ＣＤｌ０によって反射され、上記対物レンズ５８．ビー
ムスプリツタ５７及び拡大レンズ系を介してリペアモニ
タカメラ６０にＬＣＤ１（］の一部の拡大像か結像され
、ＬＣＤｌ０上の影像情報が収集可能となっている。

このように、レーサー発振器５１より発せられるレーザ
ー光の光軸と、リペアモニタカメラ６１のための光軸と
を一致させることで、アライメントされた位置に確実に
レーザー光を照射することかでき、照射位置ずれを防止
することができる。

また、一部の光学系を共用することができるので、装置
の小型化とコストダウンとを図ることかできる。

なお、上記レーザー発振器５１でのレーザー光の出射は
、下記のようにして行われる。すなわち、前記操作パネ
ル５上には第５図に示すようにレーザーカットスイッチ
７０（詳細を後述する）が設けられ、このスイッチ７０
が押下されるとレーザースポットがレーザー電源６２に
出力され、このレーザー電源６２よりレーザー励起信号
か上記レーザー発振器５１に出力されることでレーザー
光か出射される。

また、レーザーリペアユニット５０内の照明ランプ６１
の駆動も上記操作パネル５によって実行され、照明スイ
ッチ７１によってランプ６１を０Ｎ１０ＦＦＩ、、また
、照度切り換えスイッチ７２によってランプ６１の明る
さを連続的に変更可能となっている。

また、上記操作パネル５には、上記スイッチの他に、第
５図に示すような各種スイッチ等が設けられている。

電源スィッチ７３・・・レーサリペア装置３の電源を０
Ｎ１０ＦＦするものである。

カーソル移動スイッチ７４（Ｘ軸、Ｙ軸）・・・モニタ
ーＴ　Ｖ　６に表示されるリペアパターンに重畳される
直交カーソル５ａ（第６図参照）を移動するためのもの
である。なお、イニシャル時には上記レーサーを１回照
射させ、第６図（Ａ）、（Ｂ）示すようにモニターＴ　
Ｖ　６に表示される照射ポイント５ｂにカーソル５ａの
交点を合わせ、以降固定するようにしている。すなわち
、カーソル５ａの交点がレーザー照射位置（レーザース
ポット）となる。

スタートスイッチ７５・・・レーサーリペア装置３に起
動をかけるスイッチであり、不良パターンカット後に、
本スイッチを押下することで次の不良パターンに移動す
るようになっている。

ストップスイッチ７６・・・レーザーリペア装置３に終
了をかける場合、または動作の中断をかける場合に操作
されるスイッチである。

Ｚ軸移動スイッチ７７・・・ステージ４０をＺ方向に移
動させるスイッチである。

表示器７８・・・リペアに必要な情報を表示するもので
ある。

ジョイスティック７９・・・モニターＴＶ６に表示され
たＬＣＤｌ０の画素をＸ、Ｙ方向に移動させるものであ
る。

なお、前記レーザーカットスイッチ７０は、予め設定さ
れたカットパターンに従い、自動的にレーザーカットを
実行するためのもので、“ワンアクション″でカットで
きるように各モード毎にスイッチが取り付けられている
。

また、このプローブ・リペア装置の全制御を司どるため
にホストＣＰＵ４４が設けられ、このホストＣＰＵ４４
にはテストシーケンス、各種テスト条件か設定されるこ
とになる。

次に、作用について第７図のフローチャートを参照して
説明する。

まず、ステップ１〜４にしたがって、初期設定を行う、
ステップ１では、レーザリペア装置３の操作パネル５を
操作して、各種初期設定を実行する。ここで、ＷＥ７図
のステップ１中の（２）。

（３）の設定は、前述したように第６図（Ａ）。

（Ｂ）の手ＩＩｎにしたがって実行されるものである。

そして、本実施例では基板１０の上方においてレーザー
光軸とカメラ光軸とが一致しているので、上記のような
設定を行うことで、レーザー発振器５１からのレーザー
光の実際の照射位置が、モニータｉ’　Ｖ　６上でカー
ソル交点として確実に一致するので、以降はこのカーソ
ル交点に不良パターンを一致させれば、常時確実にレー
ザ光を不良パターンに照射することができる。

次に、ステップ２〜ステツプ４にて、レーザー光学系の
初ｍＪ設定、ホストＣＰＵ４４の初期設定及びローダ３
ＴＩ！１１への基板カセットのセットなどをそれぞれ実
行する。

次に、ローダ装置１よりＬＣＤ基板１０をプローブ装置
２にロードしくステップ５）、ステップ６ではテスト及
リペアが選択されるので、以降プ【コープ装置２でのプ
ロービング検査が実行されることになる（ステップ７）
。

