JPH02285696A - プリント配線板の製造方法 - Google Patents
プリント配線板の製造方法Info
- Publication number
- JPH02285696A JPH02285696A JP10658589A JP10658589A JPH02285696A JP H02285696 A JPH02285696 A JP H02285696A JP 10658589 A JP10658589 A JP 10658589A JP 10658589 A JP10658589 A JP 10658589A JP H02285696 A JPH02285696 A JP H02285696A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- copper
- resist
- printed
- board
- wiring board
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 13
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 51
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims abstract description 47
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims abstract description 47
- RAIPHJJURHTUIC-UHFFFAOYSA-N 1,3-thiazol-2-amine Chemical class NC1=NC=CS1 RAIPHJJURHTUIC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 29
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims abstract description 24
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 claims abstract description 21
- 150000001879 copper Chemical class 0.000 claims abstract description 14
- 239000000243 solution Substances 0.000 claims abstract description 11
- 239000003513 alkali Substances 0.000 claims abstract 2
- JPVYNHNXODAKFH-UHFFFAOYSA-N Cu2+ Chemical compound [Cu+2] JPVYNHNXODAKFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 claims description 8
- 229910001431 copper ion Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 150000007522 mineralic acids Chemical class 0.000 claims description 5
- 150000007524 organic acids Chemical class 0.000 claims description 5
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 claims description 4
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 claims description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 37
- 238000007747 plating Methods 0.000 abstract description 28
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 abstract description 9
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 abstract description 7
- 238000000576 coating method Methods 0.000 abstract description 7
- 239000002253 acid Substances 0.000 abstract description 4
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 abstract description 4
- 239000007788 liquid Substances 0.000 abstract description 4
- 235000011121 sodium hydroxide Nutrition 0.000 abstract description 3
- 239000002699 waste material Substances 0.000 abstract description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 22
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 12
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N Acetic acid Chemical compound CC(O)=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 125000001165 hydrophobic group Chemical group 0.000 description 5
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 5
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 5
