JPH02287208A - 位置決め方法及び位置決め装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は、被測定物が円柱、球体といった回転体でそ
の回転体を回転の中心軸を軸として回転させて回転方向
の表面粗さを測定する際に、被測定回転体の表面粗さ測
定手段との相対位置を位置決めする位置決め方法及び位
置決め装置に関する。

測定回転体と表面粗さ測定手段との相対位置を位置決め
することが大切である。

被測定回転体と表面粗さ測定手段との相対位置は、従来
、まず最初に表面粗さ検出の方向と被測定回転体の同心
軸とがほぼ一致していると考えられる状態で被測定回転
体と表面粗さ測定手段との相対位置を位置決めし、次に
表面粗さ測定手段と被測定回転体とを回転の中心軸と直
交する正逆の方向にズラして相対位置を移動させ、その
移動の際に測定して得られる静止状態の被測定回転体の
検出器に対応する部位の面高さに基づいて測定手段の表
面粗さ検出の方向と被測定回転体の向心方向とが一致す
るもしくは一致した状態に極めて近い状態を求めること
によって被測定回転体と表面粗さ測定手段との相対位置
を決めていた。

［従来の技術］ 円柱、円筒体、球体といった回転体の回転方向の表面粗
さを測定する際には、表面粗さ検出の方向が被測定回転
体の向心方向と一致するように被［発明が解決しようと
する課題］ 従来の被測定回転体と表面粗さ測定手段との相対位置の
位置決めでは、位置決めの試行に多くの時間や手間がか
かり、短時間で簡単に位置決め状態を得るには熟練を要
するという問題がある。又、測定が接触式の場合では試
行が多いと被測定回転体をその多い分だけ傷つけて、真
の表面粗さを得ることがより損われるという問題がある
。

この発明は上記の事情に鑑みてなされたものであり、被
測定回転体と表面粗さ測定手段との相対位置の位置決め
を熟練を必要とせずに簡便に短時間でおこない得る方法
及び装置を提供するものである。

［課題を解決するための手段］ この発明は、まず最初に表面粗さ測定手段の表面粗さ検
出の方向を被測定回転体の向心方向にほぼ一致させ、そ
の状態における表面粗さ測定手段の検出部に対応する被
測定回転体の部位の面高さを求め、次に被測定回転体と
表面粗さ測定手段との相対位置をある特定距離だけ移動
させ、その移動後における表面粗さ測定手段の検出部に
対応する被測定回転体の部位の面高さを求め、それら二
つの高さのうち高いもしくは等しいほうの相対位置を、
表面粗さ測定手段の検出方向が被測定回転体の同心方向
により近い状態の相対位置として被測定回転体と表面粗
さ測定手段との相対位置を決めるものである。

その詳細な方法の構成は、被測定物が円柱、球体といっ
た回転体であって、その回転体の中心軸を回転の軸とし
て回転体を回転させ、且つ表面粗さ測定手段を固定させ
て回転体の回転する方向の表面粗さを測定する際に、被
測定回転体と表面粗さ測定手段との相対位置を決める位
置決め方法であって、表面粗さ測定手段の検出方向が被
測定回転体の同心軸にほぼ一致する位置になるように表
面粗さ測定手段と被測定回転体との相対位置を位置決め
し、その相対位置を位置決めした状態の表面粗さ測定手
段の検出部に対応する被測定回転体の部位における面高
さを測定し、被測定回転体の平均的な半径とその被測定
回転体の表面粗さのレンジとの積を二倍し、更にその値
を二分の一乗して得られる値より実質的に僅かに大きい
値の特定距離だけずつ、被測定回転体の中心軸に対して
直交する正方向もしくは逆方向に上記表面粗さ測定手段
と被測定回転体との相対位置の移動をおこない、その移
動で得られる相対位置において、表面粗さ測定手段に対
応する被測定回転体の部位における面高さを測定し、連
続する二つの相対位置に対応するそれぞれの面高さを比
較し続けることによって、面高さが最高となる被測定回
転体と表面粗さ測定手段との相対位置を位置決めしてな
る位置決め方法である。

