JPH02288219A - 電子ビーム露光装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は電子ビーム露光装置に関し、特にマスク基板を
設置するためのカセットの構造に関する。

〔従来の技術〕

電子ビーム露光装置においては、マスク基板を設置する
ためにカセットが用いられるが、このマスク基板の金属
膜と電子ビーム露光装置を電気的に導通させる方法とし
ては、カセットに設けられた導通用ビンを板バネ等を使
用して、機械的に金属膜上に形成された被露光媒体膜を
貫通させるという方法が用いられていた。

〔発明が解決しようとする課題〕

上述した従来の機械的な導通方法では、導通ビンを押し
当る強さが不足した場合、被露光媒体膜を完全に貫通す
ることができず、マスク基板が電子ビームによりチャー
ジアップし描画精度を悪化させるという欠点がある。

また、導通を完全にとるために導通ビンを押し当てる強
さを増すと、マスク基板に大きな応力が加わり、たわみ
等が発生して同様に描画精度を悪化させるという欠点も
あった。

上述した従来の機械的な力により導通をとる方法に対し
本発明は、可変矩形型電子ビーム露光装置のビーム照射
が断続的であるという点を利用して、被露光媒体膜上に
金属電極を設置し、金属電極と被露光媒体膜とマスク基
板上の金属膜とでコンデンサーを構成し、マスク基板の
チャージアップを防止するという相違点を有する。

〔課題を解決するための手段〕

本発明の電子ビーム露光装置は、上面に被露光媒体膜が
形成されたマスク基板を設置するためのカセットを有す
る電子ビーム露光装置において、前記マスク基板を構成
する透明基板上の金属膜と被露光媒体膜がコンデンサを
構成するように、被露光媒体膜上の一部を覆うように前
記カセットに接続する金属電極を設けたものである。

〔実施例〕

第１図は本発明の第１の実施例の断面図である。

被露光媒体膜１を塗布法により形成したマスク基板４は
、カセット５に設置される。カセット５に設けられた導
通ビン８が被露光媒体膜１を貫通してマスク基板４を構
成する透明基板３上のクロム等からなる金属膜２と導通
状態にあれば電子ビーム９によるパターン描画時にチャ
ージアップにより描画精度が悪化するという事はない。

しかし第１図に示したごとく、板バネ７のおし当てる力
の強弱によっては導通ビン８が金属膜２と完全に導通が
とれないという事態が発生する。

そこで本実施例では可変矩形型電子ビーム露光装置の電
子ビーム９が２０ＭＨｚ　〜８０ＭＨｚのパルス状のビ
ームである事を利用して、マスク基板４の被露光媒体膜
１の一部を覆うようにカセット５と接続された金属膜ｆ
！６を設置する。

このように構成された本実施例によれば、金属電極６と
金属膜２は被露光媒体膜１をはさんでコンデンサを構成
することになり、電子ビーム９による電荷は金属電極６
を通ってカセット５に流れることになり、マスク基板４
のチャージアップを防止することができる。

第２図は本発明の第２の実施例の断面図である。

本箱２の実施例では、被露光媒体膜１を覆うカセット５
の一部５Ａを電極として利用するものであり、カセット
５の一部と被露光媒体膜１と金属膜２とでコンデンサを
構成させるため、第１の実施例に比べ構造が簡単になる
という利点をもち、かつチャージアップを防止できると
いう同様の効果を有する。

〔発明の効果〕

以上説明した様に本発明は、被露光媒体を塗布したマス
ク基板をカセットに設置した場合、マスク基板を構成す
る金属膜と被露光媒体膜とがコンデンサを構成するよう
に、被露光媒体膜の一部を覆うようにカセットに接続す
る金属電極を設けることにより、電子ビーム照射による
マスク基板のチャージアップを防止することができると
いう効果がある。

７・・・板バネ、８・・・導通ビン、９・・・電子ビー
ム。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 上面に被露光媒体膜が形成されたマスク基板を設置する
   ためのカセットを有する電子ビーム露光装置において、
   前記マスク基板を構成する透明基板上の金属膜と被露光
   媒体膜がコンデンサを構成するように、被露光媒体膜上
   の一部を覆うように前記カセットに接続する金属電極を
   設けたことを特徴とする電子ビーム露光装置。