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L Sodium Carbonate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]C([O-])=O CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 4
- JVTAAEKCZFNVCJ-UHFFFAOYSA-N lactic acid Chemical compound CC(O)C(O)=O JVTAAEKCZFNVCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 4
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 4
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 4
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 4
- -1 2-amino-4 Undecylthiazole acetate Chemical compound 0.000 description 3
- MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N Oxalic acid Chemical compound OC(=O)C(O)=O MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 206010040844 Skin exfoliation Diseases 0.000 description 3
- 229950003476 aminothiazole Drugs 0.000 description 3
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 3
- 238000005238 degreasing Methods 0.000 description 3
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 3
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 3
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VZCYOOQTPOCHFL-OWOJBTEDSA-N Fumaric acid Chemical compound OC(=O)\C=C\C(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-OWOJBTEDSA-N 0.000 description 2
- AEMRFAOFKBGASW-UHFFFAOYSA-N Glycolic acid Chemical compound OCC(O)=O AEMRFAOFKBGASW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical compound OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WNLRTRBMVRJNCN-UHFFFAOYSA-N adipic acid Chemical compound OC(=O)CCCCC(O)=O WNLRTRBMVRJNCN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OPQARKPSCNTWTJ-UHFFFAOYSA-L copper(ii) acetate Chemical compound [Cu+2].CC([O-])=O.CC([O-])=O OPQARKPSCNTWTJ-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- GHVNFZFCNZKVNT-UHFFFAOYSA-N decanoic acid Chemical compound CCCCCCCCCC(O)=O GHVNFZFCNZKVNT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 2
- 239000004310 lactic acid Substances 0.000 description 2
- 235000014655 lactic acid Nutrition 0.000 description 2
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 description 2
- XNGIFLGASWRNHJ-UHFFFAOYSA-N phthalic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=CC=C1C(O)=O XNGIFLGASWRNHJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010019 resist printing Methods 0.000 description 2
- 229910000029 sodium carbonate Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N trans-butenedioic acid Natural products OC(=O)C=CC(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WRIDQFICGBMAFQ-UHFFFAOYSA-N (E)-8-Octadecenoic acid Natural products CCCCCCCCCC=CCCCCCCC(O)=O WRIDQFICGBMAFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LQJBNNIYVWPHFW-UHFFFAOYSA-N 20:1omega9c fatty acid Natural products CCCCCCCCCCC=CCCCCCCCC(O)=O LQJBNNIYVWPHFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OTLNPYWUJOZPPA-UHFFFAOYSA-N 4-nitrobenzoic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=C([N+]([O-])=O)C=C1 OTLNPYWUJOZPPA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QSBYPNXLFMSGKH-UHFFFAOYSA-N 9-Heptadecensaeure Natural products CCCCCCCC=CCCCCCCCC(O)=O QSBYPNXLFMSGKH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005632 Capric acid (CAS 334-48-5) Substances 0.000 description 1