又、その詳細な装置の構成は、被測定物が円柱、球体と
いった回転体であって、その被測定回転体を回転させ且
つ表面粗さ測定手段を固定側として被測定回転体の回転
する方向の表面粗さを測定する際に、被測定回転体と表
面粗さ測定手段との相対位置を位置決めする位置決め装
置であって、被測定回転体と表面粗さ測定手段との相対
位置を被測定回転体の回転の中心軸に対して直交する方
向に移動させ得る移動手段と、被測定回転体の平均的な
半径とその被測定回転体の表面粗さのレンジとの積を二
倍し、その値を二分の一乗して得られる値より実質的に
僅かに大きな値である特定距離、及び相対位置が位置決
めされた表面粗さ測定手段の検出部に対応する被測定回
転体の部位における面高さを記憶する記憶部と、その記
憶部に記憶されている面高さと表面粗さ測定手段が測定
する被測定回転体の面高さの比較をおこなう演算部と、
被測定回転体と表面粗さ測定手段とが第一の相対位置に
位置決めされ、その際の面高さが測定されると、前記第
一の相対位置から被測定回転体と表面粗さ測定手段との
相対位置を前記特定距離だけ移動させるための制御信号
を移動手段に出力し、且つ連続する二つの相対位置にお
けるそれぞれの面高さを比較させるための制御信号を演
算部に、その比較結果に基づき面高さがより高い相対位
置をとり得るように移動させるための制御信号を移動手
段にそれぞれ出力するｉ制御部を備えてなる位置決め装
置である。

尚、被測定回転体と表面粗さ測定手段との相対位置を移
動させる際の特定距離は、被測定回転体の平均的な半径
と表面粗さのレンジとの積を二倍し、その値を二分の一
乗して得られる値より実質的に僅かに大きい値とあるが
、実質的に僅かに大きいとは被測定回転体の平均的な半
径と表面粗さのレンジとの積を二倍した値を二分の一乗
して得られる値が不等号のみが成立つ臨界的な値である
ことを意味する。

又、以下において、特定距離の持つ意味を説明する。つ
まり、まず、被測定回転体の同心軸に表面粗さ測定装置
の検出方向がより近い位置となるように相対位置の移動
をおこなう際に、移動の距離が大き過ぎて表面粗さ測定
手段の検出方向が被測定回転体の同心軸の位置を越えて
移動前に比べて向心軸からより遠い位置となっては移動
そのものが意味を持たないことになるから、移動の距離
はより小さいのが望ましい。

次に、第５図に示すように被測定回転体７ａの平均半径
がＲであって、且つ表面粗さのレンジがｄであり、加え
て表面粗さの検出方向が上下方向である際に、被測定回
転体７ａの回転の中心から最も内側に位置する点Ｐ（χ
、、ｒ可「正々Ｔ【１１”−Ｒ）から、被測定回転体７
ａの回転の中心から最も外側に位置し、しかも被測定回
転体７ａの上下方向に伸びる向心軸ｙに対して点Ｐより
遠い位置にある点Ｑ（χ＋χ。、　　十　　−χ＋χ。

−Ｒ）に最短となる特定距離χ（〉Ｏ）だけ水平方向に
移動した時においても、点Ｐの高さが点Ｑの高さより高
くなり得る場合を考えてみる。この関係を不等式であら
れすと、次式が得られる。

１丁７πＴ”Ｔ”−Ｒ＞　、／ＣＵ＋　　　−χ＋χ。

−Ｒこの不等式を特定距離χ。について解くと、χ。〉
−χ÷ｆ丁−■可（ｚ　ｏ　＞　０　）が得られる。

ここで、ｆ（χ）＝１■可巧７−１　　と定義すると、
次式を得る。

χ。＞ｆ（χ） 又、ｆ（χ）の増減を調べるために両辺を微分して、次
式を得る。

ｆ’（χ）＝χ／、／”Ｔゴ諏７−１ ところで、χくｆ謂可弓１であることよりづいて特定距
離を与えることができる。

χ／、暑１ηＴＴＦ”＜　１であり、全てのχに対して
ｆ’（χ）は常に負であることよりｆ　（χ）は減少関
数である。よって、点Ｐが少なくとも向心軸ｙ上にある
場合までを高低差判定の要請範囲とするならば、ｆ（χ
）はχ。＝Ｏの場合に臨界的に最大値をとることになる
。従って、求めるχ。の最小値については、次の関係を
得る。