このプローブ装置２では、ＬＣＤ基板１０上の予め定め
られた’ｒ”　Ｆ　Ｔの機能検査を行っている。

このために、第１のマニピュレータ２０ａのプローブ針
２３の下方に、検査対象となる’Ｉ”　Ｆ　Ｔの透明電
極が配置されるように、ステージ４ｏをＸ。

Ｙ方向に駆動する。また、この後、１記検査対象の’Ｉ
’　Ｆ　Ｔに接続するゲートリード電極８４の上方位置
に第２のマニピュレータ２０ｂのプローブ針２３が配置
されるように、第２のマニピュレータ２０ｂを移動させ
、かつ、Ｊ−記検査対象のＴ　Ｐ　Ｔに接続するソース
リード電極８５の上方位置に第３のマニピュレータ２０
ｃのプローブ針２３が配置されるように、第３のマニピ
ュレータ２０ｃを移動させる。なお、このような移動は
、予め定められているプログラムに基づき、コントロー
ラ４２の制御に基づいて実行される。

そして、上記のような設定後に、ステージ４０を上昇さ
せ、各電極に３種のプローブ針２３が接触するようにし
、この後Ｔ　Ｐ　Ｔに通電しその電流値をテスター３０
で測定することで、ＴＰＴの機能検査が実行されること
になる。

そして、予め定められたシーケンスにしたがって、上記
検査対象となるＴ　Ｆ　’ｒを変えて順次同様な検査を
繰り返すことになる。

ここで、上記のように各種検査を実行するにあたって、
その前提としてプローブ針２３の接触部が上記各電極に
正しく接触していることが必要となる。このためには、
ＬＣＤ基板１０のアライメントが成されている必要があ
る。

本実施例では、上記のアライメントをブロービング位’
ｆｌＡにＬＣＤｌ０を設定した状態で、マイクロスコー
プ８を介してアライメントカメラ４１によってＬＣＤ　
１０の一部表面を拡大して撮影し、これをモニターＴＶ
６に表示してジョイスティック等により手動調整するか
、あるいは撮影パターンと予め記憶されている正規な位
置でのパターンとを比較して、それが一致するように自
動調整するかして、アライメントを行うようにしている
。

このように、ブロービングポジションとアライメントポ
ジションとを同一とすることで、従来のＩＣプローブ装
置のようにブロービングポジションに達する何でアライ
メントを実行するものと比較すれば、アライメント後の
搬送ルートの機械的誤差の重畳による探針位置精度の悪
化を防止することができる。

１記検査において断線不良、ｉＭ不良等が生じた場合に
は、この不良のアドレス及びその内容がテスター３０よ
りコントローラ４２を介してメモリ４６に記憶されるこ
とになる。

全検査が終了した場合には、このＬＣＤ基板１０に対し
て不良があるか否かを判別しくステップ８）、不良が生
じた場合には次にリペア装置３での動作が開始される。

すなわち、Ｔ　Ｆ　’Ｔ”の不良のうち、短絡の場合に
は液晶画面上での輝点欠陥となり、＠線の場合には暗点
欠陥となるが、画面を見た場合の視覚上では輝点欠陥が
比較的重要な問題であり、これを暗点欠陥に置き換える
応急的なりペアが採用されている。

このため、短絡のある”Ｉ’　Ｆ　”Ｖに対してレーザ
ーを照射し、これを断線させるリペアを実行する必要が
ある。そして、この短絡の生じているＬＣＤ基板１０を
ステージ４０の駆動によってリペア装置３のレーザーイ
ニシャル位置にロードするくステップ９）。

次に、上記メモリ４６の内のアドレス情報にしたがって
ステージ４０を移動させ、最初の不良素子位置がレーザ
スボント位置に一致するように設定する（ステップ１０
　）　、ここで、オートがマニュアルかが判別され（ス
テップ１１）、マニュアルの場合にはＺ　１ｕｌｌ移動
スイツチ７７によってステージ４０をＺ方向に駆動して
リペアモニタカメラ６０の焦点合わせを行って焦点が合
うまでこれを繰り返す（ステップ１２，１３１゜ マニュアルモードにて焦点が合った場合及びオートモー
ドが選択されている場合には、次にジョイステインク７
９によってレーザースポット位置と不良素子位置とのフ
ァインアライメントを実行する（ステップ１４）。

このファインアライメントにあたって、リペアモニタカ
メラ６０によって不良素子を撮影し、これをモニターＴ
Ｖ６に表示し、このモニターＴＶ６に重畳して表示され
ているカーソル５ａの交点に前記不良素子が一致するよ
うに、ジョイスティック７９を操作することになる。