- FEWJPZIEWOKRBE-JCYAYHJZSA-N Dextrotartaric acid Chemical compound OC(=O)[C@H](O)[C@@H](O)C(O)=O FEWJPZIEWOKRBE-JCYAYHJZSA-N 0.000 description 1
- 239000005642 Oleic acid Substances 0.000 description 1
- ZQPPMHVWECSIRJ-UHFFFAOYSA-N Oleic acid Natural products CCCCCCCCC=CCCCCCCCC(O)=O ZQPPMHVWECSIRJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N Propanedioic acid Natural products OC(=O)CC(O)=O OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000297 Rayon Polymers 0.000 description 1
- KDYFGRWQOYBRFD-UHFFFAOYSA-N Succinic acid Natural products OC(=O)CCC(O)=O KDYFGRWQOYBRFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FEWJPZIEWOKRBE-UHFFFAOYSA-N Tartaric acid Natural products [H+].[H+].[O-]C(=O)C(O)C(O)C([O-])=O FEWJPZIEWOKRBE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005411 Van der Waals force Methods 0.000 description 1
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 description 1
- 150000007513 acids Chemical class 0.000 description 1
- 239000001361 adipic acid Substances 0.000 description 1
- 235000011037 adipic acid Nutrition 0.000 description 1
- 239000012670 alkaline solution Substances 0.000 description 1
- 229910000147 aluminium phosphate Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- KDYFGRWQOYBRFD-NUQCWPJISA-N butanedioic acid Chemical compound O[14C](=O)CC[14C](O)=O KDYFGRWQOYBRFD-NUQCWPJISA-N 0.000 description 1
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 239000013039 cover film Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000010292 electrical insulation Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000001530 fumaric acid Substances 0.000 description 1
- 235000011087 fumaric acid Nutrition 0.000 description 1
- 239000002920 hazardous waste Substances 0.000 description 1
- 235000011167 hydrochloric acid Nutrition 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Chemical group 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- QXJSBBXBKPUZAA-UHFFFAOYSA-N isooleic acid Natural products CCCCCCCC=CCCCCCCCCC(O)=O QXJSBBXBKPUZAA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 210000003127 knee Anatomy 0.000 description 1
- VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N maleic acid Chemical compound OC(=O)\C=C/C(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N 0.000 description 1
- 239000011976 maleic acid Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- ZQPPMHVWECSIRJ-KTKRTIGZSA-N oleic acid Chemical compound CCCCCCCC\C=C/CCCCCCCC(O)=O ZQPPMHVWECSIRJ-KTKRTIGZSA-N 0.000 description 1