χ。＞ｆ（０）＝Ｊτ［■ つまり、求める特定距離χ。は、臨界的にａをとること
が妥当となる。

加えて、特定距離は、予め被測定回転体の半径及び表面
粗さのレンジが例えば経験等によって知られている場合
では、その知られている二つの値から適当と考えられる
値を想定して与えることができる。又、被測定回転体の
表面粗さのレンジの凡その値を上記表面粗さ測定手段に
よって、被測定回転体の半径をノギスやマイクロメータ
といった測長機器によってそれぞれ求め、求めた値に基
［作用］ 表面粗さ測定手段の検出方向が被測定回転体の同心方向
により一致するように、被測定回転体と表面粗さ測定手
段との相対位置は特定の距離ずつ移動する。

［実施例］ この発明を第１〜４図に示す実施例に基づき詳述する。

しかし、この実施例によって、この発明が限定されるも
のではない。

位置決め装置１は第１図に示すように、表面粗さ測定装
置２に組込まれている。

表面粗さ測定装置２は、接触タイプの表面粗さ測定手段
３と、表面粗さ測定手段３を水平前後方向である矢印六
方向に移動させ得る移動手段４と、移動手段４を上下方
向である矢印Ｂ方向にスライドさせ得るスライド手段５
と、表面粗さ測定手段３が検出する値を所定の形に演算
表示する演算表示手段６と、表面粗さ測定手段３に対し
て被測定回転体７の被測定部位が連続的に移動するよう
に被測定回転体である球体７を回転駆動するための回転
駆動手段８と、基台９とを備えて構成されている。

表面粗さ測定手段３は、回転駆動手段８によって回転駆
動させている被測定回転体７がその回転の中心軸にそっ
て揺動する際に、球体７に当接する二つのスキッド（図
示省略）がその揺動に追従するように、表面粗さ測定手
段本体１０に対して揺動可能で前記二つのスキッドを保
持するノーズピース１１が備えられている。

移動手段４は、出力モータ１２と、出力モータ１２で作
動するボールネジ１３と、ガイド部材１４と、ボールネ
ジ１３のナツト側に連結され、且つガイド部材１４に案
内されて矢印Ａ方向に移動するスライダ１５と、スライ
ダ１５に一体化し表面粗さ測定手段３を保持するホルダ
１６とが備えられている。

スライド手段５は、基台９に垂直上方に立設された支柱
１７と、支柱１７の上下方向（矢印Ｂ方向）にスライド
するリフト１８と、リフト１８をスライドさせるための
出力モータ１９及びボールネジ２０とを備えて構成され
ている。

演算表示手段６には、演算部２１と、制御部２２と、記
憶部２３と、液晶表示部２４及びプリンタ２５が備えら
れている。演算表示手段６の上面には、操作パネル２６
が配設されている。

回転駆動手段８は、出力モータ２７と、被測定回転体を
載置支持して回転するローラ２８，２９と、出力モータ
２７の回転駆動力をローラ２８゜２９に摩擦伝動によっ
て伝える摩擦伝動手段（図示省略）を備えて構成されて
いる。３ｏは、被測定回転体が球体である際にその球体
を所定位置で回転させるためのクビレ部である。

以下において、位置決め装置１を用いて、球体７に対す
る表面粗さ測定手段３の位置を決める位置決め方法を説
明する。

まず、球体７を、回転駆動手段８のローラ２８とローラ
２９のクビレ部３０に載置する。この状態で球体７を載
置した回転駆動手段８を、ローラ２８，２９の軸方向と
表面粗さ測定手段３の伸長方向とが直交し、且つ表面粗
さ測定手段３の検出部（図示省略）が球体７のほぼ頂点
の上方に位置するように位置決めする。