位置があった場合には（ステップ１６）、次にカットモ
ードかｉ８択され、レーザーカットスイッチ７０が押下
される（ステップ１７）。

次に、ステップ駆動か又は連続駆動かが判断され、連続
駆動であればカット後にさらに不良素子があるか否かが
判断され（ステップ２０）、不良素子が存在する場合に
はステップ１０に戻って同様な動作を繰り返す。

ステップ駆動の場合には、カットＯＫか否かが判断され
（ステップ１８）、ＯＫであればスタートスイッチ７６
を押下することで（ステップ１９）ステップ２０に移行
し、不良素子が存在する場合にはステップ１０に戻って
同様な動作を繰り返すことになる。

なお、上述したレーザー光によるパターンカットにあた
っては、本実施例の場合アライメントカメラ６０を使用
して行った不良素子のアライメント位置に確実にレーザ
ーを照射することができ、したがってレーザー照射の位
置ずれがないので確実なレーザーカットを実行すること
ができる。

これは、上記アライメントカメラ６０の光軸と、レーサ
ー光の光軸とが、第４図に示すように同軸となっている
からであり、しかも光軸の一致により光学系の構成が一
部共通化されるので、装置の小型化とコストダウンとを
図ることができる。

全ての不良パターンについてのレーザーカットが終了し
た場合には、ステージ４０の駆動によってこのＬＣＤ基
板ＩＯをプローブ装置２に戻し搬送し、不良素子であっ
た場所のみ再テストを実行するくステップ２１）。

このようにして検査、リペアが終了し、かつ、再テスト
ＯＫ（この場合断線不良をＯＫとする）の場合には（ス
テップ２２）、基板１０をロータ装置１のキャリアカセ
ットに戻し搬送しくステップ２３）、ローダ装置内にセ
ラ）・された全基板１０に対して同様な検査、リペアを
繰り返し、全ロットか終了することでシーケンスが終了
する（ステップ２４）。

なお、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、
本発明の要旨の範囲内で種々の変形実施が可能である。

例えば、実際のＬＣＤの電極は、第１０図に示すように
、複数グループ電極部に分割され、各グループ・間には
ギャップのある配列となっているが、この様な場合であ
っても、本プローブ装置により液晶駆動素子の３点の電
極に容易にコンタクト可能である。

［発明の効果］ 以上説明したように、本発明によれば３点の電極にプロ
ーブ針を接触させて検査するＬＣＤ基板の液晶駆動素子
のブロービングに′Ｒ適なプローブ装置を提供すること
ができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明を適用したＬＣＤ基板の検査・リペア
装置の外観斜視図、 第２図は、ブロービングのためのマニピュレータの配列
を説明するための概略説明図、第３図（Ａ）、（Ｂ）は
、それぞれマニピュレータの一例を説明するための側面
図、断面図、第４図は、第１図に示す装置のブロック図
、第５図は、リペア装置用の操作パネルを示す概略平面
図、 第６図は（Ａ）、（Ｂ）は、イニシャル時のレーザース
ポットとカーソル交点とを一致させる動作を説明するた
めの概略説明図、 第７図は、実施例装置の動作を説明するためのフローチ
ャー１・、 第８図は、ＬＣＤ基板のパターン構成を説明層るための
概略説明図、 第９１２は、第２．第３のマニピュレータのコンタクト
領域を説明するための概略説明図、第１０図は、ＬＣＤ
のライン電極の他の例を説明するための概略説明図であ
る。 １・・・ローダ装置、 ２・・・プローブ装置、 ２０ａ・・・第１のマニピュレータ、 ２０ｂ・・・第２のマニピュレータ、 ２０ｃ・・・第３のマニピュレータ、 ２３・・・プローブ針、 ４０・・・ステージ。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 多数の液晶駆動素子をマトリックス状に配線した基板の
   、信号ライン電極、走査ライン電極及び画素電極にそれ
   ぞれプローブ針を接触させ、上記液晶駆動素子の機能検
   査を行うプローブ装置において、 ＬＣＤ基板を支持し、少なくとも載置面上の直交２軸で
   あるＸ、Ｙ軸方向及びこの２軸に直交するＺ方向に移動
   自在なステージと、 ステージ上方にて固定され、上記画素電極に接触するプ
   ローブ針を支持した第１のマニピュレータと、 Ｘ及びＹ方向にそれぞれ移動自在に支持され、上記信号
   ライン電極、走査ライン電極にそれぞれ接触するプロー
   ブ針を支持した第２、第３のマニピュレータとを設けた
   ことを特徴とするプローブ装置。