- 235000006408 oxalic acid Nutrition 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- OXNIZHLAWKMVMX-UHFFFAOYSA-N picric acid Chemical compound OC1=C([N+]([O-])=O)C=C([N+]([O-])=O)C=C1[N+]([O-])=O OXNIZHLAWKMVMX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 239000002964 rayon Substances 0.000 description 1
- 125000001424 substituent group Chemical group 0.000 description 1
- 239000011975 tartaric acid Substances 0.000 description 1
- 235000002906 tartaric acid Nutrition 0.000 description 1
- 150000007979 thiazole derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 150000003557 thiazoles Chemical class 0.000 description 1
- SFKTYEXKZXBQRQ-UHFFFAOYSA-J thorium(4+);tetrahydroxide Chemical compound [OH-].[OH-].[OH-].[OH-].[Th+4] SFKTYEXKZXBQRQ-UHFFFAOYSA-J 0.000 description 1
- JOXIMZWYDAKGHI-UHFFFAOYSA-N toluene-4-sulfonic acid Chemical compound CC1=CC=C(S(O)(=O)=O)C=C1 JOXIMZWYDAKGHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002351 wastewater Substances 0.000 description 1
Landscapes
- ing And Chemical Polishing (AREA)
- Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はプリント配線板の製造方法に関し、更に詳しく
はプリント配線板の製造において、従来行われてきた半
田スルーホール法、テンティング法に代るエツチング保
護膜の形成法として2−アミノチアゾール誘導体を用い
ることりより、高精度で信頬性の高い高密度プリント配
線板を簡易かつ低コストで製造する方法に関する。
はプリント配線板の製造において、従来行われてきた半
田スルーホール法、テンティング法に代るエツチング保
護膜の形成法として2−アミノチアゾール誘導体を用い
ることりより、高精度で信頬性の高い高密度プリント配
線板を簡易かつ低コストで製造する方法に関する。
従来エツチングレジスト膜の形成方法には、感光性ドラ
イフィルムレジストを用いたテンティング法とハンダを
用いたハンダスルーボール法の二つが主として用いられ
てきた。
イフィルムレジストを用いたテンティング法とハンダを
用いたハンダスルーボール法の二つが主として用いられ
てきた。
テンティング法は、銅張積層板に穴をあけ後、無電解銅
メツキを行い次に電解銅メツキを行って、スルーホール
内及び表面を導体化する。ついでドライソ、イルムレシ
ストによりパターン形成を行った後エツチングを行って
レジストに覆われない部分を除去すると求める配線パタ
ーンを得ることができる。
メツキを行い次に電解銅メツキを行って、スルーホール
内及び表面を導体化する。ついでドライソ、イルムレシ
ストによりパターン形成を行った後エツチングを行って
レジストに覆われない部分を除去すると求める配線パタ
ーンを得ることができる。
ハンダスルーホール法は、銅張積層板に穴をあけ後、無
電解銅メツキを行い、次にドライフィルムレジストによ
り陰画のレジストパターンを形成する。ついで電解銅メ
ツキを行い、この後エツチングレジストとして作用する
ところの電解半田メツキを施す。レジスト膜を除去した
後、エツチングを行って求めるパターンを得ることがで
きる。
電解銅メツキを行い、次にドライフィルムレジストによ
り陰画のレジストパターンを形成する。ついで電解銅メ
ツキを行い、この後エツチングレジストとして作用する
ところの電解半田メツキを施す。レジスト膜を除去した
後、エツチングを行って求めるパターンを得ることがで
きる。
従来のエツチングレジストは、以上のような方法で施さ
れるが、テンティング法の場合は、スルーホールを覆う
テントの部分が剥離することにより、スルーホール内部
にエツチング液が浸透しスルーホール内部の銅メツキ壁
が侵される問題が起こりやすかった。また、基板の高密
度化に伴うスルーホールのランドの小径化及びラントレ
ス等に対応できないという問題もあった。一方、ハンダ
スルーホール法においては、スルーホールの信頼性は高
いが、半田メツキ工程に用いられる鉛及び弗化水素酸を
含む有害な排水の処理という問題が生じるうえ、メツキ
工程においては、メ、7キ液、メツキ条件等の管理は煩
雑でありかつ製造コストが高かった。
れるが、テンティング法の場合は、スルーホールを覆う
テントの部分が剥離することにより、スルーホール内部
にエツチング液が浸透しスルーホール内部の銅メツキ壁
が侵される問題が起こりやすかった。また、基板の高密
度化に伴うスルーホールのランドの小径化及びラントレ
ス等に対応できないという問題もあった。一方、ハンダ
スルーホール法においては、スルーホールの信頼性は高
いが、半田メツキ工程に用いられる鉛及び弗化水素酸を
含む有害な排水の処理という問題が生じるうえ、メツキ
工程においては、メ、7キ液、メツキ条件等の管理は煩
雑でありかつ製造コストが高かった。
本発明の目的は上記した不都合の解消にあり、高精度で
信頼性の高い高密度プリント配線板を容易かつ安全に、
しかも有害廃液の処理等の問題もなく、低コストで大量
生産できる製造方法を堤供することにある。
信頼性の高い高密度プリント配線板を容易かつ安全に、
しかも有害廃液の処理等の問題もなく、低コストで大量
生産できる製造方法を堤供することにある。
本発明のプリント配線板・の製造方法は、アルカリ水溶
液に可溶なレジストを用いて銅張積層板に所定のパター
ンを形成し、ついで前記銅張積層板(式中、R1、R2
、R3及びR6は同一であっても異なってもよく、その
内の少なくとも1つは炭素数8〜16のアルキル基を表
し1、残りは炭素数1〜3のアルキル基又は水素原子を