次に、操作パネル２６を操作して、表面粗さ測定装置２
の作動をスタートさせる。このスタートによって、制御
部２２が出力モータ１９に出力開始のための制御信号を
、移動手段４に移動方向が矢印Ａ方向後方（第２図にお
いて、矢印Ａ右方向）になるための制御信号をそれぞれ
送る。出力モータ１９の出力によってスライド手段５が
作動し、移動手段４に保持されている表面粗さ測定手段
３は矢印Ｂ方向下方にスライドする。スライドして下降
してきた表面粗さ測定手段３の検出部（図示省略）が球
体７に接触すると、表面粗さ測定手段３はこの接触した
ことを検出信号で演算部２１を介して制御部２２に送り
、その検出信号を受けた制御部２２は出力モータ１９に
出力停止の制御信号を送る。制御信号を受けてスライド
手段５が停止すると、測定者は表面粗さ測定手段３の検
出方向が鉛直下方となるように表面粗さ測定手段３の高
さ位置を調節する。ここで、表面粗さ測定手段３の矢印
Ｂ方向の位置は決められた状態となる。

又この時に、表面粗さ測定手段３の検出部が接触してい
る球体７の部位の第一の面高さを記憶部２３が記憶する
ための制御信号を、制御部２２は演算部２１及び記憶部
２３に出力する。尚、この表面粗さ測定手段３が矢印Ｂ
方向に位置決めされた際に検出結果が表面粗さ測定手段
３の検出可能なレンジ外にある場合には、制御部２２は
液晶表示部２４にオーバーレンジの表示をするための制
御信号を送る。液晶表示部２４にオーバーレンジの表示
がでると、制御部２２は演算部２１、記憶部２３及び移
動手段４にストップの制御信号を送り、一方測定者はス
ライド手段５を作動させて表面粗さ測定手段３を矢印Ｂ
方向上方にスライドさせ、その後回転駆動手段８を矢印
Ａ方向にズラして表面粗さ測定手段３がオーバーレンジ
とならない位置に位置決めし、表面粗さ測定装置２を再
スタートさせる。

制御部２２は、出力モータ１２に表面粗さ測定手段３を
矢印Ａ方向後方（第２図において、矢印Ａ右方向）に特
定距離だけ移動させるための制御信号を送る。ここで、
特定距離とは、球体７の平均的な半径と球体７の表面粗
さのレンジとの積を二倍し、その値を二分の一乗して得
られる値より僅かに大きな値である。

制御信号に基づく移動手段４の作動により矢印Ａ方向後
方に特定距離だけ移動した表面粗さ測定手段３の検出部
に接触する球体７の部位の第二の面高さを、表面粗さ測
定手段３が検出して演算部２１に送る。ここで、演算部
２１は第一の面高さと第二の面高さを比較し、その比較
結果を信号で制御部２２に送る。

制御部２２は、演算部２１からの比較結果に基づき、第
一の面高さが第二の面高さより高いもしくは等しい場合
には移動手段４に移動方向が矢印Ａ方向前方（第２図に
おいて、矢印Ａ左方向）となるための制御信号を出力す
る。ここで、制御部２２は更に、第二の面高さが検出部
の測定レンジの範囲内にあるか否かを判断させるための
制御信号を演算部２１に送る。

演算部２１は、制御部２２からの制御信号に基づき第二
の面高さが検出部の測定範囲内にあるか否かを判断し、
その判断結果を制御部２２に送る。

制御部２２は、演算部２１からの判断結果に基づき、第
二の面高さが検出部の測定レンジ外である場合には液晶
表示部２４にオーバーレンジの表示のための制御信号を
、測定レンジ内である場合には記憶部２３に第二の面高
さを記憶させるための制御信号をそれぞれ送る。更に続
いて、移動手段４に表面粗さ測定手段３を特定距離だけ
移動させるための第二の移動用の制御信号を送る。

従って、最終的に表面粗さ測定手段３は球体７に対して
、最初に位置させた球体７と表面粗さ測定手段３の検出
部との相対位置から特定距離の倍数だけ移動させた中で
、表面粗さ測定手段３の検出位置が球体７の最も面高さ
の高い部位になり得る相対位置をとる。

尚、第３図に上記の作動を説明するフローチャートを示
す。

ここで最終の相対位置について考えてみると、球体７の
最も面高さが高い点を通って且つ方向が上下方向である
表面粗さ測定手段３の検出方向は、一般的に第５図から
明らかに球体７の向心軸に一致、もしくは一致している
と言ってよいほどに近傍の位置にある。測定者は、球体
７の向心方向に全く同じと言ってよいほどの近傍の位置
の関係にある方向を検出方向として、球体７の表面粗さ
を測定することができる。

