JPH0228607Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本考案はオージエ分光装置等の電子ビーム装置
における信号処理装置の改良に関する。

［従来の技術］ 近時、オージエ分光装置における信号処理装置
おいては、雑音に埋もれた微小な情報信号を検出
するためのロツクインアンプが用いられている。
該ロツクインアンプは、第３図に示すように信号
発生源よりの入力信号fsと同期関係にある参照信
号frによつて位相検波を行ない、入力信号fsのノ
イズに埋もれた情報信号Ｓだけを検出する装置で
ある。ところで、オージエ分光においてロツクイ
ンアンプを使用する場合、例えば、電子ビームを
偏向する偏向コイルに10KHzの矩形波電圧を与
え、試料上の電子ビームを偏向して、オン状態
（電子ビームが試料を照射している状態）、又はオ
フ状態（電子ビームが試料を照射していない状
態）とすることによつて10KHzの信号発生源を作
り出している。

［考案が解決しようとする問題点］ このような従来装置において、偏向コイルに例
えば10KHzの矩形波電圧が与えられた場合、偏向
コイルの応答が充分でなく、又偏向コイルによつ
て発生する磁束の変化を相殺するように光軸を取
囲むように設けられたライナーチユブが渦電流を
発生するため、試料の一定点においてビームのオ
ン／オフが完全に行われず、同期検波期間の中央
部以外においては一定点以外に電子ビームが照射
されてしまい雑音が混入する。又、偏向コイルか
ら発生する磁束の変化に基づいて、信号系ライン
等に電流が誘起され所謂スイツチングノイズも発
生する。これらの雑音は、ロツクインアンプに入
力される参照信号（例えば10KHz）と同期した雑
音であるため、該ロツクインアンプでは取り除く
ことができず、これらの雑音によつて検出精度が
低下するという問題があつた。本考案は、このよ
うな参照信号と同期した雑音による検出精度の低
下を防止して検出精度の向上を図ることを目的と
している。

［問題点を解決するための手段］ 本目的を達成するための本考案の構成は、試料
に電子線を間歇照射するため周期的に電子ビーム
を偏向するための手段と、該電子ビームの周期的
な偏向に同期した信号を発生する同期信号発生回
路と、該電子ビームの照射に基づいて試料より得
られる検出信号を該同期信号を参照信号として同
期検波するロツクインアンプとを備えた装置にお
いて、該ロツクインアンプの前段に該同期検波期
間の中央部における該検出信号のみを選択通過さ
せる回路を設けたことを特徴としている。

［実施例］ 以下本考案の実施例を添付図面に基づき詳述す
る。

第１図は本考案の一実施例装置の構成図であ
る。図において、１は試料２を照射する電子ビー
ムで、該電子ビーム１は偏向コイル３によつて偏
向される。４は偏向コイル３に偏向電流を供給す
るための偏向電源で、該偏向電源４は同期信号発
生回路５に接続されている。６は試料２よりの例
えばオージエ電子７を分析するアナライザーであ
り、８はアナライザー６よりの特定のエネルギー
を有するオージエ電子を検出するための電子増倍
型検出器である。９は該検出器８よりの信号を増
幅するための増幅器である。１３は同期信号発生
回路５よりの同期信号に基づいてゲート信号を発
生するゲート信号発生回路であり、該増幅器９で
増幅された信号は、このゲート信号で駆動される
オン／オフ切換え回路１０に入力される。１１は
ロツクインアンプであり、該ロツクインアンプ１
１には、同期信号発生回路５よりの同期信号を参
照信号としてオン／オフ切換え回路１０よりの信
号を同期検波する。１２は光軸を取囲むように配
置されたライナーチユーブである。

以上のように構成された装置において、同期信
号発生回路５よりの同期信号が偏向電源４に供給
されているため、偏向コイル３には偏向電源４か
ら第２図イに示す例えば10KHzの矩形波電圧が与
えられる。この矩形波電圧が偏向コイル３に与え
られると、偏向コイル３とライナーチユーブより
発生した磁場を重畳した磁場は第２図ロに示す様
に変化する。第２図ハは、この磁場の変化による
電子ビーム１の位置の変化を表わしており、図中
実線で示された位置が試料２の一定点を照射して
いる状態に対応している。

さて、前述したように電子ビームを偏向するた
めの磁場は、偏向コイル３の応答が充分でないこ
とや、磁束がライナーチユブ１２を横切る際に発
生する渦電流の影響により、電子ビーム１がオフ
からオンに変化するときに第２図ロに示すように
△ｔだけ遅れて変化する。この磁場の△ｔの遅れ
により、電子ビーム１は一定点の近傍からの情報
も検出してしまい雑音を発生する。又、偏向コイ
ルに例えば10KHzの矩形波電圧が与えられた場合
の前述したスイツチングノイズも第２図ニのよう
に発生する。これらの雑音は、検出器８よりの検
出信号に混入されて増幅器９により増幅されるた
め、例えば第２図ホに示す波形の信号がオン／オ
フ切換え回路１０に入力される。該オン／オフ切
換え回路１０は、ゲート信号発生回路１３よりの
第２図ヘに示す如きゲート信号により駆動され
て、試料の一定点の近傍からの雑音や、スイツチ
ングノイズの部分を除いた信号をロツクインアン
プに入力するように動作する。そのため、ロツク
インアンプ１１には、第２図トに示すような雑音
部分を除いた信号が入力されて同期検波される。

［効果］ 以上詳述したように本考案によれば、同期検波
期間の中央部における検出信号のみを選択通過さ
せてロツクインアンプに供給するようにしている
ため、電子ビーム照射位置が一定点からはずれる
ことによるノイズと前述したスイツチングノイズ
を除くことができ、検出精度を向上できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例の構成図、第２図イ
〜トは本考案の動作を説明するための波形図、第
３図は従来装置を説明するための図である。 １：電子ビーム、２：試料、３：偏向コイル、
４：偏向電源、５：同期信号発生回路、６：アナ
ライザー、７：オージエ電子、８：電子増倍型検
出器、９：増幅器、１０：オン／オフ切換え回
路、１１：ロツクインアンプ、１２：ライナーチ
ユーブ、１３：ゲート信号発生回路。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 試料に電子線を間歇照射するため周期的に電子
   ビームを偏向するための手段と、該電子ビームの
   周期的な偏向に同期した信号を発生する同期信号
   発生回路と、該電子ビームの照射に基づいて試料
   より得られる検出信号を該同期信号を参照信号と
   して同期検波するロツクインアンプとを備えた装
   置において、該ロツクインアンプの前段に該同期
   検波期間の中央部における該検出信号のみを選択
   通過させる回路を設けたことを特徴とする電子ビ
   ーム装置における信号処理装置。