表し、HAは有機又は無機の酸を表す)で示される2−
アミノチアゾール誘導体の塩と有機又は無機の酸の銅塩
とを含む水溶液に浸漬して前記銅張積層板の銅表面に銅
イオンを含む2−アミノチアゾール誘導体からなるエツ
チングレジスト膜を形成し、得られた銅張積層板を乾燥
後、アルカリ性エソチンダ液で処理することを特徴とす
るものである。
液に可溶なレジストを用いて銅張積層板に所定のパター
ンを形成し、ついで前記銅張積層板(式中、R1、R2
、R3及びR6は同一であっても異なってもよく、その
内の少なくとも1つは炭素数8〜16のアルキル基を表
し1、残りは炭素数1〜3のアルキル基又は水素原子を
表し、HAは有機又は無機の酸を表す)で示される2−
アミノチアゾール誘導体の塩と有機又は無機の酸の銅塩
とを含む水溶液に浸漬して前記銅張積層板の銅表面に銅
イオンを含む2−アミノチアゾール誘導体からなるエツ
チングレジスト膜を形成し、得られた銅張積層板を乾燥
後、アルカリ性エソチンダ液で処理することを特徴とす
るものである。
本発明方法で用いる上記の2−アミノチアゾール誘導体
は金属銅表面とは強い力で結合するが、−gの有機化合
物に対しては結合力を示さない。
は金属銅表面とは強い力で結合するが、−gの有機化合
物に対しては結合力を示さない。
従って本発明方法の上記の銅イオンを含む2−アミノチ
アゾール誘導体によるコーティングを行な・う前に必要
とされるネガ画像での印刷を行なうレジストとじては、
従来用いられてきた広い範囲のレジストを採用すること
ができ、勿論電気絶縁性のレジストを使用することもで
きる。このことはレジストによるネガ画像の印刷を電解
銅メツキの前に行なうことも可能であることを意味する
。
アゾール誘導体によるコーティングを行な・う前に必要
とされるネガ画像での印刷を行なうレジストとじては、
従来用いられてきた広い範囲のレジストを採用すること
ができ、勿論電気絶縁性のレジストを使用することもで
きる。このことはレジストによるネガ画像の印刷を電解
銅メツキの前に行なうことも可能であることを意味する
。
すなわち、本発明の要旨はエツチングレジストとじて分
子内に極性基部分と長い疎水性基部分とを共有する銅イ
オンを含む2−アミノチアゾール誘導体のコーティング
を用いることを特徴とするプリント配線板の製造方法に
ある。
子内に極性基部分と長い疎水性基部分とを共有する銅イ
オンを含む2−アミノチアゾール誘導体のコーティング
を用いることを特徴とするプリント配線板の製造方法に
ある。
本発明方法をさらに具体的に説明するならば、それは次
の二種の態様に大別され得る。
の二種の態様に大別され得る。
第1の態様は必要な多数の穴を有する基板をまず触媒と
接触させ、次いで無電解銅メ・ツキを行ない、その後電
解銅メツキする。配線として残す必要のないところには
レジストをネガ画像で印刷する。このレジストはエツチ
ングレジストではなく、次の工程で用いる前記した極性
基および疎水性基とを共有する2−アミノチアゾール誘
導体が金属銅と接触するのを阻止するためのレジストで
ある。
接触させ、次いで無電解銅メ・ツキを行ない、その後電
解銅メツキする。配線として残す必要のないところには
レジストをネガ画像で印刷する。このレジストはエツチ
ングレジストではなく、次の工程で用いる前記した極性
基および疎水性基とを共有する2−アミノチアゾール誘
導体が金属銅と接触するのを阻止するためのレジストで
ある。
ネガ画像でレジストを印刷した基板を次に前記した極性
基と疎水性基とを共有する2−アミノチアゾール誘導体
の塩と銅塩とを含む水溶液中に浸漬して配線として残す
部分の上にエツチングレジストとしての該銅イオンを含
む2−アミノチアシル誘導体のコーティングを行ない前
記したレジストを除去し、その後エツチング処理するこ
とからなるプリント配線板の製造方法である。
基と疎水性基とを共有する2−アミノチアゾール誘導体
の塩と銅塩とを含む水溶液中に浸漬して配線として残す
部分の上にエツチングレジストとしての該銅イオンを含
む2−アミノチアシル誘導体のコーティングを行ない前
記したレジストを除去し、その後エツチング処理するこ
とからなるプリント配線板の製造方法である。
本発明方法の第2の態様は無電解銅メツキを行なうまで
の工程は上述の態様と同一であるが、その後前記レジス
トのネガ画像による印刷を行ない、次いで電解銅メツキ
を行なった移譲2−アミノチアゾール誘導体の塩と銅塩
とを含む水溶液中に浸漬してエツチングレジストとして
の該銅イオンを含む2−アミノチアゾール誘導体のコー
ティングを行ない、その後の工程は上述の第1の態様と
同一である。
の工程は上述の態様と同一であるが、その後前記レジス
トのネガ画像による印刷を行ない、次いで電解銅メツキ
を行なった移譲2−アミノチアゾール誘導体の塩と銅塩
とを含む水溶液中に浸漬してエツチングレジストとして
の該銅イオンを含む2−アミノチアゾール誘導体のコー
ティングを行ない、その後の工程は上述の第1の態様と
同一である。
上記から明らかなように、本発明方法においてネガ画像
でレジストを印刷するまでの工程は周知の半田スルーホ
ール法におけると全く同様に行なうことができる。すな
わち、用いる基板の材質は慣用のものでよく、そして両
面銅張積層板でも、あるいは銅箔を貼着してない無地の
板でも良い。
でレジストを印刷するまでの工程は周知の半田スルーホ
ール法におけると全く同様に行なうことができる。すな
わち、用いる基板の材質は慣用のものでよく、そして両
面銅張積層板でも、あるいは銅箔を貼着してない無地の
板でも良い。
無地の板であっても最初の無電解銅メツキによって表面
に銅の薄い層が形成され、次の電解銅メツキを容易に行
なうことができ、プリント配線に必要な十分な厚さの銅
の回路を形成することができるからである。しかしなが
ら、板と銅箔との接着の強さの点、したがって剥離の危
険がない点などによって両面銅張積層板の使用が一般に
は好ましい。
に銅の薄い層が形成され、次の電解銅メツキを容易に行
なうことができ、プリント配線に必要な十分な厚さの銅
の回路を形成することができるからである。しかしなが
ら、板と銅箔との接着の強さの点、したがって剥離の危
険がない点などによって両面銅張積層板の使用が一般に
は好ましい。
無電解銅メツキ及び電解銅メツキの工程は従来スルーホ
ールプリント配線板の製造において用いられてきたもの
と全く同様に行なうことができる。
ールプリント配線板の製造において用いられてきたもの
と全く同様に行なうことができる。
半田スルーホール法におけると同様にプリント配線の配
線として残す部分以外の場所には、本発明方法で用いる
極性基と疎水性基とを共有する2アミノチアゾ一ル誘導