上述した球体７と表面粗さ測定手段３との相対位置の位
置決めは、特定距離ずつ相対位置を移動させることによ
って得られる構成であることより、相対位置の位置決め
に熟練を必要とせず簡便である。又、相対位置を決める
際に、必要以上に球体７に対して表面粗さ測定手段３を
移動させことはないから、球体７をより一層傷付けるこ
とはなく元の表面性状をより一層保つことができる。

以下において、この発明の第二の実施例を述べる。位置
決め装置１の構成部材は、第１及び第２図に示したもの
と全く同じである。しかし、演算表示部６の演算部２１
．制御部２２及び記憶部２３の機能は、異なる。第４図
に、この発明の第二の実施例の作動を説明するフローチ
ャートを示す。

第一の実施例と同様に、まず表面粗さ測定手段３の検出
部が回転駆動手段８に裁置支持されている球体７のほぼ
頂点の上方に位置するように、球体７と表面粗さ測定手
段３との相対位置を位置決めする。

操作パネル２６を操作して、表面粗さ測定装置２の作動
をスタートさせる。このスタートによって、制御部２２
が出力モータ１９に出力開始のための制御信号を、移動
手段４に移動方向が矢印へ方向前方になるための制御信
号をそれぞれ送る。

出力モータ１９の出力によってスライド手段５が作動し
、移動手段４に保持されている表面粗さ測定手段３は矢
印Ｂ方向下方にスライドする。スライドして下降して来
た表面粗さ測定手段３の検出部が球体７に接触すると、
表面粗さ測定手段３はこの接触したことを検出信号で演
算部２１を介して制御部２２に送り、その検出信号を受
けた制御部２２は出力モータ１９に出力停止の制御信号
を送る。制御信号を受けてスライド手段５が停止すると
、測定者は表面粗さ測定手段３の検出方向が鉛直下方と
なるように表面粗さ測定手段３の高さ位置を調整する。

ここで、表面粗さ測定手段３の矢印Ｂ方向の位置は決め
られた状態となる。

ここで、この表面粗さ測定手段３の矢印Ｂ方向の位置決
めがなされた際に、制御部２２は、表面粗さ測定手段３
の検出部が接触している球体７の部位の第四の面高さが
表面粗さ測定手段３の検出可能なレンジ内にあるか否か
の判断をさせるための制御信号を演算部２１に送る。第
四の面高さか検出可能なレンジの外にある場合には、制
御部２２は液晶表示部２４にオーバーレンジの表示をさ
せるための制御信号を送る。液晶表示部２４にオーバー
レンジの表示が出ると、制御部２２は演算部２１、記憶
部２３及び移動手段４にストップのための制御信号を送
り、一方測定者はスライド手段５を作動させて表面粗さ
測定手段３を矢印Ｂ方向上方にスライドさせ、その後回
転駆動手段８を矢印Ａ方向にズラして表面粗さ測定手段
３がオーバーレンジとならない位置に位置決めし、表面
粗さ測定手段２を再スタートさせる。他方、第四の面高
さが検出可能なレンジ内にある場合には、制御部２２は
第四の高さを記憶させるための制御信号を記憶部２３に
送る。

制御部２２は、出力モータ１２に表面粗さ測定手段３を
矢印へ方同前方に特定距離だけ移動させるための制御信
号を送る。尚、特定距離は、第一の実施例の中で述べて
いる特定距離と全く同じものである。続いて制御部２２
は、移動手段４の作動回数、つまり出ノｊモータ１２の
出力回数を記憶させるための制御信号を記憶部２３に送
る。

制御信号に基づく出力モータ１２の出力、つまり移動手
段４の作動により矢印へ方同前方に特定距離だけ移動し
た表面粗さ測定手段３の検出部に接触する球体７の部位
の第五の部位の面高さを、表面粗さ測定手段３が検出し
て演算部２１に送る。

ここで、演算部２１は第四の面高さと第五の而高さを比
較し、その検出結果を信号で制御部２２に送る。

制御部２２は、演算部２１からの比較結果に基づき、第
五の面高さが第四の面高さより高い場合には検出値が検
出可能なレンジ内にあるか否かを判断するステップ以降
を繰返させるための制御信号を出力する。第四の面高さ
が第五の面高さより高いもしくは等しい場合には、表面
粗さ測定手段３の移動方向を矢印入方向後方にさせるた
めの制御信号を移動手段４に送り、続いて移動手段４の
作動回数を確認するための制御信号を記憶部２３に送る
。ここで、移動手段４の作動回数が１であるならば、制
御部２２は検出値が検出可能なレンジ内にあるか否かを
判断するステップ以降を繰返させるための制御信号を、
作動回数が２以上ならば表面粗さ測定手段３を特定距離
だけ移動させるための制御信号を移動手段４に送る。以
上の作動によって、第一の実施例と同様に、表面粗さ測
定手段３の検出方向が球体７の同心軸と一致、もしくは
一致していると言ってよいほど近傍となる表面粗さ測定
手段３と球体７との相対位置を得られる。

そうして、この相対位置の位置決めにおいても、熟練を
必要とせず簡便におこなうことができる。

又、球体７を必要以上にトレースすることはなく、元の
表面形状をより保つことか可能になってくる。

上記二つの実施例において表面粗さ測定装置は表面粗さ
測定手段が接触タイプのものであるが、この発明は非接
触タイプのものであってもよい。

又、実施例では被測定回転体が球体であるが、他に円筒
、丸棒、円柱といったものでもよい。

［発明の効果］ この発明によれば、検出方向を被ｉ’１ｌ１１定回転体
の向心軸に一致させる、もしくは一致していると言って
よいほどに近い位置とさせ得るように被測定回転体と表
面粗さ測定装置との相対位置を移動して位置決めする際
に、その相対位置の移動を特定の距離だけずつおこなわ
せる構成としたことにより、熟練を必要とせずに簡便に
目的とする相対位置を得ることができるという効果が得
られている。

又、表面粗さ測定手段が接触タイプである場合では、被
測定回転体を必要以上にトレースすることがないから、
その被測定回転体を必要以上に傷つけることがなく測定
後においても表面性状をよく保たせるという効果が得ら
れている。