体が金属と接触しないようにするためにレジストをネガ
画像で印刷する。このレジストのネガ画像による印刷は
電解銅メツキを行なった後にすることもできるし、電解
銅メンキの前に行なうこともできる。本発明方法で用い
るこのレジストとしては、上記した極性基と疎水性基と
を共有する2−アミノチアゾール誘導体と反応しないレ
ジストであることが必要であり、かつ電解銅メツキより
前にこのレジストによる印刷を行なう場合には、このレ
ジストは電気絶縁性を有することが必要である。
線として残す部分以外の場所には、本発明方法で用いる
極性基と疎水性基とを共有する2アミノチアゾ一ル誘導
体が金属と接触しないようにするためにレジストをネガ
画像で印刷する。このレジストのネガ画像による印刷は
電解銅メツキを行なった後にすることもできるし、電解
銅メンキの前に行なうこともできる。本発明方法で用い
るこのレジストとしては、上記した極性基と疎水性基と
を共有する2−アミノチアゾール誘導体と反応しないレ
ジストであることが必要であり、かつ電解銅メツキより
前にこのレジストによる印刷を行なう場合には、このレ
ジストは電気絶縁性を有することが必要である。
本発明においていうレジストの印刷といった表現は上記
の如き通常のレジストの印刷の他に感光性樹脂を利用す
る写真現像による印刷をも含む意味で用いられている。
の如き通常のレジストの印刷の他に感光性樹脂を利用す
る写真現像による印刷をも含む意味で用いられている。
感光性樹脂としては、露光により硬化して溶解性が減少
するものと、露光により分解して溶解性が増大するもの
があり、どちらも利用しうる。銅張積層板に感光性樹脂
が既にラミネートされている基板を用いても良いし、銅
張積層板に感光性樹脂を全面印刷後乾燥して使用しても
良い。
するものと、露光により分解して溶解性が増大するもの
があり、どちらも利用しうる。銅張積層板に感光性樹脂
が既にラミネートされている基板を用いても良いし、銅
張積層板に感光性樹脂を全面印刷後乾燥して使用しても
良い。
本発明の実施に適する2−アミノチアゾールまたは銅の
塩は長鎖アルキル基を有する2−アミノチアゾールまた
は銅と有機酸または無機酸とのいずれかより形成される
もので、それらの酸の代表的なものは、酢酸、カプリン
酸、グリコール酸、パラニトロ安息香酸、パラトルエン
スルホン酸、ピクリン酸、蓚酸、コハク酸、マレイン酸
、フマール酸、酒石酸、アジピン酸、塩酸、硫酸、燐酸
、乳酸、オレイン酸、フタル酸等である。好ましくはエ
ツチングレジスト膜の形成性の面から、酢酸、乳酸であ
る。
塩は長鎖アルキル基を有する2−アミノチアゾールまた
は銅と有機酸または無機酸とのいずれかより形成される
もので、それらの酸の代表的なものは、酢酸、カプリン
酸、グリコール酸、パラニトロ安息香酸、パラトルエン
スルホン酸、ピクリン酸、蓚酸、コハク酸、マレイン酸
、フマール酸、酒石酸、アジピン酸、塩酸、硫酸、燐酸
、乳酸、オレイン酸、フタル酸等である。好ましくはエ
ツチングレジスト膜の形成性の面から、酢酸、乳酸であ
る。
本発明における処理について述べる。
銅の表面を研磨、脱脂、酸洗浄によって仕上げ、引続き
2−アミノチアゾールおよび銅の塩を0.01〜15%
好ましくは2.0〜10%含む水溶液に浸漬する。また
銅塩の割合は0.1〜2%である。銅塩がこの範囲を外
れると膜形成の安定性が損われて望ましくない。
2−アミノチアゾールおよび銅の塩を0.01〜15%
好ましくは2.0〜10%含む水溶液に浸漬する。また
銅塩の割合は0.1〜2%である。銅塩がこの範囲を外
れると膜形成の安定性が損われて望ましくない。
浸漬は0〜100℃の温度範囲内で行なう。
浸漬時間は数十秒から数十分の範囲が適当である。
次いで水洗、乾燥を行なう。
2−アミノチアゾールおよび銅塩を含む水溶液の適当な
PHは一般に3,8乃至4.5である。
PHは一般に3,8乃至4.5である。
前記2−アミノチアゾールおよび銅の銅への付着量は該
水溶液のPHが高い程それだけ多くなる。
水溶液のPHが高い程それだけ多くなる。
付着量は、また処理温度の上昇及び処理時間の延長に従
って増加する。
って増加する。
接触方法としては通常は上記2−アミノチアゾールまた
は銅の塩を含む水溶液中にプリント配線基板を浸漬する
方法が採られるが、特にこれに限定されるものではなく
、任意の接触方法、たとえば該2−アミノチアゾールま
たは銅の塩を含む水溶液をプリント配線基板に沿って流
下させるなどの方法も採りうる。接触を十分に行なわす
ために、上記の2−アミノチアゾールまたは銅の塩を含
む溶液中でプリント配線基板を振動させたり、あるいは
溶液に攪拌を与えることなどが好ましく、また超音波を
作用させて有機化合物溶液に振動を与えることもプリン
ト配線基板への気泡の付着によるコーティング不良を防
止するために有効な手段である。
は銅の塩を含む水溶液中にプリント配線基板を浸漬する
方法が採られるが、特にこれに限定されるものではなく
、任意の接触方法、たとえば該2−アミノチアゾールま
たは銅の塩を含む水溶液をプリント配線基板に沿って流
下させるなどの方法も採りうる。接触を十分に行なわす
ために、上記の2−アミノチアゾールまたは銅の塩を含
む溶液中でプリント配線基板を振動させたり、あるいは
溶液に攪拌を与えることなどが好ましく、また超音波を
作用させて有機化合物溶液に振動を与えることもプリン
ト配線基板への気泡の付着によるコーティング不良を防
止するために有効な手段である。
本発明方法の一例を具体的に説明すれば次のようになる
。常法に従って無電解銅メツキおよび電解銅メツキを行
なったプリント配線基板にアルカリ水溶液で容易に溶解
、除去することのできるレジストを常法の半田スルーボ
ール法におりると同様にネガ画像で印刷、乾燥した後2
−アミノチアゾール誘導体又は銅の塩を含む弱酸性水溶
液中に30〜50℃の温度で約1分程度浸漬する。次い
で水洗、乾燥後稀薄苛性ソーダ水溶液を用いてさきに塗
布したレジストを溶解、除去、水洗し、その後当業界で
周知のアルカリ性エツチング剤を用いて基板の銅箔の不
要部分を溶解、除去することによってプリント配線板が
形成される。最終仕」二げであるソルダーレジストのイ
」着を良好にするために希望によっては稀薄塩酸水溶液
を用いて洗浄し、エツチングレジスト膜をプリント配線
板から実質的に除去することも容易である。銅イオンを
含む2−アミノチアゾール誘導体の膜厚は0.1〜数μ
であった。
。常法に従って無電解銅メツキおよび電解銅メツキを行
なったプリント配線基板にアルカリ水溶液で容易に溶解
、除去することのできるレジストを常法の半田スルーボ
ール法におりると同様にネガ画像で印刷、乾燥した後2
−アミノチアゾール誘導体又は銅の塩を含む弱酸性水溶
液中に30〜50℃の温度で約1分程度浸漬する。次い
で水洗、乾燥後稀薄苛性ソーダ水溶液を用いてさきに塗
布したレジストを溶解、除去、水洗し、その後当業界で
周知のアルカリ性エツチング剤を用いて基板の銅箔の不
要部分を溶解、除去することによってプリント配線板が
形成される。最終仕」二げであるソルダーレジストのイ
」着を良好にするために希望によっては稀薄塩酸水溶液
を用いて洗浄し、エツチングレジスト膜をプリント配線
板から実質的に除去することも容易である。銅イオンを
含む2−アミノチアゾール誘導体の膜厚は0.1〜数μ
であった。
2−アミノチアゾールは、金属銅との間に極めて強い相
互作用を示すため、その塩の水溶液と銅表面が接するこ
とにより、銅表面に単分子膜が形成される。
互作用を示すため、その塩の水溶液と銅表面が接するこ
とにより、銅表面に単分子膜が形成される。
2−アミノチアゾールが置換基として、長鎖アルキル基
をもつ場合、アルキル基間のファンデルワールス力およ
びチアゾール間の水素結合又、銅イオンを中心とするア
ミノ基の配位等により更に膜が堆積する。
をもつ場合、アルキル基間のファンデルワールス力およ
びチアゾール間の水素結合又、銅イオンを中心とするア
ミノ基の配位等により更に膜が堆積する。
この膜は、液状レジストあるいはドライフィルムレジス
トに対して何等相互作用を示さないから、銅表面のみに
選択的に形成することができ、又、液状レジストあるい
はドライフィルムレジスト現像液であるところのアルカ
リ水溶液、及びアルカリエソチンダ液に対する耐蝕性に
優れ被膜下の銅面を保護することができ、又酸水溶液に
よって容易に除去することができる。
トに対して何等相互作用を示さないから、銅表面のみに
選択的に形成することができ、又、液状レジストあるい
はドライフィルムレジスト現像液であるところのアルカ
リ水溶液、及びアルカリエソチンダ液に対する耐蝕性に
優れ被膜下の銅面を保護することができ、又酸水溶液に
よって容易に除去することができる。
以下に、実施例を示し、本発明を更に詳しく説明する。
実施例1
1.6鶴厚の両面銅張積層板に穴開けして無電解銅メツ
キを行った後、ドライフィルムレジスト (商品名「ダ
イヤロンFRA−063j三菱レイヨン■製)をラミネ
ーターを用いてカバーフィルムを剥がしながら積層し、
試験用ポジマスクを用い、紫外線照射機で100 m
J / cl露光した。室温で30分放置した後1%炭
酸すl−IJウム水溶液で現像した。次に電解銅メツキ
により表面及びスルーホール内に25μの銅メツキを形
成させた。上記銅張積層板を水洗後、脱脂及びソフトエ
ツチングにより銅表面を清浄にした後、2−アミノ−4
ウンデシルチアゾール酢酸塩と酢酸銅(0,2重量%)
との水溶液に攪拌しながら60°Cで3分間浸漬した。
キを行った後、ドライフィルムレジスト (商品名「ダ
イヤロンFRA−063j三菱レイヨン■製)をラミネ
ーターを用いてカバーフィルムを剥がしながら積層し、
試験用ポジマスクを用い、紫外線照射機で100 m
J / cl露光した。室温で30分放置した後1%炭
酸すl−IJウム水溶液で現像した。次に電解銅メツキ
により表面及びスルーホール内に25μの銅メツキを形
成させた。上記銅張積層板を水洗後、脱脂及びソフトエ
ツチングにより銅表面を清浄にした後、2−アミノ−4
ウンデシルチアゾール酢酸塩と酢酸銅(0,2重量%)
との水溶液に攪拌しながら60°Cで3分間浸漬した。
次に1%水酸化ナトリウム水溶液でドライフィルムレジ
ストを除去した後、ニープロセス(ジャパンメタル社製
)によりエツチングを行った。この後、5%塩酸に浸漬
し、2−アミノ−ウンデシルアミノヂアゾール膜を除去
し所望の配線パターンを得た。得られたパターンは、ハ
ンダスルーポール法により形成したパターンと同等の信
頼性を示し、また、エツチングレジストを形成する時間
は1/3に短縮された。また、使用後のアミノチアゾー
ルン夜は、アル−カリ沃I液及び擬集斉りの添加により
容易に凝集、沈殿し、廃棄する事ができた。
ストを除去した後、ニープロセス(ジャパンメタル社製
)によりエツチングを行った。この後、5%塩酸に浸漬
し、2−アミノ−ウンデシルアミノヂアゾール膜を除去
し所望の配線パターンを得た。得られたパターンは、ハ
ンダスルーポール法により形成したパターンと同等の信
頼性を示し、また、エツチングレジストを形成する時間
は1/3に短縮された。また、使用後のアミノチアゾー
ルン夜は、アル−カリ沃I液及び擬集斉りの添加により
容易に凝集、沈殿し、廃棄する事ができた。
実施例2
1.6龍厚の両面銅張積層板に穴開は後無電解銅メツキ
、電解銅メツキをするごとにより表面及びスルーポール
内に25μの銅メ・ツキを形成した。
、電解銅メツキをするごとにより表面及びスルーポール
内に25μの銅メ・ツキを形成した。
ついでドライフィルムレジスト(商品名[−ダイヤロン
FRA−063J三菱レイロン(41)製)をラミネー
ターを用いてカバーフィルムを剥がしながら積層した後
、小径スルーポール及びランドレスのパターンを含む試
験用ポジマスクを用い、100m J / c+A露光
した。室温で30分放置した後1%炭炭酸ナトリフ、水
溶液で現像した。上記銅張積層板を水洗後、脱脂及びソ
フトエツチングにより銅表面を清浄にした後、2−アミ
ノ−4−ウンデシルチアゾール酢酸塩と酢酸銅(0,2
重量%)との水溶液に攪拌しながら60°Cで、3分間
浸漬し2μの膜厚を得た。次に1%水酸化すトリウム水
溶液でドライフィルムレジストを除去した後、エプロセ
ス(ジャパンメタル社製)によりエツチングを行った。
FRA−063J三菱レイロン(41)製)をラミネー
ターを用いてカバーフィルムを剥がしながら積層した後
、小径スルーポール及びランドレスのパターンを含む試
験用ポジマスクを用い、100m J / c+A露光
した。室温で30分放置した後1%炭炭酸ナトリフ、水
溶液で現像した。上記銅張積層板を水洗後、脱脂及びソ
フトエツチングにより銅表面を清浄にした後、2−アミ
ノ−4−ウンデシルチアゾール酢酸塩と酢酸銅(0,2
重量%)との水溶液に攪拌しながら60°Cで、3分間
浸漬し2μの膜厚を得た。次に1%水酸化すトリウム水
溶液でドライフィルムレジストを除去した後、エプロセ
ス(ジャパンメタル社製)によりエツチングを行った。
この後、5%塩酸に浸漬し、アミノチアゾール膜を除去
し所望の配線パターンを得た。
し所望の配線パターンを得た。
得られたパターンには、スルーポール内の導体の欠陥は
見られず、小径及びランドレスのスルーホールが形成で