６・・・演算表示部、 ８・・・回転駆動手段、 ２２・・・制御部、

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、被測定物が円柱、球体といった回転体であって、そ
   の回転体の中心軸を回転の軸として回転体を回転させ、
   且つ表面粗さ測定手段を固定させて回転体の回転する方
   向の表面粗さを測定する際に、被測定回転体と表面粗さ
   測定手段との相対位置を決める位置決め方法であって、
   表面粗さ測定手段の検出方向が被測定回転体の向心軸に
   ほぼ一致する位置になるように表面粗さ測定手段と被測
   定回転体との相対位置を位置決めし、 その相対位置を位置決めした状態の表面粗さ測定手段の
   検出部に対応する被測定回転体の部位における面高さを
   測定し、 被測定回転体の平均的な半径とその被測定回転体の表面
   粗さのレンジとの積を二倍し、更にその値を二分の一乗
   して得られる値より実質的に僅かに大きい値の特定距離
   だけずつ、被測定回転体の中心軸に対して直交する正方
   向もしくは逆方向に上記表面粗さ測定手段と被測定回転
   体との相対位置の移動をおこない、 その移動で得られる相対位置において、表面粗さ測定手
   段に対応する被測定回転体の部位における面高さを測定
   し、 連続する二つの相対位置に対応するそれぞれの面高さを
   比較し続けることによって、面高さが最高となる被測定
   回転体と表面粗さ測定手段との相対位置を位置決めして
   なる位置決め方法。 ２、被測定物が円柱、球体といった回転体であって、そ
   の被測定回転体を回転させ且つ表面粗さ測定手段を固定
   側として被測定回転体の回転する方向の表面粗さを測定
   する際に、被測定回転体と表面粗さ測定手段との相対位
   置を位置決めする位置決め装置であって、 被測定回転体と表面粗さ測定手段との相対位置を被測定
   回転体の回転の中心軸に対して直交する方向に移動させ
   得る移動手段と、被測定回転体の平均的な半径とその被
   測定回転体の表面粗さのレンジとの積を二倍し、その値
   を二分の一乗して得られる値より実質的に僅かに大きな
   値である特定距離、及び相対位置が位置決めされた表面
   粗さ測定手段の検出部に対応する被測定回転体の部位に
   おける面高さを記憶する記憶部と、その記憶部に記憶さ
   れている面高さと表面粗さ測定手段が測定する被測定回
   転体の面高さの比較をおこなう演算部と、被測定回転体
   と表面粗さ測定手段とが第一の相対位置に位置決めされ
   、その際の面高さが測定されると、前記第一の相対位置
   から被測定回転体と表面粗さ測定手段との相対位置を前
   記特定距離だけ移動させるための制御信号を移動手段に
   出力し、且つ連続する二つの相対位置におけるそれぞれ
   の面高さを比較させるための制御信号を演算部に、その
   比較結果に基づき面高さがより高い相対位置をとり得る
   ように移動させるための制御信号を移動手段にそれぞれ
   出力する制御部を備えてなる位置決め装置。 ３、制御部が、被測定回転体と表面粗さ測定手段とが第
   一の相対位置に位置決めされ、その際の表面粗さ測定手
   段の検出部に対応する被測定回転体の部位における第一
   の面高さが表面粗さ測定手段によって測定されると、被
   測定回転体と表面粗さ測定手段との第一の相対位置を記
   憶部に記憶されている特定距離だけ被測定回転体の回転
   の中心軸に対して直交正方向に第一の移動をおこなうた
   めの制御信号を移動手段に出力し、次にその制御信号に
   基づく移動手段の作動によって得られる第二の相対位置
   で表面粗さ測定手段の検出部に対応する被測定回転体の
   部位における第二の面高さが表面粗さ測定手段によって
   測定されると、第一の面高さと第二の面高さとの比較を
   おこなうための制御信号を演算部に出力し、更に第一の
   面高さが第二の面高さより高いもしくは等しい場合には
   表面粗さ測定手段と被測定回転体との相対位置が被測定
   回転体の回転中心軸に対して直交する逆方向に、第一の
   面高さが第二の面高さよりも低い場合には正方向に、そ
   れぞれ第二の移動の方向決めをおこなうための制御信号
   、及び特定距離だけそれぞれの方向に移動するための制
   御信号を移動手段に出力し、加えてその制御信号に基づ
   く移動手段の作動によって移動した相対位置において表
   面粗さ測定手段の検出部に対応する被測定回転体の部位
   における第三の面高さと第二の面高さとの比較をおこな
   うための制御信号を演算部に出力し、続いて面高さが第
   三の面高さより高いもしくは等しい場合には被測定回転
   体と表面粗さ測定手段との相対位置を第二の移動と逆の
   方向に特定距離だけ移動するための制御信号を移動手段
   に、第二の面高さが第三の面高さより低い場合には第二
   の移動以降のステップを繰返させるための制御信号を移
   動手段及び演算部にそれぞれ出力する請求項２に記載の
   位置決め装置。 ４、制御部が、被測定回転体と表面粗さ測定手段とが第
   一の相対位置に位置決めされ、その際の表面粗さ測定手
   段の検出部に対応する被測定回転体の部位における第一
   の面高さを表面粗さ測定手段が測定すると、被測定回転
   体と表面粗さ測定手段との第一の相対位置を記憶部に記
   憶されている特定距離だけ被測定回転体の回転の中心軸
   に対して直交正方向に第一の移動をおこなうための制御
   信号を移動手段に出力し、次にその移動手段の作動する
   回数を記憶するための制御信号を記憶部に出力し、前記
   制御信号に基づく移動手段の作動によって得られる第二
   の相対位置で表面粗さ測定手段の検出部に対応する被測
   定回転体の部位における表面粗さの第二の面高さが測定
   されると、第一の面高さと第二の面高さの比較をおこな
   うための制御信号を演算部に出力し、更に第一の面高さ
   が第二の面高さより低い場合には第一の移動以降のステ
   ップを繰返させるための制御信号を演算部及び移動手段
   に出力し、他方第一の面高さが第二の面高さより高いも
   しくは等しい場合であって記憶部に記憶されている移動
   手段の作動回数が１の場合には次の移動方向を第一の移
   動と逆方向とし、且つ第一の移動以降のステップを繰返
   させるための制御信号を演算部及び移動手段に出力し、
   作動回数が２以上の場合にはその際の相対位置を第一の
   移動と逆方向に特定距離だけ第二の移動をおこなわせる
   ための制御信号を移動手段に出力する請求項２に記載の
   位置決め装置。