きた。
見られず、小径及びランドレスのスルーホールが形成で
きた。
以上に詳述した通り、本発明のプリント配線板の製造方
法によれば、高精度で信頼性の高い高密度プリント配線
板を容易かつ安全に、しかもイ」害廃液の処理等の問題
もなく、低コスI・で大量に生産することができるため
、例えばスルーポールプリント配線板の製造に適用して
有用であり、その工業的価値は犬である。
法によれば、高精度で信頼性の高い高密度プリント配線
板を容易かつ安全に、しかもイ」害廃液の処理等の問題
もなく、低コスI・で大量に生産することができるため
、例えばスルーポールプリント配線板の製造に適用して
有用であり、その工業的価値は犬である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 アルカリ水溶液に可溶なレジストを用いて銅張積層板
に所定のパターンを形成し、ついで前記銅張積層板を、 一般式:▲数式、化学式、表等があります▼ (式中、R_1、R_2、R_3及びR_4は同一であ
っても異なってもよく、その内の少なくとも1つは炭素
数8〜16のアルキル基を表し、、残りは炭素数1〜3
のアルキル基又は水素原子を表し、HAは有機又は無機
の酸を表す)で示される2−アミノチアゾール誘導体の
塩と有機又は無機の酸の銅塩とを含む水溶液に浸漬して
前記銅張積層板の銅表面に銅イオンを含む2−アミノチ
アゾール誘導体からなるエッチングレジスト膜を形成し
、得られた銅張積層板を乾燥後、アクカリ性エッチング
液で処理することを特徴とするプリント配線板の製造方
法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10658589A JPH02285696A (ja) | 1989-04-26 | 1989-04-26 | プリント配線板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10658589A JPH02285696A (ja) | 1989-04-26 | 1989-04-26 | プリント配線板の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02285696A true JPH02285696A (ja) | 1990-11-22 |
Family
ID=14437281
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10658589A Pending JPH02285696A (ja) | 1989-04-26 | 1989-04-26 | プリント配線板の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH02285696A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2023001168A (ja) * | 2017-02-08 | 2023-01-04 | 国立大学法人東海国立大学機構 | 新規な芳香族アミン化合物および蛍光発光材料と紫外線吸収剤 |
-
1989
- 1989-04-26 JP JP10658589A patent/JPH02285696A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2023001168A (ja) * | 2017-02-08 | 2023-01-04 | 国立大学法人東海国立大学機構 | 新規な芳香族アミン化合物および蛍光発光材料と紫外線吸収剤 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR900001089B1 (ko) | 동스로우호올프린트 배선판의 제조방법 | |
JP3117386B2 (ja) | 基板を選択的に金属被覆する方法 | |
JPH01500472A (ja) | 印刷回路板の製造方法 | |
JPH047117B2 (ja) | ||
US4847114A (en) | Preparation of printed circuit boards by selective metallization | |
US4574031A (en) | Additive processing electroless metal plating using aqueous photoresist | |
JPS62293689A (ja) | 改良した回路材料の製造方法 | |
US4759952A (en) | Process for printed circuit board manufacture | |
JP3650514B2 (ja) | メッキした抵抗体をもつ印刷回路板の製造方法 | |
JPH01500677A (ja) | 無電解ニツケル又は銅めつき用クロムマスク | |
US4431685A (en) | Decreasing plated metal defects | |
JPH02285696A (ja) | プリント配線板の製造方法 | |
JPS63503585A (ja) | 印刷回路板製造の改良方法 | |
EP0476065A1 (en) | METHOD FOR INCREASING THE INSULATION RESISTANCE OF PCB. | |
JP3074315B2 (ja) | 銅スルーホールプリント配線板の製造方法 | |
US5275694A (en) | Process for production of copper through-hole printed wiring boards | |
JPS6312191A (ja) | 銅スル−ホ−ルプリント配線板の製造方法 | |
JP2000151077A (ja) | 高密度配線基板の製造方法 | |
KR0142407B1 (ko) | 구리 천공 인쇄 배선판의 제조방법 | |
JPH0451592A (ja) | 銅スルーホールプリント配線板の製造方法 | |
JP3191686B2 (ja) | 印刷配線板の製造方法 | |
CA2063844C (en) | Process for production of copper through-hole printed wiring boards | |
JPH09166872A (ja) | 画像形成材料、画像形成方法、およびプリント配線板の製造方法 | |
JPH04159794A (ja) | 銅スルーホールプリント配線板の製造方法 | |
JPS63283096A (ja) | 樹脂組